JP2020204535A - 導電性部材 - Google Patents
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Abstract
【課題】電子部品の小型化に対応可能な電気検査用の導電性部材の製造方法を提供する。【解決手段】導電性部材10は、後述する電子部品が備える電極と検査装置が備える導電部との間に介在され、スルーホール2が形成されているガラス基板1と、スルーホール2に形成されている電極部3と、導電性弾性材料により構成されていて、下端42が電極部3の上端31に接続し上端41における幅D22が電極部3の上端31の幅D21よりも大きく形成されているコンタクト部4と、絶縁性弾性材料により構成されていて、ガラス基板1の表面11においてコンタクト部4の周囲を囲むように形成されている絶縁部5と、を備える。【選択図】図1
Description
本発明は、導電性部材に関する。
半導体集積回路などの電子部品の電極の導通状態に関する検査として、上記電極に検査装置の導電部を接触させる電気検査が知られている。なお、電子部品の電気検査を行う際に、検査対象である上記電極を保護することと、上記電極と上記導電部とを良好に接触させることとを考慮して、上記電極と上記導電部との間に介在させる導電性部材が知られている(例えば、特許文献1及び2参照)。
ところで、電気検査の対象となる電子部品は小型化が進んでいる。電子部品の小型化に関する技術としては、例えば半導体チップが実装されるパッケージ基板の下部に設けられた半球状のはんだ(はんだボール)を電極とするBGA(Ball grid array)パッケージが知られている。BGAパッケージを備える電子部品では、はんだボールピッチ、つまり電極間隔を例えば500μm程度にすることができるため、電子回路基板との接続面積を小さくすることができる。
ここで、近年の電子部品は、高性能化が進むにつれて、さらにパッケージの小型化及びパッケージの内部の集積化が進み、電極間隔がさらに狭くなり、例えば55μmなどとなることが考えられる。
しかしながら、このような電極間隔が狭い電子部品の電気検査を行う場合に、特許文献1及び特許文献2に開示された技術を含め、従来の技術では、狭い電極間隔に対応して導電部と絶縁部とを設けて導電性部材を製造することが難しかった。具体的には、従来の技術では、電気検査の際の検査装置による押圧力に対する機械的強度を有する導電性部材を製造することが難しかった。また、従来の技術では、狭い電極間隔に対応した導電部を高い精度で設けることが難しかった。
また、近年の電子部品は、パッケージが小型化することにより、電極の面方向(幅方向、径方向)の寸法も小型化が進んでいる。電極の面方向の寸法が小型化するのに伴い、電極の接触面積も小型化している。このような電子部品の電気検査を行う場合に用いられる導電性部材において、導電部は、電極との接触面を確保することが望まれている。
本発明は、以上のような点に鑑みてなされたものであって、電子部品の小型化に対応可能な電気検査用の導電性部材の製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明に係る導電性部材は、電子部品が備える電極と検査装置が備える導電部との間に介在される導電性部材であり、スルーホールが形成されているガラス基板と、前記スルーホールに形成されている電極部と、導電性弾性材料により構成されていて、下端が前記電極部の上端に接続し上端における幅が前記電極部の幅よりも大きく形成されているコンタクト部と、絶縁性弾性材料により構成されていて、前記ガラス基板の表面において前記コンタクト部の周囲を囲むように形成されている絶縁部と、を備える。
本発明の一態様に係る導電性部材において、前記コンタクト部は、表面における幅が前記電子部品の前記電極の幅よりも大きい。
本発明の一態様に係る導電性部材において、前記コンタクト部は、表面から裏面に向かうテーパー形状に形成されている。
本発明の一態様に係る導電性部材において、前記コンタクト部は、表面から裏面に向かい縮径する逆円錐台形状に形成されている。
本発明の一態様に係る導電性部材において、前記電極部は、前記検査装置の前記導電部の配置間隔に対応した間隔で複数形成されていて、前記コンタクト部は、前記電子部品の前記電極の配置間隔に対応した間隔で複数形成されている。
本発明の一態様に係る導電性部材において、前記電極部及び前記コンタクト部は、前記電子部品の前記電極の面方向における配置数を上回る配置数で配置されている。
本発明によれば、電子部品の小型化に対応可能な電気検査用の導電性部材を提供することができる。
以下、本発明の実施の形態に係る導電性部材について図面を参照しながら説明する。
[導電性部材の構成]
本発明の一実施の形態に係る導電性部材10の構成について説明する。
図1は、本発明の実施の形態に係る導電性部材10の構成を概略的に示す断面図である。また、図2は、導電性部材10の構成を概略的に示す平面図である。以下の説明において、導電性部材10の図1に示す断面図における横方向をX軸方向、X軸に直交する図面を貫く方向をY軸方向、X軸及びY軸に直交する縦方向をZ軸方向と定義する。つまり、図1に示す断面図は、以上の定義によれば導電性部材10のXZ断面図である。また、以下の説明において、導電性部材10の断面図は、特に説明しない限り、いずれも導電性部材10のXZ断面図である。
本発明の一実施の形態に係る導電性部材10の構成について説明する。
図1は、本発明の実施の形態に係る導電性部材10の構成を概略的に示す断面図である。また、図2は、導電性部材10の構成を概略的に示す平面図である。以下の説明において、導電性部材10の図1に示す断面図における横方向をX軸方向、X軸に直交する図面を貫く方向をY軸方向、X軸及びY軸に直交する縦方向をZ軸方向と定義する。つまり、図1に示す断面図は、以上の定義によれば導電性部材10のXZ断面図である。また、以下の説明において、導電性部材10の断面図は、特に説明しない限り、いずれも導電性部材10のXZ断面図である。
導電性部材10は、図1において上側の絶縁部5の表面及び下側のガラス基板1の裏面に、図2に示すようなX軸方向及びY軸方向に広がる面を有する。以下の説明において、導電性部材10のX軸方向及びY軸方向を面方向ともいう。また、以下の説明において、導電性部材10の面方向の寸法を幅という。また、以下の説明において、導電性部材10のZ軸方向の寸法を厚みという。
図1に示すように、導電性部材10は、後述する電子部品が備える電極と検査装置が備える導電部との間に介在され、スルーホール2が形成されているガラス基板1と、スルーホール2に形成されている電極部3と、導電性弾性材料により構成されていて、下端42が電極部3の上端31に接続し上端41における幅D22が電極部3の上端31の幅D21よりも大きく形成されているコンタクト部4と、絶縁性弾性材料により構成されていて、ガラス基板1の表面11においてコンタクト部4の周囲を囲むように形成されている絶縁部5と、を備える。以下、導電性部材10の構成について、具体的に説明する。
ガラス基板1は、硬質なガラス製の板状部材である。ガラス基板1は、導電性部材10の機械的な強度を確保している。ガラス基板1の厚みt1は、例えばt1=100〜300μmである。ガラス基板1には、互いに背向する面である表面11と裏面12との間を貫通するスルーホール2が、互いに所定の間隔をあけて形成されている。ここで、ガラス基板1の表面11は、検査対象である電子部品の電極と導電性部材10が接触する側の面である。また、ガラス基板1の裏面12は、電気検査用の検査装置の導電部と導電性部材10が接触する側の面である。
電極部3は、上述のようにスルーホール2に、例えば金属メッキなどの導電性材料が充填されることにより形成されている。電極部3は、ガラス基板1の表面11から上端31が外部に露出している。電極部3は、ガラス基板1の裏面12から下端32が外部に露出している。電極部3は、ガラス基板1の裏面12から電極部3が外部に露出している部分である下端32が、後述する検査装置の導電部と接触する。このため、電極部3は、上記検査装置の導電部の配置間隔に対応した間隔で複数形成されている。また、電極部3は、電気検査の際に上記検査装置の導電部と確実に電気的に接触するために、幅D21が上記検査装置の導電部の幅に対応するように形成されている。ここで、幅D21は、例えば32μmである。また、隣接する電極部3のX軸方向の間隔P21は、例えば、55μmである。
コンタクト部4は、導電性弾性材料により構成されている。コンタクト部4は、下端42が導電性を有する電極部3の上端31と接合している。このように構成されていることで、コンタクト部4の下端42は、電極部3の上端31と電気的に接続している。コンタクト部4の上端41は、絶縁部5の表面51から外部に露出している。コンタクト部4の上端41は、後述する電子部品の電極と接触する。このため、コンタクト部4は、上記電子部品の電極の配置間隔に対応した間隔で複数形成されている。コンタクト部4は、上端41における面方向の寸法である幅D22が上記電子部品の電極の幅よりも大きくなるように形成されている。つまり、コンタクト部4は、幅D22が電極部3の幅D21よりも大きく形成されている。コンタクト部4は、側面がテーパー状に形成されている。コンタクト部4は、より具体的には、円形状の上端41の面から円形状の下端42の面に向けて縮径する、逆円錐台形状に形成されている。ここで、幅D22は、例えば45〜50μmである。
絶縁部5は、絶縁性弾性材料により構成されることにより、面方向において隣接する複数のコンタクト部4の間を絶縁し、コンタクト部4が互いに電気的に接触してしまうことを防止している。コンタクト部4及び絶縁部5の厚みは、例えばt2=25μmである。
図2は、導電性部材10を上側、つまりコンタクト部4の上端41、及び絶縁部5の表面51側から見た図である。図2に示すように、導電性部材10は、コンタクト部4が、面方向において円形状または略円形状に形成されている。導電性部材10は、X軸方向に所定の間隔P21が設けられて複数個配置されるコンタクト部4及びコンタクト部4の下側にある電極部3(図1参照)の行が、第1列R21,第2列R22,第3列R23,第4列R24,…と、Y軸方向に複数列並べられている。各列のコンタクト部4及び電極部3の配置は、例えば、第1列R21のコンタクト部4及び電極部3相互の中間位置に、第2列R22のコンタクト部4及び電極部3が交互に並べられている、いわゆる千鳥状配置である。
導電性部材10のコンタクト部4の上端41において、第1列R21のコンタクト部4の隣接するコンタクト部4とのX軸方向の間隔P21は、上述したように、例えば55μmである。また、第1列R21のコンタクト部4と第2列R22のコンタクト部4とのX軸方向の間隔P22は、例えば、27.5μmである。第1列R21のコンタクト部4と第2列R2のコンタクト部4とのY軸方向の間隔P23は、例えば、48μmである。第1列R1のコンタクト部4と同様の間隔で配置される第3列R3のコンタクト部4とのY軸方向の間隔P24は、例えば、96μmである。
次に、電気検査の際に導電性部材10が接触する、電子部品100の電極101について説明する。
図3は、導電性部材10を使用して行う電気検査の対象である電子部品100の電極101の配置の一例を概略的に示す側面図である。図3に示すように、電極101は、電子部品の裏面からZ軸方向下側に向かって突出して設けられている。電極101のZ軸方向の長さL11は、例えば、35μmである。電極101の配置は、X軸方向において、コンタクト部4と同じく所定の間隔P1(例えばP1=55μm)が設けられている。電極101の面方向の寸法である直径D11は、例えば、25μmである。電子部品100は、パッケージ基板の下部に設けられた半球状のはんだ(はんだボール)を電極101とするBGAパッケージを有する。
図4は、導電性部材10を使用して行う電気検査の対象である電子部品100の電極101の配置の一例を概略的に示す平面図である。図4に示すように、電子部品100は、電極101が、面方向において円形状または略円形状に形成されている。電子部品100は、X軸方向に所定の間隔P1が設けられて複数個配置される電極101の行が、第1列R1,第2列R2,第3列R3,…と、Y軸方向に複数列並べられている。各列の電極101の配置は、例えば、第1列R1の電極101相互の中間位置に、第2列R2の電極101が交互に並べられている、いわゆる千鳥状配置である。
隣接する電極101のX軸方向の間隔P1は、例えば、55μmである。第1列R1の電極101と第2列R2の電極101とのY軸方向の間隔P2は、例えば、48μmである。第1列R1の電極101と第2列R2の電極101とのX軸方向の間隔P3は、例えば、27.5μmである。第1列R1の電極101と同様の間隔で配置される第3列R3の電極101とのY軸方向の間隔P4は、例えば、96μmである。
隣接する電極101のX軸方向の間隔P1は、例えば、55μmである。第1列R1の電極101と第2列R2の電極101とのY軸方向の間隔P2は、例えば、48μmである。第1列R1の電極101と第2列R2の電極101とのX軸方向の間隔P3は、例えば、27.5μmである。第1列R1の電極101と同様の間隔で配置される第3列R3の電極101とのY軸方向の間隔P4は、例えば、96μmである。
[導電性部材の使用例]
次に、以上説明した導電性部材10を使用した電気検査の一例について説明する。
次に、以上説明した導電性部材10を使用した電気検査の一例について説明する。
図5は、導電性部材10と電子部品100とを概略的に示す側面図である。図5に示すように、導電性部材10は、以上説明したガラス基板1に形成されている電極部3及びコンタクト部4により、電子部品100の電極101と後述する検査装置200の導電部201とを電気的に接続する。導電性部材10によればガラス基板1の表面11における電極部3の上方に、導電性弾性材料により形成されているコンタクト部4を備えることで、電気検査の際に電極101が破損すること等を防ぐことができる。また、導電性部材10によれば、ガラス基板1の上にコンタクト部4及び絶縁部5を備えることにより、互いに対応する電極101と導電部201とを良好に接触させることができる。
導電性部材10は、以上説明したように、導電性弾性材料により形成されているコンタクト部4が、上端41における幅D22が電極部3の上端31の幅D21よりも大きく形成されている。また、コンタクト部4の上端41における幅D22は、電子部品100の電極101の幅D11よりも広い。
導電性部材10は、硬質なガラス基板1の上に導電性弾性材料により形成されているコンタクト部4、及び、絶縁性弾性材料により形成されている絶縁部5を備える。このような構成により、導電性部材10によれば、電気検査の際の検査装置200による押圧力に対する機械的強度(剛性)を得ることができる。また、導電性部材10によれば、ガラス基板1に設けられたスルーホール2に電極部3を備えることにより、互いに隣接する電極部3の間の距離及び互いに隣接するコンタクト部4の間の距離が微小である場合であっても、電極部3及びコンタクト部4の夫々の位置精度を得ることができる。つまり、導電性部材10によれば、小型化されて電極101の間隔が狭くなっている電子部品100の電気検査においても、電極101と導電部201とを良好に接触させることができる。
図6は、導電性部材10を使用して行う電子部品100の電気検査の一例を概略的に示す断面図である。図6に示すように、導電性部材10は、半導体集積回路などの電子部品100をZ軸方向(矢印LO方向)に移動させる。このとき、導電性部材10は、電子部品100の電極101に検査装置200の導電部201を接触させて電極101の導通状態を検査する電気検査を行う際に、電極101と導電部201との間に介在される。すなわち、導電性部材10は、コンタクト部4が電極101に接触し、ガラス基板1の裏面12側で露出している電極部3が導電部201に接触する。
図7は、参考例に係る導電性部材1000を使用して行う電子部品100の電気検査の一例を概略的に示す断面図である。図7に示すように、参考例に係る導電性部材1000は、導電性弾性材料により形成されているコンタクト部1040が、上端1041における幅D32が電極部1030の上端1031の幅D21と同等の幅である点が導電性部材10と相違する。また、コンタクト部1040は、側面がテーパー状ではなく円筒状に形成されている点が導電性部材10と相違する。
参考例に係る導電性部材1000と比較して、導電性部材10は、コンタクト部4が、上端41における幅D22が電極部3の上端31の幅D21よりも大きく形成されているため、電気検査の検査対象である電子部品100の電極101との接触可能面積(接合範囲)を拡大することができる。
また、導電性部材10によれば、コンタクト部4が、上端41における幅D22が電極部3の上端31の幅D21よりも大きく形成されているため、電子部品100の電極101との面方向の位置ずれを調整する際に、参考例に係る導電性部材1000と比較して、導電性部材10を面方向(例えば、矢印M方向)に移動させることで電子部品100との位置調整を容易に行うことができる。
図8は、導電性部材10と参考例に係る導電性部材1000との寸法の相違を概略的に示す平面図である。図8に示すように、導電性部材10は、電極部3及びコンタクト部4が配置されているガラス基板1及び絶縁部5の面方向における寸法が参考例に係る導電性部材1000の面方向における寸法よりも大きく形成されている。このように形成されていることにより、導電性部材10は、電子部品100の電極101の面方向における配置数を上回る配置数、例えば面方向において外側にそれぞれ1列ずつ多い配列数で、電極部3及びコンタクト部4を配置することができる。
導電性部材10は、コンタクト部4の幅D22が、電極部3の上端31の幅D21よりも大きく形成されていて、側面がテーパー状、具体的には逆円錐台形状に形成されている。このため、導電性部材10によれば、図6に示すように電気検査の際に電子部品100の電極101と導電性部材10のコンタクト部4との面方向(X軸方向またはY軸方向の少なくともいずれか一方)において中心位置の相違がある場合であっても、検査時の荷重がコンタクト部4の側面に沿って硬質な導電性材料により形成されている電極部3に効率よく伝わる。つまり、導電性部材10によれば、電気検査の際に電子部品100の電極101と検査装置200の導電部201との良好な接触状態を得ることができる。
従って、導電性部材10によれば、電子部品100の電気検査において、電子部品100の小型化に対応することができる。
なお、本発明において、以上説明した検査対象である電子部品100における電極101の配置、電極101の間隔の数値などは限定されない。
[導電性部材の製造方法]
本発明の一実施の形態に係る導電性部材10の製造方法について説明する。
本実施の形態に係る導電性部材の製造方法は、以下の工程で行う。まず、本製造方法では、複数のスルーホール2が形成されるガラス基板1において、スルーホール2に電極部3を形成する電極部形成工程と、ガラス基板1の表面11に樹脂材料層6を形成する樹脂材料層形成工程とを行う。樹脂材料層形成工程の後、本製造方法では、ガラス基板1に形成された樹脂材料層6の電極部3の上方に相当する部分にビアホールを形成するビアホール形成工程と、ビアホールに導電性弾性材料を充填する充填工程と、導電性弾性材料を半硬化させる半硬化工程とを行う。半硬化工程の後、本製造方法では、樹脂材料層6を剥離する剥離工程と、ガラス基板1の表面11に絶縁性弾性材料を用いて絶縁部5を形成する絶縁部形成工程と、導電性弾性材料と共に絶縁部5を硬化させる硬化工程とを行い、ビアホールは、下端がスルーホール2の上方に設けられていて上端における幅がスルーホール2の幅よりも大きく形成されている。
本発明の一実施の形態に係る導電性部材10の製造方法について説明する。
本実施の形態に係る導電性部材の製造方法は、以下の工程で行う。まず、本製造方法では、複数のスルーホール2が形成されるガラス基板1において、スルーホール2に電極部3を形成する電極部形成工程と、ガラス基板1の表面11に樹脂材料層6を形成する樹脂材料層形成工程とを行う。樹脂材料層形成工程の後、本製造方法では、ガラス基板1に形成された樹脂材料層6の電極部3の上方に相当する部分にビアホールを形成するビアホール形成工程と、ビアホールに導電性弾性材料を充填する充填工程と、導電性弾性材料を半硬化させる半硬化工程とを行う。半硬化工程の後、本製造方法では、樹脂材料層6を剥離する剥離工程と、ガラス基板1の表面11に絶縁性弾性材料を用いて絶縁部5を形成する絶縁部形成工程と、導電性弾性材料と共に絶縁部5を硬化させる硬化工程とを行い、ビアホールは、下端がスルーホール2の上方に設けられていて上端における幅がスルーホール2の幅よりも大きく形成されている。
本製造方法では、導電性部材10を製造するにあたり、スルーホール2が形成されているガラス基板1を準備する。ガラス基板1は、例えば厚みt1の無アルカリガラスを用いることができる。スルーホール2は、ガラス基板1にCO2レーザー、フッ化水素レーザーなどを用いて設けることができる。なお、ガラス基板1へのスルーホール2の具体的な形成手法は、上述の例には限定されない。
ガラス基板1は、スルーホール2が、表面11と裏面12との間を貫通する所定の穴径を有する貫通孔である。スルーホール2は、導電性部材10を用いて電気検査を行う対象である、図3及び図4に示した電子部品100の電極101の配置に対応して、例えば千鳥状に配置されている。
なお、本発明において、ガラス基板1におけるスルーホール2の配置、スルーホール2相互の間隔は、以上説明した例に限定されない。つまり、スルーホール2の配置等は、電子部品100の電気検査に支障がなければ、電子部品100の電極101と同一でなくともよい。
電極部形成工程において、導電性部材10には、ガラス基板1のスルーホール2に導電性材料を充填する処理、例えばメッキ処理を行うことで、電極部3を形成する。電極部3は、例えば第1メッキ部、第2メッキ部、及び第3メッキ部の3つのメッキ層により形成されている。
第1メッキ部は、スルーホール2の内部を充填するように形成されている。第1メッキ部は、例えば、銅メッキにより形成されている。第2メッキ部は、電極部3がスルーホール2からガラス基板1の表面11側及び裏面12側において露出している部分の上に形成されている。第2メッキ部は、例えば、無電解のニッケルメッキで形成されている。第2メッキ部の厚みは、例えば2μmである。
第3メッキ部は、第2メッキ部の表面に形成されている。第3メッキ部は、例えば無電解の金メッキで形成されている。第3メッキ部の厚みは、例えば50nmである。
樹脂材料層形成工程では、スルーホール2に電極部3が形成されたガラス基板1の表面11に、不図示の樹脂材料層を一様に形成する。樹脂材料層は、感光性を有する樹脂フィルムであり、例えば、感光性ポリイミドフィルムである。樹脂材料層6の厚みは、例えば25μmである。樹脂材料層6は、上述の感光性ポリイミドフィルムをガラス基板1の表面11に加圧及び加温してラミネート加工することで形成されている。
ビアホール形成工程では、ガラス基板1の表面11の上に形成された樹脂材料層の電極部3の上方に相当する部分に、樹脂材料層の表面と電極部3との間を貫通するビアホールを形成する。ビアホールは、例えば感光性ポリイミドフィルムで形成された樹脂材料層6にフォトリソグラフィ処理を行うことで形成されている。
なお、ビアホール形成工程は、上述のフォトリソグラフィ処理に限定されず、様々な方法を用いることができる。
充填工程では、コンタクト部4を形成するために、ビアホールに導電性弾性材料を充填する。導電性弾性材料は、例えば、バインダとなるシリコーンゴムに導電性を有する粒子(以下「導電性粒子」という)を含むことにより形成されている。導電性粒子は、例えば平均粒径が2.5μmのニッケル粒子に、重量比30%の金メッキが膜厚50nmで施されているものを用いる。導電性弾性材料は、上記シリコーンゴムを100重量部に対して、900重量部の上記導電性粒子が配合され、ペースト状に混合されている。導電性弾性材料は、ゴム製のブレードを用いてスキージされることによりビアホールの内部に充填される。
ビアホールに充填された導電性弾性材料は、例えば100℃で30分の一次加硫を行うことで、半硬化される。
剥離工程では、エッチング処理により、ガラス基板1の表面11から樹脂材料層を剥離する。具体的なエッチング処理は、例えば、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)の濃度が2.38%の溶液に、樹脂材料層が貼り付けられたガラス基板1を30分間浸漬して行う。エッチング処理を行うことで、ガラス基板1の表面11から、樹脂材料層が剥離される。樹脂材料層が剥離されることで、ガラス基板1における表面11の電極部3の上方の位置には、半硬化された導電性弾性材料のみが残留する。この半硬化された導電性弾性材料は、導電性部材10が完成した後においてコンタクト部4として機能する。
絶縁部形成工程では、導電ゴムピラーが形成されたガラス基板1の表面11において導電ゴムピラーの周りに、絶縁部5を形成するために、導電性粒子などの導電性の材料を含まないバインダシリコーンゴムなどの絶縁性弾性材料を滴下する。
硬化工程では、例えば、平面板を用いて、ガラス基板1の表面11に形成されている導電ゴムピラー及び絶縁性弾性材料に対して上方から荷重を加えた状態で、所定の温度(例えば、150℃)で所定時間(例えば、2時間)加熱する。これらの工程を行うことで、ガラス基板1の表面11には、絶縁性弾性材料が硬化して絶縁部5が形成されると共に、すでに半硬化させていた導電ゴムピラーも本硬化してコンタクト部4が形成される。
硬化工程により、導電ゴムピラー及び絶縁性弾性材料が硬化して、ガラス基板1の表面11に電極部3と導通するコンタクト部4と、コンタクト部4を互いに絶縁する絶縁部5が形成されることで、図1に示す導電性部材10が完成する。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記本発明の実施の形態に係る導電性部材の製造方法、及び導電性部材10に限定されるものではなく、本発明の概念及び特許請求の範囲に含まれるあらゆる態様を含む。また、上述した課題及び効果の少なくとも一部を奏するように、各構成を適宜選択的に組み合わせてもよい。例えば、上記実施の形態における、各構成の形状、材料、配置、サイズ等は、本発明の具体的使用態様によって適宜変更され得る。
1…ガラス基板、2…スルーホール、3…電極部、4…コンタクト部、5…絶縁部、6…樹脂材料層、10…導電性部材、11…表面、12…裏面、31…上端、32…下端、41…上端、42…下端、51…表面、100…電子部品、101…電極、200…検査装置、201…導電部、1000…導電性部材、1030…電極部、1031…上端、1040…コンタクト部、1041…上端
Claims (6)
- 電子部品が備える電極と検査装置が備える導電部との間に介在される導電性部材であり、
スルーホールが形成されているガラス基板と、
前記スルーホールに形成されている電極部と、
導電性弾性材料により構成されていて、下端が前記電極部の上端に接続し上端における幅が前記電極部の幅よりも大きく形成されているコンタクト部と、
絶縁性弾性材料により構成されていて、前記ガラス基板の表面において前記コンタクト部の周囲を囲むように形成されている絶縁部と、
を備える導電性部材。 - 前記コンタクト部は、表面における幅が前記電子部品の前記電極の幅よりも大きい、
請求項1に記載の導電性部材。 - 前記コンタクト部は、表面から裏面に向かうテーパー形状に形成されている、
請求項1または2に記載の導電性部材。 - 前記コンタクト部は、表面から裏面に向かい縮径する逆円錐台形状に形成されている、
請求項1乃至3のいずれか1項に記載の導電性部材。 - 前記電極部は、前記検査装置の前記導電部の配置間隔に対応した間隔で複数形成されていて、
前記コンタクト部は、前記電子部品の前記電極の配置間隔に対応した間隔で複数形成されている、
請求項1乃至4のいずれか1項に記載の導電性部材。 - 前記電極部及び前記コンタクト部は、前記電子部品の前記電極の面方向における配置数を上回る配置数で配置されている、
請求項1乃至5のいずれか1項に記載の導電性部材。
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- 2019-06-18 JP JP2019112430A patent/JP2020204535A/ja active Pending
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