JP2020202392A - コイル部品 - Google Patents

Abstract

【課題】積層方向からみて引出導体と重なるコイル導体層の細りや切れを低減できるコイル部品を提供する。【解決手段】コイル部品１は、平面上に巻回された第１コイル導体層２１と、第１コイル導体層２１の外周端から第１コイル導体層２１と同一平面上に引き出された引出導体３０と、第１コイル導体層２１および引出導体３０に積層された絶縁層１１と、絶縁層１１に積層され、平面上に巻回された第２コイル導体層とを備える。第１コイル導体層２１と第２コイル導体層は、積層方向からみて、同心状に重なり、引出導体３０の第１コイル導体層２１と接続する接続部分３１に、積層方向からみて第２コイル導体層に重なるように延在するコイル延在部３２が設けられる。絶縁層１１の上面において、第１コイル導体層２１およびコイル延在部３２の上方が、凸面となり、第２コイル導体層の一部は、絶縁層１１の凸面に積層されている。【選択図】図２Ｃ

Description

本発明は、コイル部品に関する。

従来、コイル部品としては、特開２０１５−１３３５２３号公報（特許文献１）に記載されたものがある。このコイル部品は、スパイラル状の第１コイル導体層と、第１コイル導体層上に積層された絶縁層と、絶縁層上に積層されたスパイラル状の第２コイル導体層とを有する。第１コイル導体層の外周端から径方向外側に引出導体が引き出され、引出導体が電極に接続されている。第１コイル導体層と第２コイル導体層は、積層方向からみて、重なる。引出導体は、積層方向からみて、第２コイル導体層に交差している。第２コイル導体層は、積層方向からみて、引出導体の第１コイル導体層と接続する接続部分と重なる。

特開２０１５−１３３５２３号公報

近年、コイル部品の小型低背化が望まれており、前記従来のようなコイル部品の小型低背化において新しい問題が発生することを発見した。

具体的に述べると、小型低背化により、コイル導体層内の配線間隔や第１と第２コイル導体層同士の距離が小さくなるため、第２コイル導体層をフォトリソグラフィにより製造するとき、第２コイル導体層の下層からの反射光（露光）が無視できなくなる。また、小型低背化でコイル導体層の線幅や膜厚自体も小さくなり、露光不良による細りが特性に大きな影響を与えたり、断線が発生したりする場合がある。

そこで、本発明の課題は、積層方向からみて引出導体と重なるコイル導体層の細りや切れを低減できるコイル部品を提供することにある。

前記課題を解決するため、本発明の一態様であるコイル部品は、
平面上に巻回された第１コイル導体層と、
前記第１コイル導体層の外周端から前記第１コイル導体層と同一平面上に引き出された引出導体と、
前記第１コイル導体層および前記引出導体に積層された絶縁層と、
前記絶縁層に積層され、平面上に巻回された第２コイル導体層と
を備え、
前記第１コイル導体層と前記第２コイル導体層は、積層方向からみて、同心状に重なり、
前記引出導体の前記第１コイル導体層と接続する接続部分に、前記積層方向からみて前記第２コイル導体層に重なるように延在するコイル延在部が設けられる。

前記コイル部品によれば、引出導体の第１コイル導体層と接続する接続部分にコイル延在部が設けられているので、コイル延在部は、積層方向からみて、第２コイル導体層において引出導体の接続部分と重なる部分の隣接部分に、重なる。したがって、第２コイル導体層をフォトリソグラフィにより製造する場合、第２コイル導体層において引出導体の接続部分と重なる部分の隣接部分に、細りや切れが発生することを低減できる。

また、コイル部品の一実施形態では、
前記第１コイル導体層の外側に前記第１コイル導体層と同一平面上に巻回され、前記第１コイル導体層と電気的に接続されない第１ダミー導体層と、
前記第２コイル導体層の外側に前記第２コイル導体層と同一平面上に巻回され、前記第２コイル導体層と電気的に接続されない第２ダミー導体層と
を有し、
前記第１ダミー導体層と前記第２ダミー導体層は、前記積層方向からみて、同心状に重なり、
前記積層方向からみて、前記引出導体の前記第２ダミー導体層に交差する交差部分に、前記第２ダミー導体層に重なるように延在するダミー延在部が設けられる。

前記実施形態によれば、第２ダミー導体層をフォトリソグラフィにより製造する場合、第２ダミー導体層において引出導体の交差部分と重なる部分の隣接部分に、細りや切れが発生することを低減できる。

また、コイル部品の一実施形態では、
平面上に巻回された第１コイル導体層と、
前記第１コイル導体層の外周端から前記第１コイル導体層と同一平面上に引き出された引出導体と、
前記第１コイル導体層および前記引出導体に積層された絶縁層と、
前記絶縁層に積層され、平面上に巻回された第２コイル導体層と、
前記第１コイル導体層の外側に前記第１コイル導体層と同一平面上に巻回され、前記第１コイル導体層と電気的に接続されない第１ダミー導体層と、
前記第２コイル導体層の外側に前記第２コイル導体層と同一平面上に巻回され、前記第２コイル導体層と電気的に接続されない第２ダミー導体層と
を備え、
前記第１コイル導体層と前記第２コイル導体層は、積層方向からみて、同心状に重なり、
前記第１ダミー導体層と前記第２ダミー導体層は、前記積層方向からみて、同心状に重なり、
前記積層方向からみて、前記引出導体の前記第２ダミー導体層に交差する交差部分に、前記第２ダミー導体層に重なるように延在するダミー延在部が設けられる。

前記実施形態によれば、第２ダミー導体層をフォトリソグラフィにより製造する場合、第２ダミー導体層において引出導体の交差部分と重なる部分の隣接部分に、細りや切れが発生することを低減できる。

また、コイル部品の一実施形態では、
前記引出導体に接続される電極を有し、
前記引出導体は、前記第１コイル導体層の外周端から前記電極まで延在する引出部を有し、前記引出部は、前記積層方向からみて、前記第１コイル導体層の外周端に直交する。

前記実施形態によれば、引出導体は、積層方向からみて、第１コイル導体層の外周端に直交するので、第２コイル導体層をフォトリソグラフィにより製造する場合、第２コイル導体層において引出導体の接続部分と重なる部分の隣接部分に、細りや切れが発生することを一層低減できる。

また、コイル部品の一実施形態では、前記第１コイル導体層の厚みは、５μｍ以上１５μｍ以下である。

前記実施形態によれば、第１コイル導体層の厚みは、５μｍ以上１５μｍ以下であり、第１コイル導体層の厚みは厚くなるが、コイル延在部を設けているため、第２コイル導体層に細りや切れが発生することを低減できる。

また、コイル部品の一実施形態では、前記第２コイル導体層のアスペクト比は、１以上２．５以下である。

前記実施形態によれば、第２コイル導体層のアスペクト比は、１以上２．５以下であるので、第２コイル導体層はフォトリソグラフィにより製造されるが、コイル延在部を設けているため、第２コイル導体層に細りや切れが発生することを低減できる。

また、本発明の一態様であるコイル部品の製造方法は、
平面上に巻回された第１コイル導体層と、前記第１コイル導体層の外周端から外側に前記第１コイル導体層と同一平面上に引き出される引出導体とを設け、前記引出導体の前記第１コイル導体層と接続する接続部分に、前記第１コイル導体層の巻回形状に沿って延在するコイル延在部を設ける工程と、
前記第１コイル導体層および前記引出導体に絶縁層を積層する工程と、
前記絶縁層にフォトレジストを設ける工程と、
積層方向からみて前記第１コイル導体層および前記コイル延在部に重なる位置を遮光した上で前記フォトレジストを露光する工程と、
前記マスクにより露光されていない部分を除去する工程と、
前記フォトレジストの除去された部分に、第２コイル導体層を設ける工程と
を備える。

前記コイル部品の製造方法によれば、第２コイル導体層は、積層方向からみて、第１コイル導体層およびコイル延在部に重なる。つまり、コイル延在部は、積層方向からみて、第２コイル導体層において引出導体の接続部分と重なる部分の隣接部分に、重なる。したがって、第２コイル導体層をフォトリソグラフィにより製造する場合、第２コイル導体層において引出導体の接続部分と重なる部分の隣接部分に、細りや切れが発生することを低減できる。

本発明のコイル部品によれば、積層方向からみて引出導体と重なるコイル導体層の細りや切れが発生することを低減できる。

本発明のコイル部品の第１実施形態を示す断面図である。 コイル部品の一部の分解平面図である。 コイル部品の一部の分解平面図である。 コイル部品の一部の分解平面図である。 第１引出導体の積層方向からみた拡大図である。 コイル部品の製造方法について説明する説明図である。 コイル部品の製造方法について説明する説明図である。 コイル部品の製造方法について説明する説明図である。 コイル部品の製造方法について説明する説明図である。 コイル部品の製造方法について説明する説明図である。 コイル部品の製造方法について説明する説明図である。 コイル部品の比較例の製造方法について説明する説明図である。 コイル部品の比較例の製造方法について説明する説明図である。 コイル部品の比較例の製造方法について説明する説明図である。 コイル部品の比較例の製造方法について説明する説明図である。 本発明のコイル部品の第２実施形態を示す積層方向からみた拡大図である。 本発明のコイル部品の第３実施形態を示す分解平面図である。 本発明のコイル部品の第３実施形態を示す分解平面図である。 コイル部品の比較例について説明する説明図である。

以下、本発明の一態様であるコイル部品を図示の実施の形態により詳細に説明する。

（第１実施形態）
図１は、コイル部品の第１実施形態を示す断面図である。図２Ａと図２Ｂと図２Ｃは、コイル部品の一部の分解平面図である。図１と図２Ａ〜図２Ｃに示すように、コイル部品１は、素体１０と、素体１０の内部に設けられた第１コイル導体層２１および第２コイル導体層２２と、第１、第２コイル導体層２１，２２に電気的に接続された接続電極４１〜４４および外部電極５１〜５４（外部電極５１，５３は図示しない）とを有する。

コイル部品１は、電極４１〜４４，５２，５４を介して、図示しない回路基板の配線に電気的に接続される。コイル部品１は、例えば、コモンモードチョークコイルとして用いられ、パソコン、ＤＶＤプレーヤー、デジカメ、ＴＶ、携帯電話、カーエレクトロニクス、医療用・産業用機械などの電子機器に用いられる。

素体１０は、複数の絶縁層１１を含み、複数の絶縁層１１は、積層方向Ａに積層される。絶縁層１１は、例えば、樹脂、フェライト、ガラスなどを主成分とする絶縁性材料からなる。なお、素体１０は、焼成などによって、複数の絶縁層１１同士の界面が明確となっていない場合がある。素体１０は、略直方体状に形成されている。図１において、積層方向Ａを上下方向とする。図２Ａ〜図２Ｃは、上層から下層を順に示す。積層方向Ａは、プロセス上の順序を示しているだけであり、コイル部品１としての上下は逆（外部電極５１〜５４が上側にある構成）であってもよい。

素体１０の下面には、第１基板６１が配置され、素体１０の上面には、第２基板６２が設けられている。第２基板６１は、接着剤６５を介して、素体１０の上面に貼り付けられている。第１、第２基板６１．６２は、例えば、フェライト基板である。なお、第１、第２基板６１．６２に用いるフェライト材料は、磁性体であっても非磁性体であってもよい。また、第１、第２基板６１，６２はアルミナやガラスなどフェライト以外の材料であってもよい。

電極４１〜４４，５２，５４は、例えば、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｕやこれらを主成分とする合金などの導電性材料から構成される。電極は、第１から第４接続電極４１〜４４と第１から第４外部電極５２，５４とを含む。第１から第４接続電極４１〜４４は、それぞれ、素体１０の角部に積層方向Ａに沿って埋め込まれている。第１から第４外部電極５２，５４は、素体１０の下面から側面にかけて設けられている。第１接続電極４１は、第１外部電極に接続され、第２接続電極４２は、第２外部電極５２に接続され、第３接続電極４３は、第３外部電極に接続され、第４接続電極４４は、第４外部電極５４に接続される。

第１コイル導体層２１と第２コイル導体層２２は、例えば、電極４１〜４４，５２，５４と同様の導電性材料から構成される。第１、第２コイル導体層２１，２２は、それぞれ、平面上に巻回された、平面スパイラル形状である。第１、第２コイル導体層２１，２２の巻回数は、１周以上であるが、１周未満であってもよい。第１、第２コイル導体層２１，２２は、それぞれ、異なる絶縁層１１に設けられ、積層方向Ａに配列される。第１コイル導体層２１は、第２コイル導体層２２の下側に配置される。

第１コイル導体層２１と同一平面上（同一の絶縁層１１上）に、第１引出導体３０が設けられている。第１引出導体３０は、第１コイル導体層２１の外周端２１ａから外側に引き出され、第１接続電極４１に接続されている。外周端２１ａは、第１コイル導体層２１のスパイラル形状から外れる部分をいい、第１引出導体３０は、外周端２１ａ以降の部分をいう。第１引出導体３０と第１コイル導体層２１は、一体に形成されている。

第１コイル導体層２１の内周端は、素体１０内に積層方向Ａに沿って設けられた第１接続導体２５に接続される。第１接続導体２５は、第２コイル導体層２２の上側の絶縁層１１上に設けられた第３引出導体３６に接続され、第３引出導体３６は、第２接続電極４２に接続される。このように、第１コイル導体層２１は、第１接続電極４１と第２接続電極４２に接続される。

第２コイル導体層２２と同一平面上（同一の絶縁層１１上）に、第２引出導体３５が設けられている。第２引出導体３５は、第２コイル導体層２２の外周端２２ａから外側に引き出され、第３接続電極４３に接続されている。

第２コイル導体層２２の内周端は、素体１０内に積層方向Ａに沿って設けられた第２接続導体２６に接続される。第２接続導体２６は、第２コイル導体層２２の上側の絶縁層１１上に設けられた第４引出導体３７に接続され、第４引出導体３７は、第４接続電極４４に接続される。このように、第２コイル導体層２２は、第３接続電極４３と第４接続電極４４に接続される。

第２コイル導体層２２は、第１コイル導体層２１および第１引出導体３０に積層された絶縁層１１に、積層されている。第１コイル導体層２１と第２コイル導体層２２は、積層方向Ａからみて、同心状に重なる。なお、本明細書において、「重なる」とは、第１コイル導体層２１のスパイラル形状と第２コイル導体層２２のスパイラル形状が、実質的に重なることを意味し、形状自体の違いや、多少のずれにより一部重ならない部分があってもよい。

図３は、第１引出導体３０の付近を積層方向からみた拡大図である。図３では、第１引出導体３０、第１コイル導体層２１および第１接続電極４１をハッチングで示し、これらよりも上層にある第２コイル導体層２２を仮想線で示す。第２コイル導体層２２の線幅を第１コイル導体層２１の幅よりも広く描いているが、実際は同じ幅である。ここで、線幅とは、積層方向から見て、第１コイル導体層２１や第２コイル導体層２２の延伸する方向に直交する寸法をいう。なお、第１コイル導体層２１の線幅と第２コイル導体層２２の線幅は、異なっていてもよい。

図３に示すように、第１引出導体３０は、引出部３３とコイル延在部３２とを有する。引出部３３は、第１コイル導体層２１の外周端２１ａから第１接続電極４１まで延在している。引出部３３は、第１コイル導体層２１と接続する接続部分３１を含む。コイル延在部３２は、接続部分３１に接続される。図中、接続部分３１とは、外周端２１ａから二股に分岐している箇所までの間の部分である。コイル延在部３２は、接続部分３１から延在している。

コイル延在部３２は、積層方向Ａからみて第２コイル導体層２２に重なるように一方向に延在する。コイル延在部３２の長さは、引出部３３の長さよりも、短い。ここで、長さとは、配線長さ、つまり、コイル延在部３２や引出部３３の延伸する方向の長さをいう。なお、コイル延在部３２の長さと引出部３３の長さは、異なっていてもよい。

次に、前記コイル部品１の製造方法について説明する。図３のＸ−Ｘ断面における製造方法を説明する。図３のＸ−Ｘ断面とは、第１引出導体３０の接続部分３１以降の部分とコイル延在部３２と第１コイル導体層２１との延伸する方向に直交する方向の断面である。

図４Ａに示すように、第１絶縁層１１ａ上に、第１コイル導体層２１と第１引出導体３０とを設ける。第１引出導体３０は、引出部３３とコイル延在部３２を含む。そして、第１コイル導体層２１と第１引出導体３０に第２絶縁層１１ｂを積層する。このとき、第２絶縁層１１ｂの上面には、第１コイル導体層２１、コイル延在部３２および引出部３３と第１絶縁層１１ａとの段差により、凹凸が発生する。第２絶縁層１１ｂの上面において、第１コイル導体層２１第１コイル導体層２１、コイル延在部３２および引出部３３の上方が、凸面となる。

その後、図４Ｂに示すように、第２絶縁層１１ｂの上面に給電膜７１を設け、給電膜７１上にフォトレジスト７２を設ける。

その後、図４Ｃに示すように、積層方向からみて第１コイル導体層２１およびコイル延在部３２に重なる位置を遮光するように、マスク７３を配置する。つまり、マスク７３は、第２絶縁層１１ｂの上面の凸面に重なる。フォトレジスト７２は、ネガ型レジストである。なお、マスク７３は、図示しない露光機に配置される。露光機へのマスクの配置はインダクタ部品１の製造中であってもよいし、製造前に予め配置してもよい。

そして、フォトレジスト７２を露光する。露光に用いる光は、点線の矢印で示すように、フォトレジスト７２内を進む。このとき、光は、第２絶縁層１１ｂの凸面と凹面の間の斜面において反射するが、光は、マスク７３の下の領域とは反対方向に反射する。このように、光は、マスク７３の下の領域に進入しない。

その後、図４Ｄに示すように、マスク７３により露光されていない部分を現像により除去し、フォトレジスト７２に開口部７２ａを形成する。ここで、第２絶縁層１１ｂの斜面において反射した光は、マスク７３の下の領域に進入しないため、開口部７２ａの幅は、マスク７３の幅と同じである。

その後、図４Ｅに示すように、フォトレジスト７２の除去された部分（開口部７２ａ）に第２コイル導体層２２を設ける。第２コイル導体層２２は、給電膜７１に通電することで、めっきにより形成される。その後、図４Ｆに示すように、フォトレジスト７２および給電膜７１を除去して、第２コイル導体層２２に第３絶縁層１１ｃを積層する。

その後、図１に示すように、第１基板６１上に上述のように形成した素体１０を形成し、素体１０上に第２基板６２を形成する。引出導体３６，３７や接続電極４１〜４４などの形成については省略するが、公知の方法を用いればよい。その後、外部電極５１〜５４を設けて、コイル部品１を製造する。

ここで、図５Ａから図５Ｄを用いて、従来のような第１引出導体３００を有するコイル部品の比較例の製造方法について説明する。第１引出導体３００は、本発明のコイル延在部３２を含まない。なお、図４Ａから図４Ｆと同一の符号は、同一の構成を有するため、その説明を省略する。

図５Ａに示すように、第２絶縁層１１ｂの上面において、第１コイル導体層２１および第１引出導体３００の引出部３３の上方が、凸面となる。第１コイル導体層２１と引出部３３の間には、コイル延在部３２がないため、第２絶縁層１１ｂの上面において、第１コイル導体層２１と引出部３３の間の上方は、凹面となる。マスク７３は、第１コイル導体層２１の上方の凸面と、第１コイル導体層２１と引出部３３の間の上方の凹面とに、重なるように配置される。そして、フォトレジスト７２を露光すると、光は、第２絶縁層１１ｂの凸面と凹面の間の斜面において反射して、凹面の上方に重なるマスク７３の下の領域に進入する。

その後、図５Ｂに示すように、マスク７３により露光されていない部分を現像により除去し、フォトレジスト７２に開口部７２ａを形成する。ここで、第２絶縁層１１ｂの斜面において反射した光は、凹面の上方のマスク７３の下の領域に進入しているため、開口部７２ａの幅は、マスク７３の幅よりも狭くなる。

その後、図５Ｃに示すように、フォトレジスト７２の除去された部分（開口部７２ａ）に第２コイル導体層２２を設け、図５Ｄに示すように、フォトレジスト７２および給電膜７１を除去して、第２コイル導体層２２に第３絶縁層１１ｃを積層する。

したがって、第１コイル導体層２１と引出部３３の間の上方に位置する第２コイル導体層２２の幅が小さくなり、この第２コイル導体層２２の細りが発生する。つまり、図３を参考に、第２コイル導体層２２において第１引出導体３００の接続部分３１と重なる部分の隣接部分に、細りや切れが発生する。なお、フォトレジスト７２に開口部７２ａが一層狭くなると、第２コイル導体層２２の切れが発生する。

前記実施形態のコイル部品１およびその製造方法によれば、図３に示すように、コイル延在部３２は、積層方向Ａからみて、第２コイル導体層２２において積層方向Ａからみて第１引出導体３０の接続部分３１と重なる部分の隣接部分に、重なる。これにより、第２コイル導体層２２をフォトリソグラフィにより製造する場合、図４Ｄに示すように、コイル延在部３２の上方に位置する開口部７２ａの幅が狭くならず、図４Ｅに示すように、コイル延在部３２の上方に位置する第２コイル導体層２２の幅が小さくならない。

したがって、第２コイル導体層２２において接続部分３１と重なる部分の隣接部分、つまり、第２コイル導体層２２においてコイル延在部３２と重なる部分に、細りや切れが発生することを低減できる。

前記コイル部品１によれば、第１コイル導体層２１の積層方向の厚みは、好ましくは、５μｍ以上１５μｍ以下である。ここで、第１コイル導体層２１の厚みを５μｍ以上とすることで、比較例のような第２絶縁層１１ｂの上面の凹凸（段差）による課題が発生しやすくなる。すなわち、コイル延在部３２による第２コイル導体層２２の細りや切れの発生の低減効果がより顕著となる。一方、第１コイル導体層２１の厚みを１５μｍ以下とすることで、製造上の限界を超えない。また、第２コイル導体層２２の厚みは、好ましくは、５μｍ以上１５μｍ以下である。なお、「厚み」とは、コイル導体層の層厚であり、積層方向Ａに沿った方向の厚さを指す。

前記コイル部品１によれば、第２コイル導体層２２のアスペクト比は、好ましくは、１以上２．５以下である。アスペクト比とは、（第２コイル導体層２２の厚み）／（第２コイル導体層２２の線幅）である。コイル部品１では、露光による第２コイル導体層２２の細りや切れの発生が低減されるため、フォトリソグラフィにより、このようなアスペクト比の高い第２コイル導体層２２を形成できる。第１コイル導体層２１のアスペクト比は、好ましくは、１以上２．５以下である。

（第２実施形態）
図６は、本発明のコイル部品の第２実施形態を示す積層方向からみた拡大図である。第２実施形態は、第１実施形態とは、第１引出導体の形状が相違する。この相違する構成を以下に説明する。その他の構成は、第１実施形態と同じ構成であり、第１実施形態と同一の符号を付してその説明を省略する。

図６に示すように、第２実施形態のコイル部品では、第１引出導体３０Ａの引出部３３は、積層方向からみて、第１コイル導体層２１の外周端２１ａに直交する。これにより、第２コイル導体層２２をフォトリソグラフィにより製造する場合、露光に用いる光が、引出部３３の上方の第２絶縁層の斜面に反射しても、第２コイル導体層２２を形成するためのマスクの下の領域に進入しない。これにより、第２コイル導体層２２を形成するためのフォトレジストの開口部の幅を正常な幅にできる。したがって、第２コイル導体層２２において第１引出導体３０Ａの接続部分３１と重なる部分の隣接部分に、細りや切れが発生することを一層低減できる。

（第３実施形態）
図７Ａと図７Ｂは、本発明のコイル部品の第３実施形態を示す分解平面図である。第３実施形態は、第１実施形態とは、第１引出導体、第１ダミー導体層および第２ダミー導体層の構成が相違する。この相違する構成を以下に説明する。その他の構成は、第１実施形態と同じ構成であり、第１実施形態と同一の符号を付してその説明を省略する。

図７Ａと図７Ｂに示すように、第３実施形態のコイル部品１Ｂは、第１ダミー導体層９１および第２ダミー導体層９２を含む。図７Ａと図７Ｂは、上層から下層を順に示す。第１、第２ダミー導体層９１，９２を設けることで、絶縁層１１の体積が減り、素体１０の内部応力を緩和できる。

第１ダミー導体層９１は、第１コイル導体層２１の外側に第１コイル導体層２１と同一平面上に設けられている。第１ダミー導体層９１は、第１コイル導体層２１とともに第２絶縁層１１ｂに積層される。第１ダミー導体層９１は、第１コイル導体層２１と電気的に接続されない。つまり、第１ダミー導体層９１は、第１コイル導体層２１および第１引出導体３０Ｂとの間に隙間を有する。

第２ダミー導体層９２は、第２コイル導体層２２の外側に第２コイル導体層２２と同一平面上に設けられている。第２ダミー導体層９２は、第２コイル導体層２２とともに第３絶縁層１１ｃに積層される。第２ダミー導体層９２は、第２コイル導体層２２と電気的に接続されない。つまり、第２ダミー導体層９２は、第２コイル導体層２２および第２引出導体３５との間に隙間を有する。

第１、第２ダミー導体層９１，９２は、それぞれ、平面上に巻回された、平面スパイラル形状である。第１、第２ダミー導体層９１，９２の巻回数は、１周以上であるが、１周未満であってもよい。第１ダミー導体層９１と第２ダミー導体層９２は、積層方向からみて、同心状に重なる。

第１引出導体３０Ｂの引出部３３には、コイル延在部３２とダミー延在部３９が設けられている。引出部３３およびコイル延在部３２は、第１実施形態と同じ構成である。引出部３３は、積層方向からみて、第２ダミー導体層９２に交差する交差部分３８を含む。ダミー延在部３９は、交差部分３８に接続され、積層方向からみて第２ダミー導体層９２に重なるように延在する。ダミー延在部３９は、引出部３３を挟んで両方向に延在している。ダミー延在部３９の長さは、コイル延在部３２の長さよりも、短い。

前記コイル部品１Ｂによれば、第２ダミー導体層９２をフォトリソグラフィにより製造する場合、第２ダミー導体層９２において第１引出導体３０Ｂの交差部分３８と重なる部分の隣接部分、つまり、第２ダミー導体層９２において積層方向からみてダミー延在部３９と重なる部分に、細りや切れが発生することを低減できる。

要するに、第１実施形態での説明と同様に、第２ダミー導体層９２をフォトリソグラフィにより製造する場合、露光に用いる光が、引出部３３の上方の第２絶縁層の斜面に反射しても、ダミー延在部３９の上方の第２絶縁層の斜面に遮られて、ダミー延在部３９の上方の第２ダミー導体層９２を形成するためのマスクの下の領域に進入しない。これにより、第２ダミー導体層９２を形成するためのフォトレジストの開口部の幅を正常な幅にできる。したがって、第２ダミー導体層９２において第１引出導体３０Ｂの交差部分３８と重なる部分の隣接部分に、細りや切れが発生することを低減できる。

これに対して、図８を用いて、従来のような第１引出導体３００を有するコイル部品の比較例について説明する。第１引出導体３００は、本発明のコイル延在部３２およびダミー延在部３９を含まない。なお、図７Ａと図７Ｂと同一の符号は、同一の構成を有するため、その説明を省略する。図８のＢ部分に示すように、第１引出導体３００は、ダミー延在部３９を含まないので、第２ダミー導体層９２において第１引出導体３００と交差する部分の隣接部分に、細りが発生している。

ここで、ダミー導体層に細りや切れが発生する場合の問題点を説明する。ダミー導体層は、コイル部品１内の線膨張係数の高い部分（絶縁層１１）の領域を相対的に減らし、熱により発生する内部応力の緩和を目的に配置するが、ダミー導体層に部分的な細りや切れが発生すると応力のアンバランスを生み、信頼性の低下につながる可能性がある。

なお、本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で設計変更可能である。例えば、第１から第３実施形態のそれぞれの特徴点を様々に組み合わせてもよい。

前記実施形態では、第１コイル導体層と第２コイル導体層は、それぞれ、異なるインダクタを構成しているが、第１コイル導体層と第２コイル導体層を接続し、同一のインダクタを構成するようにしてもよい。このとき、外部電極の数は２個（２端子）となる。そして、コイル部品として、例えば、高周波回路のインピーダンス整合用コイル（マッチングコイル）として用いられる。

前記実施形態では、コイル部品の用途は、例えば、同調回路、フィルタ回路や整流平滑回路などにも用いてもよい。

前記実施形態では、２層のコイル導体層を設けているが、３層以上のコイル導体層を設けるようにしてもよい。このとき、積層方向に隣り合う２層のコイル道体層について、下層のコイル導体層の引出導体にコイル延在部を設けることにより、上層側のコイル導体層の細りや切れの発生を低減できる。なお、この際、ダミー導体層を設け、ダミー延在部を設ける構成としてもよい。

前記第３実施形態では、コイル延在部とダミー延在部を設けているが、コイル延在部を設けないでダミー延在部のみを設ける構成であってもよい。これにより、ダミー導体層の細りや切れの発生を低減できる。

１，１Ｂ コイル部品
１０ 素体
１１ 絶縁層
１１ａ 第１絶縁層
１１ｂ 第２絶縁層
１１ｃ 第３絶縁層
２１ 第１コイル導体層
２１ａ 外周端
２２ 第２コイル導体層
２２ａ 外周端
２５ 第１接続導体
２６ 第２接続導体
３０，３０Ａ，３０Ｂ 第１引出導体
３１ 接続部分
３２ コイル延在部
３３ 引出部
３８ 交差部分
３９ ダミー延在部
４１〜４４ 第１〜第４接続電極
７１ 給電膜
７２ フォトレジスト
７２ａ 開口部
７３ マスク
９１ 第１ダミー導体層
９２ 第２ダミー導体層

Claims (4)

1. 平面上に巻回された第１コイル導体層と、
   前記第１コイル導体層の外周端から前記第１コイル導体層と同一平面上に引き出された引出導体と、
   前記第１コイル導体層および前記引出導体に積層された絶縁層と、
   前記絶縁層に積層され、平面上に巻回された第２コイル導体層と
   を備え、
   前記第１コイル導体層と前記第２コイル導体層は、積層方向からみて、同心状に重なり、
   前記引出導体の前記第１コイル導体層と接続する接続部分に、前記積層方向からみて前記第２コイル導体層に重なるように延在するコイル延在部が設けられ、
   前記絶縁層の上面において、前記第１コイル導体層および前記コイル延在部の上方が、凸面となり、前記第２コイル導体層の一部は、前記絶縁層の前記凸面に積層されている、コイル部品。
2. 前記引出導体に接続される電極を有し、
   前記引出導体は、前記第１コイル導体層の外周端から前記電極まで延在する引出部を有し、前記引出部は、前記積層方向からみて、前記第１コイル導体層の外周端に直交する、請求項１に記載のコイル部品。
3. 前記第１コイル導体層の厚みは、５μｍ以上１５μｍ以下である、請求項１または２に記載のコイル部品。
4. 前記第２コイル導体層のアスペクト比は、１以上２．５以下である、請求項１から３の何れか一つに記載のコイル部品。

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