JP2020193842A - 測定装置、画像形成装置、および、測定方法 - Google Patents

測定装置、画像形成装置、および、測定方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2020193842A
JP2020193842A JP2019098372A JP2019098372A JP2020193842A JP 2020193842 A JP2020193842 A JP 2020193842A JP 2019098372 A JP2019098372 A JP 2019098372A JP 2019098372 A JP2019098372 A JP 2019098372A JP 2020193842 A JP2020193842 A JP 2020193842A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
measurement object
line sensor
surface shape
measurement
measuring device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2019098372A
Other languages
English (en)
Other versions
JP7283228B2 (ja
Inventor
太郎 尾上
Taro Onoe
太郎 尾上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Konica Minolta Inc
Original Assignee
Konica Minolta Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Konica Minolta Inc filed Critical Konica Minolta Inc
Priority to JP2019098372A priority Critical patent/JP7283228B2/ja
Priority to US15/931,101 priority patent/US10982953B2/en
Priority to CN202010429551.5A priority patent/CN111998781A/zh
Publication of JP2020193842A publication Critical patent/JP2020193842A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7283228B2 publication Critical patent/JP7283228B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G15/00Apparatus for electrographic processes using a charge pattern
    • G03G15/06Apparatus for electrographic processes using a charge pattern for developing
    • G03G15/08Apparatus for electrographic processes using a charge pattern for developing using a solid developer, e.g. powder developer
    • G03G15/0806Apparatus for electrographic processes using a charge pattern for developing using a solid developer, e.g. powder developer on a donor element, e.g. belt, roller
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/002Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
    • G01B11/005Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/14Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G15/00Apparatus for electrographic processes using a charge pattern
    • G03G15/02Apparatus for electrographic processes using a charge pattern for laying down a uniform charge, e.g. for sensitising; Corona discharge devices
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G15/00Apparatus for electrographic processes using a charge pattern
    • G03G15/06Apparatus for electrographic processes using a charge pattern for developing
    • G03G15/08Apparatus for electrographic processes using a charge pattern for developing using a solid developer, e.g. powder developer
    • G03G15/0806Apparatus for electrographic processes using a charge pattern for developing using a solid developer, e.g. powder developer on a donor element, e.g. belt, roller
    • G03G15/0813Apparatus for electrographic processes using a charge pattern for developing using a solid developer, e.g. powder developer on a donor element, e.g. belt, roller characterised by means in the developing zone having an interaction with the image carrying member, e.g. distance holders
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G15/00Apparatus for electrographic processes using a charge pattern
    • G03G15/50Machine control of apparatus for electrographic processes using a charge pattern, e.g. regulating differents parts of the machine, multimode copiers, microprocessor control
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G15/00Apparatus for electrographic processes using a charge pattern
    • G03G15/50Machine control of apparatus for electrographic processes using a charge pattern, e.g. regulating differents parts of the machine, multimode copiers, microprocessor control
    • G03G15/5008Driving control for rotary photosensitive medium, e.g. speed control, stop position control
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • G01B11/2518Projection by scanning of the object

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Dry Development In Electrophotography (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

【課題】2つの測定対象物の隙間を測定する。【解決手段】第1の測定対象物と第2の測定対象物との隙間を測定する測定装置40は、第1の測定対象物にレーザ光を照射する第1のラインセンサから取得した第1の測定データに基づいて第1の測定対象物の表面形状を算出し、第2の測定対象物にレーザ光を照射する第2のラインセンサから取得した第2の測定データに基づいて第2の測定対象物の表面形状を算出する表面形状算出部412と、第1のラインセンサの第1の座標系、および、第2のラインセンサの第2の座標系の少なくとも1つを変換し、座標系を統一化する変換部414と、統一化した座標系において、第1の測定対象物と第2の測定対象物との隙間を算出する隙間算出部415と、を備える。【選択図】図1

Description

本発明は、測定装置、画像形成装置、および、測定方法に関する。
特許文献1には、「照明手段を測定対象隙間の片側に配置し、拡散面を前記測定対象隙間を通して前記照明手段で、照明し、隙間のシルエット像を受光手段で撮像して、前記測定対象隙間の隙間間隔を測定する隙間間隔測定方法」が開示されている。
また、特許文献2には、「像担持体に対向して配置され前記像担持体にトナーを供給する現像ローラと、前記現像ローラに対向して配置され前記現像ローラにトナーを供給する磁気ローラと、前記現像ローラと前記磁気ローラとを隙間を設けて保持する枠体と、前記枠体に設けられ、前記現像ローラと前記磁気ローラの隙間を測定するための反射部とを備えた現像装置」が開示されている。
特開平5−340723号公報(請求項1) 特開2007−322566号公報(請求項1)
電子写真方式の画像形成装置では、帯電された感光体を露光することで静電潜像を形成し、感光体上の静電潜像に現像ローラによってトナーを供給して現像し、トナー像を形成する。画像形成装置の内部に配置される感光体と現像ローラとの隙間は、現像濃度に直結するパラメータである。このため、感光体と現像ローラとの隙間に対しては、高精度な測定と調整(±30μm)が求められ、当該隙間を精密に測定する装置が必要となる。
図13に示すように、従来の隙間測定方法では、照射装置100−1が一定の幅を持ったレーザ光L1を感光体50と現像ローラ60の間に照射し、受光装置100−2が感光体50と現像ローラ60の間を通過してきたレーザ光L2を受光して光の幅Dsを測定した。その結果、感光体50と現像ローラ60との隙間をDsとして測定することができた。
また、近年、1つの感光体に対して2本の現像ローラを組み付けた画像形成装置の開発が進んでいる。このような画像形成装置に対しても、感光体と現像ローラとの隙間を精密に測定する装置が必要となる。しかし、図14に示すように、感光体50、および、感光体50に組み付けられた2本の現像ローラ70,80に対して、従来の隙間測定方法によって感光体50と現像ローラ70との隙間Dsを測定しようとしても、照射装置100−1が照射したレーザ光L1を現像ローラ80が遮断してしまう。このため、受光装置100−2がレーザ光を受光できず、隙間Dsを測定することができないという問題がある。感光体50や現像ローラ70,80は円筒表面形状を有しているが、このような問題は、任意の表面形状を呈する2つの測定対象物の隙間を測定する場合にあてはまる。
上記事情に鑑みて、本発明では、2つの測定対象物の隙間を測定することを目的とする。
本発明の上記の目的は、下記の手段によって達成される。
(1):第1の測定対象物と第2の測定対象物との隙間を測定する測定装置であって、前記第1の測定対象物にレーザ光を照射する第1のラインセンサから取得した第1の測定データに基づいて前記第1の測定対象物の表面形状を算出し、前記第2の測定対象物にレーザ光を照射する第2のラインセンサから取得した第2の測定データに基づいて前記第2の測定対象物の表面形状を算出する表面形状算出部と、前記第1のラインセンサの第1の座標系、および、前記第2のラインセンサの第2の座標系の少なくとも1つを変換し、座標系を統一化する変換部と、前記統一化した座標系において、前記第1の測定対象物と前記第2の測定対象物との隙間を算出する隙間算出部と、を備える、ことを特徴とする測定装置。
(2):前記第1の測定データは、前記第1のラインセンサから帯状の前記レーザ光が照射された、前記第1の測定対象物の表面部分の形状を示す2次元座標のデータであり、前記第2の測定データは、前記第2のラインセンサから帯状の前記レーザ光が照射された、前記第2の測定対象物の表面部分の形状を示す2次元座標のデータである、ことを特徴とする(1)に記載の測定装置。
(3):前記第1のラインセンサおよび前記第2のラインセンサを移動可能に保持する組み立て用治具を用いて、前記表面形状算出部は、前記第1の測定対象物の表面形状を複数回算出し、前記第2の測定対象物の表面形状を複数回算出する、ことを特徴とする(1)または(2)に記載の測定装置。
(4):前記第1の測定対象物が円筒表面形状を有し、前記第2の測定対象物が円筒表面形状を有する、ことを特徴とする(1)から(3)のいずれか一項に記載の測定装置。
(5):前記第1の測定対象物が有する円筒表面形状に対して非線形最小二乗法によるフィッティングによって第1の円断面を計算し、前記第2の測定対象物が有する円筒表面形状に対して前記非線形最小二乗法によるフィッティングによって第2の円断面を計算するフィッティング部、をさらに備える、ことを特徴とする(4)に記載の測定装置。
(6):前記変換部は、事前に測定した、前記第1のラインセンサの第1の座標系と前記第2のラインセンサの第2の座標系との相対的位置関係を用いて、前記第1の円断面および前記第2の円断面を、前記統一化した座標系に配置する、ことを特徴とする(5)に記載の測定装置。
(7):前記隙間算出部は、前記第1の円断面の中心と前記第2の円断面との中心間距離から、前記第1の円断面の第1の半径、および、前記第2の円断面の第2の半径を引いて、前記第1の測定対象物と前記第2の測定対象物との隙間を算出する、ことを特徴とする請求項6に記載の測定装置。
(8):前記第1の半径、および、前記第2の半径は、既知であり、前記フィッティング部は、前記第1の半径、および、前記第2の半径を用いて、前記非線形最小二乗法によるフィッティングをする、ことを特徴とする(7)に記載の測定装置。
(9):前記第1の測定対象物が画像形成装置に用いる第1の現像ローラであり、前記第2の測定対象物が前記画像形成装置に用いる感光体である、ことを特徴とする(1)から(8)のいずれか一項に記載の測定装置。
(10):第3の測定対象物として、前記画像形成装置に用いる第2の現像ローラがあり、前記第1の測定対象物としての前記第1の現像ローラにレーザ光を照射する前記第1のラインセンサ、および、前記第2の測定対象物としての前記感光体にレーザ光を照射する前記第2のラインセンサに加え、前記第2の測定対象物としての前記感光体にレーザ光を照射する第3のラインセンサと、前記第3の測定対象物としての前記第2の現像ローラにレーザ光を照射する第4のラインセンサを用いて、前記感光体と前記第1の現像ローラとの隙間、および、前記感光体と前記第2の現像ローラとの隙間を測定する、ことを特徴とする(9)に記載の測定装置。
(11):(10)に記載の測定装置によって、前記感光体と前記第1の現像ローラとの隙間、および、前記感光体と前記第2の現像ローラの隙間が測定されて調整された画像形成装置。
(12):第1の測定対象物と第2の測定対象物との隙間を測定する測定装置が実行する測定方法であって、前記測定装置は、前記第1の測定対象物にレーザ光を照射する第1のラインセンサから取得した第1の測定データに基づいて前記第1の測定対象物の表面形状を算出し、前記第2の測定対象物にレーザ光を照射する第2のラインセンサから取得した第2の測定データに基づいて前記第2の測定対象物の表面形状を算出するステップと、前記第1のラインセンサの第1の座標系、および、前記第2のラインセンサの第2の座標系の少なくとも1つを変換し、座標系を統一化するステップと、前記統一化した座標系において、前記第1の測定対象物と前記第2の測定対象物との隙間を算出するステップと、を実行する、ことを特徴とする測定方法。
本発明によれば、2つの測定対象物の隙間を測定することができる。
第1の実施形態における測定装置の機能構成図である。 ラインセンサの説明図である。 感光体と現像ローラとの隙間を測定するための測定系の図である。 2つのラインセンサに対する2つの座標系の関係を示す図である。 測定データから測定した、感光体の表面形状、および、現像ローラの表面形状を示す図である。 非線形最小二乗法による円形状フィッティングの結果を示す図である。 座標系の統一化において、現像ローラの表面形状を回転させたときの結果を示す図である。 座標系の統一化において、現像ローラの表面形状を平行移動させたときの結果を示す図である。 感光体と現像ローラとの隙間の計算に関する説明図である。 座標系の統一化に用いる変換式を求める方法の説明図である。 感光体と現像ローラとの隙間を測定する処理のフローチャートである。 感光体と2つの現像ローラの各々との隙間を併せて測定するための測定系の図である。 従来の隙間測定方法の説明図である。 1つの感光体に対して2本の現像ローラを組み付けた場合に従来の隙間測定方法を用いた場合の説明図である。
以下、添付した図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。なお、図面の説明において、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、図面の寸法比率は、説明の都合上誇張され、実際の比率とは異なる場合がある。
[第1の実施形態]
[測定装置]
図1に示すように、本実施形態の測定装置40は、CPU(Central Processing Unit)41と、ROM(Read Only Memory)42と、RAM(Random Access Memory)43と、I/F(Interface)部44と、記憶部45と、操作部46と、表示部47と、通信部48とを備える。
CPU41は、測定装置40の各部の処理動作を統括的に制御する。具体的には、CPU41は、ROM42に記憶されている各種処理プログラムを読み出してRAM43に展開し、当該プログラムとの協働により各種処理を行う。
ROM42には、各種処理プログラム、当該プログラムの実行に必要なパラメータやファイル等を記憶している。
RAM43は、CPU41により実行制御される各種処理において、ROM42から読み出された各種プログラム、入力データ、出力データ、パラメータ等を一時的に記憶するワークエリアを形成する。
I/F部44は、ケーブル(図示せず)を介して接続されたラインセンサ10A,10Bとの間でデータ通信を行うインターフェースであり、ラインセンサ10A,10Bから測定データを取得する。
記憶部45は、HDD(Hard Disk Drive)や不揮発性の半導体メモリ等により構成され、各種データを記憶する。
操作部46は、カーソルキー、文字入力キー、各種機能キー等を備えたキーボードと、マウス等のポインティングデバイスを備えて構成され、キーボードに対するキー操作やマウス操作により入力された操作信号をCPU41に出力する。また、操作部46は、表示部47に積層されたタッチパネルにより構成され、操作者の指等によるタッチ操作の位置に応じた操作信号をCPU41に出力してもよい。
表示部47は、LCD(Liquid Crystal Display)等のモニターを備えて構成されており、CPU41から入力される表示信号の指示に従って、各種画面を表示する。
通信部48は、ネットワークインターフェース等により構成され、LAN(Local Area Network)、WAN(Wide Area Network)、インターネット等の通信ネットワークを介して接続された外部機器との間でデータの送受信を行う。
図1に示すように、CPU41は、取得部411と、表面形状算出部412と、フィッティング部413と、変換部414と、隙間算出部415といった機能部を備える。
取得部411は、ラインセンサ10A,10Bからの測定データを取得する。
表面形状算出部412は、取得部411が取得した測定データに基づいて、測定対象物の表面形状を算出する。測定対象物が円筒表面形状を有する場合、表面形状算出部412は、周方向の円弧の表面形状を算出することができる。
フィッティング部413は、表面形状算出部412が測定した表面形状に対して非線形最小二乗法によるフィッティングをする。測定対象物が円筒表面形状を有する場合、フィッティング部413は、表面形状算出部412が測定した円弧の表面形状に対して、当該円弧を含む円周の中心および半径を求めることができる。
変換部414は、ラインセンサ10A,10Bの座標系(第1の座標系、第2の座標系)を変換する。例えば、変換部414は、ラインセンサ10Aの座標系をラインセンサ10Bの座標系に変換し、座標系を統一化することができる。また、変換部414は、ラインセンサ10Aの座標系、および、ラインセンサ10Bの座標系の少なくとも1つを変換し、座標系を統一化することができる。
隙間算出部415は、フィッティング部413の処理結果、および、変換部414による変換に基づいて、統一化した座標系において、測定対象物同士の隙間を算出する。
[ラインセンサ]
図2に示すように、ラインセンサ10Aは、測定対象物Tに帯状のレーザ光11A1を照射し、測定対象物Tで反射されたレーザ光11A2を受光することで、測定対象物Tの表面全体のうち、ラインセンサ10Aに面した表面形状(境界)を検出する。ラインセンサ10Aに対して、ラインセンサ10Aから所定距離だけ離れた測定領域12Aが設定されている。測定領域12Aが測定対象物Tの表面を含むようにラインセンサ10Aを配置する。ラインセンサ10Aが、レーザ光11A1の照射や、反射されたレーザ光11A2の受光によって、測定対象物Tの表面までの距離を測定することで、表面形状算出部412は、測定領域12Aに含まれる、測定対象物Tの表面形状を算出することができる。
ラインセンサ10Aは、測定対象物Tの表面形状を帯状のレーザ光11A1が照射された2次元座標上の測定データ(x,y)として測定することができる。ラインセンサ10Aにおいて、例えば、レーザ光11A1の照射方向をy軸とし、y軸に直交する軸をx軸として、測定データ(第1の測定データ)を生成することができる。x軸はレーザ光11A1の帯の幅方向に一致する。また、例えば、測定領域12Aの中心を原点とすることができ、ラインセンサ10Aに対して、x軸、y軸、原点を持つ2次元の座標系が定義される。
ラインセンサ10Bは、ラインセンサ10Aと同等の部材である。よって、ラインセンサ10Aに関する上記説明は、ラインセンサ10Bにもあてはまる。ラインセンサ10Bにおいて、例えば、レーザ光の照射方向をy軸とし、y軸に直交する軸をx軸として、測定データ(第2の測定データ)を生成することができる。
[隙間の測定系]
図3に示すように、円筒表面形状を有する感光体50(第2の測定対象物)と円筒表面形状を有する現像ローラ60(第1の現像ローラ:第1の測定対象物)との隙間を測定し、両者の位置調整をする場合、例えば、組み立て用治具30に、感光体50と、ラインセンサ10A,10Bを取り付けた測定系を利用することができる。また、現像ローラ60を含む現像器6は、組み立て用治具30上で、感光体50に対して組み付けられる。感光体50は、組み立て用治具30から延在する感光体保持軸32が感光体50の中心軸に挿通することで組み立て用治具30に取り付けられる。
ラインセンサ10Aは、組み立て用治具30上で、現像ローラ60の表面のうち測定領域12Aに含まれる表面部分にレーザ光11A1を照射し、現像ローラ60で反射されたレーザ光を受光することができる位置に取り付けられている。ラインセンサ10Bは、組み立て用治具30上で、感光体50の表面のうち測定領域12Bに含まれる表面部分にレーザ光11B1を照射し、感光体50で反射されたレーザ光を受光することができる位置に取り付けられている。ラインセンサ10A、10Bは、板状の組み立て用治具30上に取り付けられているため、ラインセンサ10A、10Bの各々の2次元の座標系の平面は同一である。
図3に示すように、ラインセンサ10A,10Bが異なる位置に配置されており、ラインセンサ10A,10Bの位置関係を求める必要がある。図4に示すように、ラインセンサ10Aのx軸、y軸、原点をそれぞれ、x軸、y軸、Oとし、ラインセンサ10Bのx軸、y軸、原点をそれぞれ、x軸、y軸、Oとする。このとき、x軸を基準としたx軸の角度θ、および、原点Oを基準とした原点Oの相対位置(xoffset,yoffset)が求められる。角度θは、y軸を基準としたy軸の角度でもある。
図5に示すように、ラインセンサ10Aは、現像ローラ60の表面形状61の測定を、ラインセンサ10Bとは独立して行う。また、ラインセンサ10Bは、感光体50の表面形状51の測定を、ラインセンサ10Aとは独立して行う。一般的に、ラインセンサ10A、10Bの各々による2つの測定対象物の表面形状の測定は独立して行われる。測定装置40の表面形状算出部412は、ラインセンサ10A、10Bから取得した測定データに基づいて表面形状61,51を求めることができる。
ラインセンサ10A,10Bの各々の測定が独立して行われる場合、ラインセンサ10A、10Bの各々の2次元の座標系が異なるため、測定装置40は、このままでは、感光体50と現像ローラ60との隙間を測定することができない。そこで、事前にラインセンサ10A、10Bの座標系の相対位置関係を測定し、座標系を統一化する必要がある。図3の測定系において感光体50と現像ローラ60との隙間を測定する際には、図4に示す角度θおよび相対位置(xoffset,yoffset)を求めているため、ラインセンサ10A、10Bの座標系の相対位置関係は測定済であり、これら2つの座標系を統一化することができる。
具体的には、まず、測定装置40のフィッティング部413は、測定した表面形状51,61(図5)に対し、非線形最小二乗法による円形状のフィッティングを行う。このフィッティングが収束する場合には、図6に示すように、表面形状51,61を円弧として含む円断面データ(破線)52(第2の円断面),62(第1の円断面)を取得することができる。
次に、測定装置40の変換部414は、ラインセンサ10Aの座標系を変換する第1段階として、表面形状61の各点の座標(x,y)(i=1,2,・・・,ラインセンサ10Aの測定データの数)を、ラインセンサ10Aの座標系の原点Oを中心にして角度θだけ回転させる。回転した表面形状61の各点の座標は、
Figure 2020193842
となる。図7に示すように、表面形状61が角度θだけ回転することで、回転方向については、ラインセンサ10A、10Bの座標系が統一化される。
また、測定装置40の変換部414は、ラインセンサ10Aの座標系を変換する第2段階として、回転した表面形状61の各点の座標を、相対位置(xoffset,yoffset)だけ平行移動させる。回転し平行移動した表面形状61の各点の座標は、
Figure 2020193842
となる。図8に示すように、表面形状61が相対位置(xoffset,yoffset)だけ平行移動することで、ラインセンサ10A、10Bの座標系が統一化される。
結果的に、図9に示すように、統一化された座標系において、表面形状51を含む円断面データ52と表面形状61を含む円断面データ62が特定される。測定装置40の隙間算出部415は、円断面データ52が示す円断面の半径r、および、円断面データ62が示す円断面の半径rを求めることができる。また、測定装置40の隙間算出部415は、円断面データ52が示す円断面の中心位置と円断面データ62が示す円断面の中心位置を計算し、中心間距離dを求めることができる。よって、隙間算出部415は、中心間距離dから半径r、rをそれぞれ引くことにより、感光体50と現像ローラ60との隙間Dsを算出することができる。
[角度θおよび相対位置(xoffset,yoffset)の測定]
なお、ラインセンサ10A、10Bに関して、角度θおよび相対位置(xoffset,yoffset)を測定する方法は、図10に示すように、基準平面板20を使用した方法がある。例えば、組み立て用治具30が備えるセンサ保持板31上にラインセンサ10A、10Bを所定の位置関係で配置する。このとき、ラインセンサ10Aをセンサ保持板31に取り付ける際には、取り付け板33の側面にラインセンサ10Aを突き当てた状態で、ラインセンサ10Aをセンサ保持板31に固定する。また、ラインセンサ10Bをセンサ保持板31に取り付ける際には、取り付け板34の側面にラインセンサ10Bを突き当てた状態で、ラインセンサ10Bをセンサ保持板31に固定する。
基準平面板20は、感光体保持軸32を中心に回転可能に保持される。また、基準平面板20の面は、ラインセンサ10A,10B各々の2次元の座標系となる平面に垂直である。このとき、ラインセンサ10A,10Bはそれぞれ、第1の傾きに保持した基準平面板20にレーザ光を照射して、基準平面板20の表面形状の測定データを取得する。測定装置40の表面形状算出部412は、ラインセンサ10Aから取得した測定データに対し最小二乗法を用いることで、第1の傾きに保持した基準平面板20の表面に対応し、ラインセンサ10Aに対して所定の角度をなす第1の近似曲線を求めることができる。また、表面形状算出部412は、ラインセンサ10Bから取得した測定データに対し最小二乗法を用いることで、第1の傾きに保持した基準平面板20の表面に対応し、ラインセンサ10Bに対して所定の角度をなす実質的に同じの第1の近似曲線を求めることができる。測定装置40は、求めた第1の近似曲線を用いて角度θを測定することができる。
次に、ラインセンサ10A,10Bは、第1の傾きとは異なる第2の傾きに保持した基準平面板20にレーザ光を照射して、基準平面板20の表面形状の測定データを取得する。測定装置40の表面形状算出部412は、ラインセンサ10A,10Bの各々から取得した測定データに対し最小二乗法を用いることで、第2の傾きに保持した基準平面板20の表面に対応する第2の近似曲線を求めることができる。測定装置40は、第1の傾きに保持した基準平面板20から求めた第1の近似曲線と、第2の傾きに保持した基準平面板20から求めた第2の近似曲線とを用いて相対位置(xoffset,yoffset)を測定することができる。
また、基準平面板20を3通り以上の傾きに保持した測定をし、3通り以上の近似曲線を求め、最小二乗法によって相対位置(xoffset,yoffset)を測定することで、測定精度を向上させることができる。
[処理]
図11を参照して、測定装置40による、感光体50と現像ローラ60との隙間を測定する処理について説明する。この処理は、組み立て用治具30に感光体50および現像ローラ60が取り付けられた状態で行われる処理であり、CPU41とROM42に記憶されているプログラムとの協働によるソフトウェア処理によって実現される。
まず、CPU41は、取得部411によって、ラインセンサ10Aから現像ローラ60の測定データを取得する(ステップS1)。このとき、ラインセンサ10Aから取得した測定データは、円弧の2次元座標のデータであり、例えば、800点取得される。取得部411は、取得した800点の測定データのうち、測定揺らぎの大きい、円弧のピーク部分の測定データ100点、および、円弧の両端部分の測定データ200点を除く500点の測定データを最終的に取得する。
次に、CPU41は、取得部411によって、ラインセンサ10Bから感光体50の測定データを取得する(ステップS2)。このとき、ラインセンサ10Bから取得した測定データは、円弧の2次元座標のデータであり、例えば、800点取得される。取得部411は、取得した800点の測定データのうち、測定揺らぎの大きい、円弧のピーク部分の測定データ100点、および、円弧の両端部分の測定データ200点を除く500点の測定データを最終的に取得する。
次に、CPU41は、表面形状算出部412は、取得部411が取得した測定データに基づいて、感光体50の表面形状51、および、現像ローラ60の表面形状61を算出する(ステップS3)。
次に、CPU41は、フィッティング部413によって、感光体50の表面形状51、および、現像ローラ60の表面形状61に対して非線形最小二乗法による円形状フィッティングをする(ステップS4)。ステップS4によって、感光体50の表面形状51を含む円断面のデータが求められ、当該円断面の中心および半径が求められる。また、現像ローラ60の表面形状61を含む円断面のデータが求められ、当該円断面の中心および半径が求められる。
次に、CPU41は、変換部414によって、ラインセンサ10Aの座標系をラインセンサ10Bの座標系に変換し、座標系を統一化する(ステップS5)。具体的には、変換部414は、ラインセンサ10Aの座標系を角度θだけ回転し、相対位置(xoffset,yoffset)だけ平行移動する。統一化された座標系において、表面形状51を含む円断面データ52と表面形状61を含む円断面データ62が特定される(図9参照)。
最後に、CPU41は、隙間算出部415によって、円断面データ52,62を用いて、感光体50と現像ローラ60との隙間Dsを算出する(ステップS6)。具体的には、隙間算出部415は、円断面データ52が示す円断面の中心と円断面データ62が示す円断面の中心との中心間距離dから、円断面データ52が示す円断面の半径r、および、円断面データ62が示す円断面の半径rを引くことで隙間Dsを算出する。
以上で、図11の処理が終了する。
なお、隙間の測定がなされ、調整がなされた感光体50、現像ローラ60を備えた画像形成装置を実現することができる。また、1つの感光体に対して2本の現像ローラを組み付けた画像形成装置を製造する場合には、隙間の測定がなされ、調整がなされた感光体50、現像ローラ60に加えて他の現像ローラを備えた画像形成装置を実現することができる。
第1の実施形態によれば、ラインセンサ10Aから現像ローラ60に照射されたレーザ光は画像形成装置が備える他の部材に遮られることなくラインセンサ10Aに確実に受光される。また、ラインセンサ10Bから感光体50に照射されたレーザ光は画像形成装置が備える他の部材に遮られることなくラインセンサ10Bに確実に受光される。
したがって、感光体50と現像ローラ60との隙間を測定することができる。
上記は、感光体50と現像ローラ60に限らず、任意の形状を持つ2つの測定対象物にもあてはまり、2つの測定対象物の隙間を測定することができる。
特に、測定データが測定対象物の表面部分の形状を示す2次元座標のデータとすることで、測定対象物同士の隙間の測定を高精度に行うことができる。
[第2の実施形態]
第1の実施形態では、2つのラインセンサを用いて1つの感光体と1つの現像ローラとの隙間を測定する場合について説明したが、第2の実施形態として、4つのラインセンサを用いて1つの感光体と2つの現像ローラの各々との隙間を併せて測定する場合について説明する。
図12に、感光体50に対して2つの現像ローラ70(第1の現像ローラ:第1の測定対象物),80(第2の現像ローラ:第3の測定対象物)が設けられている画像形成装置を組み立てる際の隙間調整に用いる組み立て用治具90の構成を示す。
組み立て用治具90は、センサ保持板91,92を備える。
センサ保持板91上には、上述したラインセンサ10A,10Bが配置され、センサ保持板92上には、ラインセンサ10C(第3のラインセンサ),10D(第4のラインセンサ)が配置されている。ラインセンサ10C,10Dは、ラインセンサ10A,10Bと同等の部材である。ラインセンサ10Aは、現像ローラ70の表面形状を測定するために用いられる。ラインセンサ10Bは、感光体50の表面形状を測定するために用いられる。ラインセンサ10Cは、感光体50の表面形状を測定するために用いられる。ラインセンサ10Dは、現像ローラ80の表面形状を測定するために用いられる。
ラインセンサ10Aとラインセンサ10B、ラインセンサ10Cとラインセンサ10D、ラインセンサ10Bとラインセンサ10Cの3組について、2つのラインセンサの同一座標軸間の角度、および、2つのラインセンサの原点の相対位置を事前に算出する。算出した角度および相対位置によって、3組のラインセンサの位置関係に基づいて、4つのラインセンサから取得される測定データを同一座標系で表すことができる。
測定装置40は、ラインセンサ10Aにより測定される現像ローラ70の表面形状と、ラインセンサ10Bにより測定される感光体50の表面形状と、に基づいて、感光体50と現像ローラ70との隙間の距離を求める。
また、測定装置40は、ラインセンサ10Cにより測定される感光体50の表面形状と、ラインセンサ10Dにより測定される現像ローラ80の表面形状と、に基づいて、感光体50と現像ローラ80との隙間の距離を求める。
第2の実施形態によれば、感光体50と2つの現像ローラ70,80の各々との隙間を測定することができる。また、感光体50と現像ローラ70,80に限らず、任意の形状を持つ3つ以上の測定対象物にもあてはまり、複数種類の測定対象物の隙間を測定することができる。
≪変形例≫
(a):測定対象物の形状は、感光体や現像ローラなどの円筒形状に限らず、円柱状でもよいし、多角形の筒状、柱状でもよいし、球体でもよい。
(b):本実施形態では、表面形状を測定し円断面を求めた後、感光体の半径および現像ローラの半径を求めるようにした。しかし、感光体の半径および現像ローラの半径は、既知のものを採用してもよい。この場合、計算上求める必要のある値は、2つの円断面の中心、および、中心間距離のみであり、感光体と現像ローラとの隙間を測定の計算負荷を低減させることができる。
(c):組み立て用治具30,90は、ラインセンサ10A〜10Dを移動可能に保持することができ、ラインセンサ10A〜10Dの位置を自在に設定することができる。このため、ラインセンサ10A〜10Dの位置を組み立て用治具30,90上で適宜変更することで、感光体の表面形状、および現像ローラの表面形状を複数回測定することができ、隙間の測定精度を向上させることができる。
(d):隙間を測定する際の測定対象物の組み合わせとして、例えば、感光体と同じ寸法を持つ円筒体と現像ローラとしてもよいし、現像ローラと同じ寸法を持つ円筒体と感光体としてもよいし、感光体と同じ寸法を持つ円筒体と現像ローラと同じ寸法を持つ円筒体としてもよい。
(e):本実施形態では、ラインセンサ10A〜10Dは、板状の組み立て用治具30,90に保持されているため、ラインセンサ10A〜10Dの各々の座標系が形成する座標平面は、同一となっていた。しかし、例えば、ラインセンサ10A〜10Dが、感光体の中心軸に関して所定量ずれて配置されており、ラインセンサ10A〜10Dの各々の座標平面が平行になったとしても、感光体と現像ローラとの隙間を測定することは可能である。
(f):本実施形態で説明した種々の技術を適宜組み合わせた技術を実現することもできる。
(g):本実施形態で説明したソフトウェアをハードウェアとして実現することもでき、ハードウェアをソフトウェアとして実現することもできる。
(h):その他、ハードウェア、ソフトウェア、フローチャートなどについて、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更が可能である。
10A〜10D ラインセンサ
30,90 組み立て用治具
40 測定装置
50 感光体
60,70,80 現像ローラ
411 取得部
412 表面形状算出部
413 フィッティング部
414 変換部
415 隙間算出部

Claims (12)

  1. 第1の測定対象物と第2の測定対象物との隙間を測定する測定装置であって、
    前記第1の測定対象物にレーザ光を照射する第1のラインセンサから取得した第1の測定データに基づいて前記第1の測定対象物の表面形状を算出し、前記第2の測定対象物にレーザ光を照射する第2のラインセンサから取得した第2の測定データに基づいて前記第2の測定対象物の表面形状を算出する表面形状算出部と、
    前記第1のラインセンサの第1の座標系、および、前記第2のラインセンサの第2の座標系の少なくとも1つを変換し、座標系を統一化する変換部と、
    前記統一化した座標系において、前記第1の測定対象物と前記第2の測定対象物との隙間を算出する隙間算出部と、を備える、
    ことを特徴とする測定装置。
  2. 前記第1の測定データは、前記第1のラインセンサから帯状の前記レーザ光が照射された、前記第1の測定対象物の表面部分の形状を示す2次元座標のデータであり、
    前記第2の測定データは、前記第2のラインセンサから帯状の前記レーザ光が照射された、前記第2の測定対象物の表面部分の形状を示す2次元座標のデータである、
    ことを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
  3. 前記第1のラインセンサおよび前記第2のラインセンサを移動可能に保持する組み立て用治具を用いて、前記表面形状算出部は、前記第1の測定対象物の表面形状を複数回算出し、前記第2の測定対象物の表面形状を複数回算出する、
    ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の測定装置。
  4. 前記第1の測定対象物が円筒表面形状を有し、前記第2の測定対象物が円筒表面形状を有する、
    ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の測定装置。
  5. 前記第1の測定対象物が有する円筒表面形状に対して非線形最小二乗法によるフィッティングによって第1の円断面を計算し、前記第2の測定対象物が有する円筒表面形状に対して前記非線形最小二乗法によるフィッティングによって第2の円断面を計算するフィッティング部、をさらに備える、
    ことを特徴とする請求項4に記載の測定装置。
  6. 前記変換部は、事前に測定した、前記第1のラインセンサの第1の座標系と前記第2のラインセンサの第2の座標系との相対的位置関係を用いて、前記第1の円断面および前記第2の円断面を、前記統一化した座標系に配置する、
    ことを特徴とする請求項5に記載の測定装置。
  7. 前記隙間算出部は、前記第1の円断面の中心と前記第2の円断面との中心間距離から、前記第1の円断面の第1の半径、および、前記第2の円断面の第2の半径を引いて、前記第1の測定対象物と前記第2の測定対象物との隙間を算出する、
    ことを特徴とする請求項6に記載の測定装置。
  8. 前記第1の半径、および、前記第2の半径は、既知であり、
    前記フィッティング部は、前記第1の半径、および、前記第2の半径を用いて、前記非線形最小二乗法によるフィッティングをする、
    ことを特徴とする請求項7に記載の測定装置。
  9. 前記第1の測定対象物が画像形成装置に用いる第1の現像ローラであり、前記第2の測定対象物が前記画像形成装置に用いる感光体である、
    ことを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の測定装置。
  10. 第3の測定対象物として、前記画像形成装置に用いる第2の現像ローラがあり、
    前記第1の測定対象物としての前記第1の現像ローラにレーザ光を照射する前記第1のラインセンサ、および、前記第2の測定対象物としての前記感光体にレーザ光を照射する前記第2のラインセンサに加え、前記第2の測定対象物としての前記感光体にレーザ光を照射する第3のラインセンサと、前記第3の測定対象物としての前記第2の現像ローラにレーザ光を照射する第4のラインセンサを用いて、前記感光体と前記第1の現像ローラとの隙間、および、前記感光体と前記第2の現像ローラとの隙間を測定する、
    ことを特徴とする請求項9に記載の測定装置。
  11. 請求項10に記載の測定装置によって、前記感光体と前記第1の現像ローラとの隙間、および、前記感光体と前記第2の現像ローラの隙間が測定されて調整された画像形成装置。
  12. 第1の測定対象物と第2の測定対象物との隙間を測定する測定装置が実行する測定方法であって、
    前記測定装置は、
    前記第1の測定対象物にレーザ光を照射する第1のラインセンサから取得した第1の測定データに基づいて前記第1の測定対象物の表面形状を算出し、前記第2の測定対象物にレーザ光を照射する第2のラインセンサから取得した第2の測定データに基づいて前記第2の測定対象物の表面形状を算出するステップと、
    前記第1のラインセンサの第1の座標系、および、前記第2のラインセンサの第2の座標系の少なくとも1つを変換し、座標系を統一化するステップと、
    前記統一化した座標系において、前記第1の測定対象物と前記第2の測定対象物との隙間を算出するステップと、を実行する、
    ことを特徴とする測定方法。
JP2019098372A 2019-05-27 2019-05-27 測定装置、画像形成装置、および、測定方法 Active JP7283228B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019098372A JP7283228B2 (ja) 2019-05-27 2019-05-27 測定装置、画像形成装置、および、測定方法
US15/931,101 US10982953B2 (en) 2019-05-27 2020-05-13 Measuring device, image forming apparatus, and measuring method
CN202010429551.5A CN111998781A (zh) 2019-05-27 2020-05-20 测定装置、图像形成装置及测定方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019098372A JP7283228B2 (ja) 2019-05-27 2019-05-27 測定装置、画像形成装置、および、測定方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020193842A true JP2020193842A (ja) 2020-12-03
JP7283228B2 JP7283228B2 (ja) 2023-05-30

Family

ID=73461491

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019098372A Active JP7283228B2 (ja) 2019-05-27 2019-05-27 測定装置、画像形成装置、および、測定方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US10982953B2 (ja)
JP (1) JP7283228B2 (ja)
CN (1) CN111998781A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116336965A (zh) * 2023-05-31 2023-06-27 天津宜科自动化股份有限公司 一种获取物体轮廓信息的数据处理系统

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7180432B2 (ja) * 2019-02-14 2022-11-30 コニカミノルタ株式会社 データ処理装置、データ処理方法及びプログラム

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03186706A (ja) * 1989-12-15 1991-08-14 Toyota Central Res & Dev Lab Inc 3次元形状寸法計測装置
JP2002005622A (ja) * 2000-06-26 2002-01-09 Kobe Steel Ltd 複数個の光切断式センサを備えた光学式形状計測装置における配置パラメータの検出方法

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT382019B (de) * 1984-04-06 1986-12-29 Voest Alpine Ag Messeinrichtung zum messen des spaltes zwischen zwei walzen oder rollen sowie verfahren zur durchfuehrung der messung
US5155444A (en) * 1991-08-22 1992-10-13 Xerox Corporation Trim bar gap verification tool and method using a flexible capacitor sensor having a magnetic metallic laminate
JP3072805B2 (ja) 1992-06-05 2000-08-07 キヤノン株式会社 隙間間隔測定方法
US5581632A (en) * 1994-05-02 1996-12-03 Cognex Corporation Method and apparatus for ball bond inspection system
JPH11272073A (ja) * 1998-03-25 1999-10-08 Canon Inc 画像形成装置
JP3186706B2 (ja) 1998-09-07 2001-07-11 日本電気株式会社 半導体ウェハのレーザマーキング方法及び装置
JP3103548B1 (ja) * 1999-10-29 2000-10-30 キヤノン株式会社 プロセスカートリッジの再生産方法
JP3928348B2 (ja) * 2000-11-10 2007-06-13 富士ゼロックス株式会社 隙間計測方法および隙間調整方法
JP2007322566A (ja) 2006-05-31 2007-12-13 Kyocera Mita Corp 現像装置、これを備えた画像形成装置及びローラ間の隙間測定方法
CN101387501B (zh) * 2008-10-06 2010-04-21 天津大学 超大型工件圆形截面形状与方位测量装置及方法
JP2010128457A (ja) * 2008-12-01 2010-06-10 Sharp Corp 画像形成装置
JP2014228393A (ja) * 2013-05-22 2014-12-08 株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ 隙間測定装置
JP6000478B2 (ja) * 2014-01-24 2016-09-28 三菱電機株式会社 工具形状測定装置および工具形状測定方法
US9841265B2 (en) * 2014-04-16 2017-12-12 The Procter & Gamble Company Method and apparatus of measuring a gap between a first and second roll
US9250560B1 (en) * 2014-09-05 2016-02-02 Xerox Corporation LED print bar imaging apparatus and systems useful for electrophotographic printing
JP6723634B2 (ja) * 2016-01-20 2020-07-15 三菱重工業株式会社 隙間計測装置及び隙間計測方法
CN109443243A (zh) * 2018-12-19 2019-03-08 孙志军 一种测量物体形状的设备和测量方法
JP2020134691A (ja) * 2019-02-19 2020-08-31 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 現像装置及び画像形成装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03186706A (ja) * 1989-12-15 1991-08-14 Toyota Central Res & Dev Lab Inc 3次元形状寸法計測装置
JP2002005622A (ja) * 2000-06-26 2002-01-09 Kobe Steel Ltd 複数個の光切断式センサを備えた光学式形状計測装置における配置パラメータの検出方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116336965A (zh) * 2023-05-31 2023-06-27 天津宜科自动化股份有限公司 一种获取物体轮廓信息的数据处理系统
CN116336965B (zh) * 2023-05-31 2023-09-05 天津宜科自动化股份有限公司 一种获取物体轮廓信息的数据处理系统

Also Published As

Publication number Publication date
CN111998781A (zh) 2020-11-27
JP7283228B2 (ja) 2023-05-30
US10982953B2 (en) 2021-04-20
US20200378753A1 (en) 2020-12-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20200124982A1 (en) Metrology targets and methods with oblique periodic structures
CN108369387A (zh) 使用非对称亚分辨率特征改善测量的光刻过程的光学量测术
TW202034096A (zh) 繞射量測標的
JP5979626B2 (ja) 像内の構造の位置を決定する方法及び該方法を実施するための位置測定装置
US20050036124A1 (en) Scanning exposure technique
JP5518277B1 (ja) 構造物上の基準点測量方法及びシステム
JP2020193842A (ja) 測定装置、画像形成装置、および、測定方法
JP7065869B2 (ja) 対象物のデジタルモデルに基づく対象物に対するx線ユニットの姿勢の算出
JP2020071181A (ja) 計測用x線ct装置
Yandayan et al. Pushing the limits: latest developments in angle metrology for the inspection of ultra-precise synchrotron optics
WO2019191259A1 (en) Computed tomographic system calibration
KR20200041373A (ko) 방사선 빔의 정렬 특성을 결정하기 위한 방법 및 장치
JP2009500745A (ja) 閉形解を有する合成データマップの集成方法
Neri et al. Iter in vessel viewing system design and assessment activities
JP2015129667A (ja) 計測装置、および計測装置の校正方法
JP2021042998A (ja) 計測用x線ct装置
EP3974819A1 (en) Positioning of x-ray imaging system using an optical camera
JP7180432B2 (ja) データ処理装置、データ処理方法及びプログラム
JP4922905B2 (ja) 回転中心線の位置変動測定方法および装置
JP4802134B2 (ja) 姿勢変化測定方法および装置
JP2017003399A (ja) 測定装置及び測定方法
JP2005055311A (ja) スキャナ装置のキャリブレーション方法
Yandayan Recent developments in nanoradian-angle metrology
CN110140085A (zh) 多图像粒子检测系统和方法
RU2482448C2 (ru) Оптическая измерительная система для определения взаимного расположения элементов в пространстве, способ и устройство регистрации оптического излучения для использования в ней

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220415

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20221220

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230131

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230303

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230418

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230501

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7283228

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150