JP2020192573A - はんだ合金、はんだ粉末、およびはんだ継手 - Google Patents
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-
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Abstract
Description
(1)As:10質量ppm以上40質量ppm未満、並びにBi:0〜25000質量ppmおよびPb:0〜8000質量ppmの少なくとも1種、並びに残部がSnからなる合金組成を有し、(1)式および(2)式を満たすことを特徴とするはんだ合金。
300≦3As+Bi+Pb (1)
0<2.3×10−4×Bi+8.2×10−4×Pb≦7 (2)
(1)式および(2)式中、As、Bi、およびPbは各々合金組成での含有量(質量ppm)を表す。
300≦3As+Bi+Pb (1)
0<2.3×10−4×Bi+8.2×10−4×Pb≦7 (2)
(1)式および(2)式中、As、Bi、およびPbは各々合金組成での含有量(質量ppm)を表す。
300≦3As+Bi+Pb (1)
0<2.3×10−4×Bi+8.2×10−4×Pb≦7 (2)
(1)式および(2)式中、As、Bi、およびPbは各々合金組成での含有量(質量ppm)を表す。
300≦3As+Bi+Pb (1)
0<2.3×10−4×Bi+8.2×10−4×Pb≦7 (2)
(1)式および(2)式中、As、Bi、およびPbは各々合金組成での含有量(質量ppm)を表す。
300≦3As+Bi+Pb (1)
0<2.3×10−4×Bi+8.2×10−4×Pb≦7 (2)
(1)式および(2)式中、As、Bi、およびPbは各々合金組成での含有量(質量ppm)を表す。
0≦Ni/Fe≦50 (3)
(3)式中、NiおよびFeは各々合金組成での含有量(質量ppm)を表す。
300≦3As+Bi+Pb≦25114 (1a)
(1a)式中、As、Bi、およびPbは各々合金組成での含有量(質量ppm)を表す。
(1) As:10ppm以上40ppm未満
Asは、はんだペーストの粘度の経時変化を抑制することができる元素である。Asは、フラックスとの反応性が低く、またSnに対して貴な元素であるために増粘抑制効果を発揮することができると推察される。Asが10ppm未満であると、増粘抑制効果を十分に発揮することができない。As含有量の下限は10ppm以上であり、好ましくは14ppm以上である。一方、Asが多すぎるとフラックスの活性によってははんだ合金の濡れ性が劣化する。As含有量の上限は40ppm未満であり、好ましくは38ppm以下であり、より好ましくは25ppm未満であり、さらに好ましくは24ppm以下であり、特に18ppm以下である。
BiおよびPbはフラックスとの反応性が低く増粘抑制効果を示す元素である。また、これらの元素は、はんだ合金の液相線温度を下げるとともに溶融はんだの粘性を低減させるため、Asによる濡れ性の劣化を抑えることができる元素である。
本発明に係るはんだ合金は、下記(1)式を満たす必要がある。
300≦3As+Bi+Pb (1)
上記(1)式中、As、Bi、およびPbは各々合金組成での含有量(ppm)を表す。
300≦3As+Bi+Pb≦25114 (1a)
上記(1a)および(1b)式中、As、Bi、およびPbは各々合金組成での含有量(ppm)を表す。
本発明に係るはんだ合金は、下記(2)式を満たす必要がある。
0<2.3×10−4×Bi+8.2×10−4×Pb≦7 (2)
上記(2)式中、Bi、およびPbは各々合金組成での含有量(ppm)を表す。
0.06≦2.3×10−4×Bi+8.2×10−4×Pb≦6.56 (2a)
上記(2a)式中、BiおよびPbは各々合金組成での含有量(質量ppm)を表す。
FeとNiは、金属間化合物の成長を抑制することができる任意元素である。Niは、本発明に係るはんだ合金がCu電極を接合する場合や後述するようにCuを含有する場合には、接合界面に形成されるCu6Sn5層を(Cu、Ni)6Sn5層にして金属間化合物層の膜厚を薄くすることができる。また、Feは溶融はんだの凝固時に結晶核の生成を促進し、Cu6Sn5、Cu3Sn、Ag3Snなどの金属間化合物相の成長を抑制することができる。
InはSnの固溶強化型元素体であるために高い機械的特性を維持することができる任意元素である。In含有量が所定の範囲内であれば、ΔTが許容範囲に収まり、高い機械的特性を維持することができる。本発明に係るはんだ合金がInを含有する場合には、In含有量の上限は好ましくは1200ppm以下であり、より好ましくは100ppm以下である。In含有量の下限は特に限定されないが、十分に固溶体が形成されるようにするため、In含有量の下限は好ましくは20ppm以上であり、より好ましくは30ppm以上であり、さらに好ましくは50ppm以上である。
Ni、Fe、およびInは、各々の含有量が所定の範囲内であればΔTが許容範囲に収まりやすく、高い機械的特性を維持することができる。本発明では、これらの中から少なくとも2種以上を所定の範囲内で含有してもよく、3種を同時に含有してもよい。
本発明に係るはんだ合金は、NiおよびFeを所定量含有するととともに下記(3)式を満たすことが好ましい。
0≦Ni/Fe≦50 (3)
(3)式中、NiおよびFeは各々合金組成での含有量(ppm)を表す。
0≦Ni+Fe≦680 (4)
(4)式中、NiおよびFeは各々合金組成での含有量(ppm)を表す。
Agは、結晶界面にAg3Snを形成してはんだ合金の機械的強度等を向上させることができる任意元素である。また、Agはイオン化傾向がSnに対して貴な元素であり、As、Pb、およびBiと共存することによりこれらの増粘抑制効果を助長する。Ag含有量の下限は好ましくは0%以上であり、より好ましくは0.5%以上であり、さらに好ましくは1.0%以上である。Ag含有量の上限は好ましくは4%以下であり、より好ましくは3.5%以下であり、さらに好ましくは3.0%以下である。
本発明に係るはんだ合金の残部はSnである。前述の元素の他に不可避的不純物を含有してもよい。不可避的不純物を含有する場合であっても、前述の効果に影響することはない。
本発明に係るはんだ粉末は、後述するはんだペーストに使用され、球状粉末であることが好ましい。球状粉末であることによりはんだ合金の流動性が向上する。本発明に係るはんだ粉末は、JIS Z 3284−1:2014における粉末サイズの分類(表2)において記号1〜8を満たすサイズ(粒度分布)を満たしていることが好ましい。より好ましくは記号4〜8を満たすサイズ(粒度分布)であり、さらに好ましくは記号5〜8を満たすサイズ(粒度分布)である。粒径がこの条件を満たすと、粉末の表面積が大きすぎず粘度の上昇が抑制され、また、微細粉末の凝集が抑制されて粘度の上昇が抑えられることがある。このため、より微細な部品へのはんだ付けが可能となる。
はんだペーストは、前述のはんだ粉末、およびフラックスを含有する。
はんだペーストに使用されるフラックスは、有機酸、アミン、アミンハロゲン化水素酸塩、有機ハロゲン化合物、チキソ剤、ロジン、溶剤、界面活性剤、ベース剤、高分子化合物、シランカップリング剤、着色剤の何れか、または2つ以上の組み合わせで構成される。
−1,3−プロパンジオール、1,2,6−トリヒドロキシヘキサン、ビス[2,2,2−トリス(ヒドロキシメチル)エチル]エーテル、1−エチニル−1−シクロヘキサノール、1,4−シクロヘキサンジオール、1,4−シクロヘキサンジメタノール、エリトリトール、トレイトール、グアヤコールグリセロールエーテル、3,6−ジメチル−4−オクチン−3,6−ジオール、2,4,7,9−テトラメチル−5−デシン−4,7−ジオール等が挙げられる。グリコールエーテル系溶剤としては、ジエチレングリコールモノ−2−エチルヘキシルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、2−メチルペンタン−2,4−ジオール、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル等が挙げられる。
フラックスの含有量は、はんだペーストの全質量に対して5〜95%であることが好ましく、5〜15%であることがより好ましい。この範囲であると、はんだ粉末に起因する増粘抑制効果が十分に発揮される。
本発明に係るはんだペーストは、当業界で一般的な方法により製造される。まず、はんだ粉末の製造は、溶融させたはんだ材料を滴下して粒子を得る滴下法や遠心噴霧する噴霧法、バルクのはんだ材料を粉砕する方法等、公知の方法を採用することができる。滴下法や噴霧法において、滴下や噴霧は、粒子状とするために不活性雰囲気や溶媒中で行うことが好ましい。そして、上記各成分を加熱混合してフラックスを調製し、フラックス中に上記はんだ粉末を導入し、攪拌、混合して製造することができる。
本発明に係るはんだ継手は、半導体パッケージにおけるICチップとその基板(インターポーザ)との接続、或いは半導体パッケージとプリント配線板との接続に使用するのに適している。ここで、「はんだ継手」とは電極の接続部をいう。
本発明に係るはんだ合金は、上記のようにはんだ粉末として使用することの他、ワイヤ状であってもよい。
本発明に係るはんだペーストを用いた接合方法は、例えばリフロー法を用いて常法に従って行えばよい。フローソルダリングを行う場合のはんだ合金の溶融温度は概ね液相線温度から20℃程度高い温度でよい。また、本発明に係るはんだ合金を用いて接合する場合には、凝固時の冷却速度を考慮した方が組織の微細化の観点から好ましい。例えば2〜3℃/s以上の冷却速度ではんだ継手を冷却する。この他の接合条件は、はんだ合金の合金組成に応じて適宜調整することができる。
作製直後の各はんだペーストについて、株式会社マルコム社製:PCU−205を用い、回転数:10rpm、25℃、大気中で12時間粘度を測定した。12時間後の粘度がはんだペーストを作製後30分経過した時の粘度と比較して1.2倍以下であれば、十分な増粘抑制効果が得られたものとして「○」と評価し、1.2倍を超える場合には「×」と評価した。
フラックスと混合する前のはんだ粉末について、エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社製、型番:EXSTAR DSC7020を用い、サンプル量:約30mg、昇温速度:15℃/minにてDSC測定を行い、固相線温度および液相線温度を得た。得られた液相線温度から固相線温度を引いてΔTを求めた。ΔTが10℃以下の場合に「○」と評価し、10℃を超える場合に「×」と評価した。
作製直後の各はんだペーストをCu板上に印刷し、リフロー炉でN2雰囲気中、1℃/sの昇温速度で25℃から260℃まで加熱した後、室温まで冷却した。冷却後のはんだバンプの外観を光学顕微鏡で観察することで濡れ性を評価した。溶融しきれていないはんだ粉末が観察されない場合に「○」と評価し、溶融しきれていないはんだ粉末が観察された場合に「×」と評価した。
上記全ての試験が「〇」の場合に「〇」とし、少なくとも1つの試験が「×」の場合に「×」とした。
評価した結果を表1〜12に示す。
表1〜12に示すように、実施例1〜258では、いずれの合金組成においても本発明の要件をすべて満たすため、増粘抑制効果、ΔTの狭窄化、および優れた濡れ性を示すことがわかった。一方、比較例1〜54は、いずれの合金組成においても本発明の要件の少なくとも1つを満たさないため、増粘抑制効果、ΔTの狭窄化、および優れた濡れ性の少なくとも1つが劣ることがわかった。
(1)As:10質量ppm以上25質量ppm未満、並びにBi:0〜25000質量ppmおよびPb:0〜8000質量ppmの少なくとも1種、並びに残部がSnからなる合金組成を有し、(1)式および(2)式を満たすことを特徴とするはんだ合金。
300≦3As+Bi+Pb (1)
0<2.3×10−4×Bi+8.2×10−4×Pb≦7 (2)
(1)式および(2)式中、As、Bi、およびPbは各々合金組成での含有量(質量ppm)を表す。
300≦3As+Bi+Pb (1)
0<2.3×10−4×Bi+8.2×10−4×Pb≦7 (2)
(1)式および(2)式中、As、Bi、およびPbは各々合金組成での含有量(質量ppm)を表す。
300≦3As+Bi+Pb (1)
0<2.3×10−4×Bi+8.2×10−4×Pb≦7 (2)
(1)式および(2)式中、As、Bi、およびPbは各々合金組成での含有量(質量ppm)を表す。
300≦3As+Bi+Pb (1)
0<2.3×10−4×Bi+8.2×10−4×Pb≦7 (2)
(1)式および(2)式中、As、Bi、およびPbは各々合金組成での含有量(質量ppm)を表す。
300≦3As+Bi+Pb (1)
0<2.3×10−4×Bi+8.2×10−4×Pb≦7 (2)
(1)式および(2)式中、As、Bi、およびPbは各々合金組成での含有量(質量ppm)を表す。
0≦Ni+Fe≦680 (4)
(4)式中、NiおよびFeは各々合金組成での含有量(ppm)を表す。
0≦Ni/Fe≦50 (3)
0≦Ni+Fe≦680 (4)
(3)式および(4)式中、NiおよびFeは各々合金組成での含有量(質量ppm)を表す。
表1〜12に示すように、実施例では、いずれの合金組成においても本発明の要件をすべて満たすため、増粘抑制効果、ΔTの狭窄化、および優れた濡れ性を示すことがわかった。一方、比較例1〜54は、いずれの合金組成においても本発明の要件の少なくとも1つを満たさないため、増粘抑制効果、ΔTの狭窄化、および優れた濡れ性の少なくとも1つが劣ることがわかった。
Claims (15)
- As:10質量ppm以上40質量ppm未満、並びにBi:0〜25000質量ppmおよびPb:0〜8000質量ppmの少なくとも1種、並びに残部がSnからなる合金組成を有し、下記(1)式および(2)式を満たすことを特徴とするはんだ合金。
300≦3As+Bi+Pb (1)
0<2.3×10−4×Bi+8.2×10−4×Pb≦7 (2)
上記(1)式および(2)式中、As、Bi、およびPbは各々前記合金組成での含有量(質量ppm)を表す。 - As:10質量ppm以上40質量ppm未満、並びにBi:0質量ppm超え25000質量ppm以下およびPb:0質量ppm超え8000質量ppm以下の少なくとも1種、並びに残部がSnからなる合金組成を有し、下記(1)式および(2)式を満たすことを特徴とするはんだ合金。
300≦3As+Bi+Pb (1)
0<2.3×10−4×Bi+8.2×10−4×Pb≦7 (2)
上記(1)式および(2)式中、As、Bi、およびPbは各々前記合金組成での含有量(質量ppm)を表す。 - As:10質量ppm以上40質量ppm未満、並びにBi:50〜25000質量ppmおよびPb:0質量ppm超え8000質量ppm以下の少なくとも1種、並びに残部がSnからなる合金組成を有し、下記(1)式および(2)式を満たすことを特徴とするはんだ合金。
300≦3As+Bi+Pb (1)
0<2.3×10−4×Bi+8.2×10−4×Pb≦7 (2)
上記(1)式および(2)式中、As、Bi、およびPbは各々前記合金組成での含有量(質量ppm)を表す。 - As:10質量ppm以上40質量ppm未満、並びにBi:0質量ppm超え25000質量ppm以下およびPb:50〜8000質量ppmの少なくとも1種、並びに残部がSnからなる合金組成を有し、下記(1)式および(2)式を満たすことを特徴とするはんだ合金。
300≦3As+Bi+Pb (1)
0<2.3×10−4×Bi+8.2×10−4×Pb≦7 (2)
上記(1)式および(2)式中、As、Bi、およびPbは各々前記合金組成での含有量(質量ppm)を表す。 - As:10質量ppm以上40質量ppm未満、並びにBi:50〜25000質量ppmおよびPb:50〜8000質量ppmの少なくとも1種、並びに残部がSnからなる合金組成を有し、下記(1)式および(2)式を満たすことを特徴とするはんだ合金。
300≦3As+Bi+Pb (1)
0<2.3×10−4×Bi+8.2×10−4×Pb≦7 (2)
上記(1)式および(2)式中、As、Bi、およびPbは各々前記合金組成での含有量(質量ppm)を表す。 - 更に、前記合金組成はNi:0〜600質量ppmを含有する、請求項1〜5のいずれか1項に記載のはんだ合金。
- 更に、前記合金組成はFe:0〜100質量ppmを含有する、請求項1〜5のいずれか1項に記載のはんだ合金。
- 更に、前記合金組成はIn:0〜1200質量ppmを含有する、請求項1〜5のいずれか1項に記載のはんだ合金。
- 更に、前記合金組成は、Ni:0〜600質量ppm、Fe:0〜100質量ppm、およびIn:0〜1200質量ppmの少なくとも2種を含有する、請求項1〜5のいずれか1項に記載のはんだ合金。
- 更に、前記合金組成は、Ni:0〜600質量ppmおよびFe:0〜100質量ppmを含有し、下記(3)式を満たす、請求項1〜5のいずれか1項に記載のはんだ合金。
0≦Ni/Fe≦50 (3)
上記(3)式中、NiおよびFeは各々前記合金組成での含有量(質量ppm)を表す。 - 更に、前記合金組成は下記(1a)式を満たす、請求項1〜10のいずれか1項に記載のはんだ合金。
300≦3As+Bi+Pb≦25114 (1a)
上記(1a)式中、As、Bi、およびPbは各々前記合金組成での含有量(質量ppm)を表す。 - 更に、前記合金組成は、Ag:0〜4質量%およびCu:0〜0.9質量%の少なくとも1種を含有する、請求項1〜11のいずれか1項に記載のはんだ合金。
- 前記合金組成は、As:10質量ppm以上25質量ppm未満を含有する、請求項1〜12のいずれか1項に記載のはんだ合金。
- 請求項1〜13のいずれか1項に記載のはんだ合金を有するはんだ粉末。
- 請求項1〜13のいずれか1項に記載のはんだ合金を有するはんだ継手。
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