JP2020188240A - 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、本発明の実施の形態1の半導体製造装置に係るピックアップ装置100の構成を説明する。図1は、本実施の形態の構成の一例を示すピックアップ装置100の斜視図である。ピックアップ装置100は、エキスパンドされた粘着テープ2上に半導体片4が貼り付けられた状態のリング状保持部材3を載置するためのピックアップステージ8と、ピックアップステージ8の上方に半導体片4の配置に関する位置情報を検出する上部撮影カメラ6と、ピックアップステージ8の下方から半導体片4を突上げる上面が平坦で四隅に切り取り部を持つニードル1と、ニードル1を保持し突上げを行うニードルステージ9と、半導体片を上方からピックアップするコレット5から構成されている。なお、図1にはx方向、y方向及びz方向を示す表示をしており、上向きをz方向、直行する水平方向をx方向とy方向としている。図1以外の図において、同様のx方向、y方向及びz方向を示す表示がある場合は、これらの向きはそれぞれ図1と同様の向きを示すものとする。
ピックアップ装置100には、半導体片4が貼り付けられた粘着テープ2を保持しているリング状保持材3が載置されているピックアップステージ8が設けられている。ピックアップステージ8の上方には、半導体片4の位置を撮影する上部撮影カメラ6が配置されている。上部撮影カメラ6からの映像情報が位置決め検出部22に送信され、検出された半導体片4の配置に関する位置情報が、制御部24に送られる。制御部24は、位置決め検出部22から送信されてきた位置情報をもとに、ステージ駆動部21にピックアップステージ8を移動させる指示となる信号を送る。次に、制御部24は、突上げ駆動部23に突上げを行うニードルステージ9を駆動させる指示となる信号を送る。さらに制御部24はニードル1で突上げられた粘着テープ2上の半導体片4をコレット5が上方から吸着しピックアップするように、コレット駆動部26に指示する信号を送る。
ニードル1aは、半導体片4の幅A1と奥行きA2に対し、半導体片4と粘着テープ2越しに接する上面が、同等の大きさの直方体形状で、平坦な形状をしており、その四方がz軸方向に切り取られた切り取り部10aを有している。なお、四方が切り取られた切り取り部10aは、四方の形状が凹状の凹部となっていることを意味するものであり、実際に切り取られて形成されていることに限られるわけではなく、例えば、鋳型で形成するようにしてもよい。
また本実施の形態1の半導体製造装置に係るピックアップ装置100を用い、本実施の形態1の半導体装置の製造方法にてピックアップする工程S3を行うことにより、粘着テープ2から半導体片4の剥がれを均等に発生させることができ、半導体片4の位置ずれが生じることなく、安定したピックアップを行うことができる効果が得られる。
本発明の実施の形態2の半導体製造装置に係るピックアップ装置200の構成を説明する。本発明の実施の形態2は、本発明の実施の形態1とは、ピックアップステージ8の下部に、ニードルが半導体片を突上げたときの粘着テープ2からの半導体片の剥がれ状態を検知する検知機構が設置されており、検知機構で四隅の剥がれ部分の剥がれ状態を検知してニードルの突上げを制御している点が相違しており、それ以外は同様である。
剥がれ状態が条件を満たすかを判定するステップS15でNoとなった場合は、ニードル1の突上げをさらに追加し、下部撮影カメラ31で撮影しステップS14と同様に剥がれた部分の面積を計測する。剥がれ量が不足か判定するステップS19において、ピックアップが可能な剥がれ状態かの指標となる設定したパラメータを、剥がれた部分の面積の和が満足すれば、No判定となりステップS16のピックアップに進む。剥がれた部分の面積の和がパラメータを満足しなかった場合、次のステップ20に進み、剥がれ量が設定範囲外かどうかの判定を行う。剥がれた部分の面積の和がある一定の範囲内であれば、さらに一定の突上げを追加すればパラメータを満足する可能性が高いが、ある一定の範囲外であれば突上げを追加しても剥がれ部分の面積は条件を満たさない。ステップS20で剥がれ量が一定の範囲内にあるかどうかを判断し、範囲外である場合は、この半導体片4の正常なピックアップは不可能と判断し、次の半導体片4のピックアップ工程に移るため、ステージを移動させる。
本発明の実施の形態3の半導体製造装置に係るピックアップ装置300の構成を説明する。本発明の実施の形態3は、本発明の実施の形態1とは、サイズの異なる半導体片が混在しており、ピックアップステージ8の下部に設置されたニードルステージ9aに、半導体片に接する上面のサイズが違う複数のニードルが設置されている点が相違しており、それ以外は同様である。サイズの異なる半導体片が混在していても、安定した半導体片のピックアップを行うことができるという効果を得ることができる。
工程S3bでは、ピックアップステージ8の上部に配置された上部撮影カメラ6で撮影された画像情報は、位置決めサイズ検出部22aに送られ、半導体片4のサイズと配置に関する位置情報を検出し、制御部24に送信する。制御部24からは、半導体片4の位置情報をステージ駆動部21に送信し、半導体片4をピックアップするための位置にピックアップステージ8を移動させる。同時に制御部24は半導体片4のサイズ情報を突上げ駆動部23aに送信し、突上げ駆動部23aは、半導体片4のサイズに対応したニードルを選択し突上げを行うようにニードルステージ9aに指令を送る。ニードルステージ9aからは、半導体片4zのサイズに対応したニードル1zのみ突上げを行う。ニードルは粘着テープ2越しに半導体片4zを突上げ、半導体片3の四隅を粘着テープ2から剥離させる。これにあわせて、コレット5が半導体片4zを上方から吸着し、z方向に移動させ、ピックアップを行う。
Claims (9)
- 半導体片が貼り付けられた粘着テープを保持する保持材と、
前期保持材を載置するピックアップステージと、
前記ピックアップステージの移動を制御するステージ駆動部と、
前記ピックアップステージの上方に設置され、前記半導体片の位置を撮影する上部撮影カメラと、
前記上部撮影カメラの撮影情報から前記半導体片の位置情報を検出する位置決め検出部と、
前記半導体片をピックアップするコレットと、
前記コレットを制御するコレット駆動部と、
前記ピックアップステージの下方に配置され、半導体片と同等の幅で、四隅の形状が凹状になっている平坦な上面を有し、前記半導体片をピックアップするために保持材の突上げを行うニードルと、
前記ニードルを支持するニードルステージと、
前記ニードルステージを駆動する突上げ駆動部と、
前記位置決め検出部からの前記位置情報をもとに前記ステージ駆動部にステージの移動を行う指示をするとともに、前記突上げ駆動部に前記半導体片の突上げを指示し、さらに前記ニードルで突上げられた前記半導体片を上方から吸着するように前記コレット駆動部に指示する制御部と、
を備えた半導体製造装置。 - 前記粘着テープの、前記半導体片の四隅からの剥がれ状態を検知する検知機構と、
前記検知機構からの情報により、前記粘着テープの前記半導体片からの剥がれ状態がピックアップに適しているかの判断を行いピックアップを行うかを決定する接着面状態検知部と
をさらに備え、
前記制御部は、接着面状態検知部からの情報により前記粘着テープの前記半導体片からの剥がれ状態がピックアップに適した条件になるように突上げを行うことを指示することを特徴とする、
請求項1に記載の半導体製造装置。 - 前記検知機構が画像の撮影カメラで構成されていることを特徴とする、
請求項2に記載の半導体製造装置。 - 前記検知機構が光反射板センサで構成されていることを特徴とする、
請求項2に記載の半導体製造装置。 - 前記検知機構が空気伝播振動検出センサで構成されていることを特徴とする、
請求項2に記載の半導体製造装置。 - 前記検知機構が圧電素子で構成されていることを特徴とする、
請求項2に記載の半導体製造装置。 - 前記ニードルは、サイズの異なる半導体片の各々のサイズに対応して複数備えられており、
前記制御部は、半導体片のサイズに合わせて対応する前記ニードルを選択すること
を特徴とする請求項1に記載の半導体製造装置。 - ダイシングされた半導体片が貼り付けられた粘着テープを保持した保持材をピックアップステージに載置する工程と、
四方の形状が凹状の凹部となっている平坦な上面を有したニードルで前記粘着テープ越しに前記半導体片を突上げる工程と、
コレットで前記半導体片を上方から吸着し、ピックアップを行う工程と、
を備えた半導体装置の製造方法。 - 前記ニードルで突上げたときの、前記粘着テープに貼り付けられた半導体片の四隅の剥がれ状態を検知機構で検出し、接着面状態検知部で剥がれ状態がピックアップに適しているかの判断を行う工程をさらに備えた、
請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
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