JP2020185634A - 切削ブレード、切削装置、ブレードマウント及び切削ブレードの情報を読み出す方法 - Google Patents

Abstract

【課題】切削ブレードの情報を確認することを可能とする切削ブレード、又は、切削ブレードの情報を確認することを可能とするブレードマウントを提供する。【解決手段】柱状のボス部２４を有するマウントフランジ２０に装着される切削ブレード３０であって、第１面３２ａと、第１面３２ａの反対側に位置する第２面とを有し、第１面３２ａから第２面に向かって貫通する様に開口された、ボス部が挿入される挿入口３０ａを有する環状基台３２と、環状基台３２の外周部に固定された切り刃３４と、環状基台３２の第１面側に位置し挿入口３０ａの外周を囲む様に設けられたアンテナを含み、非接触で外部と通信可能な円環状のＩＣタグ３６と、を備える切削ブレード３０。【選択図】図２

Description

本発明は、ＩＣタグを有する切削ブレード、切削ブレードのＩＣタグから情報を読み出す読み出しユニットを備える切削装置、切削ブレードを固定するためのブレードマウント、及び、切削ブレードをブレードマウントに装着した後、切削ブレードの情報を読み出す方法に関する。

携帯電話機やパーソナルコンピュータに代表される電子機器では、電子回路等のデバイスを有するデバイスチップが使用される。デバイスチップは、例えば、シリコン等の半導体材料で形成されたウェーハの表面側を分割予定ライン（ストリート）で複数の領域に区画し、各領域にデバイスを形成した後、この分割予定ラインに沿ってウェーハを分割することで製造される。

ウェーハに代表される板状の被加工物をデバイスチップ等の小片へと分割する際には、例えば、切削装置が用いられる。切削装置は、回転軸となるスピンドルを備えており、このスピンドルには切削ブレードと呼ばれる環状の砥石工具が装着される。

例えば、切削ブレードを高速に回転させた上で、分割予定ラインに沿って切削ブレードを被加工物に切り込ませることで、被加工物は裏面から表面まで切断されて複数のデバイスチップへと分割される。

切削装置としては、例えば、２本のスピンドルの各々の先端部に切削ブレードが装着され各切削ブレードが対向する様に配置された、所謂フェイシング・デュアルスピンドル構造の切削装置が用いられる（例えば、特許文献１参照）。

この構造の切削装置を用いて被加工物を切断する場合には、例えば、ステップカット方式が採用される。ステップカット方式では、まず、第１の切削ブレードを用いて、被加工物を切断しない程度の深さの切削溝を被加工物に形成する。次いで、第１の切削ブレードに比べて刃厚の薄い第２の切削ブレードを用いて、切削溝の下方に位置する被加工物の切り残し領域を切削することで被加工物を切断する。

この様に、第１の切削ブレードを第１のスピンドルに装着して第１の切削ユニットを構成し、第２の切削ブレードを第２のスピンドルに装着して第２の切削ユニットを構成した上で、第１の切削ユニット及び第２の切削ユニットを順に用いて、被加工物を切削する。

しかし、切削ブレードのスピンドルへの装着は、例えば、作業者の手作業により行われるので、切削ブレードの誤装着が生じる場合がある。例えば、第１のスピンドルに第２の切削ブレードを装着し、第２のスピンドルに第１の切削ブレードを装着する誤装着が生じ得る。仮に、この様な誤装着が生じた場合、被加工物の切削を予定した順序で行えないばかりか、被加工物を適切に切削できず被加工物が破損することもある。

そこで、切削ブレードの誤装着を防ぐべく、所定の規格の切削ブレードに所定の色を付し、更に、当該所定の色と同じ色を付したブレードケースを切削装置に装着するという切削ブレードの管理方法が知られている（例えば、特許文献２参照）。この場合、所定の色が付された切削ブレードは、同じ色が付されたブレードケースに収容される。

特開２００１−２９８００２号公報 特開２０１２−７０４号公報

しかし、複数のブレードケースの各々から切削ブレードを取り出した後、切削ブレードの交換作業を中断して他の作業を行い、その後、交換作業を再開する場合、依然として、切削ブレードの誤装着が生じる可能性がある。この様に、ブレードケースから切削ブレードを取り出した後に、どのブレードケースに切削ブレードが入っていたのかを作業者が勘違いする場合がある。

本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、切削ブレードの情報を確認することを可能とする切削ブレード、又は、切削ブレードの情報を確認することを可能とするブレードマウントを提供することを目的とする。

本発明の一態様によれば、柱状のボス部を有するマウントフランジに装着される切削ブレードであって、第１面と、該第１面の反対側に位置する第２面とを有し、該第１面から該第２面に向かって貫通する様に開口された、該ボス部が挿入される該挿入口を有する環状基台と、該環状基台の外周部に固定された切り刃と、該環状基台の該第１面側に位置し該挿入口の外周を囲む様に設けられたアンテナを含み、非接触で外部と通信可能な円環状のＩＣタグと、を備える切削ブレードが提供される。

好ましくは、該ＩＣタグは、該環状基台の該第１面側に固定されており、該ＩＣタグの該アンテナは、樹脂で覆われている。

本発明の他の態様によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該マウントフランジが固定されるスピンドルを有し、該マウントフランジに装着された該切削ブレードで、該チャックテーブルに保持された該被加工物を切削する切削ユニットと、該切削ブレードの該環状基台の該第１面側に配置された場合に、該マウントフランジに装着された該切削ブレードの該ＩＣタグから情報を読み出し可能な読み出しユニットと、を備え、該マウントフランジは、該ボス部と、該ボス部と一体的に設けられており該切削ブレードに接する環状の受面を有するフランジ部と、該スピンドルの先端部に装着される装着部と、を含み、該マウントフランジの該ボス部には、非導電性材料で形成されており、該フランジ部に対して該切削ブレードを押さえ付ける押さえナットが螺合し、該環状基台の該第２面側が該受面に接する様に、該押さえナットにより該切削ブレードが該フランジ部に押さえ付けられた状態で、該読み出しユニットは、該押さえナットを介して該ＩＣタグから情報を読み出す切削装置が提供される。

本発明の更なる他の態様によれば、ＩＣタグを備える切削ブレードを固定するためのブレードマウントであって、ボス部と、該ボス部と一体的に設けられており該切削ブレードに接する環状の受面を有するフランジ部と、スピンドルの先端部に装着される装着部と、を備えるマウントフランジと、非導電性材料で形成されており、該ボス部に螺合し、該フランジ部に対して該切削ブレードを押さえ付ける押さえナットと、を備えるブレードマウントが提供される。

本発明の更なる他の態様によれば、被加工物を切削する切削ユニットのスピンドルの先端部に装着されるマウントフランジに切削ブレードを装着した後、該切削ブレードの情報を読み出す方法であって、柱状のボス部と、該ボス部と一体的に設けられており該切削ブレードに接する環状の受面を有するフランジ部と、該スピンドルの先端部に装着される装着部と、を有する該マウントフランジの該装着部を該先端部に装着して、固定部材で該マウントフランジを該スピンドルに固定する、マウントフランジ固定ステップと、該マウントフランジ固定ステップの後、第１面と該第１面の反対側に位置する第２面とを有し、該第１面から該第２面に向かって貫通する様に開口された、該ボス部が挿入される挿入口を有する環状基台と、該環状基台の外周部に固定された切り刃と、該環状基台の該第１面側に位置し該挿入口の外周を囲む様に設けられたアンテナを含み、非接触で通信が可能な円環状のＩＣタグと、を備える該切削ブレードの該挿入口に対して、該環状基台の該第２面側が該受面と対面する様に、該マウントフランジの該ボス部を挿入する、挿入ステップと、該挿入ステップの後、非導電性材料で形成されている押さえナットを該ボス部に螺合し、該環状基台の該第２面が該受面に接する様に、該押さえナットにより該切削ブレードを該フランジ部に押さえ付ける、押さえ付けステップと、該押さえ付けステップの後、切削装置に設けられた読み出しユニットで、該押さえナットを介して該ＩＣタグから情報を読み出す、読み出しステップと、を備える、切削ブレードの情報を読み出す方法が提供される。

本発明の一態様に係る切削ブレードは、ＩＣタグを有する。このＩＣタグは、非接触で外部と通信可能である。それゆえ、ＩＣタグに格納された情報を読み出し可能な読み出しユニットを切削装置に設けていれば、この読み出しユニットを切削ブレードに近づけることで、ＩＣタグから切削ブレードの情報を得ることができる。これにより、切削ブレードをスピンドルに装着した後に、切削ブレードの情報を確認できるので、適切な切削ブレードがスピンドルに装着されているか否かを確認できる。

第１実施形態に係る切削装置の斜視図である。 第１切削ユニットの分解斜視図である。 切削ブレードの一部を分解した平面図である。 図４（Ａ）は切削ブレードの平面図であり、図４（Ｂ）は切削ブレードの断面図である。 第１実施形態に係る第１切削ユニット等の断面図である。 第１実施形態に係る読み出し方法のフロー図である。 第１実施形態の第１変形例に係る第１切削ユニット及び第２切削ユニットの断面図である。 第１実施形態の第２変形例に係る第１切削ユニット及び第２切削ユニットの断面図である。 第１実施形態の第３変形例に係る第１切削ユニット及び第２切削ユニットの断面図である。 第１実施形態の第４変形例に係る第１切削ユニット及び第２切削ユニットの断面図である。 第２実施形態に係る切削装置の斜視図である。

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、第１実施形態に係る切削装置２の斜視図である。なお、以下の説明で用いられるＸ軸方向（加工送り方向）、Ｙ軸方向（割り出し送り方向）及びＺ軸方向（高さ方向、切り込み送り方向）は、互いに垂直である。

切削装置２の筐体４の前面側には、カセット載置台４ａが設けられている。カセット載置台４ａ上には、内部に複数の被加工物（例えば、ウェーハ）を収容可能な箱状のカセット（不図示）が載置される。

被加工物は、例えば、樹脂製のダイシングテープを介して金属製の環状フレームと一体化された被加工物ユニットの形態で、カセットに収容される。被加工物ユニットは、例えば、環状フレームの開口部に被加工物を配置して、環状フレームの開口部を塞ぐ様に環状フレームの一面と被加工物の裏面とにダイシングテープを貼り付けることで形成される。

筐体４の前面側であって、カセット載置台４ａのＸ軸方向に隣接する領域の上側には、表示装置６が設けられている。表示装置６は、例えば、タッチパネルであり、オペレータが切削装置２に対して操作指令を入力する入力部と、切削装置２の稼働状況等を表示する表示部とを兼ねるユーザーインターフェースとして機能する。

表示装置６の近傍には、非常停止ボタン６ａが設けられている。作業者が非常停止ボタン６ａを押すと稼働中の切削装置２を直ちに停止できる。また、表示装置６の上方には、切削装置２の稼動状況を表示する表示ランプ６ｂが設けられている。表示ランプ６ｂは、例えば、切削装置２が正常に稼働しているときには緑色で点灯し、切削装置２に異常や故障が生じた場合には、表示ランプ６ｂは赤色で点滅する。

表示装置６の後方には、加工室８が設けられている。加工室８には、チャックテーブル８ａが配置されている。チャックテーブル８ａは、ステンレス等の金属材料でなる円筒形状の枠体を有する。枠体の上部には円盤状の凹部が形成されており、この凹部には、ポーラスセラミックス等の多孔質部材で形成された円盤状のポーラス板が固定されている。

ポーラス板は、枠体に形成された流路を通じて、エジェクタ等を含む吸引源（不図示）に接続されている。吸引源を動作させることで、ポーラス板の表面（即ち、保持面）には吸引力が発生し、例えば、被加工物の裏面側はダイシングテープを介して保持面で保持される。

チャックテーブル８ａの側方には、複数のクランプユニット８ｂが設けられている。クランプユニット８ｂは、例えば、チャックテーブル８ａの周方向の異なる４箇所に固定されている。クランプユニット８ｂは、被加工物ユニットの環状フレームを挟持することで環状フレームの位置を固定できる。

チャックテーブル８ａの下方には、チャックテーブル８ａをＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構（不図示）が設けられている。また、チャックテーブル８ａとＸ軸移動機構との間には、モータ等の回転駆動源（不図示）が設けられている。回転駆動源は、チャックテーブル８ａに連結しており、Ｚ軸方向に概ね平行な回転軸の周りにチャックテーブル８ａを回転させることができる。

チャックテーブル８ａの上方には、被加工物を各々切削する第１切削ユニット１０−１及び第２切削ユニット１０−２が配置されている。第１切削ユニット１０−１及び第２切削ユニット１０−２の各々は、一端側に切削ブレード３０を有する。各切削ブレード３０は、Ｙ軸方向で対面する様に配置されている。

第１切削ユニット１０−１及び第２切削ユニット１０−２の上方には、Ｙ軸方向に平行な長手部を有する直方体形状の支持部１２が設けられている。支持部１２には、ボールネジ機構を有する第１のＹ軸移動機構（不図示）が取り付けられている。

第１のＹ軸移動機構は、Ｙ軸方向に平行に配置された一対のＹ軸ガイドレール（不図示）を有する。各Ｙ軸ガイドレールは、支持部１２の一側面に固定されている。各Ｙ軸ガイドレールには、Ｙ軸移動プレート（不図示）がスライド可能に取り付けられている。

Ｙ軸移動プレートの一面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｙ軸ガイドレールと平行に配置されたＹ軸ボールネジ（不図示）が回転可能な態様で結合されている。

Ｙ軸移動プレートの他面側には、ボールネジ機構を有する第１のＺ軸移動機構（不図示）が取り付けられている。第１のＺ軸移動機構は、Ｚ軸方向に平行に配置された一対のＺ軸ガイドレール（不図示）を有する。各Ｚ軸ガイドレールは、Ｙ軸移動プレートの他面に固定されている。各Ｚ軸ガイドレールには、Ｚ軸移動プレート（不図示）がスライド可能に取り付けられている。

Ｚ軸移動プレートの一面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレールと平行に配置されたＺ軸ボールネジ（不図示）が回転可能な態様で結合されている。このＺ軸移動プレートの他面側には、第１切削ユニット１０−１が固定されている。

同様に、支持部１２には、第１のＹ軸移動機構と略同じ第２のＹ軸移動機構（不図示）が取り付けられている。第２のＹ軸移動機構の移動プレート（不図示）の他面側には、第２のＺ軸移動機構（不図示）が取り付けられており、第２のＺ軸移動機構の移動プレート（不図示）の他面側には、第２切削ユニット１０−２が固定されている。

支持部１２の底面側には、それぞれ四角柱状の第１移動部材１２ａ−１及び第２移動部材１２ａ−２が設けられている。第１移動部材１２ａ−１及び第２移動部材１２ａ−２は、Ｚ軸方向に移動可能な態様で、支持部１２に取り付けられている。

第１移動部材１２ａ−１及び第２移動部材１２ａ−２の下端部には、リーダーライター（即ち、読み取り書き込み機）、リーダー（即ち、読み取り機）等の読み出しユニットが設けられている（図５参照）。

本実施形態の読み出しユニットは、リーダーライターである。リーダーライターは、後述するＩＣタグから情報を読み出すことができるリーダー（reader）の機能と、ＩＣタグに情報を書き込むことができるライター（writer）の機能とを有する。

第１移動部材１２ａ−１及び第２移動部材１２ａ−２は、例えば、ブレード交換時や切削等の加工時には、図１に示す様に、それらの大部分が支持部１２内に収容される。例えば、加工時には、第１移動部材１２ａ−１の下端部が部分的に支持部１２の外に露出される様に、第１移動部材１２ａ−１の大部分が支持部１２内に収容される。このとき、リーダーライターは、支持部１２の底部近傍の位置（即ち、退避位置）に位置付けられる。

これに対して、第１移動部材１２ａ−１のリーダーライターが第１切削ユニット１０−１に設けられたＩＣタグと無線通信を行う場合、第１移動部材１２ａ−１は支持部１２から引き出される。これにより、第１移動部材１２ａ−１のリーダーライターは、第１切削ユニット１０−１の切削ブレード３０に対してＹ軸方向に隣接する位置（即ち、通信位置）に移動する（図５参照）。

同様に、第２移動部材１２ａ−２のリーダーライターが第２切削ユニット１０−２に設けられたＩＣタグと無線通信を行う場合、第２移動部材１２ａ−２は支持部１２から引き出される。これにより、第２移動部材１２ａ−２のリーダーライターは、第２切削ユニット１０−２の切削ブレード３０に対してＹ軸方向に隣接する位置（即ち、通信位置）に移動する。

なお、第１切削ユニット１０−１及び第２切削ユニット１０−２で被加工物を切削する場合には、切削水を供給しながら切削を行う。それゆえ、切削水による加工室８内の汚染を低減するべく、第１切削ユニット１０−１及び第２切削ユニット１０−２の各々には、ブレードカバー（不図示）が装着される。

筐体４の側面には、筐体４の側面から加工室８に作業者がアクセスできる様に、開口部８ｃが設けられている。開口部８ｃの近傍には、非常停止ボタン６ｃが設けられている。非常停止ボタン６ｃは、作業者が開口部８ｃに対面した状態で押下可能な位置、例えば、開口部８ｃよりも後方、且つ、開口部８ｃのＹ軸方向に隣接する位置に設けられている。

切削装置２には、制御部（不図示）が設けられている。制御部は、カセット載置台４ａ、チャックテーブル８ａ、第１切削ユニット１０−１、第２切削ユニット１０−２、第１移動部材１２ａ−１、第２移動部材１２ａ−２等の動作を制御する。

制御部は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理装置や、フラッシュメモリ等の記憶装置を含むコンピュータによって構成される。記憶装置に記憶されるプログラム等のソフトウェアに従い処理装置を動作させることによって、制御部は、ソフトウェアと処理装置（ハードウェア資源）とが協働した具体的手段として機能する。

次に、図２等を用いて、第１切削ユニット１０−１の構造について説明する。図２は、第１切削ユニット１０−１の分解斜視図である。なお、第２切削ユニット１０−２の構造は、第１切削ユニット１０−１の構造と同じであるので、説明を省略する。

第１切削ユニット１０−１は、スピンドルハウジング１４を備える。スピンドルハウジング１４は、例えば、上述の第１のＺ軸移動機構の移動プレートに固定されている。スピンドルハウジング１４の内部には、Ｙ軸方向に平行な回転軸となるスピンドル１６が収容されている。

スピンドル１６の先端部は、スピンドルハウジング１４から外部に露出しており、この先端部にはボルト穴１８が設けられている。スピンドル１６の先端部には、マウントフランジ２０が装着され、スピンドル１６の後端側には、モータを含む回転駆動源（不図示）が連結される。

マウントフランジ２０は、円盤状のフランジ部２２を有する。フランジ部２２の表面の外周側には環状の凸部が設けられている。この凸部の表面は、切削ブレード３０の裏面に接する接触面（受面）２２ａとなる。接触面２２ａは、スピンドル１６の軸心に対して垂直かつ平坦になっている。

フランジ部２２の表面側の中央部には、フランジ部２２の表面から突き出す態様で第１ボス部（ボス部）２４が設けられている。第１ボス部２４は、フランジ部２２と一体的に設けられており、円筒状に形成されている。また、第１ボス部２４の先端側の外周面２４ａには、ネジ山が設けられている。

フランジ部２２の裏面側（フランジ部２２に対して第１ボス部２４とは反対側）の中央部には、フランジ部２２の裏面側から突き出す様に第２ボス部（装着部）２６が設けられている。なお、本実施形態では、装着部として第２ボス部２６を採用するが、装着部はフランジ部２２の裏面側から突出していなくてもよい。

第２ボス部２６も、フランジ部２２と一体的に設けられており、円筒状に形成されている。第２ボス部２６の内径は、スピンドル１６の外径と略一致する。第２ボス部２６の中心軸と、第１ボス部２４の中心軸とは、スピンドル１６と同軸上に配置されている。第１ボス部２４の円筒状の空間と、第２ボス部２６の円筒状の空間との間には、円環状の仕切部２６ａが設けられている。

仕切部２６ａは、フランジ部２２と一体的に形成されており、所定の大きさの開口２６ｂを有する。開口２６ｂの大きさは、スピンドル１６に締結されるボルト２８の軸の径よりも大きく、且つ、ボルト２８の頭部の径よりも小さい。

スピンドル１６の先端部が仕切部２６ａに接する様に、第２ボス部２６内にスピンドル１６の先端部を挿入した状態で、仕切部２６ａの開口２６ｂを通じてスピンドル１６のボルト穴１８には、固定用のボルト２８が螺合される。これにより、マウントフランジ２０は、仕切部２６ａを介してボルト２８でスピンドル１６に固定される（図５参照）。

この様にして、スピンドル１６の先端部に固定されたマウントフランジ２０の第１ボス部２４には、切削ブレード３０が装着される。本実施形態の切削ブレード３０は、いわゆるハブ型ブレードであり、アルミニウム等の金属で円環状に形成された環状基台３２を有する。

環状基台３２の中央部には、円形の開口（挿入口）３０ａが形成されている。この開口３０ａに第１ボス部２４を挿入することで、切削ブレード３０は、マウントフランジ２０に装着される。

環状基台３２の外周部には、被加工物を切削するための円環状の切り刃３４が固定されている。切り刃３４は、例えば、金属や樹脂等の結合材に、ダイヤモンドやｃＢＮ（cubic boron nitride）等の砥粒を分散させて所定の厚みに形成されている。

マウントフランジ２０とは反対側に配置される、環状基台３２の表面（第１面）３２ａには、１ｍｍから３ｍｍ程度の厚さを有する円環状のＩＣタグ３６が設けられている。ＩＣタグ３６は、非接触で外部と通信可能なデバイスであり、ＲＦＩＤタグ、ＲＦタグ、電子タグ、無線タグ、無線ＩＣタグと呼ばれる場合もある。

ＩＣタグ３６は、例えば、後述するリーダーライターからの電磁波等を動力源として動作するパッシブタイプである。本実施形態のＩＣタグ３６は、所定の周波数（例えば、１３．５６ＭＨｚ）で信号を受信し、動作可能な様に構成されている。但し、ＩＣタグ３６は、パッシブタイプに限定されず、内蔵された電池から供給される電力で動作するアクティブタイプであってもよい。

ここで、図３、図４（Ａ）及び図４（Ｂ）を用いて、ＩＣタグ３６の構成について説明する。図３は、切削ブレード３０の一部を分解した平面図である。図４（Ａ）は、切削ブレード３０の平面図であり、図４（Ｂ）は、切削ブレード３０の断面図である。

ＩＣタグ３６は、円環状の磁性体層３６ａに接して設けられている。磁性体層３６ａは、例えば、強磁性体を有する層であり、円盤状の焼結フェライトで形成されている。なお、磁性体層３６ａは、強磁性粉体を含む樹脂層であってもよい。

磁性体層３６ａの表面側（即ち、環状基台３２とは反対側）には、アンテナ３６ｂが設けられている。アンテナ３６ｂは、銅等の導体で形成されており、磁性体層３６ａの内径よりも外側且つ磁性体層３６ａの外径よりも内側に配置されている。

この様に、アンテナ３６ｂと金属製の環状基台３２との間には、磁性体層３６ａが設けられているので、アンテナ３６ｂ近傍に生じる磁界が、環状基台３２によって形成される反磁界により低減されることを防止できる。それゆえ、金属製の環状基台３２を用いてもＩＣタグ３６とリーダーライターとの通信に支障がない。

本実施形態のアンテナ３６ｂは、開口３０ａに対して同心円状に配置されたループアンテナ又は渦巻き状に配置されたスパイラルアンテナである。それゆえ、表面３２ａ側において開口３０ａの全周を囲まない一領域にアンテナ３６ｂを配置する場合に比べて、切削ブレード３０を回転させても回転軸に対してバランスが崩れにくい。なお、アンテナ３６ｂは、回転軸に対して多角形（例えば、正方形）の渦巻き状に配置されてもよい。

また、環状基台３２の開口（挿入口）３０ａの外周を囲む様にアンテナ３６ｂを設けることで、上述の一領域にアンテナ３６ｂを配置する場合に比べて、アンテナ３６ｂの設置範囲を大きくできる。ＩＣタグ３６がパッシブタイプである本実施形態では、当該一領域にアンテナ３６ｂを配置する場合に比べて、受信する電磁波に基づいて誘起される起電力を大きくできるので、リーダーライターとの通信をより確実にできる。

アンテナ３６ｂには、ＩＣチップ３６ｃが接続されている。ＩＣチップ３６ｃは、ＩＣやメモリ部等から成り、このメモリ部には、切削ブレード３０に関する情報が格納されている。

例えば、メモリ部には、切削ブレード３０の種類（例えば、砥粒や結合材等の砥石成分）、切削ブレード３０の直径及び切り刃３４の刃厚等のサイズ、切り刃３４の刃先出し量、切削ブレード３０の使用履歴（例えば、何ライン又は何個の被加工物を切削したか、どれだけ切り刃３４が消耗したか、どれだけ切り刃３４が残っているか）等の情報が格納される。

アンテナ３６ｂ及びＩＣチップ３６ｃの表面側（即ち、磁性体層３６ａとは反対側）には、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）等の樹脂で形成された保護層３６ｄが設けられている。

アンテナ３６ｂ及びＩＣチップ３６ｃを保護層３６ｄで覆うことにより、被加工物の切削時に切削水や切削屑がアンテナ３６ｂ及びＩＣチップ３６ｃに付着して、アンテナ３６ｂ等が劣化することを防止できる。

本実施形態では、予め形成された膜をアンテナ３６ｂ等に貼り付けて保護層３６ｄとして用いるが、樹脂を塗布形成することにより保護層３６ｄを形成してもよい。また、保護層３６ｄは、所定の色で着色されていてもよい。例えば、保護層３６ｄの色は、切削ブレード３０の種類に対応して付される。保護層３６ｄの色により、切削ブレード３０の種類を視覚的に特定できれば、切削ブレード３０の誤装着を防止する助けとなる。

この様に、本実施形態のＩＣタグ３６は、アンテナ３６ｂ、ＩＣチップ３６ｃ及び保護層３６ｄを有し、ＩＣタグ３６は、磁性体層３６ａと一体化されている。磁性体層３６ａのＩＣタグ３６と反対側は、樹脂製の接着剤等で環状基台３２の表面３２ａ側に固定される。これにより、ＩＣタグ３６及び磁性体層３６ａは、環状基台３２と一体化される。なお、本実施形態の磁性体層３６ａはＩＣタグ３６とは別部材であるが、磁性体層３６ａはＩＣタグ３６の一部であってもよい。

切削ブレード３０をマウントフランジ２０に固定する場合には、環状基台３２の裏面３２ｂ（即ち、表面３２ａとは反対側に位置する第２面）がフランジ部２２の接触面２２ａに接する様に切削ブレード３０をマウントフランジ２０に装着する。この状態で、ＩＣタグ３６上に、円環状の押さえナット４０を配置する。

押さえナット４０の中央部には、円形の開口４０ａが形成されており、この開口４０ａの内壁面には、第１ボス部２４の外周面２４ａに形成されたネジ山に対応するネジ溝が形成されている。

環状基台３２の裏面３２ｂ側が接触面（受面）２２ａに接する様に、切削ブレード３０の開口３０ａを第１ボス部２４に挿通した状態で、押さえナット４０の開口４０ａのネジ溝を、マウントフランジ２０の第１ボス部２４のネジ山に締め付ける。

これにより、切削ブレード３０は、押さえナット４０によりマウントフランジ２０のフランジ部２２に押さえ付けられて固定される。つまり、マウントフランジ２０及び押さえナット４０は、切削ブレード３０を固定するためのブレードマウント５０として機能する。

押さえナット４０は、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）等の樹脂（即ち、非導電性材料）で形成されている。それゆえ、リーダーライターを押さえナット４０側からＩＣタグ３６に近づけても、通信を妨害又は遮断されることなく、リーダーライターはＩＣタグ３６と通信可能である。

次に、図５を用いて、押さえナット４０の構造等について更に説明する。図５は、第１実施形態に係る第１切削ユニット１０−１等の断面図である。押さえナット４０は、第１ボス部２４の外径に対応する大きさを有する開口４０ａが形成された円環状の締結部４０ｂを有する。

締結部４０ｂの裏面側の外周部には、環状凸部４０ｃが形成されている。環状凸部４０ｃの裏面は、押さえナット４０を第１ボス部２４に締結した場合に切削ブレード３０の表面３２ａに接する接触面４０ｄである。

押さえナット４０が第１ボス部２４に固定されると、締結部４０ｂの裏面と、環状凸部４０ｃの内周側面と、切削ブレード３０の表面３２ａと、第１ボス部２４の外周側面とにより、円環状の空間が形成される。この空間には、上述のＩＣタグ３６が収容される。

第１切削ユニット１０−１のスピンドルハウジング１４の先端部には第１ブレードカバー４２が取り付けられている。第１ブレードカバー４２は、切削ブレード３０等の上方を覆う上部カバー４２ａと、Ｘ軸方向の一方の側方を覆う側部カバー４２ｂとを含む。

但し、第１ブレードカバー４２は、被加工物の切削を妨げない様に、第１切削ユニット１０−１の下方を覆わない。なお、本実施形態の第１ブレードカバー４２は、切削ブレード３０の表面側（即ち、押さえナット４０のスピンドル１６とは反対側）を覆わないが、切削ブレード３０の表面側を部分的に覆ってもよい。

第１移動部材１２ａ−１のリーダーライター１２−１ｂが第１切削ユニット１０−１と無線通信を行う場合には、第１移動部材１２ａ−１が下方に移動し、リーダーライター１２−１ｂが第１切削ユニット１０−１の表面側（即ち、通信位置）に位置付けられる。

リーダーライター１２−１ｂは、例えば、アンテナ及び制御回路を含む。リーダーライター１２−１ｂは、非接触でＩＣタグ３６と通信可能であり、ＩＣタグ３６と無線通信を行う場合には、例えば、ＩＣタグ３６から１ｃｍから１０ｃｍ程度離れて配置される。

本実施形態では、第１移動部材１２ａ−１のリーダーライター１２ｂ−１（読み出しユニット）を用いて、ＩＣタグ３６から切削ブレード３０の情報を得ることができる。リーダーライター１２−１ｂは、配線等を介して上述の制御部に電気的に接続されている。リーダーライター１２ｂ−１が読み出したＩＣタグ３６の情報は、例えば、自動的に制御部に入力され、制御部によって表示装置６に表示される。

例えば、第１切削ユニット１０−１及び第２切削ユニット１０−２に装着された各切削ブレード３０の種類、サイズ等の情報が表示装置６に表示される。これにより、切削ブレード３０をスピンドル１６に装着した後に、作業者等は、切削ブレード３０の情報を確認できる。それゆえ、適切な切削ブレード３０がスピンドル１６に装着されているか否かを確認できる。

また、切削ブレード３０の情報が自動的に制御部に入力されるので、オペレータが切削ブレード３０の情報を手動で入力する場合の様に、切削ブレード３０の情報が誤入力される恐れが無い。

次に、第１切削ユニット１０−１のマウントフランジ２０に切削ブレード３０を装着した後、切削ブレード３０の情報を読み出す切削ブレード３０の情報を読み出す方法について説明する。図６は、第１実施形態に係る読み出し方法のフロー図である。

まず、第２ボス部（装着部）２６の円筒状の空間にスピンドル１６の先端部を挿入し、ボルト（固定部材）２８でマウントフランジ２０を、スピンドル１６の先端部に固定する（マウントフランジ固定ステップ（Ｓ１０））。

マウントフランジ固定ステップ（Ｓ１０）の後、環状基台３２の裏面（第２面）３２ｂ側が接触面（受面）２２ａと対面する様に、切削ブレード３０の開口（挿入口）３０ａにマウントフランジ２０の第１ボス部（ボス部）２４を挿入する（挿入ステップ（Ｓ２０））。

挿入ステップ（Ｓ２０）の後、押さえナット４０を第１ボス部２４に螺合し、押さえナット４０により切削ブレード３０をフランジ部２２に押さえ付ける（押さえ付けステップ（Ｓ３０））。これにより、切削ブレード３０の裏面３２ｂ側（他面側）がフランジ部２２の接触面（受面）２２ａに接する様に、切削ブレード３０はブレードマウント５０によって固定される。

押さえ付けステップ（Ｓ３０）の後、 第１移動部材１２ａ−１を下方に動かして、リーダーライター１２ｂ−１を第１切削ユニット１０−１の表面側（通信位置）に移動させる。これにより、リーダーライター１２ｂ−１は、Ｙ軸方向で環状基台３２の表面（第１面）３２ａ側に対面する様に配置される。

そして、リーダーライター１２ｂ−１（読み出しユニット）が、押さえナット４０を介してＩＣタグ３６から情報を読み出す（読み出しステップ（Ｓ４０））。リーダーライター１２ｂ−１が読み出したＩＣタグ３６の情報は、例えば、制御部に自動的に入力され、制御部によって表示装置６に表示される。

これにより、切削ブレード３０をスピンドル１６に装着した後に、作業者等は、切削ブレード３０の情報を確認できる。それゆえ、適切な切削ブレード３０がスピンドル１６に装着されているか否かを確認できる。

なお、リーダーライター１２ｂ−１は、ＩＣタグ３６から情報を読み出すだけではなく、ＩＣタグ３６に新たな情報を書き込んでもよい。この新たな情報は、ＩＣチップ３６ｃに保存される。また、ＩＣタグ３６に情報を書き込む必要がない場合は、リーダーライター１２ｂ−１に代えて、リーダー（即ち、読み取り機）が設けられてもよい。

なお、仮に、適切な切削ブレード３０がスピンドル１６に装着されていない（即ち、切削ブレード３０が誤装着されている）場合、作業者等が、切削ブレード３０を交換した上で、再度、上述のＳ１０からＳ４０が行われる。

次に、第１実施形態の変形例について説明する。図７は、第１実施形態の第１変形例に係る第１切削ユニット１０−１及び第２切削ユニット１０−２の断面図である。当該変形例に係る切削装置２は、第１移動部材１２ａ−１及び第２移動部材１２ａ−２を有さず、代わりに、第２切削ユニット１０−２の第２ブレードカバー４４に設けられたリーダーライター４６等を有する。

第２ブレードカバー４４は、第２切削ユニット１０−２のスピンドルハウジング（不図示）に取り付けられている。第２ブレードカバー４４は、切削ブレード３０−２等の上方を覆う上部カバー４４ａと、Ｘ軸方向の一方の側方を覆う側部カバー４４ｂとを含む。第２ブレードカバー４４の上部カバー４４ａの表面側（即ち、第１切削ユニット１０−１側）の端部には、リーダーライター４６が設けられている。

次に、第２切削ユニット１０−２のリーダーライター４６が、第１切削ユニット１０−１のＩＣタグ３６から情報を読み出す読み出しステップ（Ｓ４０）について説明する。まず、上述の第２のＺ軸移動機構を用いて、リーダーライター４６の高さ位置と、第１切削ユニット１０−１のＩＣタグ３６のアンテナ３６ｂとの高さ位置を合わせる。例えば、リーダーライター４６の高さ位置が、スピンドル１６よりも上方に位置するアンテナ３６ｂの一領域の高さ位置に合わせられる。

高さ位置の調節と併せて、上述の第２のＹ軸移動機構を用いて、リーダーライター４６とＩＣタグ３６とを通信可能な距離まで第２切削ユニット１０−２を第１切削ユニット１０−１に近づける。そして、リーダーライター４６（読み出しユニット）が環状基台３２の表面３２ａ側に対面する様に配置された状態で、リーダーライター４６がＩＣタグ３６から情報を読み出す。

リーダーライター１２ｂ−１が読み出したＩＣタグ３６の情報は、例えば、制御部に自動的に入力され、制御部によって表示装置６に表示される。これにより、切削ブレード３０をスピンドル１６に装着した後に、作業者等は、切削ブレード３０の情報を確認できる。それゆえ、適切な切削ブレード３０がスピンドル１６に装着されているか否かを確認できる。

次に、図８を用いて、第１実施形態の第２変形例について説明する。図８は、第１実施形態の第２変形例に係る第１切削ユニット１０−１及び第２切削ユニット１０−２の断面図である。第２変形例における第２ブレードカバー４４は、第２切削ユニット１０−２の表面側を部分的に覆う表面側カバー４４ｃを更に有する。

表面側カバー４４ｃは、例えば、上部カバー４４ａの表面側の端部において、上部カバー４４ａの高さ位置から、上部カバー４４ａとスピンドル１６との間の高さ位置まで設けられている。表面側カバー４４ｃの下端部には、上述のリーダーライター４６が設けられている。つまり、リーダーライター４６は、上部カバー４４ａの高さ位置よりもＩＣタグ３６に近い位置に設けられている。

第２変形例では、例えば、第１切削ユニット１０−１及び第２切削ユニット１０−２が略同じ高さ位置に配置されている場合、第１変形例に比べて読み出しステップ（Ｓ４０）での第２切削ユニット１０−２のＺ軸方向の移動距離を小さくできる。それゆえ、第１変形例に比べてより短い時間でリーダーライター４６をＩＣタグ３６近傍に移動できる。

次に、第１実施形態の第３変形例について説明する。図９は、第１実施形態の第３変形例に係る第１切削ユニット１０−１及び第２切削ユニット１０−２の断面図である。第３変形例では、第２ブレードカバー４４の表面側の端部に設けられたリーダーライター４６に加えて、第１ブレードカバー４２にもリーダーライター４６が設けられている。

第１切削ユニット１０−１のリーダーライター４６は、第２切削ユニット１０−２のリーダーライター４６と同様に、第１ブレードカバー４２の上部カバー４２ａの表面側の端部に設けられている。

第３変形例では、第２切削ユニット１０−２のリーダーライター４６で、第１切削ユニット１０−１のＩＣタグ３６の情報を読み出すことができる。これに加えて、第１切削ユニット１０−１のリーダーライター４６で、第２切削ユニット１０−２のＩＣタグ３６の情報を読み出すこともできる。

次に、第１実施形態の第４変形例について説明する。図１０は、第１実施形態の第４変形例に係る第１切削ユニット１０−１及び第２切削ユニット１０−２の断面図である。第４変形例における第１ブレードカバー４２は、第１切削ユニット１０−１の表面側を部分的に覆う表面側カバー４２ｃを更に有する。

表面側カバー４２ｃは、例えば、上部カバー４２ａの表面側の端部において、上部カバー４２ａの高さ位置から、上部カバー４２ａとスピンドル１６との間の高さ位置まで設けられている。表面側カバー４２ｃの下端部には、上述のリーダーライター４６が設けられている。つまり、リーダーライター４６は、上部カバー４２ａの高さ位置よりもＩＣタグ３６に近い位置に設けられている。

第４変形例では、第２切削ユニット１０−２のリーダーライター４６で、第１切削ユニット１０−１のＩＣタグ３６の情報を読み出すことができる。これに加えて、第１切削ユニット１０−１のリーダーライター４６で、第２切削ユニット１０−２のＩＣタグ３６の情報を読み出すこともできる。

この第４変形例の読み出しステップ（Ｓ４０）では、例えば、第１切削ユニット１０−１及び第２切削ユニット１０−２が略同じ高さ位置に配置されている場合、第３変形例に比べて第２切削ユニット１０−２のＺ軸方向の移動距離を小さくできる。また、第３変形例に比べて、第１切削ユニット１０−１のＺ軸方向の移動距離も小さくできる。それゆえ、第３変形例に比べてより短い時間でリーダーライター４６をＩＣタグ３６近傍に配置できる。

次に、第２実施形態について説明する。図１１は、第２実施形態に係る切削装置５２の斜視図である。切削装置５２は、各構成要素を支持する基台５４を備えている。基台５４の上方には、本体５６が設けられている。

本体５６の前方の基台５４の近傍には、加工室５８が設けられている。加工室５８は、第１扉５８ａを介して外部からアクセス可能な第１空間５８Ａと、第２扉５８ｂを介して外部からアクセス可能な第２空間５８Ｂとを含む。第１空間５８Ａと、第２空間５８Ｂとの間には、仕切板５８ｃが設けられている。

第１空間５８Ａには、被加工物（不図示）を切削する切削ユニット６０が収容されている。切削ユニット６０は、上述のスピンドル１６と同じスピンドル（不図示）を有する。切削ユニット６０は、このスピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジング６２を更に有する。

スピンドルハウジング６２には、それぞれボールネジ構造を有するＹ軸移動ユニット及びＺ軸移動機構（いずれも不図示）が連結されており、スピンドルハウジング６２はＹ軸方向及びＺ軸方向に沿って移動可能である。

スピンドルハウジング６２の後端部には、スピンドルを回転させるモータを含む回転駆動源（不図示）が設けられている。これに対して、スピンドルハウジング６２の先端部には、スピンドルの先端部が露出しており、この先端部には、上述のマウントフランジ２０と同じマウントフランジ（不図示）が装着される。

マウントフランジは、それぞれ上述のフランジ部、第１ボス部及び第２ボス部を含む。第２ボス部にスピンドルの先端部を挿入した状態で、スピンドルのボルト穴（不図示）にボルト（不図示）を螺合すれば、マウントフランジがスピンドルに固定される。マウントフランジの第１ボス部には、上述の切削ブレード３０と同じ切削ブレード６４が装着される。

切削ブレード６４も、上述の環状基台、切り刃、ＩＣタグ等（いずれも不図示）を有する。ＩＣタグは、マウントフランジとは反対側の環状基台の表面側に設けられている。切削ブレード６４をマウントフランジに装着した状態で、ＩＣタグ上には、上述の押さえナット４０と同じ円環状の押さえナット（不図示）が配置される。

切削ブレード６４の開口に第１ボス部を挿通した状態で、押さえナットをマウントフランジの第１ボス部に締め付けることで、切削ブレード６４は、押さえナットによりマウントフランジのフランジ部に押さえ付けられて固定される。これにより、切削ブレード６４は、押さえナット及びマウントフランジから成るブレードマウントにより固定される。

切削ユニット６０のスピンドルハウジング６２の先端部にはブレードカバー６６が取り付けられている。ブレードカバー６６は、切削ブレード６４等の上方側と、Ｘ軸方向の側方側とを覆う。

但し、ブレードカバー６６は、被加工物の切削を妨げない様に、切削ブレード６４の下方を覆わない。また、本実施形態のブレードカバー６６は、切削ブレード６４の表面側（即ち、押さえナットのスピンドルとは反対側）を覆わないが、ＩＣタグの通信を妨げない程度に切削ブレード６４の表面側を部分的に覆ってもよい。

第１扉５８ａの内側の一面（即ち、ブレードカバー６６に対面する内側面）において、切削ブレード６４に対面する領域には、リーダーライター（読み出しユニット）６８が設けられている。

第２空間５８Ｂには、チャックテーブル７０が設けられている。チャックテーブル７０は、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、Ｚ軸方向に概ね平行な直線を回転軸として回転できる。

また、チャックテーブル７０の下方には、チャックテーブル７０をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構（不図示）が設けられている。Ｘ軸移動機構を動作させることにより、チャックテーブル７０は第１空間５８Ａと第２空間５８Ｂとを行き来できる。

チャックテーブル７０の上部には、多孔質部材で形成された円盤状のポーラス板（不図示）が設けられている。ポーラス板は、チャックテーブル７０の内部に形成された流路（不図示）等を通じて、エジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。吸引源を動作させると、ポーラス板の上面は、被加工物等を吸引して保持する保持面として機能する。

第２空間５８Ｂには、Ｚ軸方向でチャックテーブル７０と対面する様に、撮像ユニット７２が設けられている。撮像ユニット７２は、チャックテーブル７０で保持された被加工物の表面を撮像して、画像を取得する。この画像は、被加工物のアライメント等に利用される。

被加工物は、例えば、第２扉５８ｂから加工室５８へと搬送される。そして、第２空間５８Ｂでアライメント等が行われた後、チャックテーブル７０により第１空間５８Ａへ搬送される。その後、被加工物は、第１空間５８Ａで切削ユニット６０により切削される。

本体５６の前面には、表示装置７４が設けられている。表示装置７４は、例えば、タッチパネルであり、オペレータが切削装置５２に対して操作指令を入力する入力部と、切削装置５２の稼働状況等を表示する表示部とを兼ねるユーザーインターフェースとして機能する。また、リーダーライター６８が読み出したＩＣタグの情報は、例えば、表示装置７４に表示される。

表示装置７４の近傍には、非常停止ボタン７６が設けられている。非常停止ボタン７６は、作業者が表示装置７４に対面した状態で押下可能な様に、切削装置５２の本体５６の前面に設けられている。また、表示装置７４の上方には、切削装置５２の稼動状況を表示する表示ランプ７８が設けられている。

第２実施形態でも、切削ユニット６０で被加工物を加工する前に、マウントフランジに切削ブレードを装着し、その後、切削ブレードの情報を読み出す。この場合、上述のマウントフランジ固定ステップ（Ｓ１０）、挿入ステップ（Ｓ２０）、押さえ付けステップ（Ｓ３０）及び読み出しステップ（Ｓ４０）が行われる。

Ｓ１０からＳ３０は第１実施形態と同じであるので、説明を省略する。読み出しステップ（Ｓ４０）では、第１扉５８ａを閉じた状態で、上述のＹ軸移動機構及びＺ軸移動機構の少なくともいずれかを動作させることで、切削ブレード６４をリーダーライター６８の近傍に移動できる。これにより、切削ブレード６４の環状基台の表面側（第１面側）をリーダーライター６８（読み出しユニット）に対面する様に配置させる。

そして、押さえナットにより切削ブレードをフランジ部に押さえ付けた状態で、リーダーライター６８（読み出しユニット）が、押さえナットを介してＩＣタグから情報を読み出す。読み出されたＩＣタグの情報は、例えば、自動的に制御部に入力され、制御部によって表示装置７４に表示される。

これにより、切削ブレード６４をスピンドルに装着した後に、作業者等は、切削ブレード６４の情報を確認できる。それゆえ、適切な切削ブレード６４がスピンドルに装着されているか否かを確認できる。

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。第２実施形態でも、リーダーライター６８に代えて、リーダー（即ち、読み取り機）が設けられてもよい。

２ 切削装置
４ 筐体
４ａ カセット載置台
６ 表示装置
６ａ 非常停止ボタン
６ｂ 表示ランプ
６ｃ 非常停止ボタン
８ 加工室
８ａ チャックテーブル
８ｂ クランプユニット
８ｃ 開口部
１０−１ 第１切削ユニット
１０−２ 第２切削ユニット
１２ 支持部
１２ａ−１ 第１移動部材
１２ａ−２ 第２移動部材
１２ｂ−１ リーダーライター（読み出しユニット）
１４ スピンドルハウジング
１６ スピンドル
１８ ボルト穴
２０ マウントフランジ
２２ フランジ部
２２ａ 接触面（受面）
２４ 第１ボス部（ボス部）
２４ａ 外周面
２６ 第２ボス部（装着部）
２６ａ 仕切部
２６ｂ 開口
２８ ボルト（固定部材）
３０ 切削ブレード
３０ａ 開口（挿入口）
３２ 環状基台
３２ａ 表面（第１面）
３２ｂ 裏面（第２面）
３４ 切り刃
３６ ＩＣタグ
３６ａ 磁性体層
３６ｂ アンテナ
３６ｃ ＩＣチップ
３６ｄ 保護層
４０ 押さえナット
４０ａ 開口
４０ｂ 締結部
４０ｃ 環状凸部
４０ｄ 接触面
４２ 第１ブレードカバー
４２ａ 上部カバー
４２ｂ 側部カバー
４２ｃ 表面側カバー
４４ 第２ブレードカバー
４４ａ 上部カバー
４４ｂ 側部カバー
４４ｃ 表面側カバー
４６ リーダーライター
５０ ブレードマウント
５２ 切削装置
５４ 基台
５６ 本体
５８ 加工室
５８ａ 第１扉
５８ｂ 第２扉
５８ｃ 仕切板
５８Ａ 第１空間
５８Ｂ 第２空間
６０ 切削ユニット
６２ スピンドルハウジング
６４ 切削ブレード
６６ ブレードカバー
６８ リーダーライター
７０ チャックテーブル
７２ 撮像ユニット
７４ 表示装置
７６ 非常停止ボタン
７８ 表示ランプ

Claims (5)

1. 柱状のボス部を有するマウントフランジに装着される切削ブレードであって、
   第１面と、該第１面の反対側に位置する第２面とを有し、該第１面から該第２面に向かって貫通する様に開口された、該ボス部が挿入される挿入口を有する環状基台と、
   該環状基台の外周部に固定された切り刃と、
   該環状基台の該第１面側に位置し該挿入口の外周を囲む様に設けられたアンテナを含み、非接触で外部と通信可能な円環状のＩＣタグと、
   を備えることを特徴とする切削ブレード。
2. 該ＩＣタグは、該環状基台の該第１面側に固定されており、該ＩＣタグの該アンテナは、樹脂で覆われていることを特徴とする請求項１記載の切削ブレード。
3. 被加工物を保持するチャックテーブルと、
   該マウントフランジが固定されるスピンドルを有し、該マウントフランジに装着された請求項１又は２記載の該切削ブレードで、該チャックテーブルに保持された該被加工物を切削する切削ユニットと、
   該切削ブレードの該環状基台の該第１面側に配置された場合に、該マウントフランジに装着された該切削ブレードの該ＩＣタグから情報を読み出し可能な読み出しユニットと、を備え、
   該マウントフランジは、該ボス部と、該ボス部と一体的に設けられており該切削ブレードに接する環状の受面を有するフランジ部と、該スピンドルの先端部に装着される装着部と、を含み、
   該マウントフランジの該ボス部には、非導電性材料で形成されており、該フランジ部に対して該切削ブレードを押さえ付ける押さえナットが螺合し、
   該環状基台の該第２面側が該受面に接する様に、該押さえナットにより該切削ブレードが該フランジ部に押さえ付けられた状態で、該読み出しユニットは、該押さえナットを介して該ＩＣタグから情報を読み出すことを特徴とする切削装置。
4. ＩＣタグを備える切削ブレードを固定するためのブレードマウントであって、
   ボス部と、該ボス部と一体的に設けられており該切削ブレードに接する環状の受面を有するフランジ部と、スピンドルの先端部に装着される装着部と、を備えるマウントフランジと、
   非導電性材料で形成されており、該ボス部に螺合し、該フランジ部に対して該切削ブレードを押さえ付ける押さえナットと、を備えることを特徴とするブレードマウント。
5. 被加工物を切削する切削ユニットのスピンドルの先端部に装着されるマウントフランジに切削ブレードを装着した後、該切削ブレードの情報を読み出す方法であって、
   柱状のボス部と、該ボス部と一体的に設けられており該切削ブレードに接する環状の受面を有するフランジ部と、該スピンドルの該先端部に装着される装着部と、を有する該マウントフランジの該装着部を該先端部に装着して、固定部材で該マウントフランジを該スピンドルに固定する、マウントフランジ固定ステップと、
   該マウントフランジ固定ステップの後、第１面と該第１面の反対側に位置する第２面とを有し、該第１面から該第２面に向かって貫通する様に開口された、該ボス部が挿入される挿入口を有する環状基台と、該環状基台の外周部に固定された切り刃と、該環状基台の該第１面側に位置し該挿入口の外周を囲む様に設けられたアンテナを含み、非接触で通信が可能な円環状のＩＣタグと、を備える該切削ブレードの該挿入口に対して、該環状基台の該第２面側が該受面と対面する様に、該マウントフランジの該ボス部を挿入する、挿入ステップと、
   該挿入ステップの後、非導電性材料で形成されている押さえナットを該ボス部に螺合し、該環状基台の該第２面が該受面に接する様に、該押さえナットにより該切削ブレードを該フランジ部に押さえ付ける、押さえ付けステップと、
   該押さえ付けステップの後、切削装置に設けられた読み出しユニットで、該押さえナットを介して該ＩＣタグから情報を読み出す、読み出しステップと、
   を備えることを特徴とする切削ブレードの情報を読み出す方法。