JP2020175602A - 液体吐出ヘッドおよびプリンター - Google Patents
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Abstract
Description
液体を吐出するノズル孔が設けられたノズルプレートと、
前記ノズル孔と連通する圧力発生室が設けられたシリコン基板と、
前記シリコン基板に設けられた振動板と、
前記振動板に設けられ、前記圧力発生室の容積を変化させる圧電素子と、
を含み、
前記圧電素子は、鉛、ジルコニウム、およびチタンを含むペロブスカイト型構造の複合酸化物を含む圧電体層を有し、
を有し、
前記圧電体層のX線回折において、前記圧電体層の(100)面に由来するピークの位置と、前記シリコン基板の(220)面に由来するピークの位置と、の差は、25.00°未満である。
前記圧電体層において、チタンの原子濃度とジルコニウムの原子濃度との合計に対するチタンの原子濃度の比Ti/(Zr+Ti)をxとし、前記差をyとすると、
y≦−0.50x+25.21
の関係を満たしてもよい。
前記圧電体層において、チタンの原子濃度とジルコニウムの原子濃度との合計に対するチタンの原子濃度の比Ti/(Zr+Ti)は、0.55以下であってもよい。
前記差は、24.80°以上であってもよい。
前記振動板は、酸化ジルコニウム層を有していてもよい。
前記液体吐出ヘッドの一態様と、
前記液体吐出ヘッドに対して被記録媒体を相対移動させる搬送機構と、
前記液体吐出ヘッドおよび前記搬送機構を制御する制御部と、
を含む。
1.1. 構成
まず、本実施形態に係る液体吐出ヘッドについて、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド200を模式的に示す分解斜視図である。図2は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド200を模式的に示す平面図である。図3は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド200を模式的に示す図2のIII−III線断面図である。なお、図1〜図3では、互いに直交する3軸として、X軸、Y軸、およびZ軸を図示している。
力発生室211に連通し、圧力発生室211に液体を供給する。
圧電素子100は、図2および図3に示すように、第1電極10と、圧電体層20と、第2電極30と、を有している。
以上200nm以下である。第1電極10は、例えば、白金層、イリジウム層、ルテニウム層などの金属層、それらの導電性酸化物層、ニッケル酸ランタン(LaNiO3:LNO)層、ルテニウム酸ストロンチウム(SrRuO3:SRO)層などである。第1電極10は、上記に例示した層を複数積層した構造を有していてもよい。第1電極10は、チタンを含んでいてもよい。
圧電体層20のX線回折(X‐ray diffraction:XRD)において、圧電体層20の(100)面に由来するピークの位置と、シリコン基板210の(220)面に由来するピークの位置と、の差Δは、25.00°未満であり、好ましくは24.80°以上25.
00未満であり、より好ましくは24.86°以上24.95°以下である。具体的には、差Δは、シリコン基板210の(220)面に由来するピークの位置から、圧電体層20の(100)面に由来するピークの位置を引いた値である。例えば、図2に示すように、圧電体層20の振動板230上に設けられた部分であって、第2電極30に覆われていない領域20aのXRD測定によって差Δを求めることができる。なお、差Δを求めることができれば、XRD測定を行う領域は、特に限定されない。
液体吐出ヘッド200は、例えば、以下の特徴を有する。
次に、本実施形態に係る液体吐出ヘッド200の製造方法について、図面を参照しながら説明する。
次に、本実施形態の変形例に係る液体吐出ヘッドについて、図面を参照しながら説明する。図4は、本実施形態の変形例に係る液体吐出ヘッド201を模式的に示す断面図である。なお、便宜上、図4では、圧電素子100および振動板230以外の部材の図示を省略している。
次に、本実施形態に係るプリンターについて、図面を参照しながら説明する。図5は、本実施形態に係るプリンター300を模式的に示す斜視図である。
5.1. サンプルの作製
5.1.1. サンプル1
サンプル1では、シリコン基板を熱酸化させることで、シリコン基板の表面にSiO2層を形成した。次に、スパッタ法により、SiO2層上にZr層を形成し、900℃で熱酸化させることでZrO2層を形成した。ZrO2層の厚さは、400nmであった。以上により、SiO2層およびZrO2層からなる振動板を形成した。
サンプル2では、ZrO2層を形成した後であって第1電極を形成する前に、750℃の熱処理を行ったこと以外は、サンプル1と同様である。
サンプル3では、ZrO2層を形成した後であって第1電極を形成する前に、850℃の熱処理を行ったこと以外は、サンプル1と同様である。
サンプル4は、サンプル1の薄膜状のPZT層を粉末状にしたものである。
上記のようなサンプル1〜4に対して、XRD測定を行った。サンプル1,2,4では、PZT層の比Ti/(Zr+Ti)を振ったものに対して、測定を行った。
る。例えば、本発明は、実施形態で説明した構成と実質的に同一の構成を含む。実質的に同一の構成とは、例えば、機能、方法、および結果が同一の構成、あるいは目的および効果が同一の構成である。また、本発明は、実施形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成または同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
Claims (6)
- 液体を吐出するノズル孔が設けられたノズルプレートと、
前記ノズル孔と連通する圧力発生室が設けられたシリコン基板と、
前記シリコン基板に設けられた振動板と、
前記振動板に設けられ、前記圧力発生室の容積を変化させる圧電素子と、
を含み、
前記圧電素子は、鉛、ジルコニウム、およびチタンを含むペロブスカイト型構造の複合酸化物を含む圧電体層を有し、
を有し、
前記圧電体層のX線回折において、前記圧電体層の(100)面に由来するピークの位置と、前記シリコン基板の(220)面に由来するピークの位置と、の差は、25.00°未満である、液体吐出ヘッド。 - 請求項1において、
前記圧電体層において、チタンの原子濃度とジルコニウムの原子濃度との合計に対するチタンの原子濃度の比Ti/(Zr+Ti)をxとし、前記差をyとすると、
y≦−0.50x+25.21
の関係を満たす、液体吐出ヘッド。 - 請求項1または2において、
前記圧電体層において、チタンの原子濃度とジルコニウムの原子濃度との合計に対するチタンの原子濃度の比Ti/(Zr+Ti)は、0.55以下である、液体吐出ヘッド。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記差は、24.80°以上である、液体吐出ヘッド。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記振動板は、酸化ジルコニウム層を有する、液体吐出ヘッド。 - 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドに対して被記録媒体を相対移動させる搬送機構と、
前記液体吐出ヘッドおよび前記搬送機構を制御する制御部と、
を含む、プリンター。
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