JP2020169881A - 物理量センサ素子、圧力センサ、マイクロフォン、超音波センサおよびタッチパネル - Google Patents
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Abstract
Description
磁化された磁化部を有し、変形することにより膜の延在方向とは交差する方向に前記磁化部が変位する膜部と、
前記磁化部の変位による磁場の変動によって歪を生じる非接触検知部と、を有する。
前記磁場の変動によって歪を生じる磁歪部と、
前記磁歪部の前記歪による応力が伝えられる圧電部と、
前記圧電部に電気的に接続する電極部と、を有してもよい。
層状の前記磁歪部である磁歪層と、
層状の前記圧電部である圧電層と、
層状の前記電極部であって、前記圧電部に直接接触する電極層と、
を含む少なくとも3つの層が積層されてなるものであってもよい。
前記検知部は、前記磁化部に対して、前記変位方向に垂直な方向に配置されてもよい。
前記検知部は、前記磁化部に対して、前記変位方向に対向するように配置されてもよい。
前記中間層は、前記磁歪層の前記歪による変形応力を前記圧電層に伝える剛性を有していてもよい。
また、たとえば、本発明に係るマイクロフォンは、上記いずれかの物理量センサ素子を用いる。
また、たとえば、本発明に係る超音波センサは、上記いずれかの物理量センサ素子を用いる。
また、たとえば、本発明に係るタッチパネルは、上記いずれかの物理量センサ素子を用いる。
まず、図1〜図3を参照して、第1実施形態に係る検知部及びこれを搭載した物理量センサ素子100について説明する。図1〜図3は、第1実施形態に係る物理量センサ素子100の構成を例示する模式図である。第1実施形態では、物理量センサ素子100を例に説明を行うが、他の実施形態等で説明するように、圧力センサ、マイクロフォン、超音波センサ、タッチパネルなど、物理量センサ素子は他のセンサやデバイスなどにも利用することができる。
図3〜図4を参照して、第2の実施形態に係る物理量センサ素子200について説明する。図3〜図4は、第2の実施形態に係る物理量センサ素子200の構成を例示する模式図である。第2の実施形態に係る物理量センサ素子200の説明は、主に第1の実施形態にかかる物理量センサ素子100との相違点について行い第1実施形態に係る物理量センサ素子100との共通点については、説明を省略する。
図5〜図7を参照して、第3の実施形態に係るマイクロフォン300について説明する。図5は、第3の実施形態に係るマイクロフォン300の構成を例示する模式図である。第3実施形態では、物理量センサ素子100をマイクロフォン300に用いる場合を例に説明を行うが、超音波センサ、タッチパネルなど、物理量センサ素子は他のセンサやデバイスなどにも利用することができる。
本発明の第4実施形態に係るタッチパネルについて説明する。タッチパネルは、ディスプレイの内部及びディスプレイの外部の少なくともいずれかに搭載される。
300…マイクロフォン
110、210…基材
310…第1基材
330…第2基材
110a、210a、310a、330b…基材上層部
110b、210b、310b、330a…基材下層部
116、316、332…基材上面
117、217、317、333…基材下面
111、311、331…空洞部
120、320…膜部
121、221、321…膜支持部
123、223、323…磁化膜
150、250、350…検知部
151、251…支持層
152、252、352…圧電層
153、253、353…第1電極
154、254、354…第2電極
155、255、355…磁歪層
112、312…第1の配線
113、313…第2の配線
114、314…第1電極端子
115、315…第2電極端子
360…プリント基板
361…ASIC
362…貫通配線
363、364…ワイヤー配線
380…筐体
381…筐体空洞部
382…音響孔
Claims (12)
- 磁化された磁化部を有し、変形することにより膜の延在方向とは交差する方向に前記磁化部が変位する膜部と、
前記磁化部の変位による磁場の変動によって歪を生じる非接触検知部と、を有する物理量センサ素子。 - 前記検知部は、
前記磁場の変動によって歪を生じる磁歪部と、
前記磁歪部の前記歪による応力が伝えられる圧電部と、
前記圧電部に電気的に接続する電極部と、
を有する請求項1に記載の物理量センサ素子。 - 前記検知部は、
層状の前記磁歪部である磁歪層と、
層状の前記圧電部である圧電層と、
層状の前記電極部であって、前記圧電部に直接接触する電極層と、
を含む少なくとも3つの層が積層されてなる請求項2に記載の物理量センサ素子。 - 前記磁化部は、磁化の方向が前記磁化部の変位方向に交差する磁化膜を有し、
前記検知部は、前記磁化部に対して、前記変位方向に垂直な方向に配置される請求項1から請求項3までのいずれかに記載の物理量センサ素子。 - 前記磁化部は、磁化の方向が前記磁化部の変位方向に平行な磁化膜を有し、
前記検知部は、前記磁化部に対して、前記変位方向に対向するように配置される請求項1から請求項3までのいずれかに記載の物理量センサ素子。 - 前記検知部は、前記磁歪層と前記圧電層との間に配置される中間層をさらに含む、少なくとも4つの層が積層されてなり、
前記中間層は、前記磁歪層の前記歪による応力を前記圧電層に伝える剛性を有する請求項3に記載の物理量センサ素子。 - 前記磁歪部は、Fe、Cо、Niのうちから選ばれる少なくとも1つの元素を含む請求項2、請求項3または請求項6に記載の物理量センサ素子。
- 前記磁歪層は、B、Si、Ge、As、Sb、Teのうちから選ばれる少なくとも1つの元素を含むアモルファスを含む請求項7に記載の物理量センサ素子。
- 請求項1から請求項8までのいずれかに記載の物理量センサ素子を用いる圧力センサ。
- 請求項1から請求項8までのいずれかに記載の物理量センサ素子を用いるマイクロフォン。
- 請求項1から請求項8までのいずれかに記載の物理量センサ素子を用いる超音波センサ。
- 請求項1から請求項8までのいずれかに記載の物理量センサ素子を用いるタッチパネル。
Priority Applications (1)
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JP2019071171A JP7234750B2 (ja) | 2019-04-03 | 2019-04-03 | 物理量センサ素子、圧力センサ、マイクロフォン、超音波センサおよびタッチパネル |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022075322A1 (ja) | 2020-10-07 | 2022-04-14 | 株式会社ダイセル | 硬化性組成物及びその硬化物 |
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JP2003083804A (ja) * | 2001-05-29 | 2003-03-19 | Sony Electronics Singapore Pte Ltd | 力検出装置 |
JP2005326938A (ja) * | 2004-05-12 | 2005-11-24 | Nissan Motor Co Ltd | 情報入力装置 |
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-
2019
- 2019-04-03 JP JP2019071171A patent/JP7234750B2/ja active Active
Patent Citations (5)
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