JP2020167433A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020167433A5 JP2020167433A5 JP2020104552A JP2020104552A JP2020167433A5 JP 2020167433 A5 JP2020167433 A5 JP 2020167433A5 JP 2020104552 A JP2020104552 A JP 2020104552A JP 2020104552 A JP2020104552 A JP 2020104552A JP 2020167433 A5 JP2020167433 A5 JP 2020167433A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluorescence
- wavelength
- quality
- bright spots
- imaging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 13
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 10
- 238000002073 fluorescence micrograph Methods 0.000 claims 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 6
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 4
- 238000002189 fluorescence spectrum Methods 0.000 claims 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019062971 | 2019-03-28 | ||
| JP2019062971 | 2019-03-28 | ||
| JP2020521619A JP6720429B1 (ja) | 2019-03-28 | 2020-01-29 | 検査装置及び検査方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020521619A Division JP6720429B1 (ja) | 2019-03-28 | 2020-01-29 | 検査装置及び検査方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2020167433A JP2020167433A (ja) | 2020-10-08 |
| JP2020167433A5 true JP2020167433A5 (https=) | 2023-02-08 |
| JP7535391B2 JP7535391B2 (ja) | 2024-08-16 |
Family
ID=72610001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020104552A Active JP7535391B2 (ja) | 2019-03-28 | 2020-06-17 | 検査装置及び検査方法 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US12072289B2 (https=) |
| EP (1) | EP3951845B1 (https=) |
| JP (1) | JP7535391B2 (https=) |
| KR (1) | KR102898289B1 (https=) |
| CN (2) | CN118398511A (https=) |
| TW (2) | TWI831946B (https=) |
| WO (1) | WO2020195136A1 (https=) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113646877B (zh) * | 2019-03-28 | 2023-08-18 | 浜松光子学株式会社 | 检查装置及检查方法 |
| JP6746744B1 (ja) * | 2019-03-28 | 2020-08-26 | 浜松ホトニクス株式会社 | 検査装置及び検査方法 |
| JP7374937B2 (ja) * | 2021-01-13 | 2023-11-07 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置、試験方法およびプログラム |
| JP7386190B2 (ja) | 2021-01-21 | 2023-11-24 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置、試験方法およびプログラム |
| JP7629742B2 (ja) * | 2021-02-10 | 2025-02-14 | 浜松ホトニクス株式会社 | 検査装置及び検査方法 |
| JP7355773B2 (ja) | 2021-02-26 | 2023-10-03 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置、試験方法およびプログラム |
| US20240168080A1 (en) * | 2021-04-01 | 2024-05-23 | Hamamatsu Photonics K.K. | Inspection method, conductive member, and inspection device |
| JP7355789B2 (ja) * | 2021-09-08 | 2023-10-03 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置、試験方法およびプログラム |
| EP4653850A1 (en) * | 2023-02-24 | 2025-11-26 | Hamamatsu Photonics K.K. | Image acquisition device |
Family Cites Families (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63250835A (ja) | 1987-04-08 | 1988-10-18 | Hitachi Cable Ltd | エピタキシヤルウエハの検査方法 |
| GB2231958A (en) | 1989-04-07 | 1990-11-28 | Hamamatsu Photonics Kk | Measuring fluorescence characteristics |
| EP2072947B1 (en) | 2007-08-07 | 2016-03-16 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Image processing device and image processing method |
| JP2010118668A (ja) | 2009-12-11 | 2010-05-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 化合物半導体部材のダメージ評価方法、化合物半導体部材の製造方法、窒化ガリウム系化合物半導体部材及び窒化ガリウム系化合物半導体膜 |
| US9163987B2 (en) * | 2010-08-24 | 2015-10-20 | Kla-Tencor Corporation | Defect inspection and photoluminescence measurement system |
| JP5963453B2 (ja) | 2011-03-15 | 2016-08-03 | 株式会社荏原製作所 | 検査装置 |
| CN103765567A (zh) * | 2011-06-24 | 2014-04-30 | 科磊股份有限公司 | 使用光致发光成像检验发光半导体装置的方法和设备 |
| US8604447B2 (en) | 2011-07-27 | 2013-12-10 | Kla-Tencor Corporation | Solar metrology methods and apparatus |
| JP5957299B2 (ja) * | 2012-06-01 | 2016-07-27 | アズビル株式会社 | 情報処理装置、情報処理方法、および情報処理プログラム |
| JP6119273B2 (ja) * | 2013-01-31 | 2017-04-26 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体発光素子の検査方法及び半導体発光素子の製造方法 |
| JP6051917B2 (ja) * | 2013-02-18 | 2016-12-27 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体発光素子の検査方法及び半導体発光素子の製造方法 |
| JP6076133B2 (ja) * | 2013-02-27 | 2017-02-08 | 東レエンジニアリング株式会社 | 蛍光発光体の検査装置 |
| JP2015010834A (ja) | 2013-06-26 | 2015-01-19 | 東レエンジニアリング株式会社 | 発光体の発光波長推定方法とその装置 |
| US10656401B2 (en) * | 2013-12-09 | 2020-05-19 | Nikon Corporation | Optical apparatus, measuring apparatus, measuring method, screening apparatus, and screening method |
| CN103654730B (zh) | 2013-12-19 | 2016-04-20 | 北京大学 | 一种基于led光源的荧光分子成像系统及其成像方法 |
| AU2016264737B2 (en) | 2015-05-20 | 2021-09-09 | Quantum-Si Incorporated | Pulsed laser and bioanalytic system |
| KR102592917B1 (ko) | 2016-08-26 | 2023-10-23 | 삼성전자주식회사 | 표면 검사 방법 및 반도체 소자의 제조 방법 |
| JP2018132308A (ja) | 2017-02-13 | 2018-08-23 | 東レエンジニアリング株式会社 | 分光測定装置および発光体の発光波長推定装置 |
| WO2019230878A1 (ja) * | 2018-05-30 | 2019-12-05 | ソニー株式会社 | 蛍光観察装置及び蛍光観察方法 |
| JP7229729B2 (ja) * | 2018-11-08 | 2023-02-28 | 株式会社ディスコ | Ｆａｃｅｔ領域の検出方法および検出装置ならびにウエーハの生成方法およびレーザー加工装置 |
| CN113646877B (zh) * | 2019-03-28 | 2023-08-18 | 浜松光子学株式会社 | 检查装置及检查方法 |
-
2020
- 2020-01-29 WO PCT/JP2020/003248 patent/WO2020195136A1/ja not_active Ceased
- 2020-01-29 US US17/442,158 patent/US12072289B2/en active Active
- 2020-01-29 CN CN202410512574.0A patent/CN118398511A/zh active Pending
- 2020-01-29 EP EP20780030.1A patent/EP3951845B1/en active Active
- 2020-01-29 CN CN202080025090.3A patent/CN113632211B/zh active Active
- 2020-01-29 KR KR1020217028889A patent/KR102898289B1/ko active Active
- 2020-03-17 TW TW109108722A patent/TWI831946B/zh active
- 2020-03-17 TW TW113103846A patent/TWI866767B/zh active
- 2020-06-17 JP JP2020104552A patent/JP7535391B2/ja active Active
-
2024
- 2024-07-08 US US18/766,095 patent/US20240361244A1/en active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2020167433A5 (https=) | ||
| JP6670327B2 (ja) | 宝石用原石の色測定 | |
| KR102178903B1 (ko) | 외관 검사 장치, 및 외관 검사 장치의 조명 조건 설정 방법 | |
| KR101346648B1 (ko) | 용접 공정 동안 용접 품질의 광학적 평가 방법 및 장치 | |
| US7504642B2 (en) | Photoluminescence imaging with preferential detection of photoluminescence signals emitted from a specified material layer of a wafer or other workpiece | |
| JP7535391B2 (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
| JP2021081441A5 (https=) | ||
| WO2014184337A1 (en) | An optical inspection system | |
| JP2016532121A (ja) | 表面欠陥の検出のための検査システムを点検する方法及び装置 | |
| TW201733335A (zh) | 使用ｕｖ照射的隱形眼鏡缺陷檢驗 | |
| TW201602557A (zh) | 光學檢測機台間共用設定參數的設定方法 | |
| KR20140057197A (ko) | 박막의 표면 검사 방법 및 검사 장치 | |
| KR101532694B1 (ko) | 인장에 의한 용접 결함 검출 장치 및 방법 | |
| JP6076133B2 (ja) | 蛍光発光体の検査装置 | |
| US8705698B2 (en) | X-ray analyzer and mapping method for an X-ray analysis | |
| JP6775799B2 (ja) | 油膜検査方法及び油膜検査装置 | |
| KR101136387B1 (ko) | 비전시스템을 이용한 자동차 부품 검사방법 | |
| WO2017175811A1 (ja) | がん検査方法、がん検査装置、および、がん検査プログラム | |
| JP6792283B2 (ja) | 外観検査装置 | |
| KR101153246B1 (ko) | 기판검사방법 | |
| JP2009264882A (ja) | 外観検査装置 | |
| WO2023162426A1 (ja) | 画像検査システム及び画像検査方法 | |
| JP2001349843A (ja) | 丸棒表面欠陥検出方法 | |
| JP2016153806A5 (ja) | 蛍光色素の濃度測定方法、蛍光色素の濃度測定装置、及び蛍光ファントム装置 | |
| JP2014089156A (ja) | 外観検査方法 |