JP2020165970A - ガスセンサの検査装置、ガスセンサの検査方法及び基準センサ - Google Patents
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Abstract
Description
次に、検査装置10の利点について、比較例に係る検査装置200(以下、比較例200と記す)と比較しながら説明する。
先ず、比較例200は、図3に示すように、NO(1%)のガス供給源202Aに第1開閉器204aを介して接続された1つの第1流量調整器206a(High Range)と、NO(3000ppm)のガス供給源202Bに第2開閉器204bを介して接続された1つの第2流量調整器206b(Low Range)と、O2(1%)のガス供給源202Cに直接接続された1つの第3流量調整器206cと、N2(100%)のガス供給源202Dに直接接続された1つの第4流量調整器206dとを有する。
本実施形態に係る検査装置10について、上述した比較例200と同様の条件で、最大精度誤差及び二乗平方根を確認し、図6の表2に示した。
先ず、ヒータ580の温度は、ヒータ580の抵抗値と比例関係にある。そのため、ガスセンサ制御部610は、ヒータ電流Ihとヒータ電圧Vhとに基づく抵抗値を導出し、導出した抵抗値を温度に換算して、上述したヒータ電源514のフィードバック制御を行う。なお、ガスセンサ制御部610は、抵抗値を温度に換算せず、導出した抵抗値が目標抵抗値になるようにフィードバック制御を行ってもよい。こうしても、実質的にはガスセンサ制御部610は、ヒータ580の温度が目標温度になるようにフィードバック制御を行っていることになる。
以下に、ガスセンサを具体的に作製した例を実施例として説明する。なお、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
実施例2として、チャンバ100(図2参照)に1本の基準センサ500を装着した。基準センサ500は、以下のようにして作製した。すなわち、図7〜図10A及び図11Aに示したセンサ素子502を作製し、図9に示すようにセンサ素子502及び制御装置520と、ポンプ電源504及びヒータ電源514と、ポンプ電流取得部510、起電力取得部512、ヒータ電流取得部516及びヒータ電圧取得部518と、表示操作部522とを接続して基準センサ500を作製した。
比較例2として、ガス分析計(株式会社ベスト測器製、Bex−1003NH)を使用した。
実施例2及び比較例2の検出精度を比較した。先ず、ベースガスが窒素であり、NO濃度が既知であり、酸素を含まないガスを用意して、試験用ガスとした。この試験用ガスのNO濃度を、実施例2及び比較例2でそれぞれ100回測定した。実施例2のNO濃度は、ポンプ電流Ipに基づく値とした。毎回の測定のタイミングは、比較例2のガス分析計で定められた校正タイミング(4時間毎)の直前とした。すなわち、比較例2では、時間の経過に伴って適切に校正タイミングで校正を行いつつ、校正を行う直前の最も検出精度が低下しやすいタイミングでの特定ガス濃度の測定を、100回行った。1回の測定に要する時間(試験用ガスを流す時間)は実施例2及び比較例2共に約15分である。また、1回目の測定から100回目の測定までの経過時間は、約850時間である。この850時間のうち、実施例2の基準センサ500が駆動し、試験用ガスに晒されていた時間は、約15分×100回=約25時間である。比較例2についても同様である。
上記実施の形態から把握しうる発明について、以下に記載する。
(1)触媒の反応性の変化を受けない測定原理を使う。
(2)ヒータを正確に制御するために、コネクタ等、接触抵抗の影響を受けない接続法を使う。
(3)複雑な制御を使わない。
14…センサ素子 100…チャンバ
102…ガス供給手段(モデルガス生成装置)
104A…第1ガス供給源 104B…第2ガス供給源
104C…第3ガス供給源 106a〜106d…第1開閉器
108a〜108d…第2開閉器 110a〜110d…第3開閉器
112a〜112d…第1流量固定ノズル
114a〜114d…第2流量固定ノズル
116a〜116d…第3流量固定ノズル
120…混合器 122…流量固定ノズル
500…基準センサ 502…センサ素子
504…ポンプ電源 510…ポンプ電流取得部
512…起電力取得部 514…ヒータ電源
516…ヒータ電流取得部 518…ヒータ電圧取得部
520…制御装置 522…表示操作部
530…第1基板層 532…第2基板層
534…第3基板層 536…第1固体電解質層
538…スペーサ層 540…第2固体電解質層
542…構造体 550…ガス導入口
552…拡散律速部 552a…拡散律速部
554…内部空所(主空室) 556…測定電極
558…基準ガス導入空間 560…ポンプセル
562…センサセル 564…ヒータ部
570…第1外側電極 572…第2外側電極
574…基準電極 576…凹部
580…ヒータ 582…リード部
582a、582b…通電用リード 582c、582d…電圧測定用リード
584…スルーホール
590、590a〜590d…ヒータコネクタ電極
592…ヒータ絶縁層 600…演算部
602…記憶部 604…入出力部
610…ガスセンサ制御部 612A…第1特定濃度検出部
612B…第2特定濃度検出部 614…特定濃度決定部
616…異常判定部 620A…第1対応関係
620B…第2対応関係
Ih…ヒータ電流 Ip…ポンプ電流
Ve…起電力 Vh…ヒータ電圧
Vp…制御電圧
Claims (16)
- 少なくとも1つのセンサ素子が装着されるチャンバと、
前記チャンバに所定の検査用ガスを供給するガス供給手段と、を有し、
前記ガス供給手段は、
複数のガス供給源と、
各前記ガス供給源に対応して接続された複数の開閉器と、
各前記ガス供給源に対応して接続され、それぞれ流量が異なる複数の流量固定ノズルと、
複数の前記流量固定ノズルからの複数種のガスを混合する混合器と、を有する、ガスセンサの検査装置。 - 請求項1記載のガスセンサの検査装置において、
各前記ガス供給源に対応して、前記複数の開閉器の後段に前記複数の流量固定ノズルが接続されている、ガスセンサの検査装置。 - 請求項1又は2記載のガスセンサの検査装置において、
前記混合器と前記チャンバとの間に接続された流量固定ノズルを有する、ガスセンサの検査装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のガスセンサの検査装置において、
前記流量固定ノズルが臨界ノズルである、ガスセンサの検査装置。 - 少なくとも1つのセンサ素子が装着されるチャンバに所定の検査用ガスを供給してガスセンサの検査を実施するガスセンサの検査方法において、
複数のガス供給源からそれぞれ出力された複数のガスを、各前記ガス供給源に対応して接続された複数の開閉器に送るステップと、
前記複数の開閉器からの複数のガスを、各前記ガス供給源に対応して接続され、それぞれ流量が異なる複数の流量固定ノズルに送るステップと、
前記複数の流量固定ノズルからの複数のガスを混合器で混合するステップと、
前記混合器からの混合ガスを前記チャンバに供給するステップと、を有する、ガスセンサの検査方法。 - 請求項5記載のガスセンサの検査方法において、
前記混合器からの混合ガスを1つの流量固定ノズルに送るステップと、
前記1つの流量固定ノズルからの混合ガスを前記チャンバに送るステップと、を有する、ガスセンサの検査方法。 - 請求項5又は6記載のガスセンサの検査方法において、
前記流量固定ノズルが臨界ノズルである、ガスセンサの検査方法。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載のガスセンサの検査装置に使用され、酸素及びNOxのいずれか一方を特定ガスとし、他方を含まず該特定ガスとベースガスとを含む試験用ガスを被測定ガスとして、該被測定ガス中の該特定ガスの濃度である特定ガス濃度を検出する基準センサであって、
酸素イオン伝導性の固体電解質からなる構造体を有するセンサ素子と、
前記センサ素子へのガスの導入部に拡散を律速させるための拡散律速部と、
前記構造体に形成され、被測定ガスが導入されるガス導入口と、
前記ガス導入口に連通した主空室と、
前記被測定ガスと接触するように前記構造体の外側に配設され、触媒活性を有する貴金属を含む第1外側電極と、
前記被測定ガスと接触するように前記構造体の外側に配設され、触媒活性を有する貴金属を含む第2外側電極と、
前記主空室の内部に配設され、触媒活性を有する貴金属を含む測定電極と、
前記構造体に形成され、基準ガスが導入される基準ガス導入空間と、
前記基準ガス導入空間に形成された基準電極と、
前記第1外側電極と前記測定電極間への一定電圧の印加によって、前記第1外側電極と前記測定電極間に流れる限界電流に基づいて特定ガスの濃度を検出する第1濃度検出部と、
前記第2外側電極と前記基準電極との間の濃度差によるネルンスト起電力に基づいて特定ガスの濃度を検出する第2濃度検出部と、を有する、基準センサ。 - 請求項8記載の基準センサにおいて、
前記第1濃度検出部の出力と、前記第2濃度検出部の出力をモニタして、異常の有無をモニタする自己診断部を有する、基準センサ。 - 請求項8又は9記載の基準センサにおいて、
前記構造体に形成されたヒータ部を有し、
前記ヒータ部は、2つの通電用リードと、2つの電圧測定用リードとを有する、基準センサ。 - 請求項8〜10のいずれか1項に記載の基準センサにおいて、
前記第2外側電極は、前記第1外側電極よりも面積が小さい、基準センサ。 - 請求項8〜11のいずれか1項に記載の基準センサにおいて、
前記第1外側電極と前記第2外側電極は、この順番で、前記構造体の奥行方向に配列されている、基準センサ。 - 請求項12記載の基準センサにおいて、
前記第1外側電極は、前記第2外側電極と対向する部分に凹部を有し、
前記第2外側電極は、前記凹部内に形成されている、基準センサ。 - 請求項8〜11のいずれか1項に記載の基準センサにおいて、
前記第1外側電極と前記第2外側電極は、前記構造体の幅方向に配列されている、基準センサ。 - 請求項8〜14のいずれか1項に記載の基準センサにおいて、
前記拡散律速部は、前記ガス導入口の上部と対向する部分並びに下部と対向する部分にそれぞれスリットを有する、基準センサ。 - 請求項8〜15のいずれか1項に記載の基準センサにおいて、
前記拡散律速部は、多孔質層にて構成されている、基準センサ。
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