JP2020163828A - 熱変性ポリマー層−無機基材複合体、ポリマー部材−無機基材複合体、及びそれらの製造方法 - Google Patents
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- B32B2323/04—Polyethylene
Abstract
Description
無機基材上に第1のポリマー層を形成し、そして前記第1のポリマー層を加熱して第1の熱変性ポリマー層にし、それによって前記無機基材上に前記第1の熱変性ポリマー層を密着させること、
を含む、熱変性ポリマー層−無機基材複合体の製造方法。
〈態様2〉
前記第1の熱変性ポリマー層を形成した後で、前記第1の熱変性ポリマー層上に第2のポリマー層を形成し、そして前記第2のポリマー層を加熱して第2の熱変性ポリマー層にし、それによって前記第1の熱変性ポリマー層上に前記第2の熱変性ポリマー層を密着させること、
をさらに含む、態様1に記載の方法。
〈態様3〉
前記第2の熱変性ポリマー層の熱変性の程度が、前記第1の熱変性ポリマー層の熱変性の程度よりも小さい、態様2に記載の方法。
〈態様4〉
前記第2の熱変性ポリマー層を形成した後で、前記第2の熱変性ポリマー層上に第3のポリマー層を形成し、そして前記第3のポリマー層を加熱して第3の熱変性ポリマー層にし、それによって前記第2の熱変性ポリマー層上に前記第3の熱変性ポリマー層を密着させること、
をさらに含む、態様2又は3に記載の方法。
〈態様5〉
前記第2の熱変性ポリマー層の熱変性の程度が、前記第1の熱変性ポリマー層の熱変性の程度よりも小さく、かつ
前記第3の熱変性ポリマー層の熱変性の程度が、前記第2の熱変性ポリマー層の熱変性の程度よりも小さい、
態様4に記載の方法。
〈態様6〉
前記無機基材が、金属及び半金属、金属及び半金属の酸化物、金属及び半金属の窒化物、金属及び半金属の炭化物、炭素材料、並びにそれらの組み合わせからなる群より選択される、態様1〜5のいずれか一項に記載の方法。
〈態様7〉
前記第1のポリマー層、存在する場合の第2のポリマー層、及び存在する場合の第3のポリマー層の形成を、コーティング及び/又は熱圧着によって行う、態様1〜6のいずれか一項に記載の方法。
〈態様8〉
態様1〜7のいずれか一項に記載の方法によって前記熱変性ポリマー層−無機基材複合体を製造すること、及び
ポリマー部材が、前記第1の熱変性ポリマー層、存在する場合の前記第2の熱変性ポリマー層、及び存在する場合の前記第3の熱変性ポリマー層を介して無機基材に接合するようにして、前記ポリマー部材を前記第1の熱変性ポリマー層、存在する場合の前記第2の熱変性ポリマー層、及び存在する場合の前記第3の熱変性ポリマー層に接合させること、
を含む、ポリマー部材−無機基材複合体の製造方法。
〈態様9〉
前記ポリマー部材が膜状である、態様8に記載の方法。
〈態様10〉
前記ポリマー部材の接合を、コーティング又は熱圧着によって行う、態様8又は9に記載の方法。
〈態様11〉
前記第1の熱変性ポリマー層、存在する場合の前記第2の熱変性ポリマー層、存在する場合の前記第3の熱変性ポリマー層、及び前記ポリマー部材が、いずれもオレフィンポリマーで形成されている、態様8〜10のいずれか一項に記載の方法。
〈態様12〉
前記オレフィンポリマーが、シクロオレフィンポリマーである、態様11に記載の方法。
〈態様13〉
1又は複数の熱変性ポリマー層が無機基材に密着している、熱変性ポリマー層−無機基材複合体。
〈態様14〉
前記1又は複数の熱変性ポリマー層が、前記無機基材に密着している第1の熱変性ポリマー層、及び前記第1の熱変性ポリマー層に密着している第2の熱変性ポリマー層を少なくとも有する、態様13に記載の複合体。
〈態様15〉
前記1又は複数の熱変性ポリマー層が、前記第2の熱変性ポリマー層に密着している第3の熱変性ポリマー層を更に有する、態様14に記載の複合体。
〈態様16〉
前記無機基材が、金属及び半金属、金属及び半金属の酸化物、金属及び半金属の窒化物、金属及び半金属の炭化物、炭素材料、並びにそれらの組み合わせからなる群より選択される、態様13〜15のいずれか一項に記載の複合体。
〈態様17〉
ポリマー部材が、態様13〜16のいずれか一項に記載の前記熱変性ポリマー層−無機基材複合体の前記1又は複数の熱変性ポリマー層を介して、前記無機基材に密着している、ポリマー部材−無機基材複合体。
〈態様18〉
前記ポリマー部材が膜状である、態様17に記載の複合体。
〈態様19〉
前記ポリマー部材、前記1又は複数の熱変性ポリマー層が、いずれもオレフィンポリマーで形成されている、態様17又は18に記載の複合体。
〈態様20〉
前記オレフィンポリマーが、シクロオレフィンポリマーである、態様19に記載の複合体。
熱変性ポリマー層−無機基材複合体を製造する本発明の方法は、
無機基材上に第1のポリマー層を形成し、そして第1のポリマー層を加熱して第1の熱変性ポリマー層にし、それによって無機基材上に第1の熱変性ポリマー層を密着させること、
を含む。
熱変性ポリマー層−無機基材複合体を製造する本発明の方法によって、熱変性ポリマー層−無機基材複合体を製造すること、及び
ポリマー部材が、第1の熱変性ポリマー層、存在する場合の第2の熱変性ポリマー層、及び存在する場合の第2の熱変性ポリマー層を介して無機基材に接合するようにして、ポリマー部材を第1の熱変性ポリマー層、存在する場合の第2の熱変性ポリマー層、又は存在する場合の第3の熱変性ポリマー層に接合させること、
を含む。
本発明の方法において用いられる無機基材は、任意の無機基材であってよく、例えば金属及び半金属、金属及び半金属の酸化物、金属及び半金属の窒化物、金属及び半金属の炭化物、炭素材料、並びにそれらの組み合わせからなる群より選択することができる。具体的には、金属としては、アルミニウム、マグネシウム、チタン、ニッケル、クロム、鉄、銅、金、銀、タングステン、ジルコニウム、イットリウム、インジウム、イリジウム等を挙げることができ、半金属としては、シリコン、ゲルマニウム等を挙げることができる。したがって、金属酸化物としては、これらの金属の酸化物等を挙げることができ、また半金属酸化物としては、これらの半金属の酸化物等を挙げることができる。シリコンの酸化物としては、石英ガラス、ソーダガラスなどのガラスを挙げることができる。窒化物としては、窒化アルミニウム、窒化ケイ素等を挙げることができる。炭化物としては、炭化ケイ素を挙げることができる。また、炭素材料としては、ダイヤモンド等を挙げることができる。
本発明の方法では、無機基材上に第1のポリマー層を形成し、そして第1のポリマー層を加熱して第1の熱変性ポリマー層にし、それによって無機基材上に第1の熱変性ポリマー層を密着させる。
本発明の方法では、ポリマー部材は、任意の形状の部材であってよく、例えば膜状であってよい。この場合、ポリマー部材の接合を、コーティング又は熱圧着によって行うことができる。
本発明の熱変性ポリマー層−無機基材複合体では、1又は複数の熱変性ポリマー層が無機基材に密着している。また、本発明のポリマー部材−無機基材複合体では、ポリマー部材が、本発明の熱変性ポリマー層−無機基材複合体の1又は複数の熱変性ポリマー層を介して、無機基材に密着している。
COP1: シクロオレフィンポリマー(アートン(商標)(JSR株式会社))
COP2: シクロオレフィンポリマー(日本ゼオン株式会社、Zeonex(商標)480R、ガラス転移点温度138℃)
以下のとおり、実施例1〜14では、熱変性ポリマー層及びポリマー部材膜の両方の材料として、COP1を用いた。また、比較例1〜2では、熱変性ポリマー層を用いずに、ポリマー部材膜の材料として、COP1を用いた。
(熱変性ポリマー層用溶液の調製)
7質量%のCOP1及び93質量%のクロロホルムを、室温において混合及び撹拌することによって、熱変性ポリマー層用溶液を得た。
無機基材としてのシリコン基板上に、熱変性ポリマー層用溶液をスピンコートした。スピンコートは、2000rpmの回転速度を20秒間にわたって保持して行った。
上記のようにして得たシリコン基板の第1の熱変性ポリマー層上に、熱変性ポリマー層用溶液をスピンコートした。スピンコートは、2000rpmの回転速度を20秒間にわたって保持して行った。
7質量%のCOP1及び93質量%のクロロホルムを、室温において混合及び撹拌することによって、ポリマー部材用溶液を得た。
上記のようにして得た第2の熱変性ポリマー層上に、ポリマー部材用溶液をスピンコートした。スピンコートは、2000rpmの回転速度を20秒間にわたって保持して行った。
カッターナイフを用いて、シリコン基板上に形成した第1及び第2の熱変性ポリマー層、並びにポリマー部材膜の積層体に、1mm間隔でシリコン基板に到達する切れ目を入れた。6本の切れ目を入れた後で、さらにこの切れ目に直交するようにさらに6本の切れ目を入れ、碁盤の目状の切れ目を形成した。
A:カットの縁が完全に滑らかで,どの格子の目にもはがれが認められなかった。
B:ポリマー部材膜が部分的なはがれを生じたが、クロスカット部で影響を受けたのは、35%未満であった。
C:ポリマー部材膜が全面的に大はがれを生じ、クロスカット部で影響を受けたのは、35%以上であった。
熱変性ポリマー層を形成するための溶液中のポリマーの濃度(実施例2及び3)、熱変性ポリマー層を形成するための溶液中のスピンコーティング条件(実施例4)、第1の熱変性ポリマーの熱変性の温度(実施例5〜8)を表1及び2のように変更したことを除いて、実施例1と同様にして、実施例2〜8のポリマー部材−無機基材複合体を作成し、実施例1と同様にして評価した。この複合材料の作成条件及び評価結果を下記の表1及び2に示している。
(第1及び第2の熱変性ポリマー層の形成)
第1の熱変性ポリマーの熱変性の温度を300℃にし、かつ第2の熱変性ポリマーの熱変性の温度を280℃としたことを除いて、実施例1と同様にして、シリコン基板上に第1の熱変性ポリマー層及び第2の熱変性ポリマーを形成した。
上記のようにして得た第2の熱変性ポリマー層の上に、熱変性ポリマー層用溶液をスピンコートした。スピンコートは、2000rpmの回転速度を20秒間にわたって保持して行った。
その後、実施例1と同様にしてポリマー部材の接合を行うことにより実施例3Aのポリマー部材−無機基材複合体を作成した。
実施例3Aのポリマー部材−無機基材複合体を、実施例1と同様にして評価した。
無機基材としてのシリコン基材上に第1及び第2の熱変性ポリマー層を形成せずに、シリコン基材上に直接に、COP1をスピンコーティングしたことを除いて、実施例1と同様にして、比較例1のポリマー部材−無機基材複合体を作成し、実施例1と同様にして評価した。この複合材料の作成条件及び評価結果を下記の表1及び2に示している。
ポリマー部材の接合の際に、シクロオレフィンポリマーをスピンコーティングする代わりに、COP1のフィルム(厚さ100μm)を、第2の熱変性ポリマー層上に配置し、50MPaの圧力及び140℃の温度で2時間にわたって保持して、このフィルムと第2の熱変性ポリマー層とを熱圧着したことを除いて、実施例1と同様にして、実施例9のポリマー部材−無機基材複合体を作成し、実施例1と同様にして評価した。この複合材料の作成条件及び評価結果を下記の表3に示している。
無機基材としてのシリコン基材上に第1及び第2の熱変性ポリマー層を形成せずに、シリコン基材上に直接に、COP1のフィルム(厚さ100μm)を熱圧着したことを除いて、実施例9と同様にして、比較例2のポリマー部材−無機基材複合体を作成し、実施例1と同様にして評価した。この複合材料の作成条件及び評価結果を下記の表3に示している。
無機基材としてのシリコン基材上に第1の熱変性ポリマー層を形成した後、第2の熱変性ポリマー層を形成せずに、第1の熱変性ポリマー層上に直接に、ポリマー部材用溶液をスピンコートしたことを除いて、それぞれ実施例5,6,1,7、8と同様にして、実施例10〜14のポリマー部材−無機基材複合体を作成し、実施例1と同様にして評価した。この複合材料の作成条件及び評価結果を下記の表4に示している。
以下のとおり、実施例15〜20では、熱変性ポリマー層及びポリマー部材の膜の両方の材料として、COP2を用いた。また、比較例3では、熱変性ポリマー層を用いずに、ポリマー部材の膜の材料として、COP2を用いた。
熱変性ポリマー層用溶液及びポリマー部材用溶液の両方の調製において、10質量%のCOP2及び90質量%のトルエンを室温において混合及び撹拌することにより熱変性ポリマー層用溶液を得たことを除いて、実施例1と同様にして、実施例15のポリマー部材−無機基材複合体を作成し、実施例1と同様にして評価した。この複合材料の作成条件及び評価結果を下記の表5に示している。
熱変性ポリマー層を形成するための溶液中のポリマーの濃度を10質量%から1質量%のように変更したことを除いて、実施例15と同様にして、実施例16のポリマー部材−無機基材複合体を作成し、実施例1と同様にして評価した。この複合材料の作成条件及び評価結果を下記の表5に示している。
無機基材としてのシリコン基材上に第1及び第2の熱変性ポリマー層を形成せずに、シリコン基材上に直接に、COP2をスピンコーティングしたことを除いて、実施例15と同様にして、比較例3のポリマー部材−無機基材複合体を作成し、実施例1と同様にして評価した。この複合材料の作成条件及び評価結果を下記の表5に示している。
第1の熱変性ポリマーの熱変性の温度を表6のように変更したことを除いて、実施例15と同様にして、実施例17〜20のポリマー部材−無機基材複合体を作成し、実施例1と同様にして評価した。この複合材料の作成条件及び評価結果を下記の表6に示している。
以下のとおり、実施例21では、熱変性ポリマー層及びポリマー部材膜の両方の材料として、ポリエチレンフィルム(厚さ30μm)を用いた。また、比較例4では、熱変性ポリマー層を用いずに、ポリマー部材膜の材料として、ポリエチレンフィルム(厚さ30μm)を用いた。
(第1の熱変性ポリマー層の形成)
無機基材としてのシリコン基板上にポリエチレンフィルム(PEフィルム)(厚さ30μm)を配置した状態で、120℃に基材を加熱し1分間保持することにより、ポリエチレンフィルム付きシリコン基板を得、そして、この基板を、280℃に加熱したホットプレート上に1分間にわたって保持することによってポリエチレンフィルムを熱変性させて、第1の熱変性ポリマー層付きシリコン基板を得た。
上記のようにして得たシリコン基板の第1の熱変性ポリマー層上に、ポリエチレンフィルム(厚さ30μm)を配置した状態で、120℃に基材を加熱し1分間保持することにより、第1の熱変性ポリマー層上にポリエチレンフィルムを貼り付けた。そして、この基板を、200℃に加熱したホットプレート上に2分間にわたって保持することによってポリエチレンフィルムを熱変性させて、第1の熱変性ポリマー層上に第2の熱変性ポリマー層を密着させた。このようにして得られた熱変性ポリマー層−無機基材複合体を、実施例21の熱変性ポリマー層−無機基材複合体とした。
上記のようにして得た第2の熱変性ポリマー層上に、ポリエチレンフィルム(厚さ30μm)を配置した状態で、120℃に基材を加熱し1分間保持し、その後さらに140℃に基材を加熱し10分間保持することにより、第1の熱変性ポリマー層上に、ポリマー部材としてのポリエチレンフィルムを接合した。このようにして得られたポリマー部材−無機基材複合体を、実施例21のポリマー部材−無機基材複合体とし、実施例1と同様にして評価した。この複合材料の作成条件及び評価結果を下記の表7に示している。
無機基材としてのシリコン基材上に第1及び第2の熱変性ポリマー層を形成せずに、シリコン基材上に直接に、ポリマー部材としてのポリエチレンフィルムを接合したことを除いて、実施例21と同様にして、比較例4のポリマー部材−無機基材複合体を作成し、実施例1と同様にして評価した。この複合材料の作成条件及び評価結果を下記の表7に示している。
以下のとおり、実施例22〜27では、熱変性ポリマー層の材料とポリマー部材膜の材料とで異なるポリマーを用いた。
(第1及び第2の熱変性ポリマー層の形成)
実施例1でのようにして、COP1を用いて、無機基材としてのシリコン基材上に第1及び第2の熱変性ポリマー層を形成した。
実施例22では、上記のようにして得た第2の熱変性ポリマー層上に、実施例15でのようにして得たCOP2のポリマー部材用溶液をスピンコートし、乾燥して、実施例22のポリマー部材−無機基材複合体を作成し、実施例1と同様にして評価した。この複合材料の作成条件及び評価結果を下記の表8に示している。
(第1及び第2の熱変性ポリマー層の形成)
実施例15でのようにして、COP2を用いて、無機基材としてのシリコン基材上に第1及び第2の熱変性ポリマー層を形成した。
実施例24では、上記のようにして得た第2の熱変性ポリマー層上に、実施例1でのようにして得たCOP1のポリマー部材用溶液をスピンコートし、乾燥して、実施例24のポリマー部材−無機基材複合体を作成し、実施例1と同様にして評価した。この複合材料の作成条件及び評価結果を下記の表8に示している。
(第1及び第2の熱変性ポリマー層の形成)
実施例21でのようにして、ポリエチレンフィルム(厚さ30μm)を用いて、無機基材としてのシリコン基材上に第1及び第2の熱変性ポリマー層を形成した。
実施例26では、上記のようにして得た第2の熱変性ポリマー層上に、実施例1でのようにして得たCOP1のポリマー部材用溶液をスピンコートし、乾燥して、実施例26のポリマー部材−無機基材複合体を作成し、実施例1と同様にして評価した。この複合材料の作成条件及び評価結果を下記の表8に示している。
〈実施例28〜30〉
無機基材として、シリコン基材に代えて、それぞれSiN層を表面に形成したシリコン基材(実施例28)、銅板(実施例29)、及びアルミニウム板(実施例30)を用いたことを除いて、実施例15と同様にして、実施例28〜30のポリマー部材−無機基材複合体を作成し、実施例1と同様にして評価した。この複合材料の作成条件及び評価結果を下記の表9に示している。
熱変性ポリマー層を用いなかったことを除いてそれぞれ実施例28〜30と同様にして、比較例5〜7のポリマー部材−無機基材複合体を作成し、実施例1と同様にして評価した。この複合材料の作成条件及び評価結果を下記の表に示している。
以下のとおり、比較例8〜13では、無機基材としてのシリコン基材をシランカップリング剤で処理し、この処理した表面に、ポリマー部材を接合した。
無機基材としてのシリコン基材を、紫外線及びオゾン処理(UV/O3処理)した後で、シランカップリング剤としてのオクタデシルトリエトキシシラン(OTS)の150℃の飽和蒸気圧雰囲気下において3時間保持することにより、OTS処理シリコン基材を得た。
シランカップリング剤として、オクタデシルトリエトキシシラン(OTS)の代わりに、3−フェニルプロピルトリエトキシシラン(PTS)を用いたことを除いて、それぞれ比較例8及び9と同様にして、比較例10〜11のポリマー部材−無機基材複合体を作成し、実施例1と同様にして評価した。この複合材料の作成条件及び評価結果を下記の表10に示している。
シランカップリング剤として、オクタデシルトリエトキシシラン(OTS)の代わりに、3−アミノプロピルトリエトキシシラン(ATS)を用いたことを除いて、それぞれ比較例8及び9と同様にして、比較例12〜13のポリマー部材−無機基材複合体を作成し、実施例1と同様にして評価した。この複合材料の作成条件及び評価結果を下記の表10に示している。
上記の表1からは、熱変性ポリマー層を形成するためのポリマー溶液におけるポリマー濃度を1質量%〜7質量%にし、また熱変性ポリマー層を形成する際のスピンコート回転数を2000rpm〜4000rpmにした場合(実施例1〜4)に、熱変性ポリマー層を用いない場合(比較例1)と比較して、ポリマー部材の剥離が抑制されていることが理解される。
20質量%のCOP1及び80質量%のクロロホルムを、室温において混合及び撹拌することによって、熱変性ポリマー層用溶液を得たこと、並びに熱変性のためのホットプレートの温度を、400℃(実施例31)、320℃(実施例32)、280℃(実施例33)、240℃(実施例34)、200℃(実施例35)、及び160℃(実施例36)にしたことを除いて、実施例1と同様にして、無機基材としてのシリコン基板上に、熱変性ポリマー層付きシリコン基板を得た。
実施例31〜36の熱変性ポリマー層について、XPS装置(K−Alpha(サーモフィッシャーサイエンティフィック社))を用いて、熱変性ポリマー層に含まれる酸素原子と炭素原子の原子数の合計に対する熱変性ポリマー層含まれる酸素の原子数の割合(O原子数/(O原子数+C原子数)(%))を求めた。
実施例31〜36の熱変性ポリマー層について、IR吸収分析装置(Nicolet6700(Thermo Fisher SCIENTIFIC社))を用いて、4000〜500cm−1の範囲の赤外透過吸収スペクトルを測定することにより、2947cm−1をピークとするC−H伸縮振動の吸収の吸収ピークの強度に対する、1732cm−1をピークとするC=O伸縮振動の吸収ピークの強度の割合(C=O伸縮振動の吸収ピークの強度/C―H伸縮振動の吸収ピークの強度(−))を求めた。吸収ピークの強度は、吸収ピークの吸光度の値の最大値を読み取ることによって求めた。
20、21 第1の熱変性ポリマー層
22 第2の熱変性ポリマー層
30 ポリマー部材
110、120 本発明の熱変性ポリマー層−無機基材複合体
210、220 本発明のポリマー部材−無機基材複合体
Claims (20)
- 無機基材上に第1のポリマー層を形成し、そして前記第1のポリマー層を加熱して第1の熱変性ポリマー層にし、それによって前記無機基材上に前記第1の熱変性ポリマー層を密着させること、
を含む、熱変性ポリマー層−無機基材複合体の製造方法。 - 前記第1の熱変性ポリマー層を形成した後で、前記第1の熱変性ポリマー層上に第2のポリマー層を形成し、そして前記第2のポリマー層を加熱して第2の熱変性ポリマー層にし、それによって前記第1の熱変性ポリマー層上に前記第2の熱変性ポリマー層を密着させること、
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記第2の熱変性ポリマー層の熱変性の程度が、前記第1の熱変性ポリマー層の熱変性の程度よりも小さい、請求項2に記載の方法。
- 前記第2の熱変性ポリマー層を形成した後で、前記第2の熱変性ポリマー層上に第3のポリマー層を形成し、そして前記第3のポリマー層を加熱して第3の熱変性ポリマー層にし、それによって前記第2の熱変性ポリマー層上に前記第3の熱変性ポリマー層を密着させること、
をさらに含む、請求項2又は3に記載の方法。 - 前記第2の熱変性ポリマー層の熱変性の程度が、前記第1の熱変性ポリマー層の熱変性の程度よりも小さく、かつ
前記第3の熱変性ポリマー層の熱変性の程度が、前記第2の熱変性ポリマー層の熱変性の程度よりも小さい、
請求項4に記載の方法。 - 前記無機基材が、金属及び半金属、金属及び半金属の酸化物、金属及び半金属の窒化物、金属及び半金属の炭化物、炭素材料、並びにそれらの組み合わせからなる群より選択される、請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第1のポリマー層、存在する場合の第2のポリマー層、及び存在する場合の第3のポリマー層の形成を、コーティング及び/又は熱圧着によって行う、請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
- 請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法によって前記熱変性ポリマー層−無機基材複合体を製造すること、及び
ポリマー部材が、前記第1の熱変性ポリマー層、存在する場合の前記第2の熱変性ポリマー層、及び存在する場合の前記第3の熱変性ポリマー層を介して無機基材に接合するようにして、前記ポリマー部材を前記第1の熱変性ポリマー層、存在する場合の前記第2の熱変性ポリマー層、又は存在する場合の前記第3の熱変性ポリマー層に接合させること、
を含む、ポリマー部材−無機基材複合体の製造方法。 - 前記ポリマー部材が膜状である、請求項8に記載の方法。
- 前記ポリマー部材の接合を、コーティング又は熱圧着によって行う、請求項8又は9に記載の方法。
- 前記第1の熱変性ポリマー層、存在する場合の前記第2の熱変性ポリマー層、存在する場合の前記第3の熱変性ポリマー層、及び前記ポリマー部材が、いずれもオレフィンポリマーで形成されている、請求項8〜10のいずれか一項に記載の方法。
- 前記オレフィンポリマーが、シクロオレフィンポリマーである、請求項11に記載の方法。
- 1又は複数の熱変性ポリマー層が無機基材に密着している、熱変性ポリマー層−無機基材複合体。
- 前記1又は複数の熱変性ポリマー層が、前記無機基材に密着している第1の熱変性ポリマー層、及び前記第1の熱変性ポリマー層に密着している第2の熱変性ポリマー層を少なくとも有する、請求項13に記載の複合体。
- 前記1又は複数の熱変性ポリマー層が、前記第2の熱変性ポリマー層に密着している第3の熱変性ポリマー層を更に有する、請求項14に記載の複合体。
- 前記無機基材が、金属及び半金属、金属及び半金属の酸化物、金属及び半金属の窒化物、金属及び半金属の炭化物、炭素材料、並びにそれらの組み合わせからなる群より選択される、請求項13〜15のいずれか一項に記載の複合体。
- ポリマー部材が、請求項13〜16のいずれか一項に記載の前記熱変性ポリマー層−無機基材複合体の前記1又は複数の熱変性ポリマー層を介して、前記無機基材に密着している、ポリマー部材−無機基材複合体。
- 前記ポリマー部材が膜状である、請求項17に記載の複合体。
- 前記ポリマー部材、前記1又は複数の熱変性ポリマー層が、いずれもオレフィンポリマーで形成されている、請求項17又は18に記載の複合体。
- 前記オレフィンポリマーが、シクロオレフィンポリマーである、請求項19に記載の複合体。
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