JP2020159775A - 音叉振動子を備える荷重センサ - Google Patents
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Abstract
Description
この荷重センサは、図7に示すように、センサ基板1と、センサ基板1に支点5を介して接続する梃子部4と、梃子部4の一端とセンサ基板1との間に接続する音叉振動子2と、梃子部4の他端に接続して被検体の荷重を伝える荷重作用部3とを備えており、金属板をワイヤーカットで図示の形状に切り抜いて形成されている。
この荷重センサでは、荷重により荷重作用部3に下方向の力が作用すると、梃子部4を通じて音叉振動子2を上方に引っ張る力が音叉振動子2に加わる。そのため、音叉振動子2の発振周波数が変化し、その変化を検出することで荷重作用部3に作用した荷重が計測される。
従来の音叉振動子付き荷重センサでは、突き上げ力により荷重作用部3が約100μm以上突き上げられると、音叉振動子2が破損する恐れがある。
しかし、量産性を考慮すると、数10μmの隙間を細いワイヤで直接ワイヤーカット加工することは現実的でない。
本発明は、こうした事情を考慮して創案したものであり、小型の突上げストッパを備える音叉振動子付き荷重センサを提供することを目的としている。
このストッパ部は多くの占有面積を必要としないため、音叉振動子付き荷重センサを小型に構成できる。
そうすることで、ピンのピン受入部への圧入が容易になり、また、圧入されたピンが弾性力により確実に保持される。
ピンが円柱であれば、ピンの軸回りの回転によってピンと荷重作用部との距離が変化する恐れがない。
この荷重センサは、荷重センサ基部11に支点15を介して接続する梃子部14と、被検体の荷重が下向きに作用する荷重作用部13と、支点15を間にして荷重作用部13とは反対側で梃子部14に接続する音叉振動子12と、荷重作用部13の突き上げ量を制限するストッパ部20とを備えている。
ピン受入部22は、図4に拡大して示すように、荷重センサ基部11の縁部からワイヤーカットで切り込まれて形成された切欠きであり、その切欠きの奥部には、平行ピン21の円周の凡そ3/4の長さの周縁(特許請求の範囲で言う“部分周縁”)の形状に対応する弧状部分221が形成されている。
そのため、平行ピン21をピン受入部22に圧入するとき、平行ピン21によって荷重センサ基部11の部分222が押し広げられ、この部分222の弾性で平行ピン21が確実にピン受入部22で保持される。図5は、平行ピン21を圧入したときのピン受入部22の形状を、平行ピン21を除いた状態で示している。
そのため、荷重作用部13に突き上げ力が作用しても、荷重作用部13が50μm上昇すると、平行ピン21により上昇が抑えられ、その結果、音叉振動子12の座屈が防止できる。
また、平行ピン21と荷重作用部13の当接部131との間隔のばらつきが小さい。ワイヤーカットの加工誤差が2〜3μm以下であり、ピンの公差が3μm以下であるから、それらを加算しても、誤差は6μm以下である。
また、ピン受入部22の形状は単純であるため、短時間でのワイヤーカット加工で製作することができる。
また、これまで音叉振動子12が梃子部14に直接接続する場合について説明したが、音叉振動子12は、二段目の梃子等の介在部材を介して梃子部14に接続する構造であっても良い。
また、ここでは、荷重作用部13の上方への突き上げ力が音叉振動子12の座屈をもたらす場合の構造について説明したが、荷重により荷重作用部に上方への力が加わり、この力が音叉振動子に引っ張り力として作用するように構成された荷重センサでは、荷重作用部13の下方への力が音叉振動子12の座屈をもたらすから、この場合は、ストッパ部20を荷重作用部13の真下に配置する必要がある。
11 センサ基板
12 音叉振動子
13 荷重作用部
14 梃子部
15 支点
20 ストッパ部
21 平行ピン
22 ピン受入部
30 突上げストッパの曲げ加工前の形状
31 突上げストッパ
131 当接部
221 弧状部分
222 弾性部
Claims (7)
- 音叉振動子を備える荷重センサであって、
荷重センサ基部と、
前記荷重センサ基部に支点を介して接続する梃子部と、
前記梃子部に接続された、被検体の荷重が作用する荷重作用部と、
前記梃子部に、前記支点を間にして、前記荷重作用部とは反対の側に直接又は介在部材を介して接続された前記音叉振動子と、
前記音叉振動子に対して圧縮力を加える方向の前記荷重作用部の動きを制限するストッパ部と、
を備え、
前記ストッパ部は、ピンと、前記ピンの周縁の一部を除く部分周縁に接触して前記ピンを保持するピン受入部と、を有し、
前記ピン受入部と接触しない前記ピンの一部の周縁が、所定距離隔てて前記荷重作用部に対向する、
荷重センサ。 - 請求項1に記載の音叉振動子を備える荷重センサであって、
前記ピンが、前記ピン受入部に圧入されて固定される、荷重センサ。 - 請求項1又は2に記載の音叉振動子を備える荷重センサであって、
前記ピン受入部は、前記荷重センサ基部の縁部から切り込まれた切欠きを有し、前記切欠きの凹部形状が、前記ピンの前記部分周縁の形状に対応している、荷重センサ。 - 請求項3に記載の音叉振動子を備える荷重センサであって、
前記切欠きの一部を画成する前記荷重センサ基部の部分が弾性を備える、荷重センサ。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載の音叉振動子を備える荷重センサであって、
前記ピンが、円柱の平行ピンである、荷重センサ。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載の音叉振動子を備える荷重センサであって、
前記ストッパ部が、前記荷重作用部の直上にあって、前記荷重作用部の上方への動きを制限する、荷重センサ。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載の音叉振動子を備える荷重センサであって、
前記ストッパ部が、前記荷重作用部の直下にあって、前記荷重作用部の下方への動きを制限する、荷重センサ。
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