JP2020159775A - 音叉振動子を備える荷重センサ - Google Patents

音叉振動子を備える荷重センサ Download PDF

Info

Publication number
JP2020159775A
JP2020159775A JP2019057493A JP2019057493A JP2020159775A JP 2020159775 A JP2020159775 A JP 2020159775A JP 2019057493 A JP2019057493 A JP 2019057493A JP 2019057493 A JP2019057493 A JP 2019057493A JP 2020159775 A JP2020159775 A JP 2020159775A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
load sensor
load
pin
fork oscillator
tuning fork
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2019057493A
Other languages
English (en)
Other versions
JP7267799B2 (ja
Inventor
木村 武史
Takeshi Kimura
武史 木村
政史 石田
Masafumi Ishida
政史 石田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shinko Denshi Co Ltd
Original Assignee
Shinko Denshi Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shinko Denshi Co Ltd filed Critical Shinko Denshi Co Ltd
Priority to JP2019057493A priority Critical patent/JP7267799B2/ja
Publication of JP2020159775A publication Critical patent/JP2020159775A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7267799B2 publication Critical patent/JP7267799B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

【課題】小型の突上げストッパを備える音叉振動子付き荷重センサを提供する。【解決手段】荷重センサ基部11と、荷重センサ基部に支点15を介して接続する梃子部14と、梃子部に接続された、被検体の荷重が作用する荷重作用部13と、音叉振動子12と、音叉振動子12に対して圧縮力を加える方向の荷重作用部13の動きを制限するストッパ部20と、を備える。ストッパ部20は、ピン21と、ピンの周縁の一部を除く部分周縁に接触してピンを保持するピン受入部22と、を有し、ピン受入部22と接触しないピン21の一部の周縁が、所定距離隔てて荷重作用部13に対向するように構成されている。このストッパ部20は多くの占有面積を必要としないため、音叉振動子付き荷重センサ10を小型に構成できる。【選択図】図1

Description

本発明は、音叉振動子を備える荷重センサに関し、音叉振動子破損防止用のストッパの小型化を図るものである。
音叉振動子を備える荷重センサ(音叉振動子付き荷重センサ)は、例えば、下記特許文献1に記載されている。
この荷重センサは、図7に示すように、センサ基板1と、センサ基板1に支点5を介して接続する梃子部4と、梃子部4の一端とセンサ基板1との間に接続する音叉振動子2と、梃子部4の他端に接続して被検体の荷重を伝える荷重作用部3とを備えており、金属板をワイヤーカットで図示の形状に切り抜いて形成されている。
この荷重センサでは、荷重により荷重作用部3に下方向の力が作用すると、梃子部4を通じて音叉振動子2を上方に引っ張る力が音叉振動子2に加わる。そのため、音叉振動子2の発振周波数が変化し、その変化を検出することで荷重作用部3に作用した荷重が計測される。
しかし、荷重作用部3に何かが当たるなどして、荷重方向とは逆の力(突き上げ力)が荷重作用部3に作用すると、梃子部4を通じて音叉振動子2を圧縮する方向の力が音叉振動子2に加わり、その力が大きい場合には、音叉振動子2が破損(座屈)する。
従来の音叉振動子付き荷重センサでは、突き上げ力により荷重作用部3が約100μm以上突き上げられると、音叉振動子2が破損する恐れがある。
こうした事態を防ぐため、音叉振動子付き荷重センサでは、荷重作用部3に対する突き上げ量を抑制するためのストッパ(突上げストッパ)が荷重作用部3の直上に設けられている。
図8は、従来の音叉振動子付き荷重センサ10の突上げストッパ31を示している。この荷重センサでは、ワイヤーカットでセンサ基板11に切り込みを入れて点線で示す形状30を形成し、これを荷重作用部13の当接部131の真上の位置まで折り曲げて突上げストッパ31としている。
突上げストッパは、計量中に荷重作用部13と触れないように、荷重作用部3との間に隙間を設ける必要があるが、この隙間が大き過ぎると、突き上げ時に音叉振動子2の破損が防止できない。そのため、この隙間は、数10μm〜100μm程度でなければならない。
しかし、量産性を考慮すると、数10μmの隙間を細いワイヤで直接ワイヤーカット加工することは現実的でない。
そこで、図8の荷重センサ10では、突上げストッパとなる点線形状30をワイヤーカットで形成し、その後、点線形状30を曲げ加工して、荷重作用部13の当接部131との間隔が数10μmの突上げストッパ31を形成している。
特開2003−227743号公報
しかし、曲げ加工で形成した突上げストッパ31は、荷重センサの多くのスペースを占有してしまうため、より小型な音叉振動子付き荷重センサを設計する際の障害となっていた。
本発明は、こうした事情を考慮して創案したものであり、小型の突上げストッパを備える音叉振動子付き荷重センサを提供することを目的としている。
本発明は、音叉振動子を備える荷重センサであって、荷重センサ基部と、荷重センサ基部に支点を介して接続する梃子部と、梃子部に接続された、被検体の荷重が作用する荷重作用部と、梃子部に、支点を間にして、荷重作用部とは反対の側に直接又は介在部材を介して接続された音叉振動子と、音叉振動子に対して圧縮力を加える方向の荷重作用部の動きを制限するストッパ部と、を備えている。そして、ストッパ部は、ピンと、ピンの周縁の一部を除く部分周縁に接触してピンを保持するピン受入部と、を有し、ピン受入部と接触しないピンの一部の周縁が、所定距離隔てて荷重作用部に対向するように構成されている。
このストッパ部は多くの占有面積を必要としないため、音叉振動子付き荷重センサを小型に構成できる。
また、本発明の音叉振動子付き荷重センサでは、ピンを、ピン受入部に圧入して固定している。
また、本発明の音叉振動子付き荷重センサでは、ピン受入部が、荷重センサ基部の縁部から切り込まれた切欠きを有し、この切欠きの凹部形状が、ピンの部分周縁の形状に対応している。
また、本発明の音叉振動子付き荷重センサでは、切欠きの一部を画成する荷重センサ基部の部分が弾性を備えることが望ましい。
そうすることで、ピンのピン受入部への圧入が容易になり、また、圧入されたピンが弾性力により確実に保持される。
また、本発明の音叉振動子付き荷重センサでは、ピンを、円柱の平行ピンにすることが望ましい。
ピンが円柱であれば、ピンの軸回りの回転によってピンと荷重作用部との距離が変化する恐れがない。
また、本発明の音叉振動子付き荷重センサでは、被検体の荷重が荷重作用部の下方に作用する場合は、ストッパ部を荷重作用部の直上に配置して荷重作用部の上方への動きを制限する。また、被検体の荷重が荷重作用部の上方に作用する場合は、ストッパ部を荷重作用部の直下に配置して荷重作用部の下方への動きを制限する。
本発明の音叉振動子付き荷重センサは、ストッパ部が多くの占有面積を必要としないため、小型に構成できる。
本発明の実施形態に係る音叉振動子付き荷重センサを示す斜視図 図1の音叉振動子付き荷重センサの平面図 ストッパ部にピンを固定する前の音叉振動子付き荷重センサを示す図 図3のピン受入部周辺の拡大図 ストッパ部にピンを固定したときのピン受入部の形状を示す拡大図 ピンが固定されたピン受入部周辺の拡大図 音叉振動子付き荷重センサを示す図 従来のストッパを備える音叉振動子付き荷重センサを示す図
図1の斜視図は、本発明の実施形態に係る音叉振動子付き荷重センサ10を示している。図2は、その平面図である。
この荷重センサは、荷重センサ基部11に支点15を介して接続する梃子部14と、被検体の荷重が下向きに作用する荷重作用部13と、支点15を間にして荷重作用部13とは反対側で梃子部14に接続する音叉振動子12と、荷重作用部13の突き上げ量を制限するストッパ部20とを備えている。
ストッパ部20は、図1及び図2に示す円柱状の平行ピン21を、図3に示すピン受入部22に圧入して構成されている。
ピン受入部22は、図4に拡大して示すように、荷重センサ基部11の縁部からワイヤーカットで切り込まれて形成された切欠きであり、その切欠きの奥部には、平行ピン21の円周の凡そ3/4の長さの周縁(特許請求の範囲で言う“部分周縁”)の形状に対応する弧状部分221が形成されている。
また、弧状部分221への導入部を形成する荷重センサ基部11の部分222は、弧状部分221への導入口を狭める方向の弾性を有している。
そのため、平行ピン21をピン受入部22に圧入するとき、平行ピン21によって荷重センサ基部11の部分222が押し広げられ、この部分222の弾性で平行ピン21が確実にピン受入部22で保持される。図5は、平行ピン21を圧入したときのピン受入部22の形状を、平行ピン21を除いた状態で示している。
また、図6は、平行ピン21が圧入されたピン受入部22の状態を示している。このとき、平行ピン21の円周の一部は、ピン受入部22の弧状部分221から露出しており、この露出した部分が荷重作用部13の当接部131と50μmの間隔で対向している。
そのため、荷重作用部13に突き上げ力が作用しても、荷重作用部13が50μm上昇すると、平行ピン21により上昇が抑えられ、その結果、音叉振動子12の座屈が防止できる。
このストッパ部20は、図8に示すストッパ31に比べて極めて小さくできる。
また、平行ピン21と荷重作用部13の当接部131との間隔のばらつきが小さい。ワイヤーカットの加工誤差が2〜3μm以下であり、ピンの公差が3μm以下であるから、それらを加算しても、誤差は6μm以下である。
また、ピン受入部22の形状は単純であるため、短時間でのワイヤーカット加工で製作することができる。
なお、ストッパ部20で用いるピンは、円柱形以外の形状であっても良い。しかし、円柱形の場合は、荷重作用部13の当接部131との間隔がピンの軸回りの回転角度に依存しないため、有利である。
また、これまで音叉振動子12が梃子部14に直接接続する場合について説明したが、音叉振動子12は、二段目の梃子等の介在部材を介して梃子部14に接続する構造であっても良い。
また、ここでは、荷重作用部13の上方への突き上げ力が音叉振動子12の座屈をもたらす場合の構造について説明したが、荷重により荷重作用部に上方への力が加わり、この力が音叉振動子に引っ張り力として作用するように構成された荷重センサでは、荷重作用部13の下方への力が音叉振動子12の座屈をもたらすから、この場合は、ストッパ部20を荷重作用部13の真下に配置する必要がある。
本発明の音叉振動子付き荷重センサは、小型に構成できるため、種々の計量器に組み込むことが可能であり、広い分野で利用することができる。
10 音叉振動子付き荷重センサ
11 センサ基板
12 音叉振動子
13 荷重作用部
14 梃子部
15 支点
20 ストッパ部
21 平行ピン
22 ピン受入部
30 突上げストッパの曲げ加工前の形状
31 突上げストッパ
131 当接部
221 弧状部分
222 弾性部

Claims (7)

  1. 音叉振動子を備える荷重センサであって、
    荷重センサ基部と、
    前記荷重センサ基部に支点を介して接続する梃子部と、
    前記梃子部に接続された、被検体の荷重が作用する荷重作用部と、
    前記梃子部に、前記支点を間にして、前記荷重作用部とは反対の側に直接又は介在部材を介して接続された前記音叉振動子と、
    前記音叉振動子に対して圧縮力を加える方向の前記荷重作用部の動きを制限するストッパ部と、
    を備え、
    前記ストッパ部は、ピンと、前記ピンの周縁の一部を除く部分周縁に接触して前記ピンを保持するピン受入部と、を有し、
    前記ピン受入部と接触しない前記ピンの一部の周縁が、所定距離隔てて前記荷重作用部に対向する、
    荷重センサ。
  2. 請求項1に記載の音叉振動子を備える荷重センサであって、
    前記ピンが、前記ピン受入部に圧入されて固定される、荷重センサ。
  3. 請求項1又は2に記載の音叉振動子を備える荷重センサであって、
    前記ピン受入部は、前記荷重センサ基部の縁部から切り込まれた切欠きを有し、前記切欠きの凹部形状が、前記ピンの前記部分周縁の形状に対応している、荷重センサ。
  4. 請求項3に記載の音叉振動子を備える荷重センサであって、
    前記切欠きの一部を画成する前記荷重センサ基部の部分が弾性を備える、荷重センサ。
  5. 請求項1から4のいずれか1項に記載の音叉振動子を備える荷重センサであって、
    前記ピンが、円柱の平行ピンである、荷重センサ。
  6. 請求項1から5のいずれか1項に記載の音叉振動子を備える荷重センサであって、
    前記ストッパ部が、前記荷重作用部の直上にあって、前記荷重作用部の上方への動きを制限する、荷重センサ。
  7. 請求項1から5のいずれか1項に記載の音叉振動子を備える荷重センサであって、
    前記ストッパ部が、前記荷重作用部の直下にあって、前記荷重作用部の下方への動きを制限する、荷重センサ。
JP2019057493A 2019-03-25 2019-03-25 音叉振動子を備える荷重センサ Active JP7267799B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019057493A JP7267799B2 (ja) 2019-03-25 2019-03-25 音叉振動子を備える荷重センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019057493A JP7267799B2 (ja) 2019-03-25 2019-03-25 音叉振動子を備える荷重センサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020159775A true JP2020159775A (ja) 2020-10-01
JP7267799B2 JP7267799B2 (ja) 2023-05-02

Family

ID=72642846

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019057493A Active JP7267799B2 (ja) 2019-03-25 2019-03-25 音叉振動子を備える荷重センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7267799B2 (ja)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050284670A1 (en) * 2004-06-24 2005-12-29 Shinko Denshi Co., Ltd. Weighing apparatus with roberval mechanism
JP2009121950A (ja) * 2007-11-15 2009-06-04 Shinko Denshi Kk 音叉振動式荷重センサ
JP2010249731A (ja) * 2009-04-17 2010-11-04 Yamato Scale Co Ltd 過負荷防止機構を備えたロードセル
JP2018128438A (ja) * 2017-02-11 2018-08-16 新光電子株式会社 音叉振動子を備える荷重検出センサー

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050284670A1 (en) * 2004-06-24 2005-12-29 Shinko Denshi Co., Ltd. Weighing apparatus with roberval mechanism
JP2009121950A (ja) * 2007-11-15 2009-06-04 Shinko Denshi Kk 音叉振動式荷重センサ
JP2010249731A (ja) * 2009-04-17 2010-11-04 Yamato Scale Co Ltd 過負荷防止機構を備えたロードセル
JP2018128438A (ja) * 2017-02-11 2018-08-16 新光電子株式会社 音叉振動子を備える荷重検出センサー

Also Published As

Publication number Publication date
JP7267799B2 (ja) 2023-05-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8100016B2 (en) Vibratory sensor
JP3863168B2 (ja) 加振型接触検出センサ
JP4907191B2 (ja) 導電性接触子ユニット
JPWO2014073368A1 (ja) 接続端子およびこれを用いた導通検査器具
JP2020159775A (ja) 音叉振動子を備える荷重センサ
JP2006105854A (ja) 角速度センサ
US7535158B2 (en) Stress sensitive element
JP2008170203A (ja) 加速度検知ユニット、及び加速度センサ
WO2021134679A1 (zh) 电容系统及电容式麦克风
WO2013027741A1 (ja) 圧電振動センサ
JP5446175B2 (ja) 振動型センサ
US20220214373A1 (en) Signal Processing Method, Signal Processing Device, Physical Quantity Measurement Device, And Sensor Module
JP2008309578A (ja) ロードセル用起歪体、並びに、これを用いたロードセルユニット及び重量測定装置
WO2012020788A1 (ja) 光走査装置
JP2018128438A (ja) 音叉振動子を備える荷重検出センサー
JP2001091206A (ja) タッチセンサ
JP2010223666A (ja) 力センサー素子、及び力センサー装置
JP2008304409A (ja) 加速度検知ユニット及び加速度センサ
JP4848973B2 (ja) 加速度検知ユニット及び加速度センサ
US11207892B2 (en) Replaceable print apparatus components comprising memory
JP2010230401A (ja) 圧力センサー
EP3306285A1 (en) Device for measuring vibration and/or acoustic emission of small objects
JP2016130573A (ja) 防振部材、およびセンサー機器
JP2001091236A (ja) タッチセンサ
JP2003322661A (ja) 加速度センサ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220325

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20221222

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230105

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230304

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230322

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230420

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7267799

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150