JP2020153949A - センサ装置 - Google Patents
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- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims abstract description 115
- 230000004044 response Effects 0.000 claims abstract description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 50
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 claims description 25
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 27
- 239000000463 material Substances 0.000 description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 9
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 9
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 9
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 8
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 8
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229930182556 Polyacetal Natural products 0.000 description 2
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 2
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- -1 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 2
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/0888—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values for indicating angular acceleration
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/097—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by vibratory elements
Abstract
Description
第1実施形態に係るセンサ装置1を、図1〜図6を参照して説明する。
次に、第2実施形態に係るセンサ装置1を、図8及び図9を参照して説明する。本実施形態では、第1実施形態と共通する構成は図面に同じ符号を付すことで、この構成の詳細な説明を省略する。
次に、第3実施形態に係るセンサ装置1を、図10〜図13を参照して説明する。本実施形態では、第1実施形態と共通する構成は図面に同じ符号を付すことで、この構成の詳細な説明を省略する。
・枠体5の幅×奥行き=9mm×9mm、
・枠体5の材質:液晶ポリマー、
・中間部材4の幅×奥行き=5.9mm×5.9mm、
・中間部材4の材質:液晶ポリマー、
・露出部68の厚み(第1バネ部6a、第2バネ部6b、及び第3バネ部6cの各々の厚み)T=0.07mm、
・第1バネ部6a、第2バネ部6b、及び第3バネ部6cの各々の幅W1=0.14mm、
・露出部68の材質:ステンレス(SUS304)、
・露出部68の高さH=0.6mm、
・露出部68の奥行きD=0.4mm。
上記実施形態では弾性体6は複数のリードフレーム61のみからなるが、変形例では弾性体6は、リードフレーム61以外に任意の形状を有するバネ部材を更に備えることができる。このバネ部材として、例えば、コイルバネが挙げられる。
上記の通り、第1態様は、センサ装置(1)であって、角速度センサ素子(3)と、加速度センサ素子(2)と、中間部材(4)と、弾性体(6)とを備える。中間部材(4)は、角速度センサ素子(3)及び加速度センサ素子(2)の両方を搭載する。弾性体(6)は、中間部材(4)から離れた位置にある固定部(71)と中間部材(4)とに接続する。中間部材(4)は、固定部(71)に加わる振動を受けて振動する。
2 加速度センサ素子
3 角速度センサ素子
34 振動子
4 中間部材
6 弾性体
61 リードフレーム
71 固定部
f1 固有周波数
Claims (12)
- 角速度センサ素子と、
加速度センサ素子と、
前記角速度センサ素子及び前記加速度センサ素子の両方を搭載する中間部材と、
前記中間部材から離れた位置にある固定部と前記中間部材とに接続する弾性体と、
を備え、
前記中間部材は、前記固定部に加わる振動を受けて振動する、
センサ装置。 - 前記中間部材の振動は、固有周波数よりも高い周波数で前記角速度センサ素子による角速度の検出に干渉しない、
請求項1に記載のセンサ装置。 - 前記中間部材の振動は、前記固有周波数よりも高い周波数で減衰する、
請求項2に記載のセンサ装置。 - 前記角速度センサ素子は、振動子を備え、
前記振動子は、前記固有周波数よりも高い周波数で、前記角速度の検出方向と直交する方向に駆動する、
請求項2又は3に記載のセンサ装置。 - 前記中間部材の振動は、互いに直交する3軸の各々において、前記角速度センサ素子による角速度の検出に干渉しない、
請求項2〜5のいずれか1項に記載のセンサ装置。 - 前記中間部材の振動は、固有周波数よりも低い周波数で前記加速度センサ素子による加速度の検出に干渉しない、
請求項1〜6のいずれか1項に記載のセンサ装置。 - 前記中間部材の振動は、前記固有周波数よりも低い周波数で減衰しない、
請求項7に記載のセンサ装置。 - 前記中間部材の振動は、互いに直交する3軸の各々において、前記加速度センサ素子による加速度の検出に干渉しない、
請求項7〜9のいずれか1項に記載のセンサ装置。 - 前記弾性体は、複数のリードフレームを備え、
前記複数のリードフレームは、前記固定部と前記中間部材とに接続する、
請求項1〜10のいずれか1項に記載のセンサ装置。 - 前記角速度センサ素子と、前記加速度センサ素子とは、前記複数のリードフレームのうち少なくとも一部に電気的に接続する、
請求項11に記載のセンサ装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019055531A JP7209254B2 (ja) | 2019-03-22 | 2019-03-22 | センサ装置 |
US16/825,968 US11231277B2 (en) | 2019-03-22 | 2020-03-20 | Sensor device including angular velocity sensor element and acceleration sensor element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019055531A JP7209254B2 (ja) | 2019-03-22 | 2019-03-22 | センサ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020153949A true JP2020153949A (ja) | 2020-09-24 |
JP7209254B2 JP7209254B2 (ja) | 2023-01-20 |
Family
ID=72515668
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019055531A Active JP7209254B2 (ja) | 2019-03-22 | 2019-03-22 | センサ装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11231277B2 (ja) |
JP (1) | JP7209254B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2019
- 2019-03-22 JP JP2019055531A patent/JP7209254B2/ja active Active
-
2020
- 2020-03-20 US US16/825,968 patent/US11231277B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11231277B2 (en) | 2022-01-25 |
US20200300627A1 (en) | 2020-09-24 |
JP7209254B2 (ja) | 2023-01-20 |
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A621 | Written request for application examination |
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