JP2020150132A

JP2020150132A - Extension device

Info

Publication number: JP2020150132A
Application number: JP2019046319A
Authority: JP
Inventors: 山銅　英之; Hideyuki Sando; 英之山銅
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2019-03-13
Filing date: 2019-03-13
Publication date: 2020-09-17
Anticipated expiration: 2039-03-13
Also published as: JP7224214B2

Abstract

To provide an extension device capable of suppressing difference of extension amount of a workpiece.SOLUTION: An extension device 1 has multiple holding units 51-1, 51-2, 51-3, 51-4 for holding an expand sheet, to which a workpiece is stuck, on the outer boundary of the workpiece, mobile units 58-1, 58-2, 58-3, 58-4 for moving the holding units 51-1, 51-2, 51-3, 51-4 in the surface direction of the expand sheet, and expanding the expand sheet, and a partial expansion unit 80 for expanding the expand sheet partially between the outer boundary of the workpiece and the holding units 51-1, 51-2, 51-3, 51-4. The partial expansion unit 80 presses the expand sheet while moving a contact part 81, shorter than the holding member 53 of the holding units 51-1, 51-2, 51-3, 51-4, downward in the vertical direction of the expand sheet, and partially stretches the expand sheet.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、エキスパンドシートを拡張して被加工物をチップに割段またはチップ間の間隔を広げる拡張装置に関する。 The present invention relates to an expansion device that expands an expanding sheet to split a workpiece into chips or widen the distance between chips.

ウェーハなどの被加工物は、その表面の格子状の分割予定ラインによって区画された領域にそれぞれデバイスが形成されており、分割予定ラインに沿って分割することによって、デバイスを有する個々のチップに分割される。被加工物を個々のチップに分割する方法としては、被加工物に対して透過性を有する波長のレーザービームを照射して、被加工物の内部に改質層を形成した後、被加工物を研削・研磨することによって薄化し、この薄化工程において被加工物を分割する方法がある（例えば、特許文献１参照）。 A device is formed in a region of a work piece such as a wafer, which is divided by a grid-like planned division line on the surface thereof, and by dividing along the planned division line, the work piece is divided into individual chips having the device. Will be done. As a method of dividing the work piece into individual chips, the work piece is irradiated with a laser beam having a wavelength having a transmittance, a modified layer is formed inside the work piece, and then the work piece is formed. Is thinned by grinding and polishing, and the workpiece is divided in this thinning step (see, for example, Patent Document 1).

特許文献１に示された方法によって分割された被加工物は、分割されたチップ間に隙間がなく互いに密着した状態であるため、被加工物のハンドリング時に隣接するチップ同士が接触して損傷するおそれがある。そのため、複数のチップに分割された被加工物をシートに貼着し、シートを拡張することで隣接するチップ間に間隔を形成している。 Since the workpieces divided by the method shown in Patent Document 1 are in a state of being in close contact with each other without gaps between the divided inserts, the adjacent inserts come into contact with each other and are damaged when the workpiece is handled. There is a risk. Therefore, the workpiece divided into a plurality of chips is attached to the sheet, and the sheet is expanded to form a gap between the adjacent chips.

チップ間に間隔を形成するために、拡張装置が使用されている（例えば、特許文献２参照）。特許文献２に示された拡張装置が放射状にシートを拡張すると、シートの拡張量はどの方向でもほぼ同量になる。そのため、特許文献２に示された拡張装置を用いると、例えば、チップサイズが縦横で異なる場合には、縦横で分割予定ラインの本数が大きく異なるため、チップ間に形成される間隔が縦横で異なり、一方向（例えば、チップの縦方向）では十分な間隔が形成されたとしても他方向（例えば、チップの横方向）では間隔が不十分でハンドリング時に隣接するチップ同士が接触してしまうおそれがある。そこで、本願出願人は、上記の問題に鑑み、シートの四辺を挟持してエキスパンドする拡張装置を提案している（例えば、特許文献３参照）。 Expansion devices are used to form spacing between chips (see, eg, Patent Document 2). When the expansion device shown in Patent Document 2 expands the sheet radially, the expansion amount of the sheet becomes substantially the same in all directions. Therefore, when the expansion device shown in Patent Document 2 is used, for example, when the chip sizes are different in the vertical and horizontal directions, the number of lines to be divided differs greatly in the vertical and horizontal directions, so that the intervals formed between the chips differ in the vertical and horizontal directions. Even if a sufficient distance is formed in one direction (for example, the vertical direction of the chips), the distance is insufficient in the other direction (for example, the horizontal direction of the chips), and there is a risk that adjacent chips may come into contact with each other during handling. is there. Therefore, in view of the above problems, the applicant of the present application has proposed an expansion device that sandwiches and expands the four sides of the sheet (see, for example, Patent Document 3).

特許第６１４７９８２号公報Japanese Patent No. 6147982 特許第５４９５５１１号公報Japanese Patent No. 5495511 特許第６１８０１２０号公報Japanese Patent No. 6180120

しかしながら、特許文献３に示された拡張装置は、それぞれの辺で均一の拡張量となるために、円形のウェーハを拡張する際には多くの拡張を必要とする分割予定ラインの本数が多いウェーハで、中央部分のみを大きく拡張する、などいった拡張量を調整出来ないという課題があり、拡張量に差が生じる恐れがあった。 However, since the expansion device shown in Patent Document 3 has a uniform expansion amount on each side, a wafer having a large number of planned division lines requires a large amount of expansion when expanding a circular wafer. Therefore, there is a problem that the expansion amount cannot be adjusted, such as greatly expanding only the central part, and there is a risk that the expansion amount may differ.

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、被加工物の拡張量の差を抑制することができる拡張装置を提供することである。 The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide an expansion device capable of suppressing a difference in the expansion amount of a work piece.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の拡張装置は、交差する複数の分割予定ラインに沿って分割起点が形成された被加工物、または交差する複数の分割予定ラインに沿って個々のチップに分割された被加工物に貼着したシートを拡張して隣接するチップ間に間隔を形成する拡張装置であって、被加工物が貼着された該シートを、被加工物の外周で保持する複数の保持ユニットと、該保持ユニットを該シートの面方向に移動させ、該シートを拡張する移動ユニットと、該被加工物の外周と該保持ユニットの間で、該シートを部分的に拡張させる部分拡張ユニットと、を有し、該部分拡張ユニットは、該保持ユニットの保持部より長さが短い接触部を、該シートの面方向と交差する向きに移動させつつ該シートを押圧し、該シートを部分的に引き延ばすことを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, the extension device of the present invention may be applied to a workpiece having division starting points formed along a plurality of intersecting scheduled division lines or a plurality of intersecting scheduled division lines. An expansion device that expands a sheet attached to a work piece divided into individual chips along the line to form a gap between adjacent chips, and the sheet to which the work piece is attached is processed. A plurality of holding units that are held on the outer circumference of an object, a moving unit that moves the holding unit in the surface direction of the sheet and expands the sheet, and the sheet between the outer circumference of the workpiece and the holding unit. The partial expansion unit has a partial expansion unit that partially expands the contact portion, and the partial expansion unit moves a contact portion having a length shorter than the holding portion of the holding unit in a direction intersecting the surface direction of the sheet. It is characterized in that the sheet is pressed and the sheet is partially stretched.

前記拡張装置では、該部分拡張ユニットは、該シートの一方の面から該シートを押圧して該シートを引き延ばす接触部と、該接触部と該被加工物との間で該シートを他方の面から支持するシート支持部と、を備えても良い。 In the expansion device, the partial expansion unit presses the sheet from one surface of the sheet to stretch the sheet, and the sheet is placed on the other surface between the contact portion and the workpiece. A seat support portion that supports the vehicle may be provided.

本発明は、被加工物の拡張量の差を抑制することができるという効果を奏する。 The present invention has an effect that the difference in the expansion amount of the workpiece can be suppressed.

図１は、実施形態１に係る拡張装置の構成例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of the expansion device according to the first embodiment. 図２は、図１に示された拡張装置の加工対象の被加工物を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a work piece to be machined by the expansion device shown in FIG. 図３は、図２に示された被加工物とＤＡＦ付きのエキスパンドシート等を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing the work piece shown in FIG. 2 and an expanding sheet with a DAF. 図４は、図１に示された拡張装置の保持テーブル、保持ユニット及び部分拡張ユニットを示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing a holding table, a holding unit, and a partial expansion unit of the expansion device shown in FIG. 図５は、図１に示された拡張装置の部分拡張ユニットの構成例を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a configuration example of a partial expansion unit of the expansion device shown in FIG. 図６は、図１に示された拡張装置の保持ユニットが被加工物が貼着されたエキスパンドシートを保持した状態を模式的に示す側面図である。FIG. 6 is a side view schematically showing a state in which the holding unit of the expansion device shown in FIG. 1 holds an expanded sheet to which a work piece is attached. 図７は、図６に示された拡張装置の移動ユニットがエキスパンドシートを拡張した状態を模式的に示す側面図である。FIG. 7 is a side view schematically showing a state in which the moving unit of the expansion device shown in FIG. 6 expands the expand sheet. 図８は、図７に示された拡張装置の部分拡張ユニットがエキスパンドシートを部分的に拡張した状態を模式的に示す側面図である。FIG. 8 is a side view schematically showing a state in which the partial expansion unit of the expansion device shown in FIG. 7 partially expands the expand sheet. 図９は、図８に示された拡張装置の切断ユニットが環状フレームが貼着されたエキスパンドシートを切断している状態を一部断面で模式的に示す側面図である。FIG. 9 is a side view schematically showing a state in which the cutting unit of the expansion device shown in FIG. 8 is cutting the expanded sheet to which the annular frame is attached, in a partial cross section. 図１０は、実施形態２に係る拡張装置の保持テーブル、保持ユニット及び部分拡張ユニットを示す平面図である。FIG. 10 is a plan view showing a holding table, a holding unit, and a partial expansion unit of the expansion device according to the second embodiment. 図１１は、変形例に係る拡張装置の加工対象の被加工物とＤＡＦ付きのエキスパンドシート等を示す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing a work piece to be processed by the expansion device according to the modified example, an expanding sheet with a DAF, and the like.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 The embodiment (embodiment) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the contents described in the following embodiments. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Further, the configurations described below can be combined as appropriate. In addition, various omissions, substitutions or changes of the configuration can be made without departing from the gist of the present invention.

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る拡張装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る拡張装置の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示された拡張装置の加工対象の被加工物を示す斜視図である。図３は、図２に示された被加工物とＤＡＦ付きのエキスパンドシート等を示す斜視図である。図４は、図１に示された拡張装置の保持テーブル、保持ユニット及び部分拡張ユニットを示す平面図である。図５は、図１に示された拡張装置の部分拡張ユニットの構成例を示す斜視図である。 [Embodiment 1]
The expansion device according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of the expansion device according to the first embodiment. FIG. 2 is a perspective view showing a work piece to be machined by the expansion device shown in FIG. FIG. 3 is a perspective view showing the work piece shown in FIG. 2 and an expanding sheet with a DAF. FIG. 4 is a plan view showing a holding table, a holding unit, and a partial expansion unit of the expansion device shown in FIG. FIG. 5 is a perspective view showing a configuration example of a partial expansion unit of the expansion device shown in FIG.

実施形態１に係る図１に示す拡張装置１は、図２に示す被加工物２００に貼着したシートであるエキスパンドシート２０１（図３に示す）を拡張して、被加工物２００を個々のチップ２２０に分割する装置である。実施形態１に係る拡張装置１の加工対象である被加工物２００は、図２に示すように、シリコン、サファイア、ガリウムヒ素又はＳｉＣ（炭化ケイ素）などを基板２０３とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハなどのウェーハである。 The expansion device 1 shown in FIG. 1 according to the first embodiment expands the expanding sheet 201 (shown in FIG. 3), which is a sheet attached to the workpiece 200 shown in FIG. 2, and individually displays the workpiece 200. It is a device that divides into chips 220. As shown in FIG. 2, the workpiece 200 to be processed by the expansion device 1 according to the first embodiment is a disk-shaped semiconductor wafer having silicon, sapphire, gallium arsenide, SiC (silicon carbide) or the like as a substrate 203. And optical device wafers.

実施形態１では、被加工物２００は、図２に示すように、基板２０３の表面２０４の互いに交差する複数の分割予定ライン２０５で区画された各領域にそれぞれデバイス２０２が形成されている。被加工物２００は、分割予定ライン２０５に沿って基板２０３の内部に分割起点である改質層２０６（図２中に破線で示す）が形成されている。改質層２０６は、密度、屈折率、機械的強度やその他の物理的特性が周囲のそれとは異なる状態になった領域のことを意味し、溶融処理領域、クラック領域、絶縁破壊領域、屈折率変化領域、及びこれらの領域が混在した領域等を例示できる。実施形態１では、改質層２０６は、基板２０３の他の部分よりも機械的な強度が低い。 In the first embodiment, as shown in FIG. 2, in the workpiece 200, a device 202 is formed in each region of the surface 204 of the substrate 203, which is partitioned by a plurality of planned division lines 205 that intersect each other. In the workpiece 200, a modified layer 206 (indicated by a broken line in FIG. 2), which is a division starting point, is formed inside the substrate 203 along the planned division line 205. The modified layer 206 means a region in which the density, refractive index, mechanical strength and other physical properties are different from those of the surroundings, and is a melt processing region, a crack region, a dielectric breakdown region, and a refractive index. Examples include a change region and a region in which these regions are mixed. In the first embodiment, the modified layer 206 has lower mechanical strength than the other parts of the substrate 203.

また、実施形態１において、被加工物２００は、図３に示すように、基板２０３の裏面２０７側にエキスパンドシート２０１に貼着されたＤＡＦ（Die Attach Film）２０８が貼着され、拡張装置１によりＤＡＦ２０８とともに改質層２０６に沿って個々のチップ２２０に分割される。チップ２２０は、基板２０３の一部分と、基板２０３の表面２０４に形成されたデバイス２０２とを備え、裏面２０７にＤＡＦ２０８の一部分が貼着される。ＤＡＦ２０８は、被加工物２００から個々に分割されたチップ２２０を基板などに固定するためのものである。実施形態１では、ＤＡＦ２０８は、被加工物２００よりも大径な円板状に形成されて、エキスパンドシート２０１に貼着されている。 Further, in the first embodiment, as shown in FIG. 3, the workpiece 200 has a DAF (Die Attach Film) 208 attached to the expanding sheet 201 attached to the back surface 207 side of the substrate 203, and the expansion device 1 Is divided into individual chips 220 along the modified layer 206 together with the DAF 208. The chip 220 includes a part of the substrate 203 and a device 202 formed on the front surface 204 of the substrate 203, and a part of the DAF 208 is attached to the back surface 207. The DAF 208 is for fixing the chips 220 individually divided from the workpiece 200 to a substrate or the like. In the first embodiment, the DAF 208 is formed in a disk shape having a diameter larger than that of the workpiece 200, and is attached to the expanding sheet 201.

エキスパンドシート２０１は、伸縮性を有し、例えば、加熱された合成樹脂が第一の方向２１１に沿って移動されながら第一の方向２１１と該第一の方向２１１に対して直交する第二の方向２１２とに延伸されて成形される。エキスパンドシート２０１は、伸縮性を有する合成樹脂により構成された基材層と、基材層に積層されかつ伸縮性と粘着性とを有する合成樹脂により構成された粘着層とを備える。実施形態１では、第一の方向２１１は、所謂流れ方向（ＭＤ：Machine Direction方向）であり、第二の方向２１２は、所謂垂直方向（ＴＤ：Transverse Direction方向）である。 The expanding sheet 201 has elasticity, for example, a second direction 211 and a second direction orthogonal to the first direction 211 while the heated synthetic resin is moved along the first direction 211. It is stretched and molded in the direction 212. The expanding sheet 201 includes a base material layer made of a synthetic resin having elasticity, and an adhesive layer made of a synthetic resin laminated on the base material layer and having elasticity and adhesiveness. In the first embodiment, the first direction 211 is the so-called flow direction (MD: Machine Direction direction), and the second direction 212 is the so-called vertical direction (TD: Transverse Direction direction).

実施形態１に係る拡張装置１は、被加工物２００に貼着したエキスパンドシート２０１を第一の方向２１１と、第二の方向２１２とに拡張して、被加工物２００をＤＡＦ２０８とともに個々のチップ２２０に分割するとともに、互いに隣接するチップ２２０間に間隔を形成する装置である。また、拡張装置１は、エキスパンドシート２０１を拡張して、互いに隣接するチップ２２０間に間隔を形成した後、エキスパンドシート２０１に内径が被加工物２００及びＤＡＦ２０８よりも大径な環状フレーム２０９を貼着して、環状フレーム２０９の開口２１０内に被加工物２００を支持する。 The expansion device 1 according to the first embodiment expands the expanding sheet 201 attached to the workpiece 200 in the first direction 211 and the second direction 212, and expands the workpiece 200 together with the DAF 208 into individual chips. It is a device that divides into 220 and forms a space between chips 220 adjacent to each other. Further, the expansion device 1 expands the expanding sheet 201 to form a gap between the chips 220 adjacent to each other, and then attaches an annular frame 209 having an inner diameter larger than that of the workpiece 200 and the DAF 208 to the expanding sheet 201. It is worn to support the workpiece 200 in the opening 210 of the annular frame 209.

拡張装置１は、図１に示すように、平板状の固定基台２と、固定基台２の中央に設けられた保持テーブル１０と、図示しない被加工物搬送ユニットと、エキスパンドシート固定ユニット５０と、図示しないフレーム搬送ユニットと、シート切断ユニット７０と、部分拡張ユニット８０と、制御ユニット１００とを備える。 As shown in FIG. 1, the expansion device 1 includes a flat plate-shaped fixing base 2, a holding table 10 provided in the center of the fixing base 2, a workpiece transfer unit (not shown), and an expanding sheet fixing unit 50. A frame transfer unit (not shown), a sheet cutting unit 70, a partial expansion unit 80, and a control unit 100 are provided.

保持テーブル１０は、円板状に形成され、ＤＡＦ２０８が貼着されたエキスパンドシート２０１が保持面１１に載置される。保持テーブル１０は、移動機構によって鉛直方向に移動自在に設けられている。保持面１１は、水平方向に沿って平坦に形成され、エキスパンドシート２０１を介して被加工物２００が載置可能な直径を有している。保持面１１は、エキスパンドシート２０１を介して、被加工物２００が載置される。 The holding table 10 is formed in a disk shape, and the expanding sheet 201 to which the DAF 208 is attached is placed on the holding surface 11. The holding table 10 is provided so as to be movable in the vertical direction by a moving mechanism. The holding surface 11 is formed flat along the horizontal direction, and has a diameter on which the workpiece 200 can be placed via the expanding sheet 201. The work piece 200 is placed on the holding surface 11 via the expanding sheet 201.

被加工物搬送ユニットは、エキスパンドシート固定ユニット５０の上方に配置され、かつ下面に被加工物２００を保持する。被加工物搬送ユニットは、昇降ユニットにより鉛直方向に移動自在に設けられているとともに、水平方向移動ユニットにより水平方向に移動自在に設けられる。被加工物搬送ユニットは、水平方向移動ユニットにより、下面に保持した被加工物２００が保持テーブル１０と同軸となる位置に配置されて、保持テーブル１０と鉛直方向に対面する位置に被加工物２００を位置付ける。また、被加工物搬送ユニットは、昇降ユニットにより下降されることで、エキスパンドシート２０１に貼着されたＤＡＦ２０８に被加工物２００を貼着する。 The work piece transfer unit is arranged above the expanding sheet fixing unit 50, and holds the work piece 200 on the lower surface. The workpiece transfer unit is provided so as to be movable in the vertical direction by the elevating unit, and is provided so as to be movable in the horizontal direction by the horizontal movement unit. The workpiece transfer unit is arranged at a position where the workpiece 200 held on the lower surface is coaxial with the holding table 10 by the horizontal moving unit, and the workpiece 200 is positioned so as to face the holding table 10 in the vertical direction. Position. Further, the work piece transport unit is lowered by the elevating unit to attach the work piece 200 to the DAF 208 attached to the expanding sheet 201.

エキスパンドシート固定ユニット５０は、ＤＡＦ２０８を介して被加工物２００が貼着されたエキスパンドシート２０１を保持するものである。エキスパンドシート固定ユニット５０は、第一保持ユニット５１−１と、第二保持ユニット５１−２と、第三保持ユニット５１−３と、第四保持ユニット５１−４とを備える。第一保持ユニット５１−１、第二保持ユニット５１−２、第三保持ユニット５１−３及び第四保持ユニット５１−４は、被加工物２００が貼着されたエキスパンドシート２０１を被加工物２００の外周で保持する保持ユニットである。 The expanding sheet fixing unit 50 holds the expanding sheet 201 to which the workpiece 200 is attached via the DAF 208. The expanding sheet fixing unit 50 includes a first holding unit 51-1, a second holding unit 51-2, a third holding unit 51-3, and a fourth holding unit 51-4. The first holding unit 51-1, the second holding unit 51-2, the third holding unit 51-3, and the fourth holding unit 51-4 have the expanded sheet 201 to which the work piece 200 is attached to the work piece 200. It is a holding unit that holds on the outer circumference of.

第一保持ユニット５１−１、第二保持ユニット５１−２、第三保持ユニット５１−３及び第四保持ユニット５１−４は、それぞれエキスパンドシート２０１の被加工物２００よりも外周側の位置を挟んで保持する。第一保持ユニット５１−１、第二保持ユニット５１−２、第三保持ユニット５１−３及び第四保持ユニット５１−４は、互いに構成が略等しいので、同一部分に同一符号を付して説明する。 The first holding unit 51-1, the second holding unit 51-2, the third holding unit 51-3, and the fourth holding unit 51-4 sandwich the positions of the expanding sheet 201 on the outer peripheral side of the workpiece 200, respectively. Hold at. Since the first holding unit 51-1, the second holding unit 51-2, the third holding unit 51-3, and the fourth holding unit 51-4 have substantially the same configuration, the same parts are designated by the same reference numerals. To do.

第一保持ユニット５１−１、第二保持ユニット５１−２、第三保持ユニット５１−３及び第四保持ユニット５１−４は、固定基台２上に設けられた柱状の移動基台５２に鉛直方向に移動自在に設けられた一対の保持部である挟持部材５３と、一対の挟持部材５３を互いに近づく方向及び互いに離れる方向に移動する部材移動ユニット５４とを備える。一対の挟持部材５３は、互いに鉛直方向に間隔をあけて配置され、部材移動ユニット５４により互いに近づけられて互いの間にエキスパンドシート２０１を挟んで保持する。 The first holding unit 51-1, the second holding unit 51-2, the third holding unit 51-3, and the fourth holding unit 51-4 are vertically attached to the columnar moving base 52 provided on the fixed base 2. It includes a holding member 53 which is a pair of holding portions movably provided in a direction, and a member moving unit 54 which moves the pair of holding members 53 in a direction toward each other and a direction away from each other. The pair of sandwiching members 53 are arranged at intervals in the vertical direction from each other, and are brought close to each other by the member moving unit 54 to sandwich and hold the expanding sheet 201 between them.

第一保持ユニット５１−１の一対の挟持部材５３と第二保持ユニット５１−２の一対の挟持部材５３とは、第一の方向２１１に沿って互いに対向し、互いの間に保持テーブル１０を位置付けている。第三保持ユニット５１−３の一対の挟持部材５３と第四保持ユニット５１−４の一対の挟持部材５３とは、第二の方向２１２に沿って互いに対向し、互いの間に保持テーブル１０を位置付けている。部材移動ユニット５４は、移動基台５２に設けられている。 The pair of holding members 53 of the first holding unit 51-1 and the pair of holding members 53 of the second holding unit 51-2 face each other along the first direction 211, and the holding table 10 is placed between them. It is positioned. The pair of holding members 53 of the third holding unit 51-3 and the pair of holding members 53 of the fourth holding unit 51-4 face each other along the second direction 212, and the holding table 10 is placed between them. It is positioned. The member moving unit 54 is provided on the moving base 52.

部材移動ユニット５４は、一対の挟持部材５３を鉛直方向に移動自在とするモータ５５と、モータ５５により軸心回りに回転されるボールねじ５６と、ボールねじ５６に螺合しかつ挟持部材５３とアーム部材５７を介して連結したナット５８とを備える。部材移動ユニット５４は、モータ５５がボールねじ５６を軸心回りに回転させることで、ナット５８、アーム部材５７及び挟持部材５３を鉛直方向に移動させる。 The member moving unit 54 includes a motor 55 that makes the pair of holding members 53 movable in the vertical direction, a ball screw 56 that is rotated around the axis by the motor 55, and a holding member 53 that is screwed into the ball screw 56. A nut 58 connected via an arm member 57 is provided. In the member moving unit 54, the motor 55 rotates the ball screw 56 around the axis to move the nut 58, the arm member 57, and the holding member 53 in the vertical direction.

また、部材移動ユニット５４は、モータ５５によりボールねじ５６を軸心回りに回転することで、一対の挟持部材５３を鉛直方向に同方向に移動させることもできる。 Further, the member moving unit 54 can move the pair of holding members 53 in the same direction in the vertical direction by rotating the ball screw 56 around the axis by the motor 55.

また、第一保持ユニット５１−１の一対の挟持部材５３及び部材移動ユニット５４を設けた移動基台５２は、第一移動ユニット５８−１により固定基台２に第一の方向２１１に移動自在に設けられている。第二保持ユニット５１−２の一対の挟持部材５３及び部材移動ユニット５４を設けた移動基台５２は、第二移動ユニット５８−２により固定基台２に第一の方向２１１に移動自在に設けられている。第三保持ユニット５１−３の一対の挟持部材５３及び部材移動ユニット５４を設けた移動基台５２は、第三移動ユニット５８−３により固定基台２に第二の方向２１２に移動自在に設けられている。第四保持ユニット５１−４の一対の挟持部材５３及び部材移動ユニット５４を設けた移動基台５２は、第四移動ユニット５８−４により固定基台２に第二の方向２１２に移動自在に設けられている。 Further, the moving base 52 provided with the pair of holding members 53 of the first holding unit 51-1 and the member moving unit 54 can be moved to the fixed base 2 in the first direction 211 by the first moving unit 58-1. It is provided in. The moving base 52 provided with the pair of holding members 53 and the member moving unit 54 of the second holding unit 51-2 is movably provided on the fixed base 2 in the first direction 211 by the second moving unit 58-2. Has been done. The moving base 52 provided with the pair of holding members 53 and the member moving unit 54 of the third holding unit 51-3 is movably provided on the fixed base 2 in the second direction 212 by the third moving unit 58-3. Has been done. The moving base 52 provided with the pair of holding members 53 and the member moving unit 54 of the fourth holding unit 51-4 is movably provided on the fixed base 2 in the second direction 212 by the fourth moving unit 58-4. Has been done.

第一移動ユニット５８−１、第二移動ユニット５８−２、第三移動ユニット５８−３及び第四移動ユニット５８−４は、それぞれ、第一保持ユニット５１−１、第二保持ユニット５１−２、第三保持ユニット５１−３及び第四保持ユニット５１−４をエキスパンドシート２０１の面方向に移動させ、エキスパンドシート２０１を拡張する移動ユニットである。第一移動ユニット５８−１、第二移動ユニット５８−２、第三移動ユニット５８−３及び第四移動ユニット５８−４は、互いに構成が略等しいので、同一部分に同一符号を付して説明する。 The first moving unit 58-1, the second moving unit 58-2, the third moving unit 58-3, and the fourth moving unit 58-4 are the first holding unit 51-1 and the second holding unit 51-2, respectively. , The third holding unit 51-3 and the fourth holding unit 51-4 are moved in the plane direction of the expanding sheet 201 to expand the expanding sheet 201. Since the first mobile unit 58-1, the second mobile unit 58-2, the third mobile unit 58-3, and the fourth mobile unit 58-4 have substantially the same configuration, the same parts are designated by the same reference numerals. To do.

第一移動ユニット５８−１、第二移動ユニット５８−２、第三移動ユニット５８−３及び第四移動ユニット５８−４は、保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４を第一の方向２１１又は第二の方向２１２に移動可能とするモータ５９−１と、モータ５９−１により軸心回りに回転されて移動基台５２を第一の方向２１１又は第二の方向２１２に移動させるボールねじ５９−２とを有する。 The first mobile unit 58-1, the second mobile unit 58-2, the third mobile unit 58-3, and the fourth mobile unit 58-4 are the holding units 51-1, 51-2, 51-3, 51-4. The motor 59-1 is movable in the first direction 211 or the second direction 212, and the moving base 52 is rotated around the axis by the motor 59-1 to move the moving base 52 in the first direction 211 or the second direction. It has a ball screw 59-2 to be moved to 212.

第一移動ユニット５８−１、第二移動ユニット５８−２、第三移動ユニット５８−３及び第四移動ユニット５８−４は、保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４を第一の方向２１１又は第二の方向２１２に互いに離間する方向に移動させることで、保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４が保持したエキスパンドシート２０１を拡張する。 The first mobile unit 58-1, the second mobile unit 58-2, the third mobile unit 58-3, and the fourth mobile unit 58-4 are the holding units 51-1, 51-2, 51-3, 51-4. The expanding sheet 201 held by the holding units 51-1, 51-2, 51-3, 51-4 is expanded by moving the two in the first direction 211 or the second direction 212 in a direction away from each other.

フレーム搬送ユニットは、エキスパンドシート固定ユニット５０の上方に配置され、下面に環状フレーム２０９を保持する。フレーム搬送ユニットは、昇降ユニットにより鉛直方向に移動自在に設けられているとともに、図示しない水平方向移動ユニットにより水平方向に移動自在に設けられる。フレーム搬送ユニットは、水平方向移動ユニットにより、下面に保持した環状フレーム２０９の開口２１０が保持テーブル１０と同軸となる位置に配置されて、環状フレーム２０９の開口２１０と保持テーブル１０に載置されたエキスパンドシート２０１に貼着した被加工物２００とが鉛直方向に対面する位置に環状フレーム２０９を位置付ける。また、フレーム搬送ユニットは、昇降ユニットにより下降されることで、エキスパンドシート２０１に環状フレーム２０９を貼着する。 The frame transport unit is arranged above the expanding sheet fixing unit 50 and holds the annular frame 209 on the lower surface. The frame transport unit is provided so as to be movable in the vertical direction by an elevating unit, and is provided so as to be movable in the horizontal direction by a horizontal movement unit (not shown). The frame transport unit was placed at a position where the opening 210 of the annular frame 209 held on the lower surface was coaxial with the holding table 10 by the horizontal moving unit, and was placed on the opening 210 of the annular frame 209 and the holding table 10. The annular frame 209 is positioned at a position where the workpiece 200 attached to the expanding sheet 201 faces in the vertical direction. Further, the frame transport unit is lowered by the elevating unit to attach the annular frame 209 to the expanding sheet 201.

シート切断ユニット７０は、環状フレーム２０９に貼着されたエキスパンドシート２０１を環状フレーム２０９に沿って切断するものである。シート切断ユニット７０は、図１に示すように、エキスパンドシート２０１を切断するカッター７１を備える。シート切断ユニット７０は、エキスパンドシート２０１に環状フレーム２０９が貼着された後に、カッター７１を裏面２０７側からエキスパンドシート２０１の環状フレーム２０９の内縁と外縁との間に切り込ませて、カッター７１を環状フレーム２０９に沿って回転させて、エキスパンドシート２０１の環状フレーム２０９の内縁と外縁との間を切断する。 The sheet cutting unit 70 cuts the expanded sheet 201 attached to the annular frame 209 along the annular frame 209. As shown in FIG. 1, the sheet cutting unit 70 includes a cutter 71 that cuts the expanded sheet 201. In the sheet cutting unit 70, after the annular frame 209 is attached to the expanding sheet 201, the cutter 71 is cut from the back surface 207 side between the inner edge and the outer edge of the annular frame 209 of the expanding sheet 201 to cut the cutter 71. Rotate along the annular frame 209 to cut between the inner and outer edges of the annular frame 209 of the expanding sheet 201.

制御ユニット１００は、拡張装置１の各構成要素を制御して、拡張装置１にエキスパンドシート２０１に対する被加工物２００の貼着動作、エキスパンドシートの拡張動作及びエキスパンドシート２０１に対する環状フレーム２０９の貼着動作等を実施させるものである。なお、制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、拡張装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して拡張装置１の各構成要素に出力する。 The control unit 100 controls each component of the expansion device 1 to attach the workpiece 200 to the expanding sheet 201, the expanding operation of the expanding sheet, and the annular frame 209 to the expanding sheet 201. It is intended to carry out operations and the like. The control unit 100 is an arithmetic processing device having a microprocessor such as a CPU (central processing unit), a storage device having a memory such as a ROM (read only memory) or a RAM (random access memory), and input / output. It is a computer having an interface device. The arithmetic processing unit of the control unit 100 executes arithmetic processing according to a computer program stored in the storage device, and sends a control signal for controlling the expansion device 1 to each of the expansion devices 1 via the input / output interface device. Output to the component.

また、制御ユニット１００は、各種の情報や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニット１０１と、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニット１０２とが接続されている。入力ユニット１０２は、表示ユニット１０１に設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。 Further, the control unit 100 is connected to a display unit 101 composed of a liquid crystal display device for displaying various information and images, and an input unit 102 used by an operator to register processing content information and the like. .. The input unit 102 is composed of at least one of a touch panel provided on the display unit 101 and an external input device such as a keyboard.

また、拡張装置１は、図１に示すように、保持テーブル１０の上方に設けられ、かつ保持テーブル１０の保持面１１に載置されたエキスパンドシート２０１に貼着された被加工物２００の表面を撮像する撮像ユニット６０を備える。撮像ユニット６０は、エキスパンドシート２０１に貼着された被加工物２００を撮像するＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラを備えている。ＣＣＤカメラは、エキスパンドシート２０１に貼着された被加工物２００を撮像して、撮像して得た画像を制御ユニット１００に出力する。 Further, as shown in FIG. 1, the expansion device 1 is provided above the holding table 10, and the surface of the workpiece 200 attached to the expanding sheet 201 placed on the holding surface 11 of the holding table 10. The image pickup unit 60 for photographing the image is provided. The imaging unit 60 includes a CCD (Charge Coupled Device) camera that captures an image of the workpiece 200 attached to the expanding sheet 201. The CCD camera takes an image of the workpiece 200 attached to the expanding sheet 201, and outputs the image obtained by taking the image to the control unit 100.

また、拡張装置１は、図１に示すように、部分拡張ユニット８０を備える。部分拡張ユニット８０は、被加工物２００の外周と各保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４との間で、エキスパンドシート２０１を部分的に拡張するものである。実施形態１では、部分拡張ユニット８０は、移動ユニット５８−１，５８−２，５８−３，５８−４により既に拡張済みのエキスパンドシート２０１を部分的に拡張するものである。 Further, as shown in FIG. 1, the expansion device 1 includes a partial expansion unit 80. The partial expansion unit 80 partially expands the expanding sheet 201 between the outer circumference of the workpiece 200 and the holding units 51-1, 51-2, 53-1, 51-4. In the first embodiment, the partial expansion unit 80 partially expands the expanded sheet 201 already expanded by the moving units 58-1, 58-2, 58-3, 58-4.

実施形態１において、部分拡張ユニット８０は、各保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４と１対１で対応しており、図４に示すように、各対応する保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の挟持部材５３と保持テーブル１０との間に設けられている。なお、図１は、第一保持ユニット５１−１に対応する部分拡張ユニット８０のみを示し、他の部分拡張ユニット８０を省略している。また、図４は、被加工物２００のデバイス２０２を省略している。 In the first embodiment, the partial expansion unit 80 has a one-to-one correspondence with each holding unit 51-1, 51-2, 53-1, 51-4, and as shown in FIG. 4, each corresponding holding It is provided between the holding member 53 of the units 51-1, 51-2, 51-3, 51-4 and the holding table 10. Note that FIG. 1 shows only the partial expansion unit 80 corresponding to the first holding unit 51-1, and the other partial expansion units 80 are omitted. Further, in FIG. 4, the device 202 of the workpiece 200 is omitted.

部分拡張ユニット８０は、図１、図４及び図５に示すように、接触部８１と、シート支持部９０とを備える。接触部８１は、外観が円柱状に形成され、軸心が対応する保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の挟持部材５３が移動する移動方向２１１又は２１２と平行に配置されている。接触部８１の長さは、保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の挟持部材５３の全長よりも短い。又は、被加工物２００の長さより短い。接触部８１は、両端が支持部材８２に支持されて、図示しない昇降ユニットによりエキスパンドシート２０１の面方向に交差する向きである鉛直方向に沿って昇降自在に設けられかつ図示しない水平方向移動ユニットにより対応する保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の挟持部材５３に沿って移動自在に設けられている。 The partial expansion unit 80 includes a contact portion 81 and a seat support portion 90, as shown in FIGS. 1, 4 and 5. The contact portion 81 has a columnar appearance and is parallel to the moving direction 211 or 212 in which the holding member 53 of the holding units 51-1, 51-2, 51-3, 51-4 corresponding to the axial center moves. Have been placed. The length of the contact portion 81 is shorter than the total length of the holding member 53 of the holding units 51-1, 51-2, 53-1, 51-4. Alternatively, it is shorter than the length of the workpiece 200. Both ends of the contact portion 81 are supported by the support member 82, and the contact portion 81 is provided by an elevating unit (not shown) so as to be vertically movable along the vertical direction intersecting the surface direction of the expanding sheet 201 and by a horizontal moving unit (not shown). It is movably provided along the holding member 53 of the corresponding holding units 51-1, 51-2, 53-1, 51-4.

接触部８１は、昇降ユニットにより鉛直方向に沿って下降されて、エキスパンドシート２０１の一方の面である上面２０１−１から鉛直方向に沿って下方に押圧して、エキスパンドシート２０１を部分的に引き延ばす。また、接触部８１は、水平方向移動ユニットにより位置が変更されることで、エキスパンドシート２０１の部分的に引き延ばす位置が変更される。 The contact portion 81 is lowered along the vertical direction by the elevating unit and is pressed downward from the upper surface 201-1 which is one surface of the expanding sheet 201 along the vertical direction to partially stretch the expanding sheet 201. .. Further, the position of the contact portion 81 is changed by the horizontal movement unit, so that the position where the expanding sheet 201 is partially extended is changed.

シート支持部９０は、図５に示すように、互いに平行な一対の支持柱９１と、各支持柱９１の両端を支持する支持部材９２とを備える。支持柱９１は、外観が円柱状に形成され、軸心が対応する保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の挟持部材５３と平行に配置されている。支持柱９１の長さは、保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の挟持部材５３の全長と同等である。シート支持部９０は、図示しない昇降ユニットにより鉛直方向に沿って昇降自在に設けられている。 As shown in FIG. 5, the seat support portion 90 includes a pair of support columns 91 parallel to each other and support members 92 that support both ends of each support column 91. The support pillar 91 is formed in a columnar shape in appearance, and is arranged in parallel with the holding member 53 of the holding units 51-1, 51-2, 51-3, 51-4 whose axes correspond to each other. The length of the support column 91 is equivalent to the total length of the holding member 53 of the holding units 51-1, 51-2, 53-1, 51-4. The seat support portion 90 is provided so as to be vertically movable by an elevating unit (not shown).

シート支持部９０は、昇降ユニットにより鉛直方向に沿って上昇されて、エキスパンドシート２０１を保持した保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の一対の挟持部材５３のうちの下側の挟持部材５３の上面と同一平面上に位置付けられて、特に保持テーブル１０寄りの支持柱９１が接触部８１と被加工物２００との間でエキスパンドシート２０１を他方の面である下面２０１−２から支持する。なお、エキスパンドシート２０１を下方に押圧する接触部８１は、シート支持部９０の一対の支持柱９１間に侵入する。 The seat support portion 90 is raised along the vertical direction by the elevating unit, and is among the pair of holding members 53 of the holding units 51-1, 51-2, 51-3, 51-4 that hold the expanded seat 201. The support column 91, which is positioned on the same plane as the upper surface of the lower holding member 53, is particularly close to the holding table 10, and the expanding sheet 201 is placed between the contact portion 81 and the workpiece 200, and the lower surface 201 is the other surface. Support from -2. The contact portion 81 that presses the expanding sheet 201 downward penetrates between the pair of support columns 91 of the seat support portion 90.

なお、本発明では、拡張装置１は、上述した構成に加え、ロールに巻かれたエキスパンドシート２０１を保持するシート保持ユニットと、シート保持ユニットからエキスパンドシート２０１を保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４に送り出す送り出しユニットと、送り出しユニットにより送り出されたエキスパンドシート２０１を切断する切断ユニットとを備えても良い。 In the present invention, in addition to the above-described configuration, the expansion device 1 has a sheet holding unit that holds the expanding sheet 201 wound on the roll, and units 51-1 and 51-2 that hold the expanding sheet 201 from the sheet holding unit. , 51-3, 51-4 may be provided with a delivery unit and a cutting unit for cutting the expanding sheet 201 delivered by the delivery unit.

次に、本明細書は、拡張装置１のエキスパンドシート２０１の拡張動作を説明する。図６は、図１に示された拡張装置の保持ユニットが被加工物が貼着されたエキスパンドシートを保持した状態を模式的に示す側面図である。図７は、図６に示された拡張装置の移動ユニットがエキスパンドシートを拡張した状態を模式的に示す側面図である。図８は、図７に示された拡張装置の部分拡張ユニットがエキスパンドシートを部分的に拡張した状態を模式的に示す側面図である。図９は、図８に示された拡張装置の切断ユニットが環状フレームが貼着されたエキスパンドシートを切断している状態を一部断面で模式的に示す側面図である。 Next, this specification describes the expansion operation of the expanding sheet 201 of the expansion device 1. FIG. 6 is a side view schematically showing a state in which the holding unit of the expansion device shown in FIG. 1 holds an expanded sheet to which a work piece is attached. FIG. 7 is a side view schematically showing a state in which the moving unit of the expansion device shown in FIG. 6 expands the expand sheet. FIG. 8 is a side view schematically showing a state in which the partial expansion unit of the expansion device shown in FIG. 7 partially expands the expand sheet. FIG. 9 is a side view schematically showing a state in which the cutting unit of the expansion device shown in FIG. 8 is cutting the expanded sheet to which the annular frame is attached, in a partial cross section.

拡張装置１は、各部分拡張ユニット８０の接触部８１を上昇させかつシート支持部９０を下降させた状態で、中央にＤＡＦ２０８が貼着されたエキスパンドシート２０１を保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の一対の挟持部材５３で保持する。拡張装置は、被加工物搬送ユニットに保持した改質層２０６が形成された被加工物２００の裏面２０７をＤＡＦ２０８に対向させた後、被加工物搬送ユニットを下降させて、図６に示すように、ＤＡＦ２０８に被加工物２００の裏面２０７を貼着する。 The expansion device 1 holds the expanding sheet 201 with the DAF 208 attached in the center in a state where the contact portion 81 of each partial expansion unit 80 is raised and the seat support portion 90 is lowered, and the holding units 51-1 and 51-2. , 51-3, 51-4 are held by a pair of holding members 53. The expansion device makes the back surface 207 of the workpiece 200 on which the modified layer 206 held by the workpiece transport unit is formed face the DAF 208, and then lowers the workpiece transport unit, as shown in FIG. The back surface 207 of the workpiece 200 is attached to the DAF 208.

なお、実施形態１では、拡張装置１は、エキスパンドシート２０１に貼着されたＤＡＦ２０８に被加工物２００の裏面２０７を貼着したが、本発明では、被加工物２００の裏面２０７にＤＡＦ２０８とエキスパンドシート２０１とを順に貼着しても良い。即ち、本発明は、あらかじめＤＡＦ２０８が裏面２０７に貼着された被加工物２００を被加工物搬送ユニットで保持し、挟持部材５３で保持したエキスパンドシート２０１に貼着してもよい。 In the first embodiment, the expansion device 1 adheres the back surface 207 of the workpiece 200 to the DAF 208 attached to the expanding sheet 201, but in the present invention, the DAF 208 and the expanding device 1 are attached to the back surface 207 of the workpiece 200. Sheets 201 may be attached in order. That is, in the present invention, the workpiece 200 to which the DAF 208 is previously attached to the back surface 207 may be held by the workpiece transport unit and attached to the expanding sheet 201 held by the holding member 53.

実施形態１において、拡張装置１は、移動ユニット５８−１，５８−２，５８−３，５８−４に保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４を第一の方向２１１又は第二の方向２１２に離反する方向に移動させる。すると、保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の移動とともにエキスパンドシート２０１が第一の方向２１１と第二の方向２１２との双方に拡張される。エキスパンドシート２０１の拡張の結果、エキスパンドシート２０１に第一の方向２１１と第二の方向２１２の引張力が作用する。 In the first embodiment, the expansion device 1 has the holding units 51-1, 51-2, 51-3, 51-4 in the first direction in the mobile units 58-1, 58-2, 58-3, 58-4. It is moved in a direction away from 211 or the second direction 212. Then, as the holding units 51-1, 51-2, 53-1, 51-4 move, the expanding sheet 201 is expanded in both the first direction 211 and the second direction 212. As a result of the expansion of the expanding sheet 201, the tensile forces in the first direction 211 and the second direction 212 act on the expanding sheet 201.

このように被加工物２００が貼着されたエキスパンドシート２０１に第一の方向２１１と第二の方向２１２の引張力が作用すると、被加工物２００は、図７に示すように、分割予定ライン２０５に沿って改質層２０６が形成されているので、改質層２０６を基点として分割予定ライン２０５に沿って個々のチップ２２０に分割されるとともに、ＤＡＦ２０８がチップ２２０毎に分割される。 When the tensile force in the first direction 211 and the second direction 212 acts on the expanding sheet 201 to which the work piece 200 is attached, the work piece 200 is divided into scheduled lines as shown in FIG. Since the modified layer 206 is formed along the 205, the modified layer 206 is divided into individual chips 220 along the planned division line 205 with the modified layer 206 as a base point, and the DAF 208 is divided for each chip 220.

拡張装置１は、撮像ユニット６０でチップ２２０毎に分割された被加工物２００全体又は所望の分割予定ライン２０５を撮像し、表示ユニット１０１に撮像ユニット６０が撮像した被加工物２００を表示する。拡張装置１のオペレータが表示ユニット１０１に表示された被加工物２００の画像を確認して、部分的に拡張する必要があるか否かを判断する。オペレータが、部分に拡張する必要があると判断すると、入力ユニット１０２を操作して、部分的に拡張する必要がある位置を拡張可能な位置に少なくとも一つの部分拡張ユニット８０の接触部８１を位置付ける。 The expansion device 1 images the entire workpiece 200 divided for each chip 220 by the imaging unit 60 or a desired division scheduled line 205, and displays the workpiece 200 imaged by the imaging unit 60 on the display unit 101. The operator of the expansion device 1 confirms the image of the workpiece 200 displayed on the display unit 101 and determines whether or not it is necessary to partially expand the image. When the operator determines that the partial expansion is necessary, the input unit 102 is operated to position the contact portion 81 of at least one partial expansion unit 80 at a position where the partial expansion is necessary. ..

拡張装置１は、図８に示すように、部分拡張ユニット８０のシート支持部９０を上昇させてシート支持部９０を下側の挟持部材５３の上面と同一平面上に位置付け、部分的に拡張する必要がある位置に向かって部分拡張ユニット８０の接触部８１を下降させる。拡張装置１は、下降させた接触部８１をシート支持部９０の一対の支持柱９１間に侵入させて、エキスパンドシート２０１を部分的に拡張する。なお、図８は、第一の方向２１１の両端に位置する部分拡張ユニット８０の接触部８１をシート支持部９０の一対の支持柱９１間に侵入させて、エキスパンドシート２０１の任意の位置を第一の方向２１１に拡張している例を示しているが、部分拡張ユニット８０が部分的に拡張する位置は、図８に示された例に限定されずに、任意に設定しても良いことは勿論である。 As shown in FIG. 8, the expansion device 1 raises the seat support portion 90 of the partial expansion unit 80 to position the seat support portion 90 on the same plane as the upper surface of the lower sandwiching member 53, and partially expands the seat support portion 90. The contact portion 81 of the partial expansion unit 80 is lowered toward the required position. The expansion device 1 allows the lowered contact portion 81 to penetrate between the pair of support columns 91 of the seat support portion 90 to partially expand the expanding sheet 201. In FIG. 8, the contact portions 81 of the partial expansion unit 80 located at both ends of the first direction 211 are inserted between the pair of support columns 91 of the seat support portion 90, and an arbitrary position of the expanding sheet 201 is positioned. Although an example of expansion in one direction 211 is shown, the position where the partial expansion unit 80 partially expands is not limited to the example shown in FIG. 8, and may be set arbitrarily. Of course.

オペレータが表示ユニット１０１に表示された被加工物２００の画像を確認して、エキスパンドシート２０１を部分的に拡張する必要がなくなるまで、拡張装置１は、オペレータの操作により部分拡張ユニット８０によりエキスパンドシート２０１を部分的に拡張する。オペレータがエキスパンドシート２０１を部分的に拡張する必要がないと判断すると、拡張装置１は、フレーム搬送ユニットに保持した環状フレーム２０９の開口２１０とエキスパンドシート２０１に貼着された被加工物２００とが対面し、エキスパンドシート２０１と離れた位置に環状フレーム２０９を位置付ける。拡張装置１は、フレーム搬送ユニットを下降させて、フレーム搬送ユニットが保持した環状フレーム２０９をエキスパンドシート２０１に貼着させて、図９に示すように、シート切断ユニット７０のカッター７１にエキスパンドシート２０１の環状フレーム２０９内縁と外縁との間を環状フレーム２０９に沿って切断させる。拡張装置１は、エキスパンドシート２０１の拡張動作を終了する。 Until the operator confirms the image of the workpiece 200 displayed on the display unit 101 and it is no longer necessary to partially expand the expand sheet 201, the expansion device 1 is operated by the operator to operate the expand sheet by the partial expansion unit 80. 201 is partially extended. When the operator determines that it is not necessary to partially expand the expanding sheet 201, the expansion device 1 has an opening 210 of the annular frame 209 held in the frame transport unit and a workpiece 200 attached to the expanding sheet 201. The annular frame 209 is positioned at a position facing the expanding sheet 201 and away from the expanding sheet 201. The expansion device 1 lowers the frame transfer unit, attaches the annular frame 209 held by the frame transfer unit to the expanding sheet 201, and attaches the expanding sheet 201 to the cutter 71 of the sheet cutting unit 70 as shown in FIG. The annular frame 209 is cut between the inner edge and the outer edge of the annular frame 209 along the annular frame 209. The expansion device 1 ends the expansion operation of the expanding sheet 201.

以上説明した実施形態１に係る拡張装置１は、部分拡張ユニット８０を備えるので、部分的な必要な部分だけを他の部分よりも多く拡張する、ということができ、矩形ではない被加工物２００で発生しやすい中央の分割予定ライン２０５が多く拡張するなど、被加工物２００の拡張量を調整することができる。その結果、拡張装置１は、全ての分割予定ライン２０５の拡張量の差を抑制できるという効果を奏する。 Since the expansion device 1 according to the first embodiment described above includes the partial expansion unit 80, it can be said that only a partially necessary portion is expanded more than the other portions, and the workpiece 200 that is not rectangular. The amount of expansion of the workpiece 200 can be adjusted, such as the expansion of the central division schedule line 205, which tends to occur in the above. As a result, the expansion device 1 has an effect that the difference in the expansion amount of all the planned division lines 205 can be suppressed.

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る拡張装置を図面に基づいて説明する。図１０は、実施形態２に係る拡張装置の保持テーブル、保持ユニット及び部分拡張ユニットを示す平面図である。図１０は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。 [Embodiment 2]
The expansion device according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 10 is a plan view showing a holding table, a holding unit, and a partial expansion unit of the expansion device according to the second embodiment. In FIG. 10, the same parts as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

実施形態２に係る拡張装置１−２は、図１０に示すように、各部分拡張ユニット８０が接触部８１を複数備え、複数の接触部８１をシート支持部９０の支持柱９１の長手方向に等間隔に配置し、各部分拡張ユニット８０が複数の接触部８１を互いに独立して昇降自在に設けていること以外、実施形態１の拡張装置１と構成が同じである。なお、図１０は、被加工物２００のデバイス２０２を省略している。 In the expansion device 1-2 according to the second embodiment, as shown in FIG. 10, each partial expansion unit 80 includes a plurality of contact portions 81, and the plurality of contact portions 81 are provided in the longitudinal direction of the support pillar 91 of the seat support portion 90. The configuration is the same as that of the expansion device 1 of the first embodiment, except that the partial expansion units 80 are arranged at equal intervals and the plurality of contact portions 81 are provided so as to be able to move up and down independently of each other. Note that FIG. 10 omits the device 202 of the workpiece 200.

実施形態２に係る拡張装置１−２は、移動ユニット５８−１，５８−２，５８−３，５８−４によりエキスパンドシート２０１を拡張した後、オペレータが表示ユニット１０１に表示された被加工物２００の画像を確認して、部分に拡張する必要があると判断すると、入力ユニット１０２を操作して、部分的に拡張する必要がある位置を拡張可能な少なくとも一つの部分拡張ユニット８０の少なくとも接触部８１を下降させて、エキスパンドシート２０１を部分的に拡張する。 In the expansion device 1-2 according to the second embodiment, after the expansion sheet 201 is expanded by the moving units 58-1, 58-2, 58-3, 58-4, the workpiece displayed on the display unit 101 by the operator. If the image of 200 is checked and it is determined that it needs to be expanded into parts, the input unit 102 is operated to make at least contact with at least one partially expandable unit 80 that can expand the position that needs to be partially expanded. The expanding sheet 201 is partially expanded by lowering the portion 81.

実施形態１に係る拡張装置１−２は、部分拡張ユニット８０を備えるので、部分的な必要な部分だけを他の部分よりも多く拡張でき、実施形態１と同様に、被加工物２００の拡張量を調整することができる。その結果、拡張装置１−２は、全ての分割予定ライン２０５の拡張量の差を抑制できるという効果を奏する。 Since the expansion device 1-2 according to the first embodiment includes the partial expansion unit 80, only a partially necessary portion can be expanded more than the other portions, and the work piece 200 can be expanded as in the first embodiment. The amount can be adjusted. As a result, the expansion device 1-2 has an effect that the difference in the expansion amount of all the planned division lines 205 can be suppressed.

〔変形例〕
本発明の実施形態１及び実施形態２の変形例を図面に基づいて説明する。図１１は、変形例に係る拡張装置の加工対象の被加工物とＤＡＦ付きのエキスパンドシート等を示す斜視図である。なお、図１１は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。 [Modification example]
Modifications of the first and second embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 11 is a perspective view showing a work piece to be processed by the expansion device according to the modified example, an expanding sheet with a DAF, and the like. In FIG. 11, the same parts as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

変形例では、被加工物２００は、エキスパンドシート２０１に貼着される前に、基板２０３の内部に分割予定ライン２０５に沿った改質層２０６が形成され、表面２０４側に保護テープ２３０が貼着され、裏面２０７に研削加工が施されて、薄化されている。被加工物２００は、研削加工において、改質層２０６に沿って個々のチップ２２０に分割されている。変形例では、拡張装置１，１−２は、交差する複数の分割予定ライン２０５に沿って個々のチップ２２０に分割された被加工物２００をＤＡＦ２０８を介してエキスパンドシート２０１に貼着し、保護テープ２３０を剥がした後、エキスパンドシート２０１を拡張して、隣接するチップ２２０間に間隔を形成する。 In the modified example, before the workpiece 200 is attached to the expanding sheet 201, the modified layer 206 along the planned division line 205 is formed inside the substrate 203, and the protective tape 230 is attached to the surface 204 side. It is worn and the back surface 207 is ground to make it thinner. The workpiece 200 is divided into individual inserts 220 along the modified layer 206 in the grinding process. In the modified example, the expansion devices 1 and 1-2 attach the workpiece 200 divided into individual chips 220 along a plurality of intersecting planned division lines 205 to the expanding sheet 201 via the DAF 208 to protect the work piece 200. After the tape 230 is peeled off, the expanding sheet 201 is expanded to form a gap between adjacent chips 220.

変形例に係る拡張装置１，１−２は、部分拡張ユニット８０を備えるので、部分的な必要な部分だけを他の部分よりも多く拡張でき、実施形態１と同様に、被加工物２００の拡張量を調整することができる。その結果、拡張装置１，１−２は、全ての分割予定ライン２０５の拡張量の差を抑制できるという効果を奏する。 Since the expansion devices 1 and 1-2 according to the modified example include the partial expansion unit 80, only the partially necessary portion can be expanded more than the other portions, and the workpiece 200 can be expanded as in the first embodiment. The amount of expansion can be adjusted. As a result, the expansion devices 1 and 1-2 have an effect that the difference in the expansion amount of all the planned division lines 205 can be suppressed.

なお、本発明は、上記実施形態等に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、前述した実施形態では、オペレータが表示ユニット１０１が表示した画像を確認するなどして、エキスパンドシート２０１の部分的な拡張が必要な位置を判断したが、本発明では、撮像ユニット６０が撮像して得た被加工物２００の画像から制御ユニット１００が隣接するチップ２２０間の間隔を検出して、エキスパンドシート２０１の部分的な拡張が必要な位置を抽出し、抽出した位置を部分的に拡張可能な部分拡張ユニット８０でエキスパンドシート２０１を部分的に拡張しても良い。 The present invention is not limited to the above embodiments. That is, it can be modified in various ways without departing from the gist of the present invention. For example, in the above-described embodiment, the operator determines the position where the expansion sheet 201 needs to be partially expanded by checking the image displayed by the display unit 101, but in the present invention, the image pickup unit 60 takes an image. From the image of the workpiece 200 obtained in the above process, the control unit 100 detects the distance between the adjacent chips 220, extracts the position where the expanding sheet 201 needs to be partially expanded, and partially extracts the extracted position. The expanding sheet 201 may be partially expanded by the expandable partial expansion unit 80.

また、前述した実施形態では、部分拡張ユニット８０を各保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４と１対１で対応して設けたが、本発明では、部分拡張ユニット８０を全ての保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４に対応させて設けなくても良い。また、本発明では、部分拡張ユニット８０を少なくとも一つ設け、部分拡張ユニット８０を各保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の挟持部材５３と平行となる位置間で移動自在としても良い。 Further, in the above-described embodiment, the partial expansion unit 80 is provided in a one-to-one correspondence with each holding unit 51-1, 51-2, 53-1, 51-4, but in the present invention, the partial expansion unit is provided. It is not necessary to provide 80 corresponding to all the holding units 51-1, 51-2, 53-1 and 51-4. Further, in the present invention, at least one partial expansion unit 80 is provided, and the partial expansion unit 80 is placed between positions parallel to the holding members 53 of the holding units 51-1, 51-2, 53-1 and 51-4. It may be movable.

また、前述した実施形態では、分割起点として改質層２０６を示しているが、本発明では、分割起点は、改質層２０６に限定されずに、例えば、分割予定ライン２０５に沿って表面２０４に切削ブレードを切り込ませて形成された切削溝や、分割予定ライン２０５に沿って表面２０４に被加工物２００に対して吸収性を有する波長のレーザービームを照射して形成されたレーザー加工溝でも良い。さらに、本発明では、改質層２０６の形成やレーザー加工溝の形成は、基板２０３の表面２０４と裏面２０７のうちどちらの面からレーザービームを入射してもよい。 Further, in the above-described embodiment, the modified layer 206 is shown as the division starting point, but in the present invention, the division starting point is not limited to the modified layer 206, for example, the surface 204 is along the planned division line 205. A cutting groove formed by cutting a cutting blade into the surface, or a laser processing groove formed by irradiating the surface 204 with a laser beam having a wavelength capable of absorbing the workpiece 200 along the planned division line 205. But it's okay. Further, in the present invention, the modified layer 206 and the laser-processed groove may be formed by incident the laser beam from either the front surface 204 or the back surface 207 of the substrate 203.

本発明では、ＤＡＦ２０８は冷却することで破断しやすくなるため、拡張装置１，１−２がＤＡＦ２０８を冷却するために冷却空気を供給する冷気供給ユニットや保持テーブル１０を冷却するテーブル冷却ユニットを設けても良い。また、前述した実施形態では、保持テーブル１０がエキスパンドシート２０１の下方側に設置された例を示したが、本発明では、拡張装置１，１−２は、エキスパンドシート２０１の上方に保持テーブル１０があっても良い。 In the present invention, since the DAF 208 is easily broken by cooling, the expansion devices 1 and 1-2 are provided with a cold air supply unit for supplying cooling air for cooling the DAF 208 and a table cooling unit for cooling the holding table 10. You may. Further, in the above-described embodiment, the holding table 10 is installed below the expanding sheet 201, but in the present invention, the expansion devices 1 and 1-2 are above the expanding sheet 201. There may be.

１，１−２拡張装置
５１−１第一保持ユニット（保持ユニット）
５１−２第二保持ユニット（保持ユニット）
５１−３第三保持ユニット（保持ユニット）
５１−４第四保持ユニット（保持ユニット）
５３挟持部材（保持部）
５８−１第一移動ユニット（移動ユニット）
５８−２第二移動ユニット（移動ユニット）
５８−３第三移動ユニット（移動ユニット）
５８−４第四移動ユニット（移動ユニット）
８０部分拡張ユニット
８１接触部
９０シート支持部
２００被加工物
２０１エキスパンドシート（シート）
２０１−１上面（一方の面）
２０１−２下面（他方の面）
２０５分割予定ライン
２０６改質層（分割起点）
２２０チップ 1, 1-2 Expansion device 51-1 First holding unit (holding unit)
51-2 Second holding unit (holding unit)
51-3 Third holding unit (holding unit)
51-4 Fourth holding unit (holding unit)
53 Holding member (holding part)
58-1 First mobile unit (moving unit)
58-2 Second mobile unit (moving unit)
58-3 Third mobile unit (moving unit)
58-4 Fourth mobile unit (moving unit)
80 Partial expansion unit 81 Contact part 90 Seat support part 200 Work piece 201 Expanded sheet (sheet)
201-1 Top surface (one surface)
201-2 Bottom surface (other surface)
205 Scheduled division line 206 Modified layer (division starting point)
220 chips

Claims

Expand the sheet attached to the work piece in which the division start point is formed along the multiple planned division lines that intersect, or the work piece that is divided into individual chips along the multiple planned division lines that intersect. An expansion device that creates a gap between adjacent chips.
A plurality of holding units for holding the sheet to which the work piece is attached on the outer circumference of the work piece, and
A moving unit that moves the holding unit in the surface direction of the sheet and expands the sheet, and
It has a partial expansion unit that partially expands the sheet between the outer circumference of the workpiece and the holding unit.
The partial expansion unit
An expansion device that presses the sheet while moving a contact portion shorter than the holding portion of the holding unit in a direction intersecting the surface direction of the sheet, and partially stretches the sheet.

The partial expansion unit has a contact portion that presses the sheet from one surface of the sheet and stretches the sheet, and a sheet support that supports the sheet from the other surface between the contact portion and the workpiece. The expansion device according to claim 1, further comprising a unit.