JP2023001814A - Extension device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、拡張装置に関する。 The present invention relates to an expansion device.
ウェーハを個々のチップに分割する装置として、例えばシートの４辺を挟持してエキスパンドする拡張装置が用いられている（例えば、特許文献１参照）。 As an apparatus for dividing a wafer into individual chips, for example, an expansion apparatus that pinches and expands four sides of a sheet is used (see, for example, Patent Document 1).
拡張するシートは、基材と基材上に積層された糊層２１０からなり、糊層２１０を介して被加工物に接着される。このシートを挟持部材で挟持してエキスパンドすると、挟持部材にシートの糊が接着しエキスパンド後にシートが挟持部材から外れないという問題が生じる。
The expanding sheet consists of a base material and a
そして、シートを挟持部材から外そうとしてシートに貼着されたウェーハを破損させてしまうおそれもある。 In addition, there is a possibility that the wafer attached to the sheet may be damaged when the sheet is removed from the clamping member.
本発明の目的は、拡張後のシートが外れにくくなることを抑制することができる拡張装置を提供することである。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an expansion device capable of suppressing difficulty in removing a sheet after expansion.
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の拡張装置は、シートを拡張する拡張装置であって、ワークを保持する保持部を有した保持ユニットと、該保持ユニットで保持されたワークに対して、紫外線硬化型の糊層を有しワークより大きいサイズのシートを貼着する貼着ローラを有した貼着ユニットと、第一方向でワークを挟んで互いに対向して配設され、ワークが貼着された該シートの被挟持領域を挟持する一対の第一挟持部と、該第一方向に交差する第二方向でワークを挟んで互いに対向して配設され、ワークが貼着された該シートの被挟持領域を挟持する一対の第二挟持部と、を有した挟持ユニットと、該第一挟持部を該第一方向で互いに近接離反する方向に移動させるとともに該第二挟持部を該第二方向で互いに近接離反する方向に移動させる移動ユニットと、を有した拡張機構と、該保持ユニットで保持され該貼着ユニットで該シートが貼着されたワークを該拡張機構へと受け渡す受渡ユニットと、少なくとも該挟持ユニットで該シートの該被挟持領域を挟持する前に、該シートの該被挟持領域に向かって紫外線を照射して該糊層を硬化させる紫外線照射ユニットと、を備えたことを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, the expansion device of the present invention is an expansion device for expanding a sheet, comprising a holding unit having a holding portion for holding a work, and a work held by the holding unit. An adhering unit having an adhering roller that adheres a sheet having a size larger than the work and having an ultraviolet curable glue layer to the work, and is arranged to face each other with the work sandwiched in the first direction. A pair of first clamping portions for clamping a region to be clamped of the sheet to which the work is adhered, and a pair of first clamping portions are arranged to face each other with the work sandwiched therebetween in a second direction intersecting the first direction. a nipping unit having a pair of second nipping portions for nipping a region to be nipped of the adhered sheet; a moving unit for moving the two holding parts in the second direction toward and away from each other; a delivery unit for delivering to a mechanism; and ultraviolet irradiation for curing the adhesive layer by irradiating ultraviolet rays toward the region of the sheet to be clamped before the region to be clamped of the sheet is clamped by at least the clamping unit. and a unit.
前記拡張装置において、該保持ユニットは、該保持部の外周で該シートをワークに貼着する際に該貼着ローラが移動する貼着方向において該保持部を挟んで配置され、該保持部で保持されたワークの被シート貼着面よりも突出したシート被貼着部を備え、該貼着ローラで該シートを該保持部で保持されたワークに貼着するとともに該シート被貼着部に貼着した後、該紫外線照射ユニットが該シートの該被挟持領域に紫外線を照射しても良い。 In the expansion device, the holding unit is arranged to sandwich the holding part in the sticking direction in which the sticking roller moves when the sheet is stuck to the work on the outer periphery of the holding part. A sheet sticking portion projecting from the sheet sticking surface of the held work is provided, and the sticking roller sticks the sheet to the work held by the holding portion and to the sheet sticking portion. After sticking, the ultraviolet irradiation unit may irradiate the sandwiched area of the sheet with ultraviolet rays.
本発明は、拡張後のシートが外れにくくなることを抑制することができるという効果を奏する。 ADVANTAGE OF THE INVENTION This invention is effective in being able to suppress that the sheet|seat after expansion becomes difficult to come off.
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 A form (embodiment) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the contents described in the following embodiments. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the configurations described below can be combined as appropriate. In addition, various omissions, substitutions, or changes in configuration can be made without departing from the gist of the present invention.
〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る拡張装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る拡張装置の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示された拡張装置の加工対象のワークを示す斜視図である。
[Embodiment 1]
An expansion device according to
実施形態１に係る図１に示す拡張装置１は、図２に示すワーク２００が貼着されたシート２０１（図１に示す）を拡張して、ワーク２００を個々のチップ２２０に分割する装置である。実施形態１に係る拡張装置１の加工対象であるワーク２００は、図２に示すように、シリコン、サファイア、ガリウムヒ素又はＳｉＣ（炭化ケイ素）などを基板２０３とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハなどのウェーハである。
The
実施形態１では、ワーク２００は、図２に示すように、基板２０３の表面２０４の互いに交差する複数の分割予定ライン２０５で区画された各領域にそれぞれデバイス２０２が形成されている。ワーク２００は、分割予定ライン２０５に沿って基板２０３の内部に分割起点である改質層２０６（図２中に破線で示す）が形成されている。改質層２０６は、密度、屈折率、機械的強度やその他の物理的特性が周囲のそれとは異なる状態になった領域のことを意味し、溶融処理領域、クラック領域、絶縁破壊領域、屈折率変化領域、及びこれらの領域が混在した領域等を例示できる。実施形態１では、改質層２０６は、基板２０３の他の部分よりも機械的な強度が低い。
In the first embodiment, as shown in FIG. 2, the
また、実施形態１において、ワーク２００は、図２に示すように、基板２０３の表面２０４側にデバイス２０２を保護する保護テープ２０８（図２に破線で示す）が貼着された状態で拡張装置１に供給され、拡張装置１により、基板２０３の裏面２０７側にシート２０１が貼着され、保護テープ２０８が剥離され、シート２０１が拡張されて、改質層２０６に沿って個々のチップ２２０に分割される。チップ２２０は、基板２０３の一部分と、基板２０３の表面２０４に形成されたデバイス２０２とを備える。実施形態１では、裏面２０７は、ワーク２００のシート２０１が貼着される被シート貼着面である。
In the first embodiment, the
シート２０１は、伸縮性を有し、例えば、加熱された合成樹脂が第一方向２１１に沿って伸長されながら、第一方向２１１に対して交差（実施形態１では直交）する第二方向２１２に延伸されて、帯状に成形される。シート２０１は、図８に示すように、伸縮性を有する合成樹脂により構成された基材層２０９と、基材層２０９に積層されかつ伸縮性と粘着性とを有する合成樹脂により構成された糊層２１０とを備える。
The
実施形態１では、第一方向２１１は、所謂流れ方向（ＭＤ：Machine Direction方向）であり、第二方向２１２は、所謂垂直方向（ＴＤ：Transverse Direction方向）である。糊層２１０は、紫外線が照射されると、硬化し、紫外線が照射される前よりも粘着力が低下する合成樹脂により構成されている。即ち、実施形態１では、糊層２１０は、紫外線硬化型の糊層２１０である。
In the first embodiment, the
シート２０１は、第一方向２１１の長さ及び第二方向２１２の幅がワーク２００の外径よりも大きい。即ち、シート２０１は、ワーク２００よりも大きいサイズのシートである。シート２０１は、糊層２１０に図示しない剥離紙が貼着された状態で、ロール状に巻回されてシートロール２２１を形成し、拡張装置１に装着される。実施形態１では、シート２０１は、基材層２０９が外周側に位置し、糊層２１０が内周に位置するようにロール状に巻回されている。なお、剥離紙は、シート２０１の糊層２１０を保護するものである。
The
実施形態１に係る拡張装置１は、ワーク２００に貼着したシート２０１を第一方向２１１と、第二方向２１２とに拡張して、ワーク２００を個々のチップ２２０に分割するとともに、互いに隣接するチップ２２０間に間隔を形成する装置である。また、拡張装置１は、シート２０１を拡張して、互いに隣接するチップ２２０間に間隔を形成した後、シート２０１に内径がワーク２００よりも大径なフレームを貼着して、フレームの開口内にワーク２００を支持するとともに、シート２０１をフレームの内縁と外縁との間で切断する。拡張装置１は、ワーク２００とワーク２００が貼着されたシート２０１とシート２０１が貼着されたフレームとからなるフレームユニットを形成する。
The
拡張装置１は、図１に示すように、図示しないワーク搬入ユニットと、保持ユニット１０と、貼着ユニット２０と、保持ユニット移動機構２９と、拡張機構３０と、フレーム搬入ユニット３９と、受渡ユニット４０と、受渡ユニット移動機構５９と、剥離ユニット６０と、制御ユニット１００とを備える。
As shown in FIG. 1, the
まず、保持ユニット１０を図面に基づいて説明する。図３は、図１に示された拡張ユニットの保持ユニットが保持テーブルを下方に向けた状態を示す斜視図である。図４は、図３に示された保持ユニットのシート貼着プレートを下方からみた斜視図である。図５は、図４中のＶ部を拡大して示す斜視図である。
First, the holding
保持ユニット１０は、図３に示すように、拡張装置１の装置本体２に保持ユニット移動機構２９により第一方向２１１に沿って移動自在に設けられたユニット本体１１と、ワーク２００を保持する保持部である保持テーブル１２と、保持テーブル昇降ユニット１３と、保持テーブル反転ユニット１４と、シート貼着プレート１５とを有する。
As shown in FIG. 3, the holding
ユニット本体１１は、保持ユニット移動機構２９により装置本体２の第一方向２１１の一端部において第一方向２１１に移動自在に支持されている。
The unit
保持テーブル１２は、外径がワーク２００の外径よりも大径な円板状に形成され、中央に水平方向と平行な保持面１６を有している。保持面１６は、ポーラスセラミックス等の多孔質材で構成され、図示しない吸引源に接続されている。保持テーブル１２は、ワーク搬入ユニットにより保持面１６に保護テープ２０８を介してワーク２００の表面２０４が載置され、保持面１６が吸引源により吸引されることにより、保持面１６にワーク２００を吸引保持する。なお、実施形態１では、保持面１６の外径は、ワーク２００の外径と等しい。
The holding table 12 is formed in a disc shape with an outer diameter larger than the outer diameter of the
保持テーブル反転ユニット１４は、保持テーブル１２を回転し、保持面１６が上方に向く状態と、保持面１６が下方に向く状態とに亘って保持テーブル１２との上下方向の向きを反転させる。保持テーブル昇降ユニット１３は、ユニット本体１１に支持され、保持テーブル反転ユニット１４及び保持テーブル１２を保持面１６に対して直交する方向（実施形態１では、鉛直方向）に沿って昇降させる。
The holding
シート貼着プレート１５は、保持テーブル１２、保持テーブル昇降ユニット１３、及び保持テーブル反転ユニット１４との下方に配置され、中央に円形の孔１７を設けた水平方向と平行な平板状に形成されている。シート貼着プレート１５は、ユニット本体１１に支持され、孔１７が鉛直方向に沿って貫通し、孔１７の内径が保持テーブル１２の外径よりも大きい。
The
シート貼着プレート１５は、外縁が第一方向２１１と第二方向２１２と平行に形成され、外縁の平面形状がワーク２００のサイズよりも大きな矩形状に形成されている。シート貼着プレート１５は、図４及び図５に示すように、下面に一対のシート被貼着部１８と、一対のローラ用ガイド１９とを備える。
The
シート被貼着部１８は、長手方向が第二方向２１２と平行な角柱（実施形態１では、四角柱）状に形成され、シート貼着プレート１５の第一方向２１１の両端部の下面に取り付けられている。シート被貼着部１８は、シート貼着プレート１５の第二方向２１２と平行な外縁の全長に亘って設けられている。
The
一対のシート被貼着部１８は、保持テーブル反転ユニット１４により保持面１６が下方に向けられ、保持テーブル昇降ユニット１３により降下されて、孔１７内に侵入した保持テーブル１２の保持面１６の外周に位置し、互いに第一方向２１１に沿って保持テーブル１２の保持面１６を挟んで配置されている。また、一対のシート被貼着部１８の下面が、保持テーブル反転ユニット１４により保持面１６が下方に向けられ保持テーブル昇降ユニット１３により降下されて、孔１７内に侵入した保持テーブル１２の保持面１６に保持されたワーク２００の裏面２０７よりも下方に位置する。一対のシート被貼着部１８は、保持テーブル反転ユニット１４により保持面１６が下方に向けられ保持テーブル昇降ユニット１３により降下されて、孔１７内に侵入した保持テーブル１２の保持面１６に保持されたワーク２００の裏面２０７よりも下方に突出する。シート被貼着部１８は、下面にワーク２００の裏面２０７に貼着されるシート２０１が貼着する。実施形態１では、シート被貼着部１８は、紫外線を透過可能な材質により構成されている。
The holding
ローラ用ガイド１９は、長手方向が第一方向２１１と平行な棒状に形成され、シート貼着プレート１５の第二方向２１２の両端部の下面に取り付けられている。シート被貼着部１８は、シート貼着プレート１５の第一方向２１１と平行な外縁の全長に亘って設けられている。
The roller guides 19 are formed in the shape of bars whose longitudinal direction is parallel to the
一対のローラ用ガイド１９は、保持テーブル反転ユニット１４により保持面１６が下方に向けられ、保持テーブル昇降ユニット１３により降下されて、孔１７内に侵入した保持テーブル１２の保持面１６の外周に位置し、互いに第二方向２１２に沿って保持テーブル１２の保持面１６を挟んで配置されている。
The pair of roller guides 19 are positioned on the outer periphery of the holding
貼着ユニット２０は、装置本体２の第一方向２１１の一端部に設けられ、シートロール２２１を支持するシートロール支持部２１と、図示しない貼着部材と、保持ユニット１０の保持テーブル１２の保持面１６に保持されたワーク２００の裏面２０７に対してシート２０１を貼着する貼着ローラ２２と、図示しない剥離紙巻取りローラと、複数のテンション付与ローラと、シート切断ユニット２３とを備える。
The sticking
シートロール支持部２１は、シートロール２２１の軸心を第二方向２１２と平行に位置付けて、シートロール２２１を軸心回りに回転自在に支持している、シートロール支持部２１は、シートロール２２１からシート２０１を貼着部材に向けて送り出す。
The sheet
貼着部材は、長手方向が第二方向２１２と平行な棒状に形成され、図示しない昇降ユニットにより昇降自在に設けられている。貼着部材は、上昇すると、一対のシート被貼着部１８のうち第一方向２１１の他端部よりも一方のシート被貼着部１８との間に剥離紙が剥離されたシート２０１を挟んで、シート２０１をシート被貼着部１８に貼着する。
The sticking member is formed in a rod shape whose longitudinal direction is parallel to the
貼着ローラ２２は、軸心が第二方向と平行に配置され、軸心回りに回転自在に支持されている。貼着ローラ２２は、保持テーブル反転ユニット１４により保持面１６が下方に向けられ、保持テーブル昇降ユニット１３により降下されて、孔１７内に侵入した保持テーブル１２の保持面１６で保持されたワーク２００に対してシート２０１を押圧して、シート２０１をワーク２００の裏面２０７に貼着する。
The sticking
また、貼着ユニット２０は、シートロール支持部２１と貼着ローラ２２との間に、シートロール２２１のシート２０１から剥離紙を剥離する図示しないピールプレートを備えている。
The sticking
剥離紙巻取りローラは、軸心が第二方向と平行に配置され、軸心回りに回転自在に支持されている。剥離紙巻取りローラは、外周面にシート２０１から剥離された剥離紙を巻き取る。テンション付与ローラは、シートロール支持部２１と貼着部材との間、貼着ローラ２２と剥離紙巻き取りローラとの間に配置されて、シート２０１及びシート２０１から剥離された剥離紙にテンションを付与する。
The release paper take-up roller has its axis parallel to the second direction, and is supported rotatably about its axis. The release paper winding roller winds up the release paper separated from the
シート切断ユニット２３は、一対のシート被貼着部１８及びワーク２００の裏面に貼着されたシート２０１を切断して、シートロール２２１側から分離させるものである。なお、シート切断ユニット２３により切断され、シートロール２２１側から分離されたシート２０１は、平面形状がワーク２００の平面形状即ちサイズよりも大きな矩形となる。シート切断ユニット２３は、図３に示すように、カッター刃収容ケース２４と、カッター刃２５と、カッター刃移動機構２６とを備える。
The
カッター刃収容ケース２４は、下方に開口を設けた箱状に形成され、カッター刃移動機構２６によりシート貼着プレート１５の第二方向２１２と平行な外縁のうち第一方向２１１の一端部側の外縁に第二方向２１２に移動自在に支持されている。カッター刃２５は、下端にシート２０１に切り込む切り刃を備え、カッター刃収容ケース２４内に収容されている位置と、切り刃がカッター刃収容ケース２４よりも下方に突出しシート２０１に切り込む位置とに亘って図示しない昇降ユニットにより昇降自在に設けられている。
The cutter
カッター刃移動機構２６は、シート貼着プレート１５の第二方向２１２と平行な外縁のうち第一方向２１１の一端部側の外縁に設けられ、カッター刃収容ケース２４即ちカッター刃２５を第二方向２１２に移動させるものである。
The cutter
保持ユニット移動機構２９は、保持テーブル１２及びシート貼着プレート１５が貼着ユニット２０のシートロール支持部２１、貼着部材及び貼着ローラ２２の上方に位置する位置と、シートロール支持部２１、貼着部材及び貼着ローラ２２の上方かあら退避する位置とに亘って、保持ユニット１０を装置本体２の一端部において第一方向２１１に移動させるものである。
The holding
拡張機構３０は、ワーク２００の裏面２０７に貼着されかつシートロール２２１側から切断されたシート２０１を拡張するものである。拡張機構３０は、装置本体２の第一方向２１１の他端部に設けられている。拡張機構３０は、図１に示すように、挟持ユニット３１と、移動ユニット３７とを備える。
The
挟持ユニット３１は、シートロール２２１側から切断、分離され、ワーク２００の裏面２０７に貼着されたシート２０１を保持するものである。挟持ユニット３１は、一対の第一挟持部３１－１と、一対の第二挟持部３１－２とを有する。第一挟持部３１－１及び第二挟持部３１－２は、ワーク２００が貼着されたシート２０１をワーク２００の外周で挟持する。第一挟持部３１－１及び第二挟持部３１－２は、それぞれシート２０１のワーク２００よりも外周側の被挟持領域２２２（図７及び図８に示す）を挟持して保持する。
The holding
なお、シート２０１の被挟持領域２２２は、シートロール２２１側から切断、分離された矩形状のシート２０１の外縁に沿って延びた領域である。シート２０１の被挟持領域２２２は、一対のシート被貼着部１８と一対のローラ用ガイド１９と厚み方向に対向し、一対のシート被貼着部１８に貼着される領域でもある。
The nipped
なお、第一挟持部３１－１と第二挟持部３１－２の同一部分には、同一符号を付して説明する。第一挟持部３１－１及び第二挟持部３１－２は、装置本体２上に設けられた柱状の移動基台３２を備える。
The same parts of the first clamping part 31-1 and the second clamping part 31-2 are denoted by the same reference numerals. The first clamping part 31-1 and the second clamping part 31-2 are provided with a columnar moving
一対の第一挟持部３１－１は、それぞれ、第１挟持部材３３－１を一対備える。一方の第一挟持部３１－１の第１挟持部材３３－１と他方の第一挟持部３１－１の第１挟持部材３３－１とは、第一方向２１１でシート２０１に貼着されたワーク２００を挟んで、互いに対向している。実施形態１では、一方の第一挟持部３１－１の第１挟持部材３３－１と他方の第一挟持部３１－１の第１挟持部材３３－１とは、第一方向２１１に沿って互いに対向して配設されている。各第一挟持部３１－１の一対の第１挟持部材３３－１は、第二方向２１２と平行な直線状に形成され、鉛直方向に間隔をあけて配置されている。
Each of the pair of first holding portions 31-1 includes a pair of first holding members 33-1. The first holding member 33-1 of one first holding portion 31-1 and the first holding member 33-1 of the other first holding portion 31-1 are attached to the
各第一挟持部３１－１の一対の第１挟持部材３３－１のうちの一方は、各第一挟持部３１－１の移動基台３２の上端部から水平方向に伸びた支持アーム３４の先端に支持され、他方は、各第一挟持部３１－１の移動基台３２の中央部から水平方向に伸びた支持アーム３４の先端に支持されている。各第一挟持部３１－１の一対の第１挟持部材３３－１は、互いに対応する面に複数の円柱状のコロを軸心回りに回転自在に支持している。なお、第一挟持部３１－１は、コロの軸心が第一方向２１１と平行であるとともに、コロを第二方向２１２に等間隔に配置している。
One of the pair of first clamping members 33-1 of each first clamping part 31-1 is attached to the
また、一対の第一挟持部３１－１は、それぞれ、部材移動ユニット３６を備える。部材移動ユニット３６は、第一挟持部３１－１それぞれの移動基台３２に設けられている。
Also, the pair of first clamping portions 31-1 are each provided with a
部材移動ユニット３６は、第１挟持部材３３－１を鉛直方向に沿って互いに近づけたり離れる方向に移動させる。なお、以下、互いに近づけたり離れる方向を近接離反方向と記す。また、部材移動ユニット３６は、一対の第１挟持部材３３－１を鉛直方向に互いに同方向に移動させることもできる。
The
一対の第二挟持部３１－２は、それぞれ、第２挟持部材３３－２を一対備える。一対の第二挟持部３１－２の第２挟持部材３３－２は、第二方向２１２でシート２０１に貼着されたワーク２００を挟んで、互いに対向して配設されている。実施形態１では、一対の第二挟持部３１－２の第２挟持部材３３－２は、第二方向２１２に沿って互いに対向している。各第二挟持部３１－２の一対の第２挟持部材３３－２は、第一方向２１１と平行な直線状に形成され、鉛直方向に間隔をあけて配置されている。
Each of the pair of second holding portions 31-2 includes a pair of second holding members 33-2. The second holding members 33-2 of the pair of second holding portions 31-2 are arranged to face each other with the
各第二挟持部３１－２の一対の第２挟持部材３３－２のうちの一方は、各第二挟持部３１－２の移動基台３２の上端部から水平方向に伸びた支持アーム３４の先端に支持され、他方は、各第二挟持部３１－２の移動基台３２の中央部から水平方向に伸びた支持アーム３４の先端に支持されている。各第二挟持部３１－２の一対の第２挟持部材３３－２は、互いに対応する面に複数の円柱状のコロを軸心回りに回転自在に支持している。なお、第二挟持部３１－２は、コロの軸心が第二方向２１２と平行であるとともに、コロを第一方向２１１に等間隔に配置している。
One of the pair of second holding members 33-2 of each second holding portion 31-2 is attached to the
また、一対の第二挟持部３１－２は、それぞれ、部材移動ユニット３６を備える。部材移動ユニット３６は、第２挟持部材３３－２を鉛直方向に沿って近接離反方向に移動させる。また、部材移動ユニット３６は、一対の第２挟持部材３３－２を鉛直方向に互いに同方向に移動させることもできる。
Also, the pair of second clamping portions 31-2 are provided with
挟持ユニット３１は、部材移動ユニット３６が第一挟持部３１－１及び第二挟持部３１－２の各挟持部材３３－１，３３－２を鉛直方向に互いに近づく方向に移動させることで、各挟持部材３３－１，３３－２間にワーク２００が貼着されたシート２０１の被挟持領域２２２を挟持するとともに、各挟持部材３３－１，３３－２を鉛直方向に互いに離れる方向に移動させることで、各挟持部材３３－１，３３－２間のシート２０１の被挟持領域２２２の挟持を解除する。
The clamping
移動ユニット３７は、一対の第一挟持部３１－１を第一方向２１１で互いに近接離反方向に移動させるとともに、一対の第二挟持部３１－２を第二方向２１２で互いに近接離反方向に移動させるものである。移動ユニット３７は、一対の第一方向移動ユニット３５－１と、一対の第二方向移動ユニット３５－２とを備える。
The moving
第一方向移動ユニット３５－１は、それぞれ、第一挟持部３１－１の移動基台３２を第一方向２１１に沿って移動させることで、一対の第一挟持部３１－１の第１挟持部材３３－１を第一方向２１１に沿って近接離反方向に移動させるものである。
The first direction moving unit 35-1 moves the moving
第二方向移動ユニット３５－２は、それぞれ、第二挟持部３１－２の移動基台３２を第二方向２１２に沿って移動させることで、一対の第二挟持部３１－２の第２挟持部材３３－２を第二方向２１２に沿って近接離反方向に移動させるものである。
The second direction moving unit 35-2 moves the moving
第一方向移動ユニット３５－１及び第二方向移動ユニット３５－２は、各挟持部３１－１，３１－２を第一方向２１１又は第二方向２１２で互いに離れる方向に移動させることで、挟持部３１－１，３１－２が挟持したシート２０１を拡張するとともに、各挟持部３１－１，３１－２を第一方向２１１又は第二方向２１２で互いに近づく方向に移動させることで、挟持部３１－１，３１－２が挟持したシート２０１の拡張を解除する。
The first-direction moving unit 35-1 and the second-direction moving unit 35-2 move the holding parts 31-1 and 31-2 away from each other in the
フレーム搬入ユニット３９は、フレームを吸引保持し、挟持ユニット３１により拡張されたシート２０１にフレームを貼着する。フレーム搬入ユニット３９は、シート２０１がフレームの内縁と外縁とに間で切断されて形成されたフレームユニットのフレームを保持して、フレームユニットを拡張装置１外に搬出するものである。
The frame carrying-in
次に、受渡ユニット４０を図面に基づいて説明する。図６は、図１に示された拡張装置の保持ユニットから受渡ユニットにワークが受渡される状態を示す斜視図である。受渡ユニット４０は、保持ユニット１０の保持テーブル１２の保持面１６に保持され、貼着ユニット２０でシート２０１が貼着されたワーク２００を拡張機構３０へと受け渡すものである。
Next, the
受渡ユニット４０は、図１及び図６に示すように、装置本体２に受渡ユニット移動機構５９により第一方向２１１に沿って移動自在に設けられたユニット本体４１と、ワーク２００を保持する保持テーブル４２と、保持テーブル昇降ユニット４３と、保持テーブル回転ユニット４４と、複数のシートクランプ部４５と、フレーム貼着ローラ４６と、切断カッター４７とを有する。
As shown in FIGS. 1 and 6, the
ユニット本体４１は、受渡ユニット移動機構５９により装置本体２の第一方向２１１の一端部と他端部との間を第一方向２１１に移動自在に支持されている。
The unit
保持テーブル４２は、外径がワーク２００の外径よりも大径な円板状に形成され、中央に水平方向と平行な保持面４８を有している。保持面４８は、ポーラスセラミックス等の多孔質材で構成され、図示しない吸引源に接続されている。保持テーブル４２は、保持ユニット１０の保持テーブル１２に保持されたワーク２００がこのワーク２００に貼着されたシート２０１を介して保持面４８に載置され、保持面４８が吸引源により吸引されることにより、保持面４８にワーク２００を吸引保持する。なお、実施形態１では、保持面４８の外径は、ワーク２００の外径と等しく、保持テーブル４２の外径は、シート貼着プレート１５の孔１７の内径と等しい。
The holding table 42 is formed in a disc shape with an outer diameter larger than the outer diameter of the
保持テーブル昇降ユニット４３は、保持テーブル４２を保持面４８に対して直交する方向（実施形態１では、鉛直方向）に沿って昇降させる。保持テーブル回転ユニット４４は、ユニット本体４１に支持され、保持テーブル昇降ユニット１３を円板４９を介して支持している。保持テーブル回転ユニット４４は、円板４９、保持テーブル昇降ユニット１３及び保持テーブル１２を鉛直方向と平行な軸心回りに回転する。
The holding
シートクランプ部４５は、保持テーブル１２の周囲に等間隔に複数設けられ、保持テーブル１２に保持されたワーク２００に貼着され、シートロール２２１側から切断、分離されたシート２０１の角部を挟持するものである。
A plurality of
フレーム貼着ローラ４６と切断カッター４７は、軸心が保持テーブル１２の保持面１６の径方向と平行な円柱状又は円板状に形成されている。フレーム貼着ローラ４６と切断カッター４７は、円板４９上に設置された昇降ユニット５０により昇降される。フレーム貼着ローラ４６は、昇降ユニット５０により上昇されると、拡張されたシート２０１に貼着されたフレームに向かってシート２０１を押圧して、シート２０１をフレームに貼着するものである。切断カッター４７は、昇降ユニット５０により上昇されると、拡張されかつフレームに貼着されたシート２０１のフレームの内縁と外縁との間に切り込んで、シート２０１をフレームの内縁と外縁との間で切断するものである。
The
受渡ユニット移動機構５９は、保持テーブル１２が、貼着ユニット２０のシートロール支持部２１、貼着部材及び貼着ローラ２２から退避しかつ保持面１６が下方を向いた保持ユニット１０の下方に位置する位置と、平面視において拡張機構３０の挟持ユニット３１の挟持部３１－１，３１－２の挟持部材３３－１，３３－２間に位置する位置とに亘って、受渡ユニット４０を装置本体２の一端部と他端部との間において第一方向２１１に移動させるものである。
The transfer
剥離ユニット６０は、保持ユニット１０から受渡ユニット４０に受渡されて、保持テーブル４２の保持面４８に保持されたワーク２００の表面２０４から保護テープ２０８を剥離するものである。剥離ユニット６０は、装置本体２の第一方向２１１の中央部に固定されたユニット本体６１と、剥離部６２と、剥離部６２をユニット本体６１に対して第一方向２１１に沿って移動させる剥離移動ユニット６３とを備える。ユニット本体６１は、受渡ユニット４０よりも上方に配置され、下方に受渡ユニット移動機構５９により移動される受渡ユニット４０が通ることを許容する。
The peeling
剥離部６２は、ワーク２００に貼着された保護テープ２０８の拡張機構３０よりの端部を剥離する図示しない剥離起点形成機構と、剥離起点形成機構により形成されかつワーク２００から剥離された保護テープ２０８の端部を挟持する挟持機構とを備える。剥離移動ユニット６３は、装置本体２の第一方向２１１の中央部に位置付けられた受渡ユニット４０の保持テーブル４２の保持面４８の上方の位置と、装置本体２の第一方向２１１の中央部に位置付けられた受渡ユニット４０の保持テーブル４２の保持面４８の上方から退避する位置とに亘って剥離部６２をユニット本体６１に対して第一方向２１１に移動させる。
The peeling
制御ユニット１００は、拡張装置１の各構成要素を制御して、拡張装置１にシート２０１に対するワーク２００の貼着動作、シート２０１の拡張動作及びシート２０１に対するフレームの貼着動作等を実施させるものである。なお、制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、拡張装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して拡張装置１の各構成要素に出力する。
The control unit 100 controls each component of the
また、制御ユニット１００は、各種の情報や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニットと、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニットとが接続されている。入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。 Also, the control unit 100 is connected to a display unit configured by a liquid crystal display device for displaying various information and images, and an input unit used when an operator registers processing content information. The input unit is composed of at least one of a touch panel provided on the display unit and an external input device such as a keyboard.
また、拡張装置１は、図４及び図５に示すように、紫外線照射ユニット７０を備える。実施形態１では、拡張装置１は、保持ユニット１０の各シート被貼着部１８内に紫外線照射ユニット７０を設け、各ローラ用ガイド１９上に紫外線照射ユニット７０を設けている。
The
紫外線照射ユニット７０は、棒状に形成され、各シート被貼着部１８及び各ローラ用ガイド１９と平行に、これら各シート被貼着部１８及び各ローラ用ガイド１９の全長に亘って設けられている。紫外線照射ユニット７０は、各シート被貼着部１８に貼着したシート２０１の被挟持領域２２２と対向する。実施形態１では、紫外線照射ユニット７０は、各シート被貼着部１８及び各ローラ用ガイド１９の長手方向に間隔をあけて配置され、それぞれが紫外線を照射するＬＥＤ（Light Emitting Diode）を複数備えている。
The
次に、実施形態１に係る拡張装置１のシート２０１を拡張する拡張動作を図面に基づいて説明する。図７は、図１に示された拡張装置の紫外線照射ユニットがシートの被挟持領域に紫外線を照射する状態を模式的に示す断面図である。図８は、図１に示された拡張装置の拡張機構の各挟持部の挟持部材間にシートが位置付けられた状態を一部断面で示す側面図である。
Next, the expansion operation for expanding the
実施形態１に係る拡張装置１は、オペレータが入力ユニットを操作するなどして入力した加工内容情報を受け付け、オペレータが入力ユニットを操作する等して入力した拡張動作の開始指示を受け付けると、制御ユニット１００が拡張装置１の各構成要素を制御して、拡張動作を開始する。拡張動作開始時には、紫外線照射ユニット７０は、消灯している。
The
拡張動作では、拡張装置１は、制御ユニット１００が保持ユニット１０を貼着ユニット２０の貼着部材、貼着ローラ２２及びシートロール支持部２１の上方から退避させ、保持テーブル１２の保持面１６を上方に向けさせて下降させる。拡張動作では、拡張装置１は、制御ユニット１００がワーク搬入ユニットにワーク２００の表面２０４側を保持ユニット１０の保持テーブル１２の保持面１６に保護テープ２０８を介して載置させる。拡張動作では、拡張装置１は、制御ユニット１００が保持ユニット１０の保持テーブル１２の保持面１６に保護テープ２０８を介してワーク２００を吸引保持させる。
In the expansion operation, the control unit 100 of the
拡張動作では、拡張装置１は、制御ユニット１００が保持テーブル反転ユニット１４に保持テーブル１２の保持面１６の向きを反転させて、図３に示すように、保持ユニット１０の保持テーブル１２のワーク２００の表面２０４側を保持した保持面１６を下方に向けさせる。拡張動作では、拡張装置１は、制御ユニット１００が保持ユニット移動機構２９に保持ユニット１０を第一方向２１１に沿って貼着ユニット２０の貼着部材、貼着ローラ２２及びシートロール支持部２１の上方に向かって移動させる。
In the expansion operation, the control unit 100 causes the holding
拡張動作では、拡張装置１は、制御ユニット１００が保持ユニット１０を貼着ユニット２０の貼着部材、貼着ローラ２２及びシートロール支持部２１の上方に位置付けさせ、保持ユニット１０の保持テーブル１２を下降させるとともに、貼着部材を上昇させてシート２０１を一方のシート被貼着部１８に貼着させる。拡張動作では、拡張装置１は、制御ユニット１００が保持ユニット移動機構２９に保持ユニット１０を第一方向２１１に沿って貼着ユニット２０の貼着部材、貼着ローラ２２及びシートロール支持部２１の上方から退避する方向に装置本体２の他端部に向かって移動させる。
In the extending operation, the extending
すると、拡張動作では、保持ユニット１０の移動とともに、貼着ローラ２２が保持ユニット１０に対して相対的に他方のシート被貼着部１８に向かって移動することとなり、貼着ローラ２２の相対的な移動によりシート２０１がワーク２００の裏面２０７に一方のシート被貼着部１８側から順に貼着されることとなる。このとき、貼着ローラ２２は、ローラ用ガイド１９により保持ユニット１０に対する相対的な移動方向が案内される。このように、拡張装置１は、シート２０１をワーク２００に貼着する際に、貼着ローラ２２が保持ユニット１０の保持テーブル１２に保持されたワーク２００に対して相対的に第一方向２１１に沿って移動する。第一方向２１１は、シート２０１をワーク２００に貼着する際に、貼着ローラ２２が保持ユニット１０の保持テーブル１２に保持されたワーク２００に対して相対的に移動する貼着方向でもある。
Then, in the extending operation, as the holding
拡張動作では、拡張装置１は、保持ユニット１０が貼着部材、貼着ローラ２２及びシートロール支持部２１の上方から退避すると、シート２０１が他方のシート被貼着部１８にも貼着される。拡張動作では、拡張装置１は、制御ユニット１００がシート切断ユニット２３にカッター刃２５を下降させた後、カッター刃２５を第二方向２１２に移動させて、カッター刃２５でワーク２００及びシート被貼着部１８に貼着したシート２０１を切断し、シートロール２２１側から分離する。シート被貼着部１８に貼着しかつシートロール２２１側から分離されたシート２０１は、矩形状となる。
In the expansion operation, when the holding
拡張動作では、拡張装置１は、制御ユニット１００が受渡ユニット移動機構５９に保持テーブル４２を下降させた状態の受渡ユニット４０を第一方向２１１に沿って保持ユニット１０の保持テーブル１２の下方に向けて移動させる。拡張動作では、拡張装置１は、制御ユニット１００が受渡ユニット４０の保持テーブル１２が保持ユニット１０の保持テーブル１２の下方に位置すると、制御ユニット１００が受渡ユニット４０の保持テーブル１２を上昇させる。
In the expansion operation, the control unit 100 directs the
拡張動作では、拡張装置１は、制御ユニット１００が受渡ユニット４０の保持テーブル４２の保持面４８にシート２０１を介してワーク２００の裏面２０７側を吸引保持し、保持ユニット１０の保持テーブル１２の保持面１６の吸引保持を停止するとともに、図６に示すように、シートクランプ部４５にワーク２００に貼着された矩形状のシート２０１の角部を挟持させる。拡張動作では、拡張装置１は、制御ユニット１００が紫外線照射ユニット７０を点灯させ、図７に示すように、紫外線照射ユニット７０から紫外線をシート２０１の被挟持領域２２２に照射して、シート２０１の被挟持領域２２２の糊層２１０を硬化させ、粘着力を低下させる。
In the expansion operation, the control unit 100 sucks and holds the
こうして、実施形態１において、拡張装置１は、貼着ローラ２２でシート２０１を保持ユニット１０の保持テーブル１２の保持面１６に保持したワーク２００の裏面２０７に貼着するとともに、シート被貼着部１８にシート２０１を貼着した後、紫外線照射ユニット７０がシート２０１の被挟持領域２２２に紫外線を照射する。また、拡張装置１は、少なくとも拡張機構３０の挟持ユニット３１の各挟持部３１－１，３１－２の挟持部材３３－１，３３－２間にシート２０１の被挟持領域２２２を挟持する前に、シート２０１の被挟持領域２２２に向かって紫外線を照射して糊層２１０を硬化させ、糊層２１０の粘着力を低下させる。
Thus, in the first embodiment, the
拡張動作では、拡張装置１は、制御ユニット１００が紫外線照射ユニット７０から紫外線を所定時間照射させた後、紫外線照射ユニット７０を消灯させ、保持ユニット１０の保持テーブル１２を上昇させた後、受渡ユニット移動機構５９に受渡ユニット４０を装置本体２の第一方向２１１の中央部に向けて移動させる。拡張動作では、拡張装置１は、受渡ユニット４０が剥離ユニット６０の下方に位置すると、制御ユニット１００が受渡ユニット移動機構５９による受渡ユニット４０の移動を停止させ、受渡ユニット４０を剥離ユニット６０の下方に位置付ける。
In the expansion operation, after the control unit 100 causes the
拡張動作では、拡張装置１は、制御ユニット１００が剥離ユニット６０の剥離起点形成機構に保護テープ２０８の端部をワーク２００の表面２０４から剥離させ、挟持機構にワーク２００から剥離された保護テープ２０８の端部を挟持させる。拡張動作では、拡張装置１は、制御ユニット１００が剥離ユニット６０の剥離移動ユニット６３に剥離部６２を受渡ユニット４０の上方から退避する方向に第一方向２１１に沿って保持ユニット１０に向けて移動させる。
In the expansion operation, the control unit 100 causes the separation starting point forming mechanism of the
すると、拡張動作では、剥離部６２の移動とともに、保護テープ２０８が端部から順にワーク２００の表面２０４から剥離される。拡張動作では、拡張装置１は、保護テープ２０８がワーク２００の表面２０４から剥離されると、制御ユニット１００が受渡ユニット移動機構５９に受渡ユニット４０を装置本体２の第一方向２１１に沿って他端部に向けて移動させる。なお、ワーク２００の表面２０４から剥離された保護テープ２０８は、廃棄容器などに廃棄される。拡張動作では、拡張装置１は、平面視において受渡ユニット４０の保持テーブル４２が拡張機構３０の挟持ユニット３１の各挟持部３１－１，３１－２の挟持部材３３－１，３３－２間に位置すると、受渡ユニット移動機構５９による受渡ユニット４０の移動を停止する。
Then, in the expanding operation, the
すると、受渡ユニット４０の保持テーブル１２の保持面１６に保持されたワーク２００に貼着されたシート２０１の被挟持領域２２２が、図８に示すように、拡張機構３０の挟持ユニット３１の一対の第一挟持部３１－１の第１挟持部材３３－１間に位置し、一対の第二挟持部３１－２の第２挟持部材３３－２間に位置する。拡張動作では、拡張装置１は、制御ユニット１００が部材移動ユニット３６により一対の第一挟持部３１－１の第１挟持部材３３－１を互いに近づけ、一対の第二挟持部３１－２の第２挟持部材３３－２を互いに近づけさせる。
Then, as shown in FIG. It is positioned between the first pinching members 33-1 of the first pinching portion 31-1 and is positioned between the second pinching members 33-2 of the pair of second pinching portions 31-2. In the expansion operation, the
拡張動作では、拡張装置１は、シート２０１の被挟持領域２２２を一対の第一挟持部３１－１の第１挟持部材３３－１間に挟持し、一対の第二挟持部３１－２の第２挟持部材３３－２間に挟持する。拡張動作では、拡張装置１は、制御ユニット１００が受渡ユニット４０の保持テーブル４２の保持面４８の吸引保持を停止し、シートクランプ部４５のシート２０１の角部の挟持を解除し、受渡ユニット４０の保持テーブル１２を下降させる。
In the expansion operation, the
拡張動作では、拡張装置１は、一対の第一挟持部３１－１の第１挟持部材３３－１間と一対の第二挟持部３１－２の第２挟持部材３３－２間とにシート２０１の被挟持領域２２２を挟持した状態で、制御ユニット１００が移動ユニット３５－１，３５－２に挟持部３１－１，３１－２の挟持部材３３－１，３３－２を第一方向２１１又は第二方向２１２に沿って互いに離反する同時に方向に移動させる。
In the expansion operation, the
すると、拡張装置１は、挟持部３１－１，３１－２の移動基台３２の移動とともに、一対の第一挟持部３１－１の第１挟持部材３３－１を第一方向２１１に沿って互いに離反する方向に移動させるとともに、一対の第二挟持部３１－２の第２挟持部材３３－２を第二方向２１２に沿って互いに離反する方向に移動させて、シート２０１を第一方向２１１と第二方向２１２との双方に拡張する。シート２０１の拡張の結果、シート２０１に第一方向２１１と第二方向２１２との双方に沿った引張力が作用する。
Then, the
このようにワーク２００が貼着されたシート２０１に第一方向２１１と第二方向２１２との双方に沿った引張力が作用すると、ワーク２００は、分割予定ライン２０５に沿って改質層２０６が形成されているので、改質層２０６を基点として分割予定ライン２０５に沿って個々のチップ２２０に分割され、隣り合うチップ２２０間に間隔が形成される。なお、実施形態１において、拡張動作では、挟持部３１－１，３１－２の挟持部材３３－１，３３－２を第一方向２１１又は第二方向２１２に沿って離反する同時に方向に移動させたが、本発明では、これに限定されることなく、第一挟持部３１－１の第１挟持部材３３－１を第一方向２１１に沿って離反する方向に移動させたのち、第二挟持部３１－２の第２挟持部材３３－２を第二方向２１２に沿って離反させる方向に移動させても良い。
When a tensile force acts along both the
拡張動作では、拡張装置１は、制御ユニット１００がフレーム搬入ユニット３９にフレームを吸引保持させ、吸引保持したフレームを挟持ユニット３１により拡張されたシート２０１の被挟持領域２２２とワーク２００との間に貼着させる。拡張動作では、拡張装置１は、制御ユニット１００が受渡ユニット４０の保持テーブル４２を再度上昇させて、保持テーブル４２の保持面４８にシート２０１を介してワーク２００を載置させる。
In the expanding operation, the control unit 100 causes the frame carrying-in
拡張動作では、拡張装置１は、制御ユニット１００が受渡ユニット４０の昇降ユニット５０にフレーム貼着ローラ４６及び切断カッター４７を上昇させ、保持テーブル回転ユニット４４に円板４９毎保持テーブル４２、フレーム貼着ローラ４６及び切断カッター４７を保持テーブル４２の軸心回りに回転させて、シート２０１にフレームを貼着するとともに、シート２０１をフレームの内縁と外縁間で切断させる。拡張装置１は、こうして、フレームユニットを形成し、形成されたフレームユニットが保持テーブル４２の保持面４８上に載置されることとなる。
In the expansion operation, the
拡張動作では、拡張装置１は、制御ユニット１００がフレーム貼着ローラ４６及び切断カッター４７を軸心回りに少なくとも１回転させると、保持テーブル回転ユニット４４による保持テーブル１２、フレーム貼着ローラ４６及び切断カッター４７の回転を停止し、昇降ユニット５０にフレーム貼着ローラ４６及び切断カッター４７を下降させる。拡張動作では、拡張装置１は、制御ユニット１００がフレーム搬入ユニット３９にフレームユニットのフレームを保持させて、フレームユニットを拡張装置１外に搬出させて、拡張動作を終了する。
In the expansion operation, when the control unit 100 rotates the
以上説明した実施形態１に係る拡張装置１は、拡張機構３０の挟持ユニット３１の各挟持部３１－１，３１－２の各挟持部材３３－１，３３－２がシート２０１の被挟持領域２２２を挟持する前に、シート２０１の被挟持領域２２２に向かって紫外線を照射する紫外線照射ユニット７０を備える。このために、拡張装置１は、シート２０１の被挟持領域２２２の糊層２１０に紫外線を照射して、被挟持領域２２２の糊層２１０を硬化させて粘着力を低減させた状態とした後に、挟持部材３３－１，３３－２でシート２０１の被挟持領域２２２を挟持することとなる。
In the
その結果、拡張装置１は、シート２０１の被挟持領域２２２が糊層２１０の粘着力により挟持部材３３－１，３３－２に接着されてしまうことを抑制できるので、拡張後のシート２０１が挟持部材３３－１，３３－２から外れにくくなることを抑制することができるという効果を奏する。
As a result, the
〔変形例１〕
本発明の実施形態１の変形例１に係る拡張装置を図面に基づいて説明する。図９は、実施形態１の変形例１に係る拡張装置の受渡ユニットの斜視図である。なお、図９は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
[Modification 1]
An expansion device according to
実施形態１の変形例１に係る拡張装置１－１は、図９に示すように、受渡ユニット４０のシートクランプ部４５間に紫外線照射ユニット７０を設けている。紫外線照射ユニット７０は、シートクランプ部４５により角部が挟持されたシート２０１の被挟持領域２２２と対向する。実施形態１の変形例１に係る拡張装置１－１は、拡張動作では、制御ユニット１００がシートクランプ部４５がシート２０１の角部を挟持した後、所定時間紫外線照射ユニット７０を点灯させて、シート２０１の被挟持領域２２２の糊層２１０を硬化させて、粘着力を低下させる。
The expansion device 1-1 according to
実施形態１の変形例１に係る拡張装置１－１は、実施形態１と同様に、シート２０１の被挟持領域２２２に向かって紫外線を照射する紫外線照射ユニット７０を備えるために、シート２０１の被挟持領域２２２の被挟持領域２２２の糊層２１０を硬化させて粘着力を低減させた状態とした後に、挟持部材３３－１，３３－２でシート２０１の被挟持領域２２２を挟持する。その結果、実施形態１の変形例１に係る拡張装置１－１は、実施形態１と同様に、拡張後のシート２０１が挟持部材３３－１，３３－２から外れにくくなることを抑制することができるという効果を奏する。
The extension device 1-1 according to
〔変形例２〕
本発明の実施形態１の変形例２に係る拡張装置を図面に基づいて説明する。図１０は、実施形態１の変形例２に係る拡張装置の剥離ユニット及び受渡ユニットの斜視図である。なお、図１０は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
[Modification 2]
An expansion device according to
実施形態１の変形例２に係る拡張装置１－２は、図１０に示すように、剥離ユニット６０の剥離部６２の周囲に紫外線照射ユニット７０を設けている。紫外線照射ユニット７０は、受渡ユニット４０のシートクランプ部４５により角部が挟持されたシート２０１の被挟持領域２２２と対向する。実施形態１の変形例２に係る拡張装置１－２は、拡張動作では、剥離ユニット６０が保護テープ２０８をワーク２００の表面２０４から剥離する前後に、制御ユニット１００が所定時間紫外線照射ユニット７０を点灯させて、シート２０１の被挟持領域２２２の糊層２１０を硬化させて、粘着力を低下させる。
As shown in FIG. 10, the expansion device 1-2 according to
実施形態１の変形例２に係る拡張装置１－２は、実施形態１と同様に、シート２０１の被挟持領域２２２に向かって紫外線を照射する紫外線照射ユニット７０を備えるために、シート２０１の被挟持領域２２２の被挟持領域２２２の糊層２１０を硬化させて粘着力を低減させた状態とした後に、挟持部材３３－１，３３－２でシート２０１の被挟持領域２２２を挟持する。その結果、実施形態１の変形例２に係る拡張装置１－２は、実施形態１と同様に、拡張後のシート２０１が挟持部材３３－１，３３－２から外れにくくなることを抑制することができるという効果を奏する。
The expansion device 1-2 according to
〔変形例３〕
本発明の実施形態１の変形例３に係る拡張装置を図面に基づいて説明する。図１１は、実施形態１の変形例３に係る拡張装置の拡張機構の各挟持部の挟持部材間にシートが位置付けられた状態を一部断面で示す側面図である。なお、図１１は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
[Modification 3]
An expansion device according to Modification 3 of
実施形態１の変形例３に係る拡張装置１－３は、図１１に示すように、拡張機構３０の挟持ユニット３１の各挟持部３１－１，３１－２の一対の挟持部材３３－１，３３－２のうち一方の挟持部材３３－１，３３－２に紫外線照射ユニット７０を取り付けている。紫外線照射ユニット７０は、平面視において挟持部材３３－１，３３－２間に保持テーブル１２が位置した受渡ユニット４０のシートクランプ部４５により角部が挟持されたシート２０１の被挟持領域２２２と対向する。実施形態１の変形例３に係る拡張装置１－３は、拡張動作では、平面視において挟持部材３３－１，３３－２間に保持テーブル１２が位置し挟持部材３３－１，３３－２にシート２０１の被挟持領域２２２を挟持する前に、制御ユニット１００が所定時間紫外線照射ユニット７０を点灯させて、シート２０１の被挟持領域２２２の糊層２１０を硬化させて、粘着力を低下させる。
As shown in FIG. 11, an expansion device 1-3 according to Modification 3 of
実施形態１の変形例３に係る拡張装置１－３は、実施形態１と同様に、シート２０１の被挟持領域２２２に向かって紫外線を照射する紫外線照射ユニット７０を備えるために、シート２０１の被挟持領域２２２の被挟持領域２２２の糊層２１０を硬化させて粘着力を低減させた状態とした後に、挟持部材３３－１，３３－２でシート２０１の被挟持領域２２２を挟持する。その結果、実施形態１の変形例３に係る拡張装置１－３は、実施形態１と同様に、拡張後のシート２０１が挟持部材３３－１，３３－２から外れにくくなることを抑制することができるという効果を奏する。
The expansion device 1-3 according to Modification 3 of
なお、本発明は、上記実施形態等に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。なお、本発明では、レーザビームが照射されてアブレーション加工が施されて形成されたレーザー加工溝や切削加工が施されて形成された切削溝が分割起点としてワーク２００に形成されても良い。また、本発明では、分割予定ライン２０５に沿ってチップ２２０に分割されたシート２０１が拡張装置１，１－１，１－２，１－３に搬入されて、拡張装置１，１－１，１－２，１－３が、シート２０１を拡張してチップ２２０間の間隔を拡げても良い。また、本発明では、ワーク２００の裏面２０７にＤＡＦ（Die Attach Film）を積層しても良い。
It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments and the like. That is, various modifications can be made without departing from the gist of the present invention. In the present invention, laser-processed grooves formed by laser beam irradiation and ablation processing or cutting grooves formed by cutting processing may be formed in the
１，１－１，１－２，１－３ 拡張装置
１０ 保持ユニット
１２ 保持テーブル
１８ シート被貼着部
２０ 貼着ユニット
２２ 貼着ローラ
３０ 拡張機構
３１ 挟持ユニット
３１－１ 第一挟持部
３１－２ 第二挟持部
３７ 移動ユニット
４０ 受渡ユニット
７０ 紫外線照射ユニット
２００ ワーク
２０１ シート
２０７ 裏面（シート貼着面）
２１０ 糊層
２１１ 第一方向（貼着方向）
２１２ 第二方向
２２２ 被挟持領域
1, 1-1, 1-2, 1-3
210
212
Claims (2)
ワークを保持する保持部を有した保持ユニットと、
該保持ユニットで保持されたワークに対して、紫外線硬化型の糊層を有しワークより大きいサイズのシートを貼着する貼着ローラを有した貼着ユニットと、
第一方向でワークを挟んで互いに対向して配設され、ワークが貼着された該シートの被挟持領域を挟持する一対の第一挟持部と、該第一方向に交差する第二方向でワークを挟んで互いに対向して配設され、ワークが貼着された該シートの被挟持領域を挟持する一対の第二挟持部と、を有した挟持ユニットと、該第一挟持部を該第一方向で互いに近接離反する方向に移動させるとともに該第二挟持部を該第二方向で互いに近接離反する方向に移動させる移動ユニットと、を有した拡張機構と、
該保持ユニットで保持され該貼着ユニットで該シートが貼着されたワークを該拡張機構へと受け渡す受渡ユニットと、
少なくとも該挟持ユニットで該シートの該被挟持領域を挟持する前に、該シートの該被挟持領域に向かって紫外線を照射して該糊層を硬化させる紫外線照射ユニットと、を備えた、拡張装置。 An expansion device for expanding a sheet,
a holding unit having a holding portion for holding a work;
an adhering unit having an adhering roller for adhering a sheet having an ultraviolet curable glue layer and having a size larger than the work to the work held by the holding unit;
a pair of first clamping portions arranged to face each other with the work sandwiched therebetween in a first direction and clamping a region to be clamped of the sheet to which the work is stuck; a nipping unit having a pair of second nipping portions disposed facing each other with the work therebetween and nipping a region to be nipped of the sheet to which the work is adhered; an expansion mechanism having a moving unit for moving in one direction toward and away from each other and for moving the second clamping portions in directions toward and away from each other in the second direction;
a delivery unit that delivers the work held by the holding unit and to which the sheet is stuck by the sticking unit to the expansion mechanism;
an ultraviolet irradiation unit that irradiates ultraviolet rays toward the sandwiched area of the sheet to cure the glue layer before the sandwiched area of the sheet is sandwiched by at least the sandwiching unit. .
該貼着ローラで該シートを該保持部で保持されたワークに貼着するとともに該シート被貼着部に貼着した後、該紫外線照射ユニットが該シートの該被挟持領域に紫外線を照射する、請求項１に記載の拡張装置。 The holding unit is arranged to sandwich the holding part in the sticking direction in which the sticking roller moves when the sheet is stuck to the work on the outer circumference of the holding part, and the work held by the holding part is held by the holding unit. Equipped with a sheet adhered portion protruding from the sheet adhered surface,
After the sheet is adhered to the work piece held by the holding portion by the adhesion roller and to the sheet adhered portion, the ultraviolet irradiation unit irradiates the nipped region of the sheet with ultraviolet rays. 2. An expansion device according to claim 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2021102770A JP2023001814A (en) | 2021-06-21 | 2021-06-21 | Extension device |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP2021102770A JP2023001814A (en) | 2021-06-21 | 2021-06-21 | Extension device |
Publications (1)
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| JP2023001814A true JP2023001814A (en) | 2023-01-06 |
Family
ID=84688648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2021102770A Pending JP2023001814A (en) | 2021-06-21 | 2021-06-21 | Extension device |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JP2023001814A (en) |
-
2021
- 2021-06-21 JP JP2021102770A patent/JP2023001814A/en active Pending
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