JP2020143956A - 可燃性ガスの濃度測定方法、可燃性ガスセンサー、および可燃性ガスセンサーの製造方法 - Google Patents
可燃性ガスの濃度測定方法、可燃性ガスセンサー、および可燃性ガスセンサーの製造方法 Download PDFInfo
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 39
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 77
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 77
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 claims abstract description 74
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 51
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 33
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 32
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 30
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 16
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 12
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 11
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 claims description 9
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 9
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 8
- 239000002082 metal nanoparticle Substances 0.000 claims description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 5
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 47
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 10
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 9
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 8
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 description 4
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 3
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N Acetaldehyde Chemical compound CC=O IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical group [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 2
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- UGKDIUIOSMUOAW-UHFFFAOYSA-N iron nickel Chemical compound [Fe].[Ni] UGKDIUIOSMUOAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 description 2
- 239000011941 photocatalyst Substances 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N Cyclohexane Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018557 Si O Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 150000001299 aldehydes Chemical class 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 230000036541 health Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000002609 medium Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Inorganic materials [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
- G01N33/0036—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector specially adapted to detect a particular component
- G01N33/0047—Organic compounds
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/125—Composition of the body, e.g. the composition of its sensitive layer
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- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
- G01N33/0036—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector specially adapted to detect a particular component
- G01N33/0057—Warfare agents or explosives
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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Abstract
Description
可燃性ガス雰囲気中の可燃性ガスの濃度測定方法であって、酸化タングステンナノ粒子含有膜と、前記膜に接触し、かつ相互に離間した一対の電極とを前記雰囲気中に配置し、前記膜に光を照射したときの電気抵抗の変化を測定することで、前記濃度を測定する、ものである。
非導電性基材と、
前記基材上に形成された酸化タングステンナノ粒子含有膜と、
前記膜に接触し、かつ相互に離間した一対の電極と
前記一対の電極間の電気抵抗を測定する抵抗測定器と、
前記膜に可視光を照射する光源と、
を具備するものである。
非導電性基材を準備する工程と、
前記基材上に電極を形成する工程と、
前記基材上に酸化タングステンナノ粒子含有分散液を塗布して分散液層を形成する工程と、
前記分散液層を乾燥して、酸化タングステンナノ粒子含有膜を形成する工程と、
前記膜に光照射できる位置に光源を設置する工程と
を含むものである。
なお、実施形態を通して共通の構成には同一の符号を付すものとし、重複する説明は省略する。また、各図は実施形態とその理解を促すための模式図であり、その形状や寸法、比などは実際の装置と異なる個所があるが、これらは以下の説明と公知の技術を参酌して適宜、設計変更することができる。
図1に示す実施形態に係る可燃性ガス濃度の測定方法は、例えば、酸化タングステンナノ粒子含有膜101(以下、単に「膜」ということがある)に可視光102を照射しながら一対の電極103Aおよび103Bの間の電気抵抗変化を測定するものである。
本実施形態では、膜に含まれる酸化タングステン粒子の平均粒径が10〜100nmであることが好ましく、20〜80nmであることがより好ましい。平均粒径が過度に小さいとナノ粒子同士が融合して膜が平坦になり可燃性ガスとの接触面積が少なくなる傾向がある。過度に大きいとナノ粒子同士の接触面積が減少し、可燃性ガスに接触した時の抵抗変化が小さくなる傾向がある。
XRD装置: リガク製SmartLab
X線源/出力: CuKα線/45kV 200mA
光学系:集中光学系
スリット系:
入射 Soller 5.0°〜1/3°(w)×10mm(h)
受光 20mm(w)×20mm(h)〜Soller 5.0°〜20mm(w)×20mm(h)
検出器、アッテネーター:
D/tex Ultra 250(半導体1次元検出器)、 Auto
スキャン方式: 2θ/ω連続スキャン
測定範囲/測定ステップ/スキャン速度: 15°〜90°, 0.01°, 10.0°/min
図2に、実施形態にかかるガスセンサー200の構造の一例を示す概念図を示す。
図3は、実施形態にかかるガスセンサーの製造方法のフローを示す概念図である。実施形態による可燃性ガスセンサーの製造方法は、
非導電性基材を準備する工程と、
前記基材上に電極を形成する工程と、
前記基材上に酸化タングステンナノ粒子を含んでなる分散液を塗布して分散液層を形成する工程と、
前記分散液層を乾燥して、酸化タングステンナノ粒子含有膜を形成する工程と、
前記膜に光照射できる位置に光源を設置する工程と
を含む。
平均粒径が40nmの酸化タングステンナノ粒子の3質量%の水分散液をガラス基材上に形成された白金櫛形電極(10μm幅、10μmピッチ、幅5mm、長さ5mm)の上に20μLドロップコートし60℃の熱風で30分乾燥して、酸化タングステンナノ粒子含有膜を形成させる。室温、大気中で15000ルクスの白色LEDを照射しながら電極間に3μAの直流電流を流しその時の電圧(約1V)を測定する。次に、膜を17体積%のメタノール蒸気に晒すと電圧が急激に減少し、3分後には抵抗は70%減少する。大気中に戻すと抵抗は元に戻り、繰り返し耐性もよい。3.5体積%のメタノール蒸気中では抵抗は9%減少し、1.2体積%メタノール蒸気中では4%減少する。
白色LEDで光を照射しないことを除いては実施例1と同様にして17体積%メタノール蒸気に晒すと、抵抗減少は6%である。
平均粒径が40nmの酸化タングステンナノ粒子の3質量%の水分散液をガラス基材上に形成された白金櫛形電極(10μm幅、10μmピッチ、幅5mm、長さ5mm)の上に20μLドロップコートし60℃の熱風で30分乾燥して、酸化タングステンナノ粒子含有膜を形成させる。その後600℃で1時間加熱する。酸化タングステンナノ粒子の平均粒径は110nmに増大する。室温、大気中で15000ルクスの白色LEDを照射しながら30μAの直流電流を流しその時の電圧(約1V)を測定する。次に、17体積%のメタノール蒸気に晒すと電圧が急激に減少し、3分後には抵抗は20%減少する。大気中に戻すと抵抗は元に戻り、繰り返し耐性もよい。
平均粒径が40nmの酸化タングステンナノ粒子の3質量%の水分散液に平均粒径2nmの白金ナノ粒子を酸化タングステンに対して0.1質量%を添加し、ガラス基材上に形成された白金櫛形電極(10μm幅、10μmピッチ、幅5mm、長さ5mm)の上に20μLドロップコートし60℃の熱風で30分乾燥して、酸化タングステンナノ粒子含有膜を形成させる。室温、大気中で15000ルクスの白色LEDを照射しながら3μAの直流電流を流しその時の電圧(約1V)を測定する。次に、120ppmのメタノール蒸気に晒すと電圧が急激に減少し、3分後には抵抗は7%減少する。5ppmでは2%減少する。大気中に戻すと抵抗は元に戻り、繰り返し耐性もよい。トルエン蒸気に対しては2ppmでも抵抗は6%増加し、3%では抵抗は20%増加する。大気中に戻すと抵抗は元に戻り、繰り返し耐性もよい。
平均粒径が40nmの酸化タングステンナノ粒子の3質量%の水分散液に、平均粒径200nmの鉄ニッケル複合酸化物ナノ粒子を酸化タングステンに対して2質量%を添加し、ガラス基材上に形成された白金櫛形電極(10μm幅、10μmピッチ、幅5mm、長さ5mm)の上に20μLドロップコートし60℃の熱風で30分乾燥して、酸化タングステンナノ粒子含有膜を形成させる。室温、大気中で15000ルクスの白色LEDを照射しながら3μAの直流電流を流しその時の電圧(約1V)を測定する。3%のトルエン蒸気に対して抵抗は20%増加する。大気中に戻すと抵抗は元に戻り、繰り返し耐性もよい。
平均粒径が40nmの酸化タングステンナノ粒子の3質量%の水分散液に平均粒径200nmの鉄ニッケル複合酸化物ナノ粒子を酸化タングステンに対して2質量%、平均粒径2nmの白金ナノ粒子を酸化タングステンに対して0.01質量%添加し、ガラス基材上に形成された白金櫛形電極(10μm幅、10μmピッチ、幅5mm、長さ5mm)の上に20μLドロップコートし60℃の熱風で30分乾燥して、酸化タングステンナノ粒子含有膜を形成させる。室温、大気中で15000ルクスの白色LEDを照射しながら3μAの直流電流を流しその時の電圧(約1V)を測定する。3%のトルエン蒸気に対して抵抗は30%増加する。大気中に戻すと抵抗は元に戻り、繰り返し耐性もよい。
平均粒径が40nmの酸化タングステンナノ粒子の3質量%の水分散液をガラス基材上に形成された白金櫛形電極(10μm幅、10μmピッチ、幅5mm、長さ5mm)の上に20μLドロップコートし、60℃の熱風で30分乾燥して、酸化タングステンナノ粒子含有膜を形成させる。櫛形電極に配線を取り、白色LEDチップを酸化タングステン膜から1.5mmになるように基板上に3点で固定する。前記配線およびLEDの駆動用配線をまとめて基材と一体化されたソケットに収納しガスセンサーヘッド部を作製する。直流電源に接続しLEDを駆動しながら3μAの直流電流を流しその時の電圧(約1V)を測定する。次に、17体積%のメタノール蒸気に晒すと電圧が急激に減少し、3分後には抵抗は60%減少する。大気中に戻すと抵抗は元に戻り、繰り返し耐性もよい。
102…可視光、
103A、103B…電極、
200…ガスセンサー、
201…基材、
202A、202B…電極、
203…酸化タングステンナノ粒子含有膜、
204…電気抵抗測定器、
205…光源、
301…基材、
302A、302B…電極
303…分散液層、
303a…酸化タングステンナノ粒子含有膜、
304…光源
Claims (17)
- 可燃性ガス雰囲気中の可燃性ガスの濃度測定方法であって、酸化タングステンナノ粒子含有膜と、前記膜に接触し、かつ相互に離間した一対の電極とを前記雰囲気中に配置し、前記膜に光を照射したときの電気抵抗の変化を測定することで、前記濃度を測定する、方法。
- 前記可燃性ガスがメタノールである、請求項1記載の方法。
- 前記可視光の波長が400〜500nmである、請求項1または2に記載の方法。
- 前記酸化タングステンナノ粒子の平均粒径が10〜100nmである、請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。
- 前記膜が、p型半導体である金属酸化物ナノ粒子、貴金属ナノ粒子、またはそれらの組み合わせをさらに含有する、請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記膜のX線回折スペクトルにおいて、回折角2θが22〜26°の範囲における最大極大値に対する最小極小値の強度比が、0.5〜0.8である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法。
- 非導電性基材と、
前記基材上に形成された酸化タングステンナノ粒子含有膜と、
前記膜に接触し、かつ相互に離間した一対の電極と
前記一対の電極間の電気抵抗を測定する抵抗測定器と、
前記膜に可視光を照射する光源と、
を具備する、可燃性ガスセンサー。 - 前記電極が、前記基材と前記膜との間に形成された櫛形電極である、請求項7記載のガスセンサー。
- 前記光源が、波長が400〜500nmの光を照射することができるLEDである、請求項7または8に記載のガスセンサー。
- 酸化タングステンンナノ粒子の平均粒径が10〜100nmである、請求項7〜9のいずれか1項に記載のガスセンサー。
- 前記膜のX線回折スペクトルにおいて、回折角2θが22〜26°の範囲における最大極大値に対する最小極小値の強度比が、0.5〜0.8である、請求項7〜10のいずれか1項に記載のガスセンサー。
- 前記膜と前記光源との距離が、前記膜の最大幅の1/10〜1/3である、請求項7〜11のいずれか1項に記載のガスセンサー。
- 前記光源が前記基材上に3〜6個の支持脚によって支持されている、請求項7〜12のいずれか1項に記載のガスセンサー。
- 非導電性基材を準備する工程と、
前記基材上に電極を形成する工程と、
前記基材上に酸化タングステンナノ粒子含有分散液を塗布して分散液層を形成する工程と、
前記分散液層を乾燥して、酸化タングステンナノ粒子含有膜を形成する工程と、
前記膜に光照射できる位置に光源を設置する工程と
を含む、可燃性ガスセンサーの製造方法。 - 前記電極が櫛状形状を有する、請求項14に記載の方法。
- 前記酸化タングステンンナノ粒子の平均粒径が10〜100nmである、請求項14または15に記載の方法。
- 前記分散液が、p型半導体である金属酸化物ナノ粒子、貴金属ナノ粒子、またはそれらの組み合わせをさらに含んでなる、請求項14〜16のいずれか1項に記載の方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019039678A JP7133498B2 (ja) | 2019-03-05 | 2019-03-05 | 可燃性ガスの濃度測定方法、可燃性ガスセンサー、および可燃性ガスセンサーの製造方法 |
US16/563,575 US11609201B2 (en) | 2019-03-05 | 2019-09-06 | Method for measuring combustible gas concentration, combustible gas sensor, and combustible gas sensor production process |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019039678A JP7133498B2 (ja) | 2019-03-05 | 2019-03-05 | 可燃性ガスの濃度測定方法、可燃性ガスセンサー、および可燃性ガスセンサーの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020143956A true JP2020143956A (ja) | 2020-09-10 |
JP7133498B2 JP7133498B2 (ja) | 2022-09-08 |
Family
ID=72335703
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019039678A Active JP7133498B2 (ja) | 2019-03-05 | 2019-03-05 | 可燃性ガスの濃度測定方法、可燃性ガスセンサー、および可燃性ガスセンサーの製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11609201B2 (ja) |
JP (1) | JP7133498B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11926721B2 (en) | 2021-02-03 | 2024-03-12 | Fuji Polymer Industries Co., Ltd. | Silicone rubber molded article and method for manufacturing same |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6071942A (ja) * | 1983-08-30 | 1985-04-23 | ツエルベルス・アクチエンゲゼルシヤフト | ガスセンサ構成材料の製法 |
US20060000259A1 (en) * | 2004-05-17 | 2006-01-05 | Massachusetts Institute Of Technology | Photo-induced sensitivity and selectivity of semiconductor gas sensors |
JP2006162365A (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 水素ガス検知センサ |
JP2007178168A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 水素ガス検知センサ製造方法及び水素ガス検知センサ |
JP2008070216A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Ritsumeikan | ガスセンサ及びその製造方法 |
JP2017519978A (ja) * | 2014-05-28 | 2017-07-20 | 日東電工株式会社 | ガスセンサ素子 |
JP2017129570A (ja) * | 2015-11-25 | 2017-07-27 | 日東電工株式会社 | ガスセンサ素子 |
JP2018124211A (ja) * | 2017-02-02 | 2018-08-09 | 日立化成株式会社 | 水素の検知方法、及び水素検知デバイス |
KR20180097464A (ko) * | 2017-02-23 | 2018-08-31 | 한국산업기술대학교산학협력단 | 광 융합형 가스센서, 이의 제조방법 및 가스 감지방법 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015030528A1 (ko) * | 2013-08-30 | 2015-03-05 | 에스케이이노베이션 주식회사 | 가스센서 및 그 제조방법 |
CN107003355A (zh) * | 2014-09-22 | 2017-08-01 | 通用电器技术有限公司 | 合成测试电路 |
JP6457301B2 (ja) | 2015-03-06 | 2019-01-23 | 株式会社東芝 | 光触媒構造体およびその製造方法および光触媒分散液 |
EP3118631A1 (en) * | 2015-07-15 | 2017-01-18 | Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Scanning probe microscopy system for mapping high aspect ratio nanostructures on a surface of a sample |
JP2017181996A (ja) | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 学校法人東京理科大学 | クロミックシート及びクロミックシートの製造方法 |
-
2019
- 2019-03-05 JP JP2019039678A patent/JP7133498B2/ja active Active
- 2019-09-06 US US16/563,575 patent/US11609201B2/en active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6071942A (ja) * | 1983-08-30 | 1985-04-23 | ツエルベルス・アクチエンゲゼルシヤフト | ガスセンサ構成材料の製法 |
US20060000259A1 (en) * | 2004-05-17 | 2006-01-05 | Massachusetts Institute Of Technology | Photo-induced sensitivity and selectivity of semiconductor gas sensors |
JP2006162365A (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 水素ガス検知センサ |
JP2007178168A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 水素ガス検知センサ製造方法及び水素ガス検知センサ |
JP2008070216A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Ritsumeikan | ガスセンサ及びその製造方法 |
JP2017519978A (ja) * | 2014-05-28 | 2017-07-20 | 日東電工株式会社 | ガスセンサ素子 |
JP2017129570A (ja) * | 2015-11-25 | 2017-07-27 | 日東電工株式会社 | ガスセンサ素子 |
JP2018124211A (ja) * | 2017-02-02 | 2018-08-09 | 日立化成株式会社 | 水素の検知方法、及び水素検知デバイス |
KR20180097464A (ko) * | 2017-02-23 | 2018-08-31 | 한국산업기술대학교산학협력단 | 광 융합형 가스센서, 이의 제조방법 및 가스 감지방법 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11926721B2 (en) | 2021-02-03 | 2024-03-12 | Fuji Polymer Industries Co., Ltd. | Silicone rubber molded article and method for manufacturing same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7133498B2 (ja) | 2022-09-08 |
US11609201B2 (en) | 2023-03-21 |
US20200284744A1 (en) | 2020-09-10 |
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