JP2020136399A - 配線基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(A)支持基板上に第1絶縁材料層を形成する工程
(B)第1絶縁材料層に第1開口部を形成する工程
(C)第1絶縁材料層の表面上に無電解めっきによってシード層を形成する工程
(D)シード層の表面上に配線部形成用のレジストパターンを設ける工程
(E)シード層の表面であってレジストパターンから露出している領域に、パッドと配線とを含む配線部を電解めっきによって形成する工程
(F)レジストパターンを除去する工程
(G)レジストパターンの除去によって露出したシード層を除去する工程
(H)配線部の表面に対して第1表面処理を施す工程
(I)配線部を覆うように、第2絶縁材料層を形成する工程
(J)第2絶縁材料層における、パッドに対応する位置に第2開口部を形成する工程
(K)パッドの表面に対して第2表面処理を施す工程
(L)第2絶縁材料層のガラス転移温度以上の温度に第2絶縁材料層を加熱する工程
(A)支持基板S上に第1絶縁材料層1を形成する工程
(B)第1絶縁材料層1に第1開口部H1を形成する工程
(C)第1絶縁材料層1の表面上に無電解めっきによってシード層Tを形成する工程
(D)シード層Tの表面上に配線部形成用のレジストパターンRを設ける工程
(E)シード層Tの表面であってレジストパターンRから露出している領域に、パッドC1と配線C2とを含む配線部Cを電解めっきによって形成する工程
(F)レジストパターンRを除去する工程
(G)レジストパターンRの除去によって露出したシード層Tを除去する工程
(H)パッドC1及び配線C2の表面に対して第1表面処理を施す工程
(I)パッドC1及び配線C2を覆うように、第2絶縁材料層2を形成する工程
(J)第2絶縁材料層2に第2開口部H2を形成する工程
(K)第2開口部H2内におけるパッドC1の表面に対して第2表面処理を施す工程
(L)第2絶縁材料層2のガラス転移温度以上の温度に第2絶縁材料層2を加熱する工程
支持基板S上に第1絶縁材料層1を形成する(図1(a))。支持基板Sは、特に限定されないが、シリコン板、ガラス板、SUS板、ガラスクロス入り基板、半導体素子入り封止樹脂等であり、高剛性からなる基板が好適である。図1(a)に示したとおり、支持基板Sは絶縁材料層を形成する側の表面に導電層Saが形成されたものであってもよい。支持基板Sは、導電層Saの代わりに配線及び/又はパッドを表面に有するものであってもよい。
第1絶縁材料層1の表面に支持基板S又は導電層Saにまで至る第1開口部H1を形成する(図1(b))。本実施形態において、第1開口部H1は、第1絶縁材料層1をその厚さ方向に貫通するように形成されており、底面(導電層Saの表面)と側面(絶縁材料層1)とによって構成されている。第1絶縁材料層1が感光性樹脂材料で形成されている場合、フォトリソグラフィープロセス(露光及び現像)によって第1開口部H1を形成することができる。
第1絶縁材料層1の表面に、無電解めっきによりシード層Tを形成する(図1(d))。本実施形態においては、まず、無電解銅めっきの触媒となるパラジウムを第1絶縁材料層1の表面に吸着させるため、第1絶縁材料層1の表面を前処理液で洗浄する。前処理液は水酸化ナトリウム又は水酸化カリウムを含む市販のアルカリ性前処理液でよい。水酸化ナトリウム又は水酸化カリウムの濃度は1%〜30%の間で実施される。前処理液への浸漬時間は1分〜60分の間で実施される。前処理液への浸漬温度は25℃〜80℃の間で実施される。前処理した後、余分な前処理液を除去するため、市水、純水、超純水又は有機溶剤で洗浄してもよい。なお、第1絶縁材料層1の表面にシード層Tを形成する前に、第1絶縁材料層1の表面を紫外線照射、電子線照射、オゾン水処理、コロナ放電処理、プラズマ処理等の方法で改質してもよい。
シード層T上に配線部形成用のレジストパターンRを形成する(図2(a))。レジストパターンRは市販のレジストでよく、例えば、ネガ型フィルム状の感光性レジスト(日立化成株式会社製、Photec RY−5107UT)を用いることができる。レジストパターンRは、図2(a)に示すとおり、開口部R1,R2を有する。開口部R1は第1絶縁材料層1の開口部H1に対応する位置に設けられており、パッドC1を形成するためのものである。第1開口部H1と開口部R1とによって開口Hが構成されている。開口部R2は、例えば、ライン幅0.5〜20μmの溝状の開口であり、配線C2を形成するためのものである。
シード層Tを給電層として、例えば、電解銅めっきを実施し、パッドC1と配線C2とを含む配線部Cを形成する(図2(b))。配線部Cの厚さは1〜10μmが好ましく、3〜10μmがより好ましく、5〜10μmが更に好ましい。なお、配線部Cは電解銅めっき以外の電解めっきによって形成してもよい。
電解銅めっき後、レジストパターンRを除去する(図2(c))。レジストパターンRのはく離は、市販のはく離液を使用して行えばよい。
レジストパターンRを除去した後、シード層Tを除去する(図2(d))。シード層Tの除去とともに、シード層Tの下に残存しているパラジムを除去してもよい。これらの除去は、市販の除去液(エッチング液)を使用して行えばよく、具体例として、酸性のエッチング液(株式会社JCU製、BB−20、PJ−10、SAC−700W3C)が挙げられる。
パッドC1及び配線C2の表面に対して第1表面処理を施すことによって、これらの表面に表面処理層5を形成する(図3(a))。第1表面処理は、市販の表面処理液を用いて実施することができる。表面処理液としては、例えば、配線部Cと、後の工程で形成される第2絶縁材料層2との密着性を向上する有機成分を含む液(例えば、四国化成工業株式会社製、商品名「GliCAP」)、あるいは、配線部Cの表面を微細にエッチングするとともに、配線部Cと第2絶縁材料層2との密着性を向上する有機成分を含む液(例えば、アトテックジャパン株式会社製、商品名「ノバボンド」及びメック株式会社製、商品名「CZ8401」「CZ−8402」)を用いることができる。
配線部Cを覆うように第2絶縁材料層2を形成する。第2絶縁材料層2を構成する材料は第1絶縁材料層1と同じでもよいし、異なっていてもよい。
第2絶縁材料層2に第2開口部H2を形成する(図3(b))。第2開口部H2はパッドC1に対応する位置に設けられている。第2開口部H2を形成する方法は、第1開口部H1を形成する方法と同じでもよいし、異なっていてもよい。この工程後において、配線C2に対する第2絶縁材料層2のピール強度は、例えば、0.2〜0.7kN/mであり、0.4〜0.65kN/m又は0.5〜0.6kN/mであってもよい。ここでいうピール強度は、ピール角度90°及びピール速度10mm/分の条件で測定される値を意味する。これらの工程を経ることで、図3(b)に示す配線基板10が得られる。配線基板10は、支持基板Sと、第1絶縁材料層1及び第2絶縁材料層2を貫通するように設けられたパッドC1と、第2絶縁材料層2内に埋設された配線C2を有する配線層8Aとを備える。
第2開口部H2内におけるパッドC1の表面に対して第2表面処理を施すことによって表面処理層5を除去する(図3(c))。上述のとおり、表面処理層5は、例えば、有機成分を含有しており、パッドC1の導電性を阻害し得る。表面処理層5の少なくとも一部を除去することで、すなわち、図3(c)に示すように、パッドC1の表面に表面処理剤除去部6を設けることで、表面処理層5によるパッドC1の導電性低下を改善し得る。表面処理層5を除去する処理として、例えば、プラズマ処理及びデスミア処理(アルカリ溶液を使用した処理)が挙げられる。プラズマ処理で用いるガスの種類は、例えば、酸素、アルゴン、窒素及びこれらの混合ガスである。この工程を経て図3(c)に示される構成の配線基板20が得られる。配線基板20は、パッドC1の表面に表面処理剤除去部6が設けられている点において、図3(b)に示される配線基板10と相違する。
第2絶縁材料層2を第2絶縁材料層2のガラス転移温度(Tg)以上に加熱することによって、配線部Cと第2絶縁材料層2の界面に焼成層7を形成する(図4)。これにより、配線部Cと第2絶縁材料層2の密着性がより一層向上する。焼成層7は、例えば、表面処理層5に含まれる表面処理剤が第2絶縁材料層2との反応によって変質することによって形成される層である。加熱温度は第2絶縁材料層2のガラス転移温度(Tg)以上であり、例えば、250℃以下である。加熱時間は、30分〜3時間であることが好ましい。加熱温度がTg以上であり且つ加熱時間が30分以上であることで、配線部Cと第2絶縁材料層2の密着性の向上効果が十分に発揮される。他方、加熱温度が250℃以下であり且つ3時間以下であることで、配線部Cと第2絶縁材料層2との間に残存する表面処理剤が分解することが抑制され、配線部Cと第2絶縁材料層2の優れた密着性を維持できる。また、加熱温度が250℃以下であることで配線基板の反りを抑制できる。この工程を経て図4に示される構成の配線基板30が得られる。配線基板30は、配線部Cと第2絶縁材料層2との界面に焼成層7が形成されている点において、図3(c)に示される配線基板20と相違する。
<感光性樹脂フィルムの作製>
絶縁材料層の形成に使用する感光性樹脂組成物を以下の成分を使用して調製した。
・カルボキシル基とエチレン性不飽和基とを含有する光反応性樹脂:酸変性したクレゾールノボラック型エポキシアクリレート(CCR−1219H、日本化薬株式会社製、商品名) 50質量部
・光重合開始剤成分:2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド(ダロキュアTPO、BASFジャパン株式会社製、商品名)及びエタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(o−アセチルオキシム)(イルガキュアOXE−02、BASFジャパン株式会社製、商品名) 5質量部
・熱硬化剤成分:ビフェノール型エポキシ樹脂(YX−4000、三菱ケミカル株式会社製、商品名) 10質量部
・無機フィラ成分:(平均粒径:50nm、ビニルシランでシランカップリング処理したもの)
支持基板として、ガラスクロス入り配線基板(サイズ:200mm角、厚さ1.5mm)を準備した。この配線基板の表面には銅層が形成されており、その厚さは20μmであった。
上記配線基板の銅層の表面に、上記感光性樹脂フィルム(第1絶縁材料層)をラミネートした。詳細には、まず、配線基板の銅層の表面に感光性樹脂フィルムを載置した。次いで、プレス式真空ラミネータ(MVLP−500、株式会社名機製作所製)を用いてプレスした。プレス条件は、プレス熱板温度80℃、真空引き時間20秒、ラミネートプレス時間60秒、気圧4kPa以下、圧着圧力0.4MPaとした。
プレス後の絶縁材料層に露光処理及び現像処理を施すことによって、配線基板の銅層にまで至る開口部(第1開口部)を第1絶縁材料層に設けた。露光は絶縁材料層の上にパターンを形成したフォトツールを密着させ、i線ステッパー露光機(製品名:S6CK型露光機、レンズ:ASC3(Ck)、サ−マプレシジョン社製)を使用して、30mJ/cm2のエネルギー量で露光した。次いで、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液で、45秒間スプレー現像を行い、開口部を設けた。次いで、現像後の絶縁材料層表面にマスク露光機(EXM−1201型露光機、株式会社オーク製作所製)を使用して、2000mJ/cm2のエネルギー量でポストUV露光した。次いで、クリーンオーブンで170℃、1時間の熱硬化を行った。
無電解銅めっきにより、絶縁材料層の表面にシード層を形成した。すなわち、まず、アルカリクリーニングとして、アルカリクリーナー(株式会社JCU製、商品名:EC−B)の110mL/L水溶液に50℃で5分間浸漬し、その後純水に1分間浸漬した。次に、コンディショナとして、コンディショニング液(株式会社JCU製、商品名:PB−200)とEC−Bの混合液(PB−200濃度:70mL/L、EC−B濃度:2mL/L)に50℃で5分間浸漬し、その後純水に1分間浸漬した。次に、ソフトエッチングとして、ソフトエッチング液(株式会社JCU製、商品名:PB−228)と98%硫酸の混合液(PB−228濃度:100g/L、硫酸濃度:50mL/L)30℃で2分間浸漬し、その後純水に1分間浸漬した。次に、デスマットとして、10%硫酸に室温で1分間浸漬した。次に、キャタライザとして、キャタライズ用試薬1(株式会社JCU製、商品名:PC−BA)とキャタライズ用試薬2(株式会社JCU製、商品名:PB−333)とEC−Bの混合液(PC−BA濃度:5g/L、PB−333濃度:40mL/L、EC−B濃度:9mL/L)60℃で5分間浸漬し、その後純水に1分間浸漬した。次に、アクセラレータとして、アクセラレータ用試薬(株式会社JCU製、商品名:PC−66H)とPC−BAの混合液(PC−66H濃度:10mL/L、PC−BA濃度:5g/L)に30℃で5分間浸漬し、その後純水に1分間浸漬した。次に、無電解銅めっきとして、無電解銅めっき液(株式会社JCU製、商品名:AISL−570B、AISL−570C、AISL−570MU)とPC−BAの混合液(AISL−570B濃度:70mL/L、AISL−570C濃度:24mL/L、AISL−570MU濃度:50mL/L、PC−BA濃度:13g/L)に60℃で7分間浸漬し、その後純水に1分間浸漬した。その後、85℃のホットプレートで5分間乾燥させた。次に、180℃のオーブンで1時間、熱アニーリングした。
真空ラミネータ(ニチゴー・モートン株式会社製、V−160)を用いて、無電解銅が成膜された200mm□の基板の上に、配線形成用レジスト(日立化成株式会社製、RY−5107UT)を真空ラミネートした。ラミネート温度は110℃、ラミネート時間は60秒、ラミネート圧力は0.5MPaとした。
・L/S=10μm/10μm(配線の数:10本)
・L/S=7μm/7μm(配線の数:10本)
・L/S=5μm/5μm(配線の数:10本)
・L/S=3μm/3μm(配線の数:10本)
・L/S=2μm/2μm(配線の数:10本)
クリーナーとして(奥野製薬工業株式会社製、商品名:ICPクリーンS−135)の100mL/L水溶液に50℃で1分間浸漬し、純水に50℃で1分間浸漬、純水に25℃で1分間浸漬し、10%硫酸水溶液に25℃で1分間浸漬した。次に、硫酸銅5水和物の120g/L、96%硫酸220g/Lの水溶液7.3Lに、塩酸を0.25mL、奥野製薬工業株式会社製の商品名:トップルチナGT−3を10mL、奥野製薬工業株式会社製の商品名:トップルチナGT−2を1mL加えた水溶液に、25℃で電流密度を1.5A/dm2で10分間の条件で電解めっきを施した。その後、純水に25℃で5分間浸漬し、80℃のホットプレートで5分間乾燥させた。
スプレー現像機(ミカサ社製、AD−3000)を用いて、配線形成用レジストをはく離した。はく離液は2.38%TMAH水溶液、はく離温度は40℃、スプレー圧力は0.2MPaとした。
シード層である無電解銅及びパラジウム触媒を除去した。無電解Cuのエッチングとして、エッチング液(株式会社JCU製、SAC−700W3C)と98%硫酸と35%過酸化水素水と硫酸銅・5水和物の水溶液(SAC−700W3C濃度:5容量%、硫酸濃度:4容量%、過酸化水素濃度:5容量%、硫酸銅・5水和物濃度:30g/L)に35℃で1分間浸漬した。次に、パラジウム触媒の除去としてFL水溶液(株式会社JCU製、FL−A500mL/L、FL−B 40mL/L)に50℃で1分間浸漬した。その後、純水に25℃で5分間浸漬し、80℃のホットプレートで5分間乾燥させた。
パッド及び配線の表面をGliCAP(四国化成工業株式会社製)により表面処理(第1表面処理)した。酸洗浄として、3.5%塩酸水溶液に25℃で1分間浸漬した。次に、純水により25℃で1分間流水洗浄した。次に、ソフトエッチング液(四国化成工業社製、GB−1000)に30℃で1分間浸漬した。次に、純水により25℃で1分間流水洗浄した。次に、表面処理剤(四国化成工業社製、GliCAP)に30℃で15分間浸漬した。次に、純水により25℃で1分間流水洗浄した。その後、100℃のホットプレートで5分間乾燥させた。
工程(H)を経て表面処理されたパッド及び配線を覆うように、感光性樹脂フィルム(第2絶縁材料層)をラミネートした。詳細には、まず、パッド及び配線を覆うように第1絶縁材料層上に感光性樹脂フィルムを載置した。次いで、プレス式真空ラミネータ(MVLP−500、株式会社名機製作所製)を用いてプレスした。プレス条件は、プレス熱板温度80℃、真空引き時間20秒、ラミネートプレス時間60秒、気圧4kPa以下、圧着圧力0.4MPaとした。
プレス後の絶縁材料層に露光処理及び現像処理を施すことによって、パッドにまで至る開口部(第2開口部)を第2絶縁材料層に設けた。露光は絶縁材料層の上にパターンを形成したフォトツールを密着させ、i線ステッパー露光機(製品名:S6CK型露光機、レンズ:ASC3(Ck)、サ−マプレシジョン社製)を使用して、30mJ/cm2のエネルギー量で露光した。次いで、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液で、45秒間スプレー現像を行い、開口部を設けた。次いで、現像後の絶縁材料層表面にマスク露光機(EXM−1201型露光機、株式会社オーク製作所製)を使用して、2000mJ/cm2のエネルギー量でポストUV露光した。次いで、クリーンオーブンで170℃、1時間の熱硬化を行った。硬化後の第2絶縁材料層のガラス転移温度(Tg)は160℃であった。
工程(H)において、GliCAPの代わりにCZ8402(メック株式会社製)を用いて表面処理したことの他は実施例1と同様にして配線基板を得た。すなわち、まず、酸洗浄として、5%塩酸水溶液により25℃で30秒間0.2MPaの水圧でスプレー洗浄した。次に、純水により25℃で1分間流水洗浄した。次に、CZ8402処理液により25℃で1分間0.2MPaの水圧でスプレー処理した。次に、純水により25℃で1分間流水洗浄した。次に、10%硫酸水溶液により25℃で20秒間0.1MPaの水圧でスプレー処理した。次に、純水により25℃で1分間流水洗浄した。その後、100℃のホットプレートで5分間乾燥させた。
工程(H)において、GliCAPの代わりにCZ8101(メック株式会社製)を用いて表面処理したことの他は実施例1と同様にして配線基板を得た。すなわち、まず、酸洗浄として、5%塩酸水溶液により25℃で30秒間0.2MPaの水圧でスプレー洗浄した。次に、純水により25℃で1分間流水洗浄した。次に、CZ8101処理液により25℃で1分間0.2MPaの水圧でスプレー処理した。次に、純水により25℃で1分間流水洗浄した。次に、10%硫酸水溶液により25℃で20秒間0.1MPaの水圧でスプレー処理した。次に、純水により25℃で1分間流水洗浄した。次に、防錆処理として、CL−8300(メック株式会社製)処理液により25℃で30秒間浸漬処理した。次に、純水により25℃で1分間流水洗浄した。その後、100℃のホットプレートで5分間乾燥させた。
実施例1(Glicapによる表面処理)、実施例2(ノバボンドによる表面処理)、実施例3(CZ−8401による表面処理)、実施例4(CZ−8402による表面処理)、比較例1(表面処理剤なし)、比較例2(CZ−8101)に係る銅層表面の平均粗さRaを表面粗さ計(オリンパス株式会社製、OLS−4000)を用いて測定した。表1に結果を示す。
実施例1(Glicapによる表面処理)、実施例2(ノバボンドによる表面処理)、実施例3(CZ−8401による表面処理)、実施例4(CZ−8402による表面処理)、比較例1(表面処理剤なし)、比較例2(CZ−8101)に係る銅層と絶縁材料層の界面のピール強度をピール強度測定装置(株式会社島津製作所製、ES−Z)を用いて測定した。測定条件は、ピール角度90°及びピール速度10mm/分とした。表1に結果を示す。
L/Sが10μm/10μm、7μm/7μm、5μm/5μm、3μm/3μm及び2μm/2μmの配線形成性について、10個の配線のうち、配線倒れ又は配線はく離または配線断線が発生しているものが0個の場合を「A」とし、1〜2個の場合を「B」とし、3個以上の場合を「C」とした。表1に結果を示す。
実施例1〜4及び比較例1,2に係る配線基板のパッド表面に対してデスミア処理(第2表面処理)を施した。すなわち、まず、膨潤処理のため、スウェラ(Atotech社製、クリーナーセキュリガント902)40mL/Lに70℃で5分間浸漬した。その後純水に1分間浸漬した。次いで、表面処理剤除去のため、デスミア液(Atotech社製、コンパクトCP)40mL/Lに70℃で浸漬した。浸漬時間は3分間とした。次に、純水に1分間浸漬した。その後、80℃のホットプレートで5分間乾燥させた。
実施例1〜4及び比較例1,2に係る表面処理剤除去性を評価した。Φ100μm、Φ50μm、Φ30μm、Φ20μm、Φ10μmの開口部について、露出した銅表面を顕微ラマン装置(製品名:DXR2 Microscope、サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社製)を用いて900cm−1のピークの有無を調べ、10個のパッドの内、ピークがあるもの(残渣があるもの)が0個の場合を「A」とし、1〜2個の場合を「B」とし、3個以上の場合を「C」とした。表2に結果を示す。
・工程(L)
実施例1〜4及び比較例1,2に係る配線基板を複数準備し、表3に示すとおり、200℃又は250℃で30分又は3時間にわたってそれぞれ加熱した。
実施例1a〜4d及び比較例1a〜2dに係る配線基板の電気絶縁性を評価した。L/Sが10μm/10μm、7μm/7μm、5μm/5μmの配線について、HASTチャンバー(EHS−222MD、ESPEC社製)及びイオンマイグレーション評価システム(AM−150−U−5、ESPEC社製)を用いて、電気絶縁性130℃、相対湿度85%、印加電圧3.3Vの条件で試験した。10個の配線の内、電気抵抗値が1×106Ωで絶縁保持時間が200時間以上となる配線が10個のとき「A」、7個以上のとき「B」、5個以上のとき「C」とした。表3に結果を示す。
Claims (9)
- (A)支持基板上に第1絶縁材料層を形成する工程と、
(B)前記第1絶縁材料層に第1開口部を形成する工程と、
(C)前記第1絶縁材料層の表面上に無電解めっきによってシード層を形成する工程と、
(D)前記シード層の表面上に配線部形成用のレジストパターンを設ける工程と、
(E)前記シード層の表面であって前記レジストパターンから露出している領域に、パッドと配線とを含む配線部を電解めっきによって形成する工程と、
(F)前記レジストパターンを除去する工程と、
(G)前記レジストパターンの除去によって露出した前記シード層を除去する工程と、
(H)前記パッドの表面に対して第1表面処理を施す工程と、
(I)前記配線部を覆うように、第2絶縁材料層を形成する工程と、
(J)前記第2絶縁材料層における、前記パッドに対応する位置に第2開口部を形成する工程と、
(K)前記パッドの表面に対して第2表面処理を施す工程と、
(L)前記第2絶縁材料層のガラス転移温度以上の温度に前記第2絶縁材料層を加熱する工程と、
を含む、配線基板の製造方法。 - 前記第1表面処理を施す工程において表面処理剤を使用し、前記第2表面処理を施す工程において前記パッドの表面から前記表面処理剤を除去する、請求項1に記載の配線基板の製造方法。
- 前記第1表面処理に使用される前記表面処理剤が前記配線部と前記第2絶縁材料層との密着性を向上する有機成分を含む、請求項2に記載の配線基板の製造方法。
- 前記第2表面処理が酸素プラズマ処理、アルゴンプラズマ処理及びデスミア処理からなる群から選ばれる少なくとも一種である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の配線基板の製造方法。
- 前記第1表面処理が施された前記配線部の表面の平均粗さRaが40〜80nmである、請求項1〜4のいずれか一項に記載の配線基板の製造方法。
- 工程(J)後において、前記配線に対する前記第2絶縁材料層のピール強度が0.2〜0.7kN/mである、請求項1〜5のいずれか一項に記載の配線基板の製造方法。
- 工程(B)と工程(C)との間に、前記第1絶縁材料層上及び/又は前記第1開口部内の残渣を除去する工程を更に含む、請求項1〜6のいずれか一項に記載の配線基板の製造方法。
- 前記第1絶縁材料層及び前記第2絶縁材料層の少なくとも一方が感光性樹脂を含む、請求項1〜7のいずれか一項に記載の配線基板の製造方法。
- 前記レジストパターンがライン幅0.5〜20μmの溝状の開口を有する、請求項1〜8のいずれか一項に記載の配線基板の製造方法。
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