JP2020131438A - 液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】循環動作を行う際の圧力制御が複雑になることを抑制できる液体噴射装置を提供する。【解決手段】ノズル２１が開口するノズル面２１ａを有する液体噴射ヘッド２０と、液体噴射ヘッド２０に液体を供給する液体供給路３０と、液体噴射ヘッド２０から液体を排出する液体排出路４０と、液体供給路３０に設けられた供給側液室３３の内部の圧力をノズル２１に形成される気液界面が維持される第１の圧力に調整可能な供給側圧力調整弁３１と、液体排出路４０に設けられた排出側液室４３内の圧力が排出側液室４３の外側の圧力及び第１の圧力より低く、かつノズル２１に形成される気液界面が維持される第２の圧力になった場合に開弁して排出側液室４３に流体を導入可能な排出側弁体４６を有する排出側圧力調整弁４１と、液体噴射ヘッド２０内の液体を排出側液室４３から液体排出路４０側に排出可能な流動ポンプ５２と、を備える。【選択図】図２

Description

本発明は、プリンターなどの液体噴射装置に関する。

液体噴射装置の一例として、液体噴射ヘッドに開口するノズルから液体の一例であるインクを吐出することで印刷を行うインクジェット式のプリンターがある。このようなプリンターにおいては、インクを循環させるに際して、ノズルからインクが漏れることがなく、かつノズルから空気を引き込むことがないようにするために、液体噴射ヘッドのノズル近傍の圧力を適正な値に保つことが望ましいとされている。

例えば、特許文献１のプリンターは、液体噴射ヘッドに連結されてインク循環系の上流側と下流側にそれぞれ設けられたインクタンクから検出される圧力に基づき、予め設定された演算式により、ノズルの圧力を求める演算手段を有する。また、特許文献１のプリンターは、演算手段により求められた値Ｙを、圧力判断手段において基準値と比較させ、この基準値に対して正圧か負圧かを判断する。そして、特許文献１のプリンターは、インク循環系にはポンプが連結され、基準値に対して正圧と判断された場合は、ノズルに対する負圧値を高める。これにより、特許文献１のプリンターは、インクを循環させるに際して、液体噴射ヘッドのノズル近傍の圧力を適正に保つことができる。

特開２０１３−１０７４０３号公報

しかしながら、このようなプリンターでは、インクを循環させる循環動作を行うに際して、液体噴射ヘッドのノズル近傍の圧力を適正に保つための圧力制御が複雑になるという課題があった。

上記課題を解決する液体噴射装置は、液体を噴射するノズルが開口するノズル面を有する液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドの液体流入口と接続されて該液体噴射ヘッドに前記液体を供給する液体供給路と、前記液体噴射ヘッドの液体流出口と接続されて該液体噴射ヘッドから前記液体を排出する液体排出路と、前記液体供給路に設けられた供給側液室の内部の圧力を前記ノズルに形成される気液界面が維持される第１の圧力に調整可能な供給側圧力調整機構と、前記液体排出路に設けられて前記液体流出口と接続される排出側液室を有するとともに、前記排出側液室内の圧力が該排出側液室の外側の圧力及び前記第１の圧力より低く、かつ前記ノズルに形成される気液界面が維持される第２の圧力になった場合に開弁して、前記排出側液室と該排出側液室に該排出側液室外から流体を導入可能な流体導入路とを連通させる排出側弁体を有し、前記液体噴射ヘッドに供給される前記液体の圧力を前記ノズルに形成される気液界面が維持される圧力に調整する排出側圧力調整弁と、前記排出側圧力調整弁の前記排出側液室を介して前記液体噴射ヘッド内の前記液体を前記液体排出路側に排出可能に前記排出側液室と帰還流路で接続される流動機構と、を備える。

記録装置の斜視図。 液体噴射装置の構成を示す模式図。 液体噴射ヘッド、供給側圧力調整弁、及びメンテナンス装置を示す模式図。 図３における４−４線矢視断面図。 液体噴射装置の電気的構成を示すブロック図。 循環処理の一例を示すフローチャート。 加圧クリーニング処理の一例を示すフローチャート。 第２実施形態における液体噴射装置の構成を示す模式図。 第３実施形態における液体噴射装置の構成を示す模式図。 図９における１０−１０線矢視断面図。 第４実施形態における供給側液体貯留部を示す模式図。 第５実施形態における液体噴射装置の構成を示す模式図。

（第１実施形態）
以下、液体噴射装置を備える記録装置の第１実施形態について、図を参照して説明する。

図１に示すように、記録装置１１は、液体噴射装置１１ａを備え、全体として鉛直方向Ｚに長い略直方体状をなしている。鉛直方向Ｚは、重力方向である。液体噴射装置１１ａは、液体の一例であるインクを噴射可能な液体噴射部１２を備える。液体噴射部１２は、図中において二点鎖線で示す搬送経路１３に沿って搬送される用紙１４に対して液体を噴射することにより記録を行う。本実施形態において、液体噴射部１２は、用紙１４の幅方向Ｘに亘ってインクを同時に噴射可能な所謂ラインヘッドである。なお、幅方向Ｘとは、用紙１４が搬送される搬送領域に沿う方向であって且つ用紙１４の搬送方向Ｙと交差（例えば直交）する方向である。搬送領域とは、搬送経路１３に沿う面状の領域であって、搬送部により搬送される用紙１４が通過する領域である。

図２に示すように、液体噴射装置１１ａは、液体を収容可能な液体収容部１５と、液体を噴射する複数の液体噴射ヘッド２０と、液体収容部１５に収容された液体を各液体噴射ヘッド２０に供給する液体供給路３０と、各液体噴射ヘッド２０から液体を排出する液体排出路４０と、を備える。液体収容部１５は、記録装置１１に装着した状態で図示しない注入孔を通じて液体を注入可能な液体タンクであってもよいし、記録装置１１に着脱可能な液体カートリッジであってもよい。

図３及び図４に示すように、各液体噴射ヘッド２０は、液体を噴射可能な複数のノズル２１が開口するノズル面２１ａを備える。各液体噴射ヘッド２０は、液体が供給される第１共通液室２２を備える。第１共通液室２２には、液体供給路３０と接続される液体流入口２２ａが開口している。即ち、液体供給路３０は、各液体噴射ヘッド２０の液体流入口２２ａと接続されて各液体噴射ヘッド２０に液体を供給する。

各液体噴射ヘッド２０は、図４に示す第１連通路２２ｂを介して第１共通液室２２と通じる複数の噴射液室２３を備える。複数のノズル２１は、複数の噴射液室２３に対応して設けられる。各噴射液室２３は、第１共通液室２２とノズル２１とに通じる。各噴射液室２３の壁面の一部は、振動板２４によって形成される。

各液体噴射ヘッド２０は、複数の噴射液室２３に対応する複数のアクチュエーター２５を備える。各アクチュエーター２５は、振動板２４において各噴射液室２３と面する部分とは反対となる面に設けられる。各アクチュエーター２５は、第１共通液室２２と異なる位置に配置された収容室２６に収容される。各液体噴射ヘッド２０は、各アクチュエーター２５の駆動により、各噴射液室２３の液体を各ノズル２１から液滴として吐出する。

本実施形態の各アクチュエーター２５は、一例として、駆動電圧が印加された場合に収縮する圧電素子によって構成されてもよい。この場合、駆動電圧の印加による各アクチュエーター２５の収縮に伴って振動板２４を変形させた後、各アクチュエーター２５への駆動電圧の印加を解除すると、容積が変化した各噴射液室２３内の液体が各ノズル２１から液滴として吐出される。

各液体噴射ヘッド２０は、図４に示す第２連通路２７ｂを介して各噴射液室２３と通じる第２共通液室２７を有する。第２共通液室２７には、液体排出路４０と接続される液体流出口２７ａが開口している。即ち、液体排出路４０は、各液体噴射ヘッド２０の液体流出口２７ａと接続されて各液体噴射ヘッド２０から液体を排出する。

図２に示すように、液体噴射装置１１ａは、液体排出路４０と液体収容部１５とを接続する帰還流路５０と、閉弁状態になることで帰還流路５０を閉塞する第１開閉弁５１と、液体を流動させる流動機構の一例としての流動ポンプ５２と、を備える。流動ポンプ５２は、帰還流路５０のうち第１開閉弁５１よりも液体収容部１５側に設けられる。

液体供給路３０には、液体供給路３０の液体を脱気可能な脱気部６０が設けられている。脱気部６０は、例えば、液体供給路３０の一部を形成する円筒状の中空糸膜６１と、脱気のために液体供給路３０の液体を減圧する減圧機構６２と、を備えることができる。この場合、減圧機構６２は、中空糸膜６１を収容する減圧室６３と、減圧室と接続される気体流路６４と、減圧室６３を減圧する真空ポンプ６５と、を備える。そして、真空ポンプ６５が減圧室６３を減圧すると、中空糸膜６１の外側の空間が減圧されて、中空糸膜６１の内側の液体中に溶存する気体が中空糸膜６１の外側に吸引されることによって、中空糸膜６１の内側の液体が脱気される。

液体供給路３０において脱気部６０と各液体噴射ヘッド２０との間には、各液体噴射ヘッド２０に供給される液体の圧力を調整する供給側圧力調整機構の一例である複数の供給側圧力調整弁３１が設けられている。

図３に示すように、各供給側圧力調整弁３１は、壁部を構成する供給側可撓部３２が撓むことで容積が変更される供給側液室３３と、供給側液室３３と連通する供給側連通室３４と、供給側液室３３と供給側連通室３４とを遮断可能な供給側弁体３５と、供給側弁体３５が閉弁する方向に付勢する供給側付勢部材３６と、を備える。各供給側圧力調整弁３１の供給側液室３３は、液体供給路３０を通じて脱気部６０と連通可能である。また、各供給側圧力調整弁３１の供給側連通室３４は、液体供給路３０を通じて各液体噴射ヘッド２０の第１共通液室２２と連通している。

なお、各供給側圧力調整弁３１における供給側液室３３や供給側連通室３４のように流路の断面積が拡大する部分や、供給側付勢部材３６のように複雑な形状を有する部分などには、気泡などの異物が溜まりやすい。そのため、本実施形態においては、気泡等の異物を捕捉するために、各供給側圧力調整弁３１の入口と各供給側圧力調整弁３１の内部とに、それぞれフィルター３７ａ，３７ｂを設けている。これらフィルター３７ａ，３７ｂの数や配置は任意に変更することができるし、フィルター３７ａ，３７ｂの設置を省略することもできる。

図２に示すように、液体排出路４０と帰還流路５０とが接続される位置には、液体噴射ヘッド２０に供給される液体の圧力を調整する排出側圧力調整弁４１が設けられている。排出側圧力調整弁４１は、壁部を構成する排出側可撓部４２が撓むことで容積が変更される排出側液室４３と、排出側液室４３と第１連通孔４３ａを介して連通する第１排出側連通室４４と、第１排出側連通室４４と連通する第２排出側連通室４５と、を有する。さらに、排出側圧力調整弁４１は、排出側液室４３と第１排出側連通室４４とを遮断可能な排出側弁体４６と、排出側弁体４６が閉弁する方向に付勢する排出側付勢部材４７と、を有する。

排出側液室４３は、第２連通孔４３ｂを介して液体排出路４０と連通している。即ち、排出側液室４３は、液体排出路４０を介して液体流出口２７ａと接続される。言い換えれば、液体排出路４０は、排出側液室４３と、第２共通液室２７の液体流出口２７ａと、を接続している。また、排出側液室４３は、第３連通孔４３ｃを介して帰還流路５０と連通している。言い換えれば、帰還流路５０は、排出側液室４３と、流動ポンプ５２と、を接続している。即ち、流動ポンプ５２は、排出側液室４３を介して各液体噴射ヘッド２０内の液体を液体排出路４０側に排出可能である。また、排出側液室４３は、帰還流路５０を通じて液体収容部１５と連通可能である。

液体噴射装置１１ａは、第２排出側連通室４５と連通して第２排出側連通室４５に流体を導入する流体導入路７０を有する。流体導入路７０は、第１切替弁７１を介して、気体の一例である大気を導入可能な大気連通路７２と接続される。また、流体導入路７０は、第１切替弁７１を介して、液体供給路３０から液体を導入可能なバイパス流路７３と接続される。第１切替弁７１は、流体導入路７０と大気連通路７２とが連通する状態と、流体導入路７０とバイパス流路７３とが連通する状態と、を切り替え可能に構成されている。第１切替弁７１は、一例として、流体導入路７０と、大気連通路７２と、バイパス流路７３と、の３つの流路を個別に閉塞可能な３つの弁体を備える三方向弁とすることができる。

大気連通路７２は、一端が流体導入路７０に連通するとともに、他端が大気中に開放されることにより、流体導入路７０を介して第２排出側連通室４５に大気を導入可能に構成されている。言い換えれば、流体導入路７０は、第２排出側連通室４５及び第１排出側連通室４４を介して排出側液室４３に大気を導入可能に構成されている。バイパス流路７３は、一端が流体導入路７０に連通するとともに、他端が液体供給路３０における脱気部６０と供給側圧力調整弁３１との間に接続されることにより、流体導入路７０を介して第２排出側連通室４５に液体を導入可能に構成されている。即ち、流体導入路７０は、第２排出側連通室４５及び第１排出側連通室４４を介して排出側液室４３に接続されるとともに、バイパス流路７３を介して液体供給路３０のうち供給側液室３３よりも上流側となる上流側液体供給路３０ａと接続される。言い換えれば、流体導入路７０は、排出側液室４３と上流側液体供給路３０ａとを接続することにより、排出側液室４３に液体を導入可能に構成されている。

液体噴射装置１１ａは、バイパス流路７３と上流側液体供給路３０ａとの接続部分に、脱気部６０から各液体噴射ヘッド２０の第１共通液室２２に向かう液体の流路を上流側液体供給路３０ａとバイパス流路７３との間で切り替え可能な第２切替弁７４を備えるのが好ましい。第２切替弁７４は、一例として、バイパス流路７３と、上流側液体供給路３０ａにおけるバイパス流路７３との接続部分より上流側と、上流側液体供給路３０ａにおけるバイパス流路７３との接続部分より下流側と、の３つの流路を個別に閉塞可能な３つの弁体を備える三方向弁とすることができる。なお、液体噴射装置１１ａは、大気連通路７２及びバイパス流路７３のうち何れか一方のみを備えていてもよい。即ち、流体導入路７０は、大気連通路７２及びバイパス流路７３の何れか一方に連通していればよい。

排出側液室４３において、第２連通孔４３ｂは、第１連通孔４３ａよりも鉛直方向Ｚにおける下方に開口している。言い換えれば、液体排出路４０は、流体導入路７０から流入した流体が排出側液室４３に流入する位置より下方となる位置で排出側液室４３に開口している。

また、排出側液室４３において、第３連通孔４３ｃは、第１連通孔４３ａよりも鉛直方向Ｚにおける上方に開口している。言い換えれば、帰還流路５０は、流体導入路７０から流入した流体が排出側液室４３に流入する位置より上方となる位置で排出側液室４３に開口している。

液体供給路３０において脱気部６０と第２切替弁７４との間には、脱気部６０が脱気した液体を一時貯留する一時貯留部８０を設けるのが好ましい。また、液体供給路３０において脱気部６０と液体収容部１５との間には、脱気部６０から各液体噴射ヘッド２０に向けて液体を加圧した状態で供給する加圧ポンプ８１を備えるのが好ましい。

加圧ポンプ８１は、液体供給路３０の液体を流動させる液体流動部として機能させることができる。即ち、脱気部６０においては液体供給路３０の液体が減圧されるので、脱気された液体を加圧ポンプ８１で加圧した状態で一時貯留部８０に貯留しておくことによって、各液体噴射ヘッド２０に向けて液体を効率よく供給することが可能になる。

なお、液体供給路３０において脱気部６０と一時貯留部８０との間には、脱気部６０から一時貯留部８０への液体の流動を許容する一方で、一時貯留部８０から脱気部６０への液体の流動を規制する一方向弁８２を設けておくのが好ましい。このようにすれば、加圧により正圧状態にされた一時貯留部８０から減圧により負圧状態にされた脱気部６０に向けて液体が逆流することが抑制されるためである。

また、一時貯留部８０として可撓性を有する収容袋を採用するとともに、このような収容袋からなる一時貯留部８０を加圧室８３に収容して、真空ポンプ６５が減圧のために引いた気体を、気体流路６４を通じて加圧室８３に導入する構成にしてもよい。この場合には、真空ポンプ６５を駆動して加圧室８３に気体を導入することによって、収容袋を介してその内部にある液体を加圧することができる。

なお、この構成を採用する場合には、気体流路６４において真空ポンプ６５の上流側に第１三方向弁８４を配置し、下流側に第２三方向弁８５を配置すれば、減圧室６３を減圧するタイミングと加圧室８３を加圧するタイミングとを任意に設定することができる。

即ち、減圧室６３の減圧と加圧室８３の加圧とを同時に行う場合には、第１三方向弁８４の外部に連通する第１弁８４ａ及び第２三方向弁８５の外部に連通する第２弁８５ａを閉弁して真空ポンプ６５を駆動することで、減圧室６３の気体を加圧室８３に導入すればよい。また、減圧室６３の減圧を単独で行う場合には、第１弁８４ａを閉弁するとともに第２弁８５ａを開弁して真空ポンプ６５を駆動することで、減圧室６３から引いた気体を外部に排出すればよい。また、加圧室８３の加圧を単独で行う場合には、第１弁８４ａを開弁するとともに第２弁８５ａを閉弁して真空ポンプ６５を駆動することで、外部の気体を気体流路６４に取り入れて加圧室８３に導入すればよい。

液体供給路３０において脱気部６０と液体供給路３０との間には、液体に混入した気泡や塵埃、液体に溶存する溶質成分の固化物などの異物を捕捉するための異物捕捉部を備えるのが好ましい。異物捕捉部は、例えば液体を濾過するためのフィルター８６であってもよいし、液体に混入した気泡を捕捉するためのエアートラップ８７であってもよいし、混入する可能性の高い異物に応じてこれらを組み合わせて用いてもよい。

なお、エアートラップ８７が、気体と液体とを分離可能な気液分離部８７ａを有する場合には、液体供給路３０から気液分離部８７ａに向けて液体を流動させる吐出ポンプ８８と、閉弁状態になることで吐出ポンプ８８よりも液体収容部１５側で液体供給路３０を閉塞させる第２開閉弁８９と、を備えるのが好ましい。

液体噴射装置１１ａは、各液体噴射ヘッド２０を保持するヘッドホルダー９０を備える。ヘッドホルダー９０は、各液体噴射ヘッド２０のノズル面２１ａが鉛直方向Ｚにおける下側に面して露出した状態で各液体噴射ヘッド２０を保持する。また、ヘッドホルダー９０は、各供給側圧力調整弁３１及び排出側圧力調整弁４１を保持する。ヘッドホルダー９０は、図示しない駆動部の駆動により鉛直方向Ｚに沿って変位可能に構成されている。各液体噴射ヘッド２０、各供給側圧力調整弁３１、及び排出側圧力調整弁４１は、ヘッドホルダー９０に対して相対的に移動しない。即ち、各液体噴射ヘッド２０、各供給側圧力調整弁３１、及び排出側圧力調整弁４１は、ヘッドホルダー９０の移動に伴って移動する。また、各液体噴射ヘッド２０、各供給側圧力調整弁３１、及び排出側圧力調整弁４１は、互いに相対的に移動しない状態でヘッドホルダー９０に保持されている。

図３に示すように、液体噴射装置１１ａは、各液体噴射ヘッド２０のメンテナンスを行うためのメンテナンス装置１００を備える。メンテナンス装置１００は、各液体噴射ヘッド２０に設けられたノズル２１が開口する閉空間を形成するキャップ１０１と、吸引機構１０２と、ワイパーユニット１０３と、を備える。

キャップ１０１は、各液体噴射ヘッド２０のノズル面２１ａに接触することで、閉空間を形成可能に構成されている。以下の説明では、キャップ１０１が各液体噴射ヘッド２０のノズル面２１ａに接触して閉空間を形成することをキャッピングと示す。なお、キャッピングは各液体噴射ヘッド２０をキャップ１０１に近づく方向に移動させて行うこともできるし、キャップ１０１を各液体噴射ヘッド２０に近づく方向に移動させて行うこともできる。また、キャッピング時にキャップ１０１が接触する対象はノズル面２１ａに限らず、例えば各液体噴射ヘッド２０の側面部や各液体噴射ヘッド２０を保持するヘッドホルダー９０とキャップ１０１とを接触させることで、ノズル２１が開口する閉空間を形成することもできる。キャップ１０１には、閉空間を大気開放するためのキャップ開放弁１０１ａが設けられている。

吸引機構１０２は、廃液タンク１０２ａと、廃液タンク１０２ａとキャップ１０１とを接続する廃液流路１０２ｂと、廃液流路１０２ｂの途中位置に配置される減圧ポンプ１０２ｃとを備える。ワイパーユニット１０３は、ノズル面２１ａを払拭するワイパー１０３ａと、ワイパー１０３ａを保持して移動する移動体１０３ｂとを備える。

また、図５に示すように、液体噴射装置１１ａは、液体噴射装置１１ａを構成する構成要素の制御を行う制御部２００を備える。制御部２００は、各液体噴射ヘッド２０、流動ポンプ５２、真空ポンプ６５、加圧ポンプ８１、吐出ポンプ８８、及び減圧ポンプ１０２ｃを制御する。また、制御部２００は、第１開閉弁５１、第２開閉弁８９、第１切替弁７１、第２切替弁７４、第１三方向弁８４、第２三方向弁８５、キャップ開放弁１０１ａ、及び移動体１０３ｂを制御する。制御部２００は、構成要素を個別に制御するものを複数設けることもできるし、複数の構成要素を総合的に制御するものを設けることもできる。

液体噴射装置１１ａは、制御部２００の制御により、第１開閉弁５１及びキャップ開放弁１０１ａを閉弁状態にするとともに第２切替弁７４が液体の流路を液体供給路３０に切り替えた状態を通常状態とする。また、通常状態においては、制御部２００がキャップ１０１によって各液体噴射ヘッド２０をキャッピングすることによって、ノズル２１の乾燥を抑制する。

液体噴射装置１１ａが起動されると、吐出ポンプ８８及び加圧ポンプ８１は、一時貯留部８０内が所定の正圧（加圧状態）に保持されるように、制御部２００によって駆動制御される。これにより、通常状態において、一時貯留部８０、各供給側圧力調整弁３１の供給側連通室３４、及び一時貯留部８０と供給側連通室３４との間の液体供給路３０は、所定の加圧状態に保持される。また、制御部２００は、加圧ポンプ８１の駆動に応じて真空ポンプ６５、第１三方向弁８４、及び第２三方向弁８５を制御することで減圧室６３の減圧を行い、脱気済みの液体が一時貯留部８０に送られるようにする。

なお、各供給側圧力調整弁３１の供給側連通室３４の液体が加圧状態であっても、各供給側圧力調整弁３１において供給側弁体３５が供給側付勢部材３６の付勢力によって供給側液室３３と供給側連通室３４とを遮断している状態が保持されている間は、供給側連通室３４から供給側液室３３へ液体が流動しない。

ここで、本実施形態の各供給側圧力調整弁３１及び排出側圧力調整弁４１について詳しく説明する。
図３に示すように、各供給側圧力調整弁３１の供給側可撓部３２は、供給側液室３３の内面となる供給側内面３２ａで供給側液室３３内の液体の圧力を受ける。供給側可撓部３２は、供給側液室３３の外面となる供給側外面３２ｂで大気圧を受ける。このため、各供給側圧力調整弁３１の供給側可撓部３２は、供給側液室３３内の圧力が変動すると撓む。なお、本実施形態の一例において、供給側液室３３内の圧力とは、供給側可撓部３２の中心部にかかる圧力のことを指す。

供給側可撓部３２は、供給側液室３３内の液体の量が変化した場合に撓むことにより供給側可撓部３２の中心が変位し、供給側液室３３の容積を変化させる。供給側液室３３から液体が排出されることで供給側液室３３内の液体の量が少なくなった場合、供給側液室３３内の圧力が低下するため、供給側可撓部３２は、供給側液室３３の容積を小さくする方向に撓む。また、供給側液室３３に液体が流入することで供給側液室３３内の液体の量が多くなった場合、供給側液室３３内の圧力が上昇するため、供給側可撓部３２は、供給側液室３３の容積を大きくする方向へ撓む。

各供給側圧力調整弁３１において、供給側弁体３５は、供給側可撓部３２の供給側内面３２ａに接続されている。各供給側圧力調整弁３１の供給側弁体３５は、供給側内面３２ａの変位に応じて移動する。各供給側圧力調整弁３１の供給側弁体３５は、供給側可撓部３２が供給側液室３３の容積を小さくする方向へ変位する場合に開弁して、供給側液室３３と供給側連通室３４とを連通させる。また、各供給側圧力調整弁３１の供給側弁体３５は、供給側可撓部３２が供給側液室３３の容積を大きくする方向へ変位する場合に閉弁して、供給側液室３３と供給側連通室３４とを遮断する。

各供給側圧力調整弁３１において、供給側付勢部材３６は、供給側弁体３５を閉弁させる方向に付勢する。各供給側圧力調整弁３１において、供給側弁体３５は、供給側液室３３内の圧力が供給側液室３３の外側の圧力となる大気圧より低い第１の圧力（例えば図２において、大気圧に対して−５００Ｐａ〜−１０００Ｐａ）になった場合に開弁して、供給側液室３３と供給側連通室３４とを連通させる。第１の圧力は、供給側付勢部材３６の押付力、供給側可撓部３２を変位させるために必要な力、供給側弁体３５によって供給側液室３３と供給側連通室３４とを遮断するために必要な押付力であるシール荷重、供給側弁体３５の表面に作用する供給側連通室３４内の圧力、及び供給側液室３３内の圧力に応じて決まる。即ち、供給側付勢部材３６の押付力が大きいほど、閉弁状態から開弁状態になるための第１の圧力は低くなる。即ち、第１の圧力は、供給側付勢部材３６の押付力を定めることにより設定できる。

第１の圧力は、各液体噴射ヘッド２０のノズル２１に形成される気液界面を維持可能な供給側液室３３内の圧力に設定される。この場合、気液界面とは液体と気体とが接する境界である。ノズル２１に形成される気液界面を維持可能な圧力（例えば、大気圧に対して＋５００Ｐａ〜−３５００Ｐａ）とは、言い換えれば、ノズル２１における気液界面にメニスカスを形成可能な圧力である。メニスカスとは、液体がノズル２１と接してできる湾曲した液体表面である。ノズル２１には、液滴の吐出に適した凹状のメニスカスが形成されることが好ましい。ノズル２１に形成される気液界面にかかる圧力と供給側液室３３内の圧力との差は、鉛直方向Ｚにおけるノズル面２１ａの位置と供給側可撓部３２の中心位置との距離Ｄ１によって変化する。このため、第１の圧力は、鉛直方向Ｚにおけるノズル面２１ａの位置と供給側可撓部３２の中心位置との距離Ｄ１（例えば図２において、５０ｍｍ）を考慮して設定される。なお、以下の説明では、ノズル２１に形成される気液界面にかかる圧力を、ノズル２１にかかる圧力と示す。

各供給側圧力調整弁３１では、供給側液室３３内の圧力が第１の圧力となった場合、供給側弁体３５が開弁して供給側連通室３４から供給側液室３３に液体が流入する。即ち、各供給側圧力調整弁３１は、供給側液室３３内の圧力をノズル２１に形成される気液界面が維持される第１の圧力に調整可能である。言い換えれば、各供給側圧力調整弁３１は、各液体噴射ヘッド２０に供給される液体の圧力をノズル２１に形成される気液界面が維持される圧力に調整する。

図２に示すように、排出側圧力調整弁４１の排出側可撓部４２は、排出側液室４３の内面となる排出側内面４２ａで排出側液室４３内の液体の圧力を受ける。排出側可撓部４２は、排出側液室４３の外面となる排出側外面４２ｂで大気圧を受ける。このため、排出側可撓部４２は、排出側液室４３内の圧力が変動すると撓む。なお、本実施形態の一例において、排出側液室４３内の圧力とは、排出側可撓部４２の中心部にかかる圧力のことを指す。

排出側可撓部４２は、排出側液室４３内の液体の量が変化した場合に撓むことにより排出側可撓部４２の中心が変位し、排出側液室４３の容積を変化させる。排出側液室４３から液体が排出されることで排出側液室４３内の液体の量が少なくなった場合、排出側液室４３内の圧力が低下するため、排出側可撓部４２は、排出側液室４３の容積を小さくする方向に撓む。また、排出側液室４３に液体が流入することで排出側液室４３内の液体の量が多くなった場合、排出側液室４３内の圧力が上昇するため、排出側可撓部４２は、排出側液室４３の容積を大きくする方向へ撓む。

排出側弁体４６は、排出側可撓部４２の排出側内面４２ａに接触可能に配設されている。排出側弁体４６は、排出側内面４２ａの変位に応じて排出側内面４２ａに接触して移動する。排出側弁体４６は、排出側液室４３の容積を小さくする方向へ変位する場合に開弁して、排出側液室４３と第１排出側連通室４４とを連通させる。排出側弁体４６は、排出側可撓部４２が排出側液室４３の容積を大きくする方向へ変位する場合に閉弁して、排出側液室４３と第１排出側連通室４４とを遮断する。

排出側付勢部材４７は、排出側弁体４６を閉弁させる方向に付勢する。排出側弁体４６は、排出側液室４３内の圧力が排出側液室４３の外側の圧力及び第１の圧力より低い第２の圧力（例えば図２において、大気圧に対して−１０００Ｐａ〜−３５００Ｐａ）になった場合に開弁して、排出側液室４３と第１排出側連通室４４とを連通させる。第２の圧力は、排出側付勢部材４７の押付力、排出側可撓部４２を変位させるために必要な力、排出側弁体４６によって排出側液室４３と第１排出側連通室４４とを遮断するために必要な押付力であるシール荷重、排出側弁体４６の表面に作用する第１排出側連通室４４内の圧力、及び排出側液室４３内の圧力に応じて決まる。即ち、排出側付勢部材４７の押付力が大きいほど、閉弁状態から開弁状態になるための第２の圧力は低くなる。即ち、第２の圧力は、排出側付勢部材４７の押付力を定めることにより設定できる。

第２の圧力は、ノズル２１に形成される気液界面を維持可能な排出側液室４３内の圧力であって、且つ第１の圧力よりも低い圧力に設定される。ノズル２１にかかる圧力と排出側液室４３内の圧力との差は、鉛直方向Ｚにおけるノズル面２１ａの位置と排出側可撓部４２の中心位置との距離Ｄ２によって変化する。このため、第２の圧力は、鉛直方向Ｚにおけるノズル面２１ａの位置と排出側可撓部４２の中心位置との距離Ｄ２（例えば図２において、Ｄ１と同じ５０ｍｍ）を考慮して設定される。

本実施形態の一例において、排出側可撓部４２の中心位置は、鉛直方向Ｚにおいて、供給側可撓部３２の中心位置と一致する。即ち、本実施形態の一例において、距離Ｄ１は距離Ｄ２と一致する。

排出側圧力調整弁４１では、排出側液室４３内の圧力が第１の圧力となった場合、排出側弁体４６が開弁して第１排出側連通室４４から排出側液室４３に液体が流入する。即ち、排出側圧力調整弁４１は、排出側液室４３内の圧力をノズル２１に形成される気液界面が維持される第２の圧力に調整可能である。言い換えれば、排出側圧力調整弁４１は、各液体噴射ヘッド２０に供給される液体の圧力をノズル２１に形成される気液界面が維持される圧力に調整する。

本実施形態の一例において、排出側可撓部４２は、供給側可撓部３２よりも面積が大きい。このため、排出側可撓部４２により変化させることが可能な排出側液室４３の容積は、供給側可撓部３２により変化させることが可能な供給側液室３３の容積よりも大きい。

次に、液体が各供給側圧力調整弁３１から各液体噴射ヘッド２０へ供給され、各液体供給ヘッドから排出側圧力調整弁４１へ排出される際の流路抵抗について説明する。以下の説明では、供給側圧力調整弁３１から各液体噴射ヘッド２０を介して排出側圧力調整弁４１へ液体が流れるときの方向を流路方向と示す。

図４に示すように、ノズル２１から排出側液室４３までの間の第２流路Ｒ２は、各供給側圧力調整弁３１の供給側液室３３から各液体噴射ヘッド２０のノズル２１までの間の第１流路Ｒ１と比較して流路抵抗が小さい。なお、流路抵抗は、流路方向に直交する平面で切ったときの流路の断面積を大きくした場合に小さくなる一方で、流路方向に直交する平面で切ったときの流路の断面積を小さくした場合に大きくなる。また、流路抵抗は、流路方向における流路の長さを短くした場合に小さくなる一方で、流路方向における流路の長さを長くした場合に大きくなる。

ここで、液体噴射ヘッド２０のノズル２１から液体を噴射していないときに循環動作を行う場合に第１流路Ｒ１および第２流路Ｒ２を流れる液体の流量をＱｍ（ｍ^３／ｓ）、第１の圧力をＰ１（Ｐａ）、第２の圧力をＰ２（Ｐａ）、ノズル２１における圧力をＰｎ（Ｐａ）、第１流路Ｒ１の流路抵抗をＲｕ（Ｐａ・ｓ／ｍ^３）、第２流路Ｒ２の流路抵抗をＲｄ（Ｐａ・ｓ／ｍ^３）とすると、
Ｐ１−Ｐ２＝（Ｒｕ＋Ｒｄ）＊Ｑｍ
Ｐｎ−Ｐ２＝Ｒｄ＊Ｑｍ→Ｐｎ＝Ｐ２＋Ｒｄ＊Ｑｍ
また、液体噴射ヘッド２０のノズル２１から液体を噴射しているときに循環動作を行う場合に第２流路Ｒ２を流れる液体の流量をＱｊ（ｍ^３／ｓ）、ノズル２１から噴射される液体の流量をＵ（ｍ^３／ｓ）とすると、
Ｐ１−Ｐ２＝Ｒｕ＊（Ｕ＋Ｑｊ）＋Ｒｄ＊Ｑｊ
Ｐｎ−Ｐ２＝Ｒｄ＊Ｑｊ→Ｐｎ＝Ｐ２＋Ｒｄ＊Ｑｊ
となり、いずれの場合もノズル２１における液体の圧力を精度よく維持するためには、ノズルにおける液体の圧力Ｐｎと第２の圧力Ｐ２との差が小さい方が良いため、第２流路Ｒ２の流路抵抗をＲｄは小さく設定することが好ましい。

本実施形態の一例では、第１流路Ｒ１のうち液体供給路３０を流路方向に直交する平面で切ったときの断面積が、第２流路Ｒ２のうち液体排出路４０を流路方向に直交する平面で切ったときの断面積よりも小さい。このため、各液体噴射ヘッド２０から排出側圧力調整弁４１までの間の液体排出路４０の流路抵抗は、供給側圧力調整弁３１から各液体噴射ヘッド２０までの間の液体供給路３０の流路抵抗よりも小さくなる。

また、本実施形態の一例では、第２流路Ｒ２のうち第２共通液室２７における流路方向に直交する平面で切ったときの断面積が、第１流路Ｒ１のうち第１共通液室２２における流路方向に直交する平面で切ったときの断面積よりも大きい。このため、第２共通液室２７における第２連通路２７ｂから液体流出口２７ａまでの間の流路抵抗は、第１共通液室２２における液体流入口２２ａから第１連通路２２ｂまでの間の流路抵抗よりも小さくなる。

一方で、本実施形態の一例では、第２流路Ｒ２のうち第２連通路２７ｂの流路方向における流路の長さが、第１流路Ｒ１のうち第１連通路２２ｂの流路方向における流路の長さよりも長い。このため、第２連通路２７ｂの流路抵抗は、第１連通路２２ｂの流路抵抗よりも大きくなる。

本実施形態の一例において、第１連通路２２ｂ及び第２連通路２７ｂは、第２流路Ｒ２における流路抵抗が第１流路Ｒ１における流路抵抗よりも小さくなる範囲で、第１連通路２２ｂの流路抵抗が第２連通路２７ｂの流路抵抗よりも小さくなるように構成されている。なお、このように構成するには、第１流路Ｒ１及び第２流路Ｒ２について、第１流路Ｒ１のうち液体供給路３０及び第１共通液室２２における流路抵抗と、第２流路Ｒ２のうち液体排出路４０及び第２共通液室２７における流路抵抗と、の差が、第１連通路２２ｂにおける流路抵抗と、第２連通路２７ｂと、の差よりも大きくなるように構成すればよい。

次に、液体噴射装置１１ａをメンテナンスするメンテナンス動作及び制御部２００が実行する各種処理について説明する。
液体噴射装置１１ａは、メンテナンス動作として、液体噴射装置１１ａ内の液体を循環させる循環動作を実行可能である。液体噴射装置１１ａにおいて、液体の流れが停滞すると、液体が増粘しやすくなったり、気泡が溜まりやすくなったりする。この場合、ノズル２１及び噴射液室２３の状態が正常ではなくなるため、ノズル２１による液体の吐出不良が生じやすくなる。そのため、液体噴射装置１１ａは、液体噴射装置１１ａ内の液体を循環させる循環動作を実行するように構成される。以下、循環動作を行うための循環処理について説明する。

図６に示すように、制御部２００は、ステップＳ１１として、第１開閉弁５１を開弁して、流動ポンプ５２と排出側液室４３とを連通させる。続いて、制御部２００は、ステップＳ１２として、流動ポンプ５２を駆動して、排出側液室４３内の液体を帰還流路５０側に排出させる。即ち、制御部２００は、ステップＳ１２として、排出側液室４３の減圧を開始する。これにより、制御部２００は、液体噴射装置１１ａ内の液体を循環させる。液体噴射装置１１ａ内の液体が循環するときの液体の流れについて、詳しくは後述する。

続いて、制御部２００は、ステップＳ１３として、流動ポンプ５２の駆動を停止する。即ち、制御部２００は、ステップＳ１３として、排出側液室４３の減圧を停止する。その後、制御部２００は、ステップＳ１４として、第１開閉弁５１を閉弁して、循環処理を終了する。

ここで、循環動作における液体の流れについて説明する。
図２に示すように、排出側液室４３内の圧力が第２の圧力よりも高い場合には、排出側弁体４６が開弁せず、排出側液室４３と第１排出側連通室４４とが遮断される。したがって、排出側液室４３を減圧した場合、排出側液室４３には、液体排出路４０を介して各液体噴射ヘッド２０の第２共通液室２７から液体が流入する。各液体噴射ヘッド２０において、第２共通液室２７から排出側液室４３に液体が流入すると、第２共通液室２７内の圧力が低下するため、第２連通路２７ｂを介して噴射液室２３から第２共通液室２７に液体が流入する。各液体噴射ヘッド２０において、噴射液室２３から第２共通液室２７に液体が流入すると、噴射液室２３内の圧力が低下する。本実施形態の一例において、第２の圧力は、ノズル２１の気液界面にメニスカスを維持可能な圧力に設定される。このため、排出側液室４３内の圧力が第２の圧力よりも高い場合、各液体噴射ヘッド２０の噴射液室２３内の圧力が低下したときには、ノズル２１の気液界面にメニスカスが維持されたまま、第１共通液室２２から噴射液室２３に液体が流入する。即ち、排出側液室４３内の圧力が第２の圧力よりも高い場合、各液体噴射ヘッド２０の噴射液室２３内の圧力が低下したときには、ノズル２１から大気を引き込むことなく、第１共通液室２２から液体が流入する。各液体噴射ヘッド２０において、第１共通液室２２の液体が噴射液室２３に流入すると、第１共通液室２２内の圧力が低下するため、液体供給路３０を介して各供給側圧力調整弁３１の供給側液室３３から第１共通液室２２に液体が流入する。

そして、各供給側圧力調整弁３１の供給側液室３３から各液体噴射ヘッド２０の第１共通液室２２に液体が流入したことにより供給側液室３３内の圧力が第１の圧力まで低下すると、供給側弁体３５が開弁して、供給側液室３３と供給側連通室３４とが連通される。本実施形態の一例において、各供給側圧力調整弁３１の供給側連通室３４は、加圧状態に保持される。このため、各供給側圧力調整弁３１において、供給側弁体３５が開弁して、供給側液室３３と供給側連通室３４とが連通されると、供給側連通室３４から供給側液室３３に液体が流入する。これにより、各供給側圧力調整弁３１の供給側液室３３内の圧力が上昇し、第１の圧力に調整される。

本実施形態の一例において、第１の圧力は、各液体噴射ヘッド２０のノズル２１の気液界面にメニスカスを維持可能な供給側液室３３の圧力に設定される。このため、液体噴射装置１１ａでは、各供給側圧力調整弁３１の供給側液室３３内の圧力が第１の圧力に調整されることにより、各液体噴射ヘッド２０のノズル２１の気液界面にメニスカスを維持することができる。

一方、本実施形態の一例において、第２の圧力は、各液体噴射ヘッド２０のノズル２１の気液界面にメニスカスを維持可能な排出側液室４３内の圧力であって、且つ第１の圧力よりも低い圧力に設定される。このため、循環処理において排出側液室４３内の液体を帰還流路５０側に排出させた場合、原則として、排出側液室４３の圧力が第２の圧力まで低下して排出側弁体４６が開弁するよりも前に、各供給側圧力調整弁３１の供給側液室３３の圧力が第１の圧力まで低下して供給側弁体３５が開弁する。これによれば、液体噴射装置１１ａでは、排出側液室４３内の圧力が第２の圧力となる前に、各供給側圧力調整弁３１の供給側連通室３４から供給側液室３３、液体供給路３０、及び第１共通液室２２を介して噴射液室２３に液体を供給することができる。このため、液体噴射装置１１ａでは、各液体噴射ヘッド２０の噴射液室２３内の圧力をノズル２１の気液界面にメニスカスを維持できる圧力に調整できる。

ただし、流動ポンプ５２の駆動によって排出側液室４３内から液体を帰還流路５０側に排出させるときの液体の排出量によっては、一時的に排出側液室４３内の圧力が第２の圧力となることも想定できる。一例として、排出側液室４３内から液体を帰還流路５０側に排出させるときの液体の排出量が各供給側圧力調整弁３１の供給側連通室３４から供給側液室３３への液体の供給量を上回る場合には、排出側液室４３内の圧力が第２の圧力に達することも想定できる。

この場合、排出側弁体４６が開弁して、排出側液室４３と第１排出側連通室４４とが連通される。このため、排出側液室４３には、流体導入路７０から第２排出側連通室４５に導入された流体が第１排出側連通室４４を介して流入する。これにより、排出側液室４３内の圧力が上昇し、第２の圧力に調整される。このため、液体噴射装置１１ａでは、排出側液室４３内の圧力が第２の圧力に調整されることにより、ノズル２１の気液界面にメニスカスを維持することができる。

制御部２００は、流体導入路７０から第２排出側連通室４５及び第１排出側連通室４４を介して排出側液室４３内に流体を流入させる場合、第１切替弁７１を流体導入路７０と大気連通路７２とを連通させる状態に切り替えることにより、排出側液室４３内に大気を流入させることができる。また、制御部２００は、流体導入路７０から第２排出側連通室４５及び第１排出側連通室４４を介して排出側液室４３内に流体を流入させる場合、第１切替弁７１を流体導入路７０とバイパス流路７３とを連通させる状態に切り替えることにより、排出側液室４３内に一時貯留部８０から液体を流入させることができる。

以上のようにして、循環動作では、ノズル２１の気液界面にメニスカスを維持したまま、液体噴射装置１１ａ内の液体が循環する。
また、液体噴射装置１１ａは、メンテナンス動作として、ワイパー１０３ａでノズル面２１ａを払拭するワイピングを実行するように構成してもよい。ワイピングは、ノズル面２１ａに付着する液体、塵埃などの異物を取り除くために行うことができる。制御部２００は、ワイパー１０３ａの先端がノズル面２１ａに接触した状態で移動体１０３ｂがノズル面２１ａに沿って移動することでワイピングを実行可能である。なお、ワイピングは、ワイパー１０３ａに接触した状態で各液体噴射ヘッド２０が移動することによって行うこともできる。

また、液体噴射装置１１ａは、メンテナンス動作として、各液体噴射ヘッド２０のノズル２１からキャップ１０１に向けて液体を噴射することでノズル２１内の液体を排出するフラッシングを実行するように構成してもよい。フラッシングは、印刷の合間などにノズル２１の目詰まりを予防または解消するために行うこともできるし、例えばワイピングの後などに、ノズル２１内に形成される液体のメニスカスを整えるために行うこともできる。

また、液体噴射装置１１ａは、メンテナンス動作として、ノズル２１を通じて噴射液室２３から液体を排出するクリーニング動作を実行するように構成してもよい。クリーニング動作は、フラッシングよりもノズル２１から排出される液体の量が多いことから、フラッシングよりもノズル２１の目詰まりを解消する効果が大きい動作であるといえる。

液体噴射装置１１ａは、クリーニング動作として、吸引クリーニングを実行するように構成してもよい。制御部２００は、キャッピングを行った状態で減圧ポンプ１０２ｃを駆動して閉空間の圧力を低下させてノズル２１から液体を排出させることにより、吸引クリーニングを行うことができる。

また、液体噴射装置１１ａは、クリーニング動作として、加圧クリーニングを実行するように構成してもよい。以下、加圧クリーニングを行うための加圧クリーニング処理について説明する。

図７に示すように、制御部２００は、ステップＳ２１として、各液体噴射ヘッド２０のキャッピングを解除する。なお、キャッピングを解除したとき、キャップ１０１はノズル面２１ａの開口と対面する位置に配置しておく。

次に、制御部２００は、ステップＳ２２として、第１開閉弁５１を開弁して、流動ポンプ５２と排出側液室４３とを連通させる。続いて、ステップＳ２３として、制御部２００が流動ポンプ５２を駆動して、排出側液室４３への加圧を開始する。排出側液室４３内の圧力が上昇する場合、排出側弁体４６が閉弁して排出側液室４３と第１排出側連通室４４とを遮断する。このため、排出側液室４３の圧力が上昇した場合、排出側液室４３に貯留された液体が液体排出路４０を通じて各液体噴射ヘッド２０の第２共通液室２７に加圧供給される。すると、第２共通液室２７内の液体が噴射液室２３に流入し、ノズル２１から流出して、キャップ１０１によって受容される。これにより、第２共通液室２７や噴射液室２３にあった気泡や、溶媒成分の蒸発によって増粘した液体など、噴射不良の要因となる異物が液体とともにノズル２１を通じて排出される。

異物の排出に十分な量の液体がノズル２１から排出されると、制御部２００は、ステップＳ２４として、流動ポンプ５２の駆動を停止して、排出側液室４３への加圧を停止する。また、制御部２００は、ステップＳ２５として、第１開閉弁５１を閉弁して、流動ポンプ５２と排出側液室４３とを遮断する。

次に、制御部２００は、ステップＳ２６として、減圧ポンプ１０２ｃの駆動を開始させる。これにより、キャップ１０１内に溜まった液体が廃液流路１０２ｂを通じて廃液タンク１０２ａに排出される。キャップ１０１内の液体の排出が終了すると、制御部２００は、ステップＳ２７として、減圧ポンプ１０２ｃの駆動を停止させる。

その後、制御部２００は、ステップＳ２８として、移動体１０３ｂを移動させて、ワイピングを実行する。これにより、ノズル２１からの液体の排出に伴ってノズル面２１ａに付着した液滴等が除去される。

そして、制御部２００は、ステップＳ２９として、フラッシングを実行してノズル２１のメニスカスを整えるとともに、ステップＳ３０として、キャッピングを実行することで、加圧クリーニング処理を終了する。なお、加圧クリーニングの実行後、すぐに印刷を行う場合などには、ステップＳ３０のキャッピングは行わなくてもよい。

次に、本実施形態の液体噴射装置１１ａの作用について説明する。
液体噴射装置１１ａ内の液体を循環させる循環動作を行う場合、排出側圧力調整弁４１は、排出側液室４３内の圧力が第２の圧力になったときには、排出側可撓部４２が撓むことにより排出側弁体４６が開弁して流体導入路７０から排出側液室４３に流体を流入させる。このため、排出側圧力調整弁４１では、循環動作において液体を帰還流路５０側に排出する場合であっても、排出側液室４３内の圧力がノズル２１の気液界面にメニスカスを形成可能な第２の圧力に調整される。

また、循環動作を行う場合、供給側圧力調整弁３１は、供給側液室３３内の圧力が第１の圧力になったときには、供給側可撓部３２が撓むことにより供給側弁体３５が開弁して供給側連通室３４から供給側液室３３に液体を流入させる。このため、供給側圧力調整弁３１では、循環動作において液体を帰還流路５０側に排出する場合であっても、供給側液室３３内の圧力がノズル２１の気液界面にメニスカスを形成可能な第１の圧力に調整される。

液体排出路４０は、流体導入路７０から流入した流体が排出側液室４３に流入する第１連通孔４３ａよりも鉛直方向Ｚにおける下方に位置する第２連通孔４３ｂにおいて排出側液室４３と接続する。このため、液体噴射装置１１ａは、流体導入路７０から流入した流体が第２連通孔４３ｂ側に流れることを抑制できる。

帰還流路５０は、流体導入路７０から流入した流体が排出側液室４３に流入する第１連通孔４３ａよりも鉛直方向Ｚにおける上方に位置する第３連通孔４３ｃにおいて排出側液室４３と接続する。このため、液体噴射装置１１ａは、流体導入路７０から流入した流体を第３連通孔４３ｃ側に案内できる。

流体導入路７０は、液体供給路３０のうち供給側液室３３よりも上流側となる上流側液体供給路３０ａと接続するバイパス流路７３と連通可能である。このため、液体噴射装置１１ａでは、液体供給路３０から各液体噴射ヘッド２０に供給される液体と同じ液体を流体導入路７０から排出側液室４３に流入させることができる。

流体導入路７０は、大気連通路７２と接続可能である。このため、液体噴射装置１１ａでは、大気を流体導入路７０から排出側液室４３に流入させることができる。
循環動作時における排出側液室４３内の圧力とノズル２１にかかる圧力との差は、排出側液室４３からノズル２１までの流路抵抗が大きくなるほど大きくなる。本実施形態の一例において、ノズル２１から排出側液室４３までの間の第２流路Ｒ２の流路抵抗は、供給側液室３３からノズル２１までの間の第１流路Ｒ１の流路抵抗よりも小さい。このため、排出側液室４３内の圧力とノズル２１にかかる圧力との差を小さくすることができる。

第２連通路２７ｂの流路抵抗は、第１連通路２２ｂの流路抵抗よりも大きい。このため、ノズル２１から液体を吐出させた場合に、第１共通液室２２から噴射液室２３へ液体を流入させやすくし、第２共通液室２７から噴射液室２３に液体が流入することを抑制できる。

排出側圧力調整弁４１は、排出側液室４３から帰還流路５０側に液体が排出される場合に、排出側可撓部４２が撓むことにより排出側液室４３の容積が小さくなる。このため、排出側圧力調整弁４１は、排出側液室４３から帰還流路５０側に液体が排出される場合に、液体排出路４０を介して排出側液室４３と接続する各液体噴射ヘッド２０の第２共通液室２７から引き込む液体の量を低減することができる。即ち、排出側圧力調整弁４１は、排出側液室４３から帰還流路５０側に液体が排出されるときに各液体噴射ヘッド２０の内部に生じる圧力の変動を低減する。さらに、排出側可撓部４２が変化可能な排出側液室４３の容積は、供給側可撓部３２が変化可能な供給側液室３３の容積よりも大きい。このため、排出側圧力調整弁４１は、排出側液室４３から帰還流路５０側に排出される液体の量が多い場合であっても、好適に圧力の変動を低減できる。

各液体噴射ヘッド２０、各供給側圧力調整弁３１、及び排出側圧力調整弁４１は、互いに相対的に移動しない状態でヘッドホルダー９０に保持されている。このため、ノズル面２１ａと各供給側圧力調整弁３１との鉛直方向Ｚにおける距離は、ヘッドホルダー９０が鉛直方向Ｚに沿って変位した場合であっても変化しない。したがって、本実施形態の一例では、ノズル面２１ａと各供給側圧力調整弁３１との鉛直方向Ｚにおける距離が変化することにより、ノズル２１にかかる圧力が変化することを抑制できる。

また、ノズル面２１ａと排出側圧力調整弁４１との鉛直方向Ｚにおける距離は、ヘッドホルダー９０が鉛直方向Ｚに沿って変位した場合であっても変化しない。したがって、本実施形態の一例では、ノズル面２１ａと排出側圧力調整弁４１との鉛直方向Ｚにおける距離が変化することにより、ノズル２１にかかる圧力が変化することを抑制できる。

本実施形態の効果について説明する。
（１）液体噴射装置１１ａは、各液体噴射ヘッド２０から液体を排出する液体排出路４０に排出側圧力調整弁４１を有する。このため、液体噴射装置１１ａは、液体を循環させる循環動作において流動ポンプ５２を駆動させることにより液体流出口２７ａから液体を排出するに際して、ノズル２１における圧力変動を低減できる。したがって、液体噴射装置１１ａは、循環動作を行う際の圧力制御が複雑になることを抑制できる。

（２）液体噴射装置１１ａは、供給側圧力調整弁３１により供給側液室３３の圧力を調整できる。このため、液体噴射装置１１ａは、例えばポンプ及びセンサーを使用して供給側液室３３の圧力を調整する場合と比較して、供給側液室３３の圧力制御を容易にできる。

（３）液体噴射装置１１ａは、供給側可撓部３２が撓むことにより供給側液室３３内の圧力変動を低減できるため、供給側液室３３の圧力制御を容易にできる。
（４）液体噴射装置１１ａは、排出側可撓部４２が撓むことにより排出側液室４３内の圧力変動を低減できるため、排出側液室４３の圧力制御を容易にできる。

（５）液体噴射装置１１ａは、流体導入路７０から排出側液室４３に流入した流体が液体排出路４０側に流入することを抑制できる。
（６）液体噴射装置１１ａは、流体導入路７０から排出側液室４３に流入した流体を、帰還流路５０を介して排出側液室４３から効率よく排出できる。

（７）液体噴射装置１１ａは、排出側液室４３が第２の圧力となった場合、各液体噴射ヘッド２０に供給される液体と同じ液体を排出側液室４３に導入することにより排出側液室４３の圧力を維持することができる。

（８）液体噴射装置１１ａは、第１切替弁７１を流体導入路７０と大気連通路７２とを連通させる状態に切り替えた状態で排出側液室４３内が第２の圧力より低くなるように流動ポンプ５２を駆動することによって、帰還流路５０を介して排出側圧力調整弁４１及び帰還流路５０内の液体を排出することができる。

（９）液体噴射装置１１ａは、第１切替弁７１を流体導入路７０と大気連通路７２とを連通させる状態に切り替えた状態で排出側液室４３内が第２の圧力より低くなるように流動ポンプ５２を駆動することによって、排出側液室４３内に大気を導入することができる。このため、液体の一例として、液体中の酸素の量が少なくなると凝固するインクを用いる場合に、液体の凝固を抑制できる。

（１０）液体噴射装置１１ａは、脱気部６０を備えるため、排出側液室４３に大気を導入した場合であっても、液体が大気を含んだまま各液体噴射ヘッド２０に供給されることを抑制できる。

（１１）液体噴射装置１１ａは、ノズル２１から排出側液室４３までの間の第２流路Ｒ２の流路抵抗は、供給側液室３３からノズル２１までの間の第１流路Ｒ１の流路抵抗よりも小さい。このため、排出側液室４３内の圧力とノズル２１にかかる圧力との差を小さくすることができる。したがって、排出側液室４３内の圧力を調整することにより、ノズル２１にかかる圧力を精度よく調整できる。

（１２）液体噴射装置１１ａは、ノズル２１から液体を吐出させた場合に、第１共通液室２２から噴射液室２３へ液体を流入させやすくし、第２共通液室２７から噴射液室２３に液体が流入することを抑制できる。このため、ノズル２１から液体を吐出させた場合に、液体供給路３０側から噴射液室２３へ液体を流入させることができる。

（１３）排出側圧力調整弁４１は、循環動作において排出側液室４３から帰還流路５０側に液体が排出される場合に、各液体噴射ヘッド２０の内部に生じる圧力の変動を低減する。このため、液体噴射装置１１ａは、循環動作時においてノズル２１にかかる圧力の変動を低減できる。

（１４）排出側可撓部４２が変化可能な排出側液室４３の容積は、供給側可撓部３２が変化可能な供給側液室３３の容積よりも大きい。このため、排出側圧力調整弁４１は、排出側液室４３から帰還流路５０側に排出される液体の量が多い場合であっても、排出側可撓部４２の変位によって排出側液室４３の容積を小さくすることにより、排出側液室４３内の圧力の変動を好適に低減できる。このため、液体噴射装置１１ａは、ノズル２１にかかる圧力の変動を好適に低減できる。

（１５）各液体噴射ヘッド２０及び各供給側圧力調整弁３１は、互いに相対的に移動しない状態でヘッドホルダー９０に保持されている。このため、液体噴射装置１１ａは、ヘッドホルダー９０が変位する場合に、ノズル面２１ａと各供給側圧力調整弁３１との鉛直方向Ｚにおける距離が変化することにより、ノズル２１にかかる圧力が変化することを抑制できる。

（１６）各液体噴射ヘッド２０及び排出側圧力調整弁４１は、互いに相対的に移動しない状態でヘッドホルダー９０に保持されている。このため、液体噴射装置１１ａは、ヘッドホルダー９０が変位する場合に、ノズル面２１ａと排出側圧力調整弁４１との鉛直方向Ｚにおける距離が変化することにより、ノズル２１にかかる圧力が変化することを抑制できる。

（第２実施形態）
次に、液体噴射装置及び液体噴射装置の制御方法の第２実施形態について図を参照しながら説明する。なお、この第２実施形態は、排出側圧力調整弁４１、帰還流路５０、及び流体導入路７０を備えていない一方で、液体収容部１５の一例である液体タンクを配設する位置によってノズル２１にかかる圧力を調整している点で第１実施形態の場合と異なっている。そして、その他の点では第１実施形態とほぼ同じであるため、同一の構成については同一符号を付すことによって重複した説明を省略する。

図８に示すように、液体排出路４０は、液体供給路３０における脱気部６０と供給側圧力調整弁３１との間に接続される。即ち、液体排出路４０は、液体供給路３０のうち供給側液室３３よりも上流側となる上流側液体供給路３０ａと接続される。

液体噴射装置１１ａは、液体排出路４０と液体供給路３０との接続部分に、脱気部６０から各液体噴射ヘッド２０の第１共通液室２２に向かう液体の流路を上流側液体供給路３０ａと液体排出路４０との間で切り替え可能な第３切替弁１１０を備えるのが好ましい。第３切替弁１１０は、一例として、液体排出路４０と、上流側液体供給路３０ａにおける液体排出路４０との接続部分より上流側と、上流側液体供給路３０ａにおける液体排出路４０との接続部分より下流側と、の３つの流路を個別に閉塞可能な３つの弁体を備える三方向弁とすることができる。

液体排出路４０は、各液体噴射ヘッド２０と第３切替弁１１０との間で分岐し、液体貯留部の一例である液体収容部１５と接続されている。即ち、液体排出路４０は、分岐する分岐部４０ａを有する。液体噴射装置１１ａは、液体排出路４０のうち各液体噴射ヘッド２０と液体収容部１５との間に設けられた貯留部圧力調整機構の一例としての第３開閉弁１２０を有する。第３開閉弁１２０は、閉弁状態となることで、分岐部４０ａよりも液体収容部１５側で液体排出路４０を閉塞する。言い換えれば、第３開閉弁１２０は、開弁状態となることで、液体排出路４０を介して液体収容部１５と各液体噴射ヘッド２０とを連通させる。即ち、第３開閉弁１２０は、開弁状態となることで、液体排出路４０を介して液体収容部１５内の圧力をノズル２１に作用させる。なお、本実施形態の一例において、液体収容部１５内の圧力は、液体収容部１５内に収容される液体の液面にかかる圧力により定められる。液体収容部１５内の圧力は、液体収容部１５内の任意の位置にかかる圧力により定められてもよい。

液体噴射装置１１ａは、液体排出路４０のうち分岐部４０ａと第３開閉弁１２０との間に、液体排出路４０内の圧力の変動を低減する圧力ダンパー１２１を備える。即ち、液体噴射装置１１ａは、液体排出路４０のうち各液体噴射ヘッド２０と第３開閉弁１２０との間に、圧力ダンパー１２１を備える。圧力ダンパー１２１は、一例として、壁部を構成する圧力調整用可撓部１２２が撓むことで容積が変更される圧力調整室１２３を備える。圧力ダンパー１２１は、液体排出路４０内の液体の量が増加したときには圧力調整室１２３の容積を大きくするように圧力調整用可撓部１２２が撓む一方で、液体排出路４０内の液体の量が減少したときには圧力調整室１２３の容積を小さくするように圧力調整用可撓部１２２が撓む。これにより、液体噴射装置１１ａは、液体排出路４０内の圧力の変動を低減できる。液体噴射装置１１ａは、液体排出路４０のうち第３開閉弁１２０と液体収容部１５との間に、液体を流動させる排出流動ポンプ１２４を備える。

液体噴射装置１１ａは、液体収容部１５を保持する保持部１５ａを備える。液体収容部１５は、鉛直方向Ｚにおける液体収容部１５内の液面の位置が第１の位置Ｈ１から第２の位置Ｈ２の範囲内となるように保持部１５ａによって保持される。第１の位置Ｈ１は、液体収容部１５が収容可能な最大の量の液体を収容しているときの液面の位置である。第２の位置Ｈ２は、液体収容部１５から液体供給路３０に液体を供給可能な最小の量の液体を収容しているときの液面の位置である。

本実施形態の一例において、第１の位置Ｈ１及び第２の位置Ｈ２は、図８のように液体収容部１５内が大気開放されている場合に液体収容部１５内の液体の持つ位置エネルギーとしての圧力が、第１の圧力より低く、且つノズル２１に形成される気液界面が維持される圧力となるときの液体収容部１５内の液面の位置である。即ち、本実施形態の一例において、液体収容部１５内の圧力は、液体収容部１５が保持部１５ａによって保持されることにより、第１の圧力より低く、且つノズル２１に形成される気液界面が維持される第２の圧力に調整される。即ち、保持部１５ａは、液体排出路４０を介してノズル２１に作用する液体収容部１５内の圧力が第２の圧力となる位置に液体収容部１５を保持する。

このとき、ノズル２１にかかる圧力と、液体収容部１５内の圧力との差は、鉛直方向Ｚにおけるノズル面２１ａの位置と液体収容部１５における液面の位置との距離によって変化する。このため、液体収容部１５における液面の位置が第１の位置Ｈ１であるときにノズル２１にかかる圧力は、鉛直方向Ｚにおけるノズル面２１ａの位置と第１の位置Ｈ１との距離Ｄ３によって変化する。また、液体収容部１５における液面の位置が第２の位置Ｈ２であるときにノズル２１にかかる圧力は、鉛直方向Ｚにおけるノズル面２１ａの位置と第２の位置Ｈ２との距離Ｄ４によって変化する。

本実施形態において、制御部２００は、第３開閉弁１２０及び排出流動ポンプ１２４を制御する。
次に、制御部２００による液体噴射装置１１ａの制御方法について説明する。

制御部２００は、第３開閉弁１２０を開弁することで、液体収容部１５内の圧力をノズル２１に作用させる。ここで、液体収容部１５内の圧力は、第１の圧力より低く、且つノズル２１に形成される気液界面が維持される第２の圧力に調整されている。このため、制御部２００は、第１の圧力より低く、且つノズル２１に形成される気液界面が維持される第２の圧力に調整された液体収容部１５内の圧力をノズル２１に作用させて、各液体噴射ヘッド２０内の液体を液体排出路４０側に排出させる。

次に、本実施形態における循環動作について説明する。
制御部２００は、加圧ポンプ８１及び吐出ポンプ８８を駆動して液体収容部１５内の液体を液体供給路３０側に供給する。即ち、加圧ポンプ８１及び吐出ポンプ８８は、液体収容部１５が貯留する液体を、液体供給路３０を介して各供給側圧力調整弁３１に向けて流動させる。本実施形態において、加圧ポンプ８１及び吐出ポンプ８８は、液体流動機構の一例である。

続いて、制御部２００は、各液体噴射ヘッド２０内の液体を液体排出路４０側に排出させる場合に、第３開閉弁１２０を開弁して、液体排出路４０を介して液体収容部１５と各液体噴射ヘッド２０とを連通させる。これによれば、各液体噴射ヘッド２０のノズル２１には、液体収容部１５内の圧力が作用する。このため、各液体噴射ヘッド２０内の液体をより圧力の低い液体収容部１５側に排出させることができる。即ち、制御部２００は、第３開閉弁１２０を制御して、液体収容部１５内の圧力を、液体排出路４０を介してノズル２１に作用させることで、各液体噴射ヘッド２０内の液体を液体排出路４０側に排出させる。

このとき、液体収容部１５内の圧力は、ノズル２１に形成される気液界面が維持される第２の圧力に調整されている。このため、液体噴射装置１１ａでは、液体噴射装置１１ａ内の液体を循環させるにあたって、ノズル２１の気液界面にメニスカスを維持できる。

その後、制御部２００は、第３開閉弁１２０を閉弁して、液体収容部１５と各液体噴射ヘッド２０とを遮断する。以上により、液体噴射装置１１ａは、液体噴射装置１１ａ内の液体を循環させることができる。

次に、本実施形態の液体噴射装置１１ａの作用について説明する。
保持部１５ａは、液体収容部１５を所定の位置に保持することにより、液体収容部１５内の圧力をノズル２１の気液界面にメニスカスを維持できる圧力に調整する。そして、制御部２００は、液体噴射装置１１ａ内の液体を循環させる循環動作を行う場合、第３開閉弁１２０を開弁することで、液体収容部１５内の圧力をノズル２１に作用させる。即ち、循環動作においてノズル２１にかかる圧力は、ノズル２１の気液界面にメニスカスを維持できる圧力に調整される。

本実施形態の効果について説明する。
（１７）液体噴射装置１１ａは、各液体噴射ヘッド２０に液体を供給する液体供給路３０側に供給側圧力調整弁３１を有するため、液体排出路４０に接続される液体収容部１５内の圧力を調整することでノズル２１における圧力を調整できる。したがって、液体噴射装置１１ａは、液体を循環させる循環動作を行う際の圧力制御が複雑になることを抑制できる。

（１８）液体噴射装置１１ａは、第３開閉弁１２０を開閉することで各液体噴射ヘッド２０内の液体を液体排出路４０側に排出させる循環動作を容易に行うことができる。
（１９）液体噴射装置１１ａは、液体排出路４０のうち各液体噴射ヘッド２０と第３開閉弁１２０との間に圧力ダンパー１２１を備えているため、第３開閉弁１２０を開閉する際の圧力変動が各液体噴射ヘッド２０に作用することを低減することができる。

（２０）液体噴射装置１１ａは、加圧状態の液体供給路３０と供給側圧力調整弁３１によって液体供給路３０側の圧力を第１の圧力に調整し、液体収容部１５の位置によって液体排出路４０側の圧力を第２の圧力に調整することができる。

（２１）制御部２００による制御方法によれば、第１の圧力より低く、かつノズル２１に形成される気液界面が壊れない第２の圧力に調整された液体収容部１５内の圧力を、液体排出路４０を介してノズル２１に作用させて、各液体噴射ヘッド２０内の液体を液体排出路４０側に排出させることができる。このため、液体を循環させる循環動作を行う際の圧力制御が複雑になることを抑制できる。

（２２）制御部２００による制御方法によれば、第３開閉弁１２０を開弁することで、第１の圧力より低く、かつノズル２１に形成される気液界面が壊れない第２の圧力に調整された液体収容部１５内の圧力を、液体排出路４０を介してノズル２１に作用させる。このため、液体を循環させる循環動作を行う際の圧力制御が複雑になることを抑制できる。

（第３実施形態）
次に、液体噴射装置の第３実施形態について図を参照しながら説明する。なお、この第３実施形態は、排出側圧力調整弁４１がヘッドホルダー９０により保持されていない点、及びバイパス流路７３を備えていない点で第１実施形態の場合と異なっている。そして、その他の点では第１実施形態とほぼ同じであるため、同一の構成については同一符号を付すことによって重複した説明を省略する。

図９及び図１０に示すように、排出側圧力調整弁４１は、排出側液室４３の圧力の中心位置が、鉛直方向Ｚにおいてノズル面２１ａよりも距離Ｄ５だけ下方となる位置に設けられている。また、排出側圧力調整弁４１は、排出側液室４３の圧力の中心位置が、鉛直方向Ｚにおいて供給側液室３３の圧力の中心位置よりも距離Ｄ６だけ下方となる位置に設けられている。そして、排出側圧力調整弁４１は、ヘッドホルダー９０外に設けられている。即ち、排出側圧力調整弁４１は、ヘッドホルダー９０が鉛直方向Ｚに沿って変位した場合であっても排出側液室４３の鉛直方向Ｚにおける位置が変化しないように構成されている。

流体導入路７０は、大気連通路７２と接続されている。また、液体噴射装置１１ａは、閉弁状態となることで流体導入路７０と大気連通路７２とを遮断させる第４開閉弁１３０を備える。第４開閉弁１３０は、ノズル面２１ａよりも鉛直方向Ｚにおける上方に設けられている。そして、大気連通路７２のうち大気中に開放される開放端７２ａは、ノズル面２１ａよりも鉛直方向Ｚにおける上方に設けられている。

次に、本実施形態の液体噴射装置１１ａの作用について説明する。
排出側液室４３の鉛直方向Ｚにおける位置は、ヘッドホルダー９０が鉛直方向Ｚに沿って変位した場合であっても変化しない。このため、排出側液室４３内の圧力は、ヘッドホルダー９０が鉛直方向Ｚに沿って変位した場合であっても変化しない。

また、第４開閉弁１３０及び大気連通路７２の開放端７２ａは、ノズル面２１ａよりも鉛直方向Ｚにおける上方に設けられている。このため、第４開閉弁１３０を開弁状態とした場合、流体導入路７０と大気連通路７２とにより形成される流路内における気液界面は、第４開閉弁１３０よりも下方に形成される。

本実施形態の効果について説明する。
（２３）排出側液室４３内の圧力は、ヘッドホルダー９０が鉛直方向Ｚに沿って変位した場合であっても変化しないため、排出側液室４３内の圧力を精度良く制御できる。

（２４）第４開閉弁１３０が開弁状態となった場合、流体導入路７０と大気連通路７２とにより形成される流路内における気液界面は、第４開閉弁１３０よりも下方に形成される。このため、大気連通路７２の開放端７２ａから液体が漏出することを抑制できる。

（第４実施形態）
次に、液体噴射装置の第４実施形態について図を参照しながら説明する。なお、この第４実施形態は、供給側圧力調整機構として、供給側圧力調整弁３１に代えて、液体を貯留可能な供給側液体貯留部１４０と、供給側液体貯留部１４０内の圧力を調整する供給側貯留部圧力調整機構１４１と、が設けられている点で第１実施形態の場合と異なっている。そして、その他の点では第１実施形態とほぼ同じであるため、同一の構成については同一符号を付すことによって重複した説明を省略する。

図１１に示すように、供給側液体貯留部１４０は、液体供給路３０において一時貯留部８０と各液体噴射ヘッド２０との間に設けられている。そして、供給側液体貯留部１４０は、液体供給路３０を介して一時貯留部８０と連通しているとともに、各液体噴射ヘッド２０と連通している。

供給側貯留部圧力調整機構１４１は、供給側液体貯留部１４０内の気体の量を調整することにより供給側液体貯留部１４０内の圧力を調整可能である。なお、本実施形態の一例において、供給側液体貯留部１４０内の圧力は、供給側液体貯留部１４０内の所定の位置における気体の圧力により定められる。供給側液体貯留部１４０内の圧力は、供給側液体貯留部１４０内の任意の位置にかかる圧力により定められてもよい。一例として、供給側液体貯留部１４０内の圧力は、供給側液体貯留部１４０内に収容される液体の液面にかかる圧力により定められてもよいし、供給側液体貯留部１４０の底面にかかる圧力により定められてもよい。

本実施形態の一例では、供給側貯留部圧力調整機構１４１は、一端が供給側液体貯留部１４０に接続され他端が大気中に開放される大気開放路１４１ａと、供給側液体貯留部１４０内の圧力を計測する圧力計１４１ｂと、供給側液体貯留部１４０内の気体を排出可能に駆動する気体排出ポンプ１４１ｃと、を備える。また、供給側貯留部圧力調整機構１４１は、閉弁状態となることにより大気開放路１４１ａを閉塞させる大気開放弁１４１ｄを備える。なお、圧力計１４１ｂは大気圧との差圧を計測する相対圧力計が好ましい。

そして、制御部２００は、圧力計１４１ｂにより計測された供給側液体貯留部１４０内の圧力が第１の圧力よりも高い場合には、大気開放弁１４１ｄを開放するとともに気体排出ポンプ１４１ｃを駆動して供給側液体貯留部１４０内の気体を排出して供給側液体貯留部１４０内を減圧するように制御する。

次に、本実施形態の液体噴射装置１１ａの作用について説明する。
供給側液体貯留部１４０は、液体供給路３０を介して一時貯留部８０と連通しているとともに各液体噴射ヘッド２０と連通していることにより、一時貯留部８０から供給される液体を貯留するとともに、貯留した液体を各液体噴射ヘッド２０へ供給する。また、供給側液体貯留部１４０と各液体噴射ヘッド２０とは連通していることから、各液体噴射ヘッド２０のノズル２１にかかる圧力は、供給側液体貯留部１４０内の圧力に応じて変動する。

そして、制御部２００は、供給側液体貯留部１４０内の圧力が第１の圧力よりも高い場合に供給側液体貯留部１４０内を減圧して供給側液体貯留部１４０内の液体の液面に作用する気体の圧力が低くなるように制御することにより、供給側液体貯留部１４０内の圧力を第１の圧力以下に調整する。

本実施形態の効果について説明する。
（２５）液体噴射装置１１ａは、制御部２００の制御によって供給側液体貯留部１４０内の圧力を第１の圧力以下に調整できるため、ノズル２１にかかる圧力を精度良く調整できる。

（第５実施形態）
次に、液体噴射装置及び液体噴射装置の制御方法の第５実施形態について図を参照しながら説明する。なお、この第５実施形態は、液体貯留部として、液体排出路４０に設けられて液体を収容可能な副液体収容部１５０を備えている点で第２実施形態の場合と異なっている。そして、その他の点では第２実施形態とほぼ同じであるため、同一の構成については同一符号を付すことによって重複した説明を省略する。

図１２に示すように、副液体収容部１５０は、液体排出路４０において第３開閉弁１２０と液体収容部１５との間に設けられる。副液体収容部１５０は、液体排出路４０を介して各液体噴射ヘッド２０と連通しているとともに、液体排出路４０を介して液体収容部１５と連通している。また、液体噴射装置１１ａは、液体排出路４０のうち副液体収容部１５０と液体収容部１５との間に、閉弁状態となることで液体排出路４０を閉塞する第５開閉弁１５１を備える。また、液体噴射装置１１ａは、貯留部圧力調整機構の一例として、副液体収容部１５０を保持する副保持部１５２を備える。

副液体収容部１５０は、鉛直方向Ｚにおける副液体収容部１５０内の液面の位置が第３の位置Ｈ３から第４の位置Ｈ４の範囲内となるように副保持部１５２によって保持されてもよい。第３の位置Ｈ３は、副液体収容部１５０が収容可能な最大の量の液体を収容しているときの液面の位置である。第４の位置Ｈ４は、副液体収容部１５０から各液体噴射ヘッド２０及び液体収容部１５に液体を供給可能な最小の量の液体を収容しているときの液面の位置である。

本実施形態の一例において、第３の位置Ｈ３から第４の位置Ｈ４の範囲内となる副液体収容部１５０内の液面の位置は、副液体収容部１５０内が大気開放されている場合に副液体収容部１５０内の液体の持つ位置エネルギーとしての圧力が、第１の圧力より低く、且つノズル２１に形成される気液界面が維持される圧力となるときの副液体収容部１５０内の液面の位置である。即ち、本実施形態の一例において、副液体収容部１５０内の圧力は、副液体収容部１５０が副保持部１５２によって保持されることにより、第１の圧力より低く、且つノズル２１に形成される気液界面が維持される第２の圧力に調整される。即ち、副保持部１５２は、液体排出路４０を介してノズル２１に作用する副液体収容部１５０内の圧力が第２の圧力となる位置に副液体収容部１５０を保持する。なお、本実施形態の一例において、副液体収容部１５０内の圧力は、副液体収容部１５０内の所定の位置における気体の圧力により定められる。副液体収容部１５０内の圧力は、副液体収容部１５０内の任意の位置にかかる圧力により定められてもよい。一例として、副液体収容部１５０内の圧力は、副液体収容部１５０内に収容される液体の液面にかかる圧力により定められてもよいし、副液体収容部１５０の底面にかかる圧力により定められてもよい。

このとき、ノズル２１にかかる圧力と、副液体収容部１５０内の圧力との差は、鉛直方向Ｚにおけるノズル面２１ａの位置と副液体収容部１５０における液面の位置との距離によって変化する。このため、副液体収容部１５０における液面の位置が第３の位置Ｈ３であるときにノズル２１にかかる圧力は、鉛直方向Ｚにおけるノズル面２１ａの位置と第３の位置Ｈ３との距離Ｄ７によって変化する。また、液体収容部１５における液面の位置が第４の位置Ｈ４であるときにノズル２１にかかる圧力は、鉛直方向Ｚにおけるノズル面２１ａの位置と第４の位置Ｈ４との距離Ｄ８によって変化する。

また、液体噴射装置１１ａは、貯留部圧力調整機構の一例として、副液体収容部１５０内の気体の量を調整することにより副液体収容部１５０内の圧力を調整する気体量調整機構１５３を備える。

気体量調整機構１５３は、一端が副液体収容部１５０に接続され他端が大気中に開放される副大気開放路１５３ａと、副液体収容部１５０内の圧力を計測する副圧力計１５３ｂと、副液体収容部１５０内の気体の量を調整可能に駆動する気体量調整ポンプ１５３ｃと、を備える。また、気体量調整機構１５３は、閉弁状態となることにより副大気開放路１５３ａを閉塞させる副大気開放弁１５３ｄを備える。なお、副圧力計１５３ｂは大気圧との差圧を計測する相対圧力計が好ましい。

そして、制御部２００は、副圧力計１５３ｂにより計測された副液体収容部１５０内の圧力が第２の圧力ではない場合には、副大気開放弁１５３ｄを開放するとともに気体量調整ポンプ１５３ｃを駆動して副液体収容部１５０内の気体の量を調整し、副液体収容部１５０内の圧力が第２の圧力となるように制御する。

次に、本実施形態の液体噴射装置１１ａの作用について説明する。
副液体収容部１５０内の圧力は、副液体収容部１５０が副保持部１５２によって所定の位置に保持されることにより、ノズル２１の気液界面にメニスカスを維持できる第２の圧力に調整される。言い換えれば、副保持部１５２は、副液体収容部１５０を所定の位置に保持することにより、副液体収容部１５０内の圧力をノズル２１の気液界面にメニスカスを維持できる第２の圧力に調整する。そして、制御部２００は、液体噴射装置１１ａ内の液体を循環させる循環動作を行う場合、第３開閉弁１２０を開弁することで、副液体収容部１５０内の圧力をノズル２１に作用させる。即ち、循環動作においてノズル２１にかかる圧力は、ノズル２１の気液界面にメニスカスを維持できる圧力に調整される。

また、制御部２００は、副液体収容部１５０内の圧力が第２の圧力ではない場合には、気体量調整機構１５３を制御して、副液体収容部１５０内の圧力を第２の圧力に調整する。

次に、制御部２００による液体噴射装置１１ａの制御方法について説明する。
制御部２００は、各液体噴射ヘッド２０内の液体を液体排出路４０側に排出させる場合、副圧力計１５３ｂにより副液体収容部１５０内の圧力を計測するステップを実行する。続いて、制御部２００は、計測した圧力に応じて副大気開放弁１５３ｄを開弁するとともに気体量調整ポンプ１５３ｃを駆動し、副液体収容部１５０内の圧力を、第１の圧力より低く、且つノズル２１に形成される気液界面が維持される第２の圧力に調整するステップを実行する。その後、制御部２００は、第３開閉弁１２０を開弁するステップを実行する。このような制御方法により、制御部２００は、循環動作において副液体収容部１５０内の圧力をノズル２１に作用させる。即ち、制御部２００は、第１の圧力より低く、且つノズル２１に形成される気液界面が維持される第２の圧力に調整された副液体収容部１５０内の圧力をノズル２１に作用させて、各液体噴射ヘッド２０内の液体を液体排出路４０側に排出させる。

なお、循環動作において、副大気開放弁１５３ｄを開放して副液体収容部１５０内を大気開放し、第３の位置Ｈ３から第４の位置Ｈ４の範囲内に調整された副液体収容部１５０内の圧力をノズル２１に作用させて、各液体噴射ヘッド２０内の液体を液体排出路４０側に排出させる場合には、制御部２００は、貯留部圧力調整機構および各開閉弁を以下のように制御してもよい。

例えば、副液体収容部１５０内の液体の液面の位置が鉛直方向Ｚにおいて第３の位置Ｈ３より高い場合、制御部２００は、第３開閉弁１２０を閉弁状態、第５開閉弁１５１を開弁状態とした状態で、副大気開放弁１５３ｄを開弁するとともに気体量調整ポンプ１５３ｃを駆動して副液体収容部１５０内を加圧することにより、副液体収容部１５０内の液体を液体収容部１５側に排出し、副液体収容部１５０内の液体の液面の位置を第４の位置Ｈ４に調整し、気体量調整ポンプ１５３ｃの駆動を停止し、第５開閉弁１５１を閉弁状態とする。

また、例えば、副液体収容部１５０内の液体の液面の位置が鉛直方向Ｚにおいて第４の位置Ｈ４より低い場合、制御部２００は、第３開閉弁１２０を閉弁状態、第５開閉弁１５１を開弁状態とした状態で、副大気開放弁１５３ｄを開弁するとともに気体量調整ポンプ１５３ｃを駆動して副液体収容部１５０内を減圧することにより、液体収容部１５側から副液体収容部１５０内に液体を流入させ、副液体収容部１５０内の液体の液面の位置を第４の位置Ｈ４に調整し、気体量調整ポンプ１５３ｃの駆動を停止し、第５開閉弁１５１を閉弁状態とする。そして、各液体噴射ヘッド２０内の液体を液体排出路４０側に排出させて循環動作を行う場合、制御部２００は、副大気開放弁１５３ｄを開放した状態で、第３開閉弁１２０を閉弁状態とする。

本実施形態の効果について説明する。
（２６）液体噴射装置１１ａは、液体排出路４０に接続される副液体収容部１５０内の圧力を調整することでノズル２１における圧力を調整できる。したがって、液体噴射装置１１ａは、液体を循環させる循環動作を行う際の圧力制御が複雑になることを抑制できる。

（２７）液体噴射装置１１ａは、制御部２００の制御によって副液体収容部１５０内の圧力を第２の圧力に調整できるため、ノズル２１にかかる圧力を精度良く調整できる。
（２８）制御部２００による制御方法によれば、第１の圧力より低く、かつノズル２１に形成される気液界面が壊れない第２の圧力に調整された副液体収容部１５０内の圧力を、液体排出路４０を介してノズル２１に作用させて、各液体噴射ヘッド２０内の液体を液体排出路４０側に排出させることができる。このため、液体を循環させる循環動作を行う際の圧力制御が複雑になることを抑制できる。

（２９）制御部２００による制御方法によれば、第３開閉弁１２０を開弁することで、第１の圧力より低く、かつノズル２１に形成される気液界面が壊れない第２の圧力に調整された副液体収容部１５０内の圧力を、液体排出路４０を介してノズル２１に作用させる。このため、液体を循環させる循環動作を行う際の圧力制御が複雑になることを抑制できる。

本実施形態は、以下のように変更して実施することができる。本実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
・液体噴射装置１１ａ内の液体を循環させている状態で、液体噴射部１２が記録媒体としての用紙１４に対して液体を噴射して記録を行ってもよい。

・第２実施形態における各供給側圧力調整弁３１の供給側液室３３から各液体噴射ヘッド２０のノズル２１までの間の流路を第１流路、ノズル２１から液体収容部１５までの間の流路を第２流路とした場合、第１実施形態と同様に、第２流路の流路抵抗を第１流路の流路抵抗より小さくしてもよい。

・第５実施形態における各供給側圧力調整弁３１の供給側液室３３から各液体噴射ヘッド２０のノズル２１までの間の流路を第１流路、ノズル２１から副液体収容部１５０までの間の流路を第２流路とした場合、第１実施形態と同様に、第２流路の流路抵抗を第１流路の流路抵抗より小さくしてもよい。

・図２、図９、及び図１０に示すように、第１実施形態、第３実施形態、及び第４実施形態において、排出側圧力調整弁４１の姿勢は適宜変更可能である。一例として、図２に示すように、排出側圧力調整弁４１は、排出側可撓部４２が排出側液室４３の底面となる姿勢で設けられてもよい。また、図９及び図１０に示すように、排出側圧力調整弁４１は、排出側可撓部４２が排出側液室４３の側壁となる姿勢で設けられてもよい。即ち、排出側圧力調整弁４１は、排出側液室４３において、液体排出路４０と連通する第２連通孔４３ｂが第１排出側連通室４４と連通する第１連通孔４３ａよりも鉛直方向Ｚにおける下方に位置し、帰還流路５０と連通する第３連通孔４３ｃが第１連通孔４３ａよりも鉛直方向Ｚにおける上方に位置する姿勢で設けられればよい。

・第３実施形態において、流体導入路７０は、第１切替弁７１を介して大気連通路７２とバイパス流路７３とに接続されてもよい。この場合、第１切替弁７１及び大気連通路７２の開放端７２ａは、ノズル面２１ａよりも鉛直方向Ｚにおける上方に設けられるとよい。また、流体導入路７０は、バイパス流路７３と接続される一方で、大気連通路７２と接続されなくてもよい。

・第５実施形態において、制御部２００は、副圧力計１５３ｂにより計測される副液体収容部１５０内の圧力が第２の圧力となるように副大気開放弁１５３ｄの開閉および気体量調整ポンプ１５３ｃの駆動を制御しながら、副液体収容部１５０内の圧力をノズル２１に作用させて、各液体噴射ヘッド２０内の液体を液体排出路４０側に排出させてもよい。この場合、鉛直方向Ｚにおける副液体収容部１５０内の液面の位置は第３の位置Ｈ３から第４の位置Ｈ４の範囲内に調整されていなくてもよい。

・第５実施形態において、副液体収容部１５０を保持する副保持部１５２と、副液体収容部１５０内の圧力を調整する気体量調整機構１５３と、のうち何れか一方を備えることにより、副液体収容部１５０内の圧力を第２の圧力に調整してもよい。

第５実施形態において、副液体収容部１５０内の圧力を調整する気体量調整機構１５３を備えない場合、副液体収容部１５０を図８における液体収容部１５と同様に副液体収容部１５０内が大気開放された状態とし、副液体収容部１５０内の液体の液面を検出する液面検出センサーを設け、鉛直方向Ｚにおける副液体収容部１５０内の液面の位置が第３の位置Ｈ３から第４の位置Ｈ４の範囲内となるように調整してもよい。例えば、循環動作によって液体排出路４０を介して液体が副液体収容部１５０内に流入し、液面の位置が第３の位置Ｈ３になったことが検出された場合、制御部２００は、第３開閉弁１２０を閉弁状態とし、第５開閉弁１５１および第２開閉弁８９を開弁状態とした状態で、吐出ポンプを液面の位置が第４の位置Ｈ４になるまで駆動してもよい。また例えば、循環動作によって液体排出路４０を介して液体が副液体収容部１５０内に流入し、液面の位置が第３の位置Ｈ３になったことが検出された場合、制御部２００は、第３開閉弁１２０を閉弁状態とした状態で、第５開閉弁１５１を開弁状態とし、液体収容部１５が副液体収容部１５０より鉛直方向Zにおける下方に配置されていることを利用して副液体収容部１５０内の液体を液体収容部１５内に流入させ、液面の位置が第４の位置Ｈ４になったことが検出されたら第５開閉弁１５１を閉弁状態としてもよい。

・液体の脱気は、中空糸膜６１を介した減圧に限らず、超音波脱気や遠心脱気など、任意の方法を採用することができる。
・加圧クリーニング処理において、ステップＳ２１でキャッピングを解除する代わりにキャップ開放弁１０１ａを開弁するようにしてもよい。この構成によれば、キャッピングを行ったまま加圧クリーニングを実行することができるので、ノズル２１から流出する液体の飛散を抑制することができる。

・記録媒体は、用紙１４に限らず、布帛でもよいし、プラスチックフィルムでも金属フィルムでもよい。
・制御部２００は、プログラムを実行するＣＰＵによりソフトウェアで実現する構成の他、例えばＦＰＧＡ（field-programmable gate array）やＡＳＩＣ（Application Specific IC）等の電子回路（例えば半導体集積回路）によりハードウェアで実現したり、ソフトウェアとハードウェアとの協働により実現したりしてもよい。

・各液体噴射ヘッド２０が吐出する液体はインクに限らず、例えば機能材料の粒子が液体に分散又は混合されてなる液状体などでもよい。例えば、各液体噴射ヘッド２０が液晶ディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ及び面発光ディスプレイの製造などに用いられる電極材または画素材料などの材料を分散または溶解のかたちで含む液状体を吐出してもよい。

以下に、上述した実施形態及び変更例から把握される技術的思想及びその作用効果を記載する。
液体噴射装置は、液体を噴射するノズルが開口するノズル面を有する液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドの液体流入口と接続されて該液体噴射ヘッドに前記液体を供給する液体供給路と、前記液体噴射ヘッドの液体流出口と接続されて該液体噴射ヘッドから前記液体を排出する液体排出路と、前記液体供給路に設けられた供給側液室の内部の圧力を前記ノズルに形成される気液界面が維持される第１の圧力に調整可能な供給側圧力調整機構と、前記液体排出路に設けられて前記液体流出口と接続される排出側液室を有するとともに、前記排出側液室内の圧力が該排出側液室の外側の圧力及び前記第１の圧力より低く、かつ前記ノズルに形成される気液界面が維持される第２の圧力になった場合に開弁して、前記排出側液室と該排出側液室に該排出側液室外から流体を導入可能な流体導入路とを連通させる排出側弁体を有し、前記液体噴射ヘッドに供給される前記液体の圧力を前記ノズルに形成される気液界面が維持される圧力に調整する排出側圧力調整弁と、前記排出側圧力調整弁の前記排出側液室を介して前記液体噴射ヘッド内の前記液体を前記液体排出路側に排出可能に前記排出側液室と帰還流路で接続される流動機構と、を備える。

この構成によれば、液体噴射装置は、液体噴射ヘッドから液体を排出する液体排出路に排出側圧力調整弁を有する。このため、液体噴射装置は、液体を循環させる循環動作において流動機構を駆動させることにより液体流出口から液体を排出するに際して、ノズルにおける圧力変動を低減できる。したがって、液体噴射装置は、循環動作を行う際の圧力制御が複雑になることを抑制できる。

上記液体噴射装置において、前記供給側圧力調整機構は、前記供給側液室を有するとともに、前記供給側液室内の圧力が該供給側液室の外側の圧力より低い前記第１の圧力になった場合に開弁して、前記供給側液室と該供給側液室より上流側の前記液体供給路とを連通させる供給側弁体を有し、前記液体噴射ヘッドに供給される前記液体の圧力を前記ノズルに形成される気液界面が維持される圧力に調整する供給側圧力調整弁であってもよい。

この構成によれば、液体噴射装置は、供給側圧力調整弁により供給側液室の圧力を調整できる。このため、液体噴射装置は、例えばポンプ及びセンサーを使用して供給側液室の圧力を調整する場合と比較して、供給側液室の圧力制御を容易にできる。

上記液体噴射装置において、前記供給側圧力調整弁は、前記供給側液室の壁部を構成して該供給側液室内の圧力が変動すると撓む供給側可撓部と、前記供給側弁体が閉弁する方向に付勢する供給側付勢部材と、を有してもよい。

この構成によれば、液体噴射装置は、供給側可撓部が撓むことにより供給側液室内の圧力変動を低減できるため、供給側液室の圧力制御を容易にできる。
上記液体噴射装置において、前記排出側圧力調整弁は、前記排出側液室の壁部を構成して該排出側液室内の圧力が変動すると撓む排出側可撓部と、前記排出側弁体が閉弁する方向に付勢する排出側付勢部材と、を有してもよい。

この構成によれば、液体噴射装置は、排出側可撓部が撓むことにより排出側液室内の圧力変動を低減できるため、排出側液室の圧力制御を容易にできる。
上記液体噴射装置において、前記液体流出口と前記排出側圧力調整弁の前記排出側液室とを接続する前記液体排出路は、前記流体導入路から流入した流体が前記排出側液室に流入する位置より下方となる位置で前記排出側液室に開口してもよい。

この構成によれば、液体噴射装置は、流体導入路から排出側液室に流入した流体が液体排出路側に流入することを抑制できる。
上記液体噴射装置において、前記排出側圧力調整弁の前記排出側液室と前記流動機構とを接続する前記帰還流路は、前記流体導入路から流入した流体が前記排出側液室に流入する位置より上方となる位置で前記排出側液室に開口してもよい。

この構成によれば、液体噴射装置は、流体導入路から排出側液室に流入した流体を、帰還流路を介して排出側液室から効率よく排出できる。
上記液体噴射装置において、前記流体導入路は、前記排出側圧力調整弁の前記排出側液室と前記液体供給路の前記供給側液室より上流側となる上流側液体供給路とを接続してもよい。

この構成によれば、液体噴射装置は、排出側液室が第２の圧力となった場合、液体噴射ヘッドに供給される液体と同じ液体を排出側液室に導入することにより排出側液室の圧力を維持することができる。

上記液体噴射装置において、前記流体導入路は、前記排出側圧力調整弁の前記排出側液室に気体を導入可能に構成されていてもよい。
この構成によれば、液体噴射装置は、排出側圧力調整弁及び帰還流路内の液体を排出する場合、排出側液室内が第２の圧力より低くなるように流動機構を駆動することによって、帰還流路を介して排出することができる。

１１…記録装置、１１ａ…液体噴射装置、１２…液体噴射部、１５…液体収容部、１５ａ…保持部、２０…液体噴射ヘッド、２１…ノズル、２１ａ…ノズル面、２２…第１共通液室、２２ａ…液体流入口、２２ｂ…第１連通路、２３…噴射液室、２４…振動板、２５…アクチュエーター、２６…収容室、２７…第２共通液室、２７ａ…液体流出口、２７ｂ…第２連通路、３０…液体供給路、３０ａ…上流側液体供給路、３１…供給側圧力調整弁、３２…供給側可撓部、３２ａ…供給側内面、３２ｂ…供給側外面、３３…供給側液室、３４…供給側連通室、３５…供給側弁体、３６…供給側付勢部材、４０…液体排出路、４０ａ…分岐部、４１…排出側圧力調整弁、４２…排出側可撓部、４２ａ…排出側内面、４２ｂ…排出側外面、４３…排出側液室、４３a…第１連通孔、４３ｂ…第２連通孔、４３ｃ…第３連通孔、４４…第１排出側連通室、４５…第２排出側連通室、４６…排出側弁体、４７…排出側付勢部材、５０…帰還流路、５１…第１開閉弁、５２…流動ポンプ、７０…流体導入路、７１…第１切替弁、７２…大気連通路、７２ａ…開放端、７３…バイパス流路、７４…第２切替弁、８１…加圧ポンプ、８８…吐出ポンプ、９０…ヘッドホルダー、１２０…第３開閉弁、１２１…圧力ダンパー、１２２…圧力調整用可撓部、１２３…圧力調整室、１２４…排出流動ポンプ、１３０…第４開閉弁、１４０…供給側液体貯留部、１４１…供給側貯留部圧力調整機構、１４１ａ…大気開放路、１４１ｂ…圧力計、１４１ｃ…気体排出ポンプ、１４１ｄ…大気開放弁、１５０…副液体収容部、１５１…第５開閉弁、１５２…副保持部、１５３…気体量調整機構、１５３ａ…副大気開放路、１５３ｂ…副圧力計、１５３ｃ…気体量調整ポンプ、１５３ｄ…副大気開放弁、２００…制御部。

Claims (8)

1. 液体を噴射するノズルが開口するノズル面を有する液体噴射ヘッドと、
   前記液体噴射ヘッドの液体流入口と接続されて該液体噴射ヘッドに前記液体を供給する液体供給路と、
   前記液体噴射ヘッドの液体流出口と接続されて該液体噴射ヘッドから前記液体を排出する液体排出路と、
   前記液体供給路に設けられた供給側液室の内部の圧力を前記ノズルに形成される気液界面が維持される第１の圧力に調整可能な供給側圧力調整機構と、
   前記液体排出路に設けられて前記液体流出口と接続される排出側液室を有するとともに、前記排出側液室内の圧力が該排出側液室の外側の圧力及び前記第１の圧力より低く、かつ前記ノズルに形成される気液界面が維持される第２の圧力になった場合に開弁して、前記排出側液室と該排出側液室に該排出側液室外から流体を導入可能な流体導入路とを連通させる排出側弁体を有し、前記液体噴射ヘッドに供給される前記液体の圧力を前記ノズルに形成される気液界面が維持される圧力に調整する排出側圧力調整弁と、
   前記排出側圧力調整弁の前記排出側液室を介して前記液体噴射ヘッド内の前記液体を前記液体排出路側に排出可能に前記排出側液室と帰還流路で接続される流動機構と、を備えることを特徴とする液体噴射装置。
2. 前記供給側圧力調整機構は、前記供給側液室を有するとともに、前記供給側液室内の圧力が該供給側液室の外側の圧力より低い前記第１の圧力になった場合に開弁して、前記供給側液室と該供給側液室より上流側の前記液体供給路とを連通させる供給側弁体を有し、前記液体噴射ヘッドに供給される前記液体の圧力を前記ノズルに形成される気液界面が維持される圧力に調整する供給側圧力調整弁であることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
3. 前記供給側圧力調整弁は、前記供給側液室の壁部を構成して該供給側液室内の圧力が変動すると撓む供給側可撓部と、前記供給側弁体が閉弁する方向に付勢する供給側付勢部材と、を有することを特徴とする請求項２に記載の液体噴射装置。
4. 前記排出側圧力調整弁は、前記排出側液室の壁部を構成して該排出側液室内の圧力が変動すると撓む排出側可撓部と、前記排出側弁体が閉弁する方向に付勢する排出側付勢部材と、を有することを特徴とする請求項１〜請求項３のうち何れか一項に記載の液体噴射装置。
5. 前記液体流出口と前記排出側圧力調整弁の前記排出側液室とを接続する前記液体排出路は、前記流体導入路から流入した流体が前記排出側液室に流入する位置より下方となる位置で前記排出側液室に開口することを特徴とする請求項１〜請求項４のうち何れか一項に記載の液体噴射装置。
6. 前記排出側圧力調整弁の前記排出側液室と前記流動機構とを接続する前記帰還流路は、前記流体導入路から流入した流体が前記排出側液室に流入する位置より上方となる位置で前記排出側液室に開口することを特徴とする請求項１〜請求項５のうち何れか一項に記載の液体噴射装置。
7. 前記流体導入路は、前記排出側圧力調整弁の前記排出側液室と前記液体供給路の前記供給側液室より上流側となる上流側液体供給路とを接続することを特徴とする請求項１〜請求項６のうち何れか一項に記載の液体噴射装置。
8. 前記流体導入路は、前記排出側圧力調整弁の前記排出側液室に気体を導入可能に構成されていることを特徴とする請求項１〜請求項６のうち何れか一項に記載の液体噴射装置。