JP2020113641A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】カーフに発生したチッピングを精度よく検知する。【解決手段】切削ブレード43が被加工物Wを切削加工する際に発生する弾性波をAEセンサ71によって検知し、AEセンサ71に検知された弾性波信号の時間特性データを解析手段76によってフーリエ変換して、周波数特性データを取得する。そして、切削ブレード43から発生した弾性波が含まれる周波数帯域を特定して、その周波数帯域において、弾性波のフーリエ変換後のAE値が設定した第一の閾値を超えたら、判断手段77により、チッピングが発生したと判断する。【選択図】図1
Description
本発明は、被加工物を切削加工する切削装置に関する。
チャックテーブルに保持された被加工物を切削ブレードで切削する切削装置は、切削ブレードに切削水を供給しながら、切削ブレードと被加工物とを接触させて被加工物を切削加工している。切削加工においては、切削ブレードの目詰まりや、目つぶれ、欠け等の発生により、または切削送り速度の設定間違いなどにより、切削ブレードが通常よりも大きく振動して被加工物の表面にチッピングが発生する可能性がある。
そのため、発生したチッピングを検知するために、特許文献1及び特許文献2に開示されているように、切削加工中に切削ブレードの振動をAEセンサで検知して切削ブレードの振動の大きさ(AE値)が閾値を超えた場合に被加工物にチッピングが発生していると判断する手法がある。
しかし、上に示した特許文献1及び特許文献2に示す発明による切削ブレードの振動の検知において、切削ブレード等に異常が発生していると思われるような振動が検知されたときに、カーフを電子顕微鏡等によって観察した際にチッピングが発見されない場合があった。かかる場合においては、チッピングが発生していると判断する切削ブレードの振動の大きさの閾値が過小に設定されており、本当はチッピングが発生していないにもかかわらず、チッピングが発生していると誤って検知されてしまっている。一方、チッピングが発生していると判断する切削ブレードの振動の大きさの閾値を上げると、今度は、チッピングが発生していても検知できなくなる。このように、検知した切削ブレードの振動の大きさに基づいてチッピングが発生しているかどうかを判断する過程においては、振動検知のための手段や振動の閾値の適切な選び方についての問題を抱えていた。本発明が解決すべき課題は、切削ブレードの振動を検知して、カーフに発生したチッピングをより正確に検知することにある。
本発明は、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給手段と、該切削ブレードと該保持手段とを相対的に切削送り方向に移動させる切削送り手段と、該切削手段または該保持手段に配設され切削加工により該切削ブレードから発生される弾性波を検知するAEセンサと、制御手段と、を備える切削装置であって、該制御手段は、該切削ブレードが被加工物を切削加工する際に発生した複数の周波数成分を含む弾性波を該AEセンサで検知し、該AEセンサが検知した弾性波信号をフーリエ変換して、該切削ブレードから発生されているであろう弾性波信号の周波数帯域を特定し、該特定の該周波数帯域において、該弾性波信号をフーリエ変換した値が予め設定した第一の閾値を超えたら、該切削ブレードが被加工物を切削したカーフにチッピングが発生し切削加工に異常があると判断する、切削装置である。
上記の切削装置に備える該制御手段は、該周波数帯域ごとに該弾性波信号をフーリエ変換した値の平均値を求め、所定の時間内の複数の該平均値から、特徴量を求め、該特徴量が予め設定した第二の閾値を超えたら、該切削ブレードが被加工物を切削したカーフにチッピングが発生し切削加工に異常があると判断することが望ましい。
上記の切削装置に備える該制御手段は、該特徴量が予め設定した第三の閾値を超えた回数が、予め設定した回数を超えたら、該切削ブレードが被加工物を切削したカーフにチッピングが発生し切削加工に異常があると判断することが望ましい。
切削加工に伴って切削ブレードに負荷がかかることにより発生する弾性波をAEセンサによって検知して、検知した弾性波信号をフーリエ変換し、周波数帯域ごとのフーリエ変換後のAE値が予め設定された弾性波のAE値の閾値を超えるかどうかによって、チッピングの発生を検知し切削加工に異常があると判断できるようになる。これにより、切削装置を制御して切削を中断する等の適切な処置を行い、不良チップの発生を防止することができる。
1 切削装置の構成
切削装置1は、図1に示すように、保持手段15において保持された被加工物Wの表面Waに切削手段40に備える切削ブレード43を切り込ませて、被加工物Wを切削加工する切削装置である。図1に示す切削装置1は、二つの切削手段40を備えるデュアルダイサーであるが、切削装置はこれに限定されるものではなく、一つの切削手段を備えた切削装置でもよい。半導体ウェーハ等である被加工物Wの表面Waに形成された分割予定ラインLによって区画された領域には、各々デバイスDが備えられており、分割予定ラインLに沿って切削ブレード43を切り込ませることで被加工物Wを個々のデバイスDに分割することができる。被加工物Wの裏面Wbには貼着テープTが貼着されており、被加工物Wに貼着された貼着テープTの端部が環状のフレームFに貼着されることで、被加工物WがフレームFに支持されている。切削装置1には、ベース10とベース10上における−X側に立設された門型コラム13とが備えられている。
切削装置1は、図1に示すように、保持手段15において保持された被加工物Wの表面Waに切削手段40に備える切削ブレード43を切り込ませて、被加工物Wを切削加工する切削装置である。図1に示す切削装置1は、二つの切削手段40を備えるデュアルダイサーであるが、切削装置はこれに限定されるものではなく、一つの切削手段を備えた切削装置でもよい。半導体ウェーハ等である被加工物Wの表面Waに形成された分割予定ラインLによって区画された領域には、各々デバイスDが備えられており、分割予定ラインLに沿って切削ブレード43を切り込ませることで被加工物Wを個々のデバイスDに分割することができる。被加工物Wの裏面Wbには貼着テープTが貼着されており、被加工物Wに貼着された貼着テープTの端部が環状のフレームFに貼着されることで、被加工物WがフレームFに支持されている。切削装置1には、ベース10とベース10上における−X側に立設された門型コラム13とが備えられている。
ベース10の上における中央には、円形の板状テーブルである保持手段15と、保持手段15を下から囲繞するカバー11と、カバー11に連結された蛇腹カバー12とが備えられている。保持手段15は、吸引部150と吸引部150を支持する枠体151とを備え、吸引部150の上面は被加工物Wが載置される保持面150aとなっている。保持手段15の下方には、吸引手段80が配設されており、保持面150aと吸引手段80とが接続されている。保持面150aに被加工物Wが載置された状態で、吸引手段80によって生み出される吸引力を吸引部150に伝達することで、保持面150aに被加工物Wを吸引保持することができる。
また、保持手段15に隣接された位置には、保持手段15を四方から囲むようにして四つのクランプ17が配設されており、保持面150aに環状のフレームFに支持された状態の被加工物Wを載置して、フレームFを四つのクランプ17を用いて四方から挟持することで、被加工物Wを保持手段15に固定することができる。さらに、保持手段15の下側には、有底筒状のケーシング83が接続されており、ケーシング83の内部には、保持手段15をZ軸方向の回転軸82のまわりに回転させる回転手段81が配設されている。
ベース10の内部には、被加工物Wを保持する図示しないカセットを収容するカセット収容エリア20が備えられている。カセット収容エリア20の上面は、ステージ22となっており、被加工物Wを保持したカセットが載置された状態のステージ22がカセット昇降手段21により昇降移動して、カセットの高さ位置が調整される。
ベース10の上における保持手段15を挟んでカセット昇降手段21と対向する位置には洗浄手段24が配設されている。洗浄手段24には、スピンナーテーブル25と、洗浄水ノズル26とが備えられている。図示しない昇降手段によって被加工物Wを保持したスピンナーテーブル25をベース10の内部に降下させ、図示しない回転手段によってスピンナーテーブル25を回転させながら、洗浄水ノズル26から洗浄水を噴きつけることで被加工物Wを洗浄することができる。また、被加工物Wを洗浄した後、洗浄水の噴射を停止し、引き続き被加工物Wを回転させることで、表面Waに付着している水滴が、表面Waの外側に向かって飛ばされる。これにより被加工物Wの表面Waを乾燥させることができる。
ベース10の内部には、切削送り手段18が配設されている。切削送り手段18は、X軸方向の回転軸184を有するボールネジ180と、ボールネジ180に平行に配設された一対のガイドレール181と、ボールネジ180の一端に接続されたモータ182と、内部のナット構造がボールネジ180に螺合し底部がガイドレール181に摺接する可動板183とを備える。また、可動板183は、ケーシング83を介して保持手段15を支持している。モータ182により駆動されてボールネジ180がX軸方向の回転軸184のまわりに回転すると、可動板183がガイドレール181に案内されてX軸方向である切削送り方向に移動し、これに伴いケーシング83を介して可動板183に支持された保持手段15が可動板183とともにX軸方向に移動する構成となっている。なお、保持手段15がX軸方向に移動する際には、保持手段15を囲繞するカバー11がX軸方向に保持手段15と一体的に移動し、カバー11がX軸方向に移動すると、蛇腹カバー12が伸縮することとなる。
門型コラム13の左右の側壁には、二つの切削手段40がそれぞれ配設されている。二つの切削手段40は同様に構成されており、その構成要素には同じ符号を付す。
切削手段40には、切削ブレード43と、切削ブレード43を支持するスピンドル42と、スピンドル42を収容する四角筒状のスピンドルハウジング41とが備えられている。スピンドルハウジング41には、ブレードカバー45が取り付けられている。ブレードカバー45の中央部には、切削ブレード43を取り付けるための開口部が備えられており、切削ブレード43の外周縁の上方から側方にかかる領域を覆っている。また、ブレードカバー45の下部には、被加工物Wを切削する際に切削ブレード43や、被加工物Wと切削ブレード43とが接触する部分に切削水を供給するノズルを備えた切削水供給手段46が上下動可能に取り付けられており、切削加工時には、図示しない切削水供給源から切削水供給手段46に給水がなされて、切削水供給手段46から切削ブレード43や、被加工物Wと切削ブレード43とが接触する部分に切削水を供給しながら被加工物Wを切削することとなる。
図2及び図3に示すように、スピンドルハウジング41の先端面41aには、スピンドル42の先端側をカバーするカバー部材47が取り付けられている。カバー部材47には一対のブラケット48が配設されており、スピンドル42の先端部分をカバー部材47の開口49から突出させた状態で、カバー部材47がブラケット48を介してスピンドルハウジング41にねじ止めされて、カバー部材47とスピンドル42とが連結されている。
ブレードマウント51は、円板状のフランジ部56とフランジ部56の表面56a(−Y方向側)に形成されたボス部53とを備えている。フランジ部56の背面56b(+Y方向側)には、図3に示すように、スピンドル42の先端に装着される嵌合穴52が形成されている。ボス部53には、円形凹部54が形成され、円形凹部54の底面には、嵌合穴52に連なる貫通穴55が形成されている。ブレードマウント51の貫通穴55からスピンドル42の先端面42aが露出した状態で、ブレードマウント51にスピンドル42がはめ込まれ、スピンドル42の先端面42aのネジ穴44に固定ボルト59がワッシャ58を介して締め付けられることで、スピンドル42にブレードマウント51が固定されている。
切削ブレード43は円形のハブ基台61と、ハブ基台61の外周縁に環状に配設された切り刃62とを備えるハブブレードであり、ハブ基台61の円の内側には挿入穴63が形成されている。この挿入穴63がボス部53に押し込まれて、ハブ基台61からボス部53が突出される。そして、ボス部53の突出部分に形成された雄ネジ57に固定ナット65が締め付けられてブレードマウント51に切削ブレード43が固定される。
切り刃62は、金属や樹脂等の結合材にダイヤモンドやCBN等の砥粒を混合して所定厚みに形成されている。なお、切削ブレード43は、切り刃62のみによって構成されたワッシャブレードを用いてもよい。
図3に示すように、ブレードマウント51のフランジ部56には、AEセンサ71が配設されている。AEセンサ71は圧電素子を有しており、切削加工時に切削ブレード43から発生してブレードマウント51に伝わった弾性波を、電気的な検出信号である弾性波信号に変換して出力することができる。
ブレードマウント51とカバー部材47との境界領域において、ブレードマウント51側では、AEセンサ71に第1のコイル手段73が接続されており、さらに、カバー部材47側では、第1のコイル手段73に第2のコイル手段74が接続されている。AEセンサ71により弾性波が検知されると、AEセンサから弾性波信号が第1のコイル手段73に送信され、さらに、第1のコイル手段73から磁気的な相互誘導作用によって第2のコイル手段74に伝達されることとなる。
第1のコイル手段73に磁気的に結合されている第2のコイル手段74には、制御手段75が接続されている。制御手段75には、AEセンサ71で検出された時間軸波形を周波数解析する解析手段76と、周波数解析の結果からチッピングが形成されているかどうかを判断する判断手段77とが備えられている。AEセンサ71で検出された弾性波信号が、第1のコイル手段73及び第2のコイル手段74を介して制御手段75に伝達された後、その時間軸波形が解析手段76においてフーリエ変換されて周波数軸波形に変換されることとなる。
また、制御手段75には、判断手段77によってチッピングが発生していると判断された場合にオペレータ等にその旨を報知する報知手段78が備えられている。
図1に示すように、門型コラム13には、上記の構成の二つの切削手段40をそれぞれ、Y軸方向及びZ軸方向に移動させる割り出し送り手段30及び切込み送り手段35が備えられている。
割り出し送り手段30には、Y軸方向の軸心を有するボールネジ33と、ボールネジ33をY軸に平行な回転軸330のまわりに回動させるモータ34と、ボールネジ33に平行に配設されたガイドレール31と側部のナットがボールネジ33に螺合してガイドレール31に摺接する可動板32とが備えられている。モータ34によって駆動されて、ボールネジ33が回転軸330のまわりに回転すると、これに伴い可動板32がガイドレール31に案内されてY軸方向に移動する構成となっている。
また、切込み送り手段35には、Z軸方向の軸心を有するボールネジ38と、ボールネジ38をZ軸に平行な回転軸380のまわりに回動させるモータ39と、ボールネジ38と平行に配設されたガイドレール36と、側部のナットがボールネジ38に螺合してガイドレール36に摺接する支持部材37とを備えている。モータ39により駆動されてボールネジ38が回転すると、支持部材37がガイドレール36に案内されてZ軸方向に移動する。
支持部材37の下端には、スピンドルハウジング41が連結されており、支持部材37がY軸方向及びZ軸方向に移動すると、これに伴い切削手段40が同じくY軸方向及びZ軸方向に移動する。
スピンドルハウジング41の側面にはアライメント手段9が配設されている。アライメント手段9は、被加工物Wを撮像するカメラ90を備えており、カメラ90は、例えば、被加工物Wに光を照射する光照射部と、被加工物Wからの反射光を捕らえる光学系および反射光に対応した電気信号を出力する撮像素子(CCD)とを備えている。アライメント手段9は、カメラ90によって取得した画像に基づいて、被加工物Wの切削すべき分割予定ラインLを検出することができる。アライメント手段9と切削手段40とは一体となって構成されており、両者は連動してY軸方向及びZ軸方向へと移動する。
2 切削装置の動作
2 切削装置の動作
(切削加工)
上記の切削装置1によって被加工物Wを切削加工する際の切削装置1の動作について説明する。なお、被加工物Wには貼着テープTが貼着されており、その状態で貼着テープTが環状のフレームFに把持されることで被加工物WがフレームFによって固定されている。
上記の切削装置1によって被加工物Wを切削加工する際の切削装置1の動作について説明する。なお、被加工物Wには貼着テープTが貼着されており、その状態で貼着テープTが環状のフレームFに把持されることで被加工物WがフレームFによって固定されている。
まず、カセット収容エリア20において、カセット昇降手段21によってステージ22を上昇させ、フレームFに固定された被加工物Wが載置されたカセットをベース10の上方に位置付けた後、図示しないアーム等によって環状のフレームFを把持して保持手段15の保持面150aの上に載置させ、吸引手段80によって生み出される吸引力を保持面150aに伝達させて保持面150aの上で被加工物Wを吸引保持する。そして、四つのクランプ17でフレームFを四方から挟持して固定する。
その後、切削送り手段18のモータ182の駆動力によりボールネジ180を回転軸184のまわりに回転させることで、ガイドレール181に沿って可動板183及び可動板183に支持された保持手段15を−X方向に移動させ、保持手段15に吸引保持されている被加工物Wをアライメント手段9の下方に位置付ける。被加工物Wをアライメント手段9の下方に位置付けた後、カメラ90によって被加工物Wの表面Waを撮像する。カメラ90によって撮像された被加工物Wの表面Waの画像に、アライメント手段9によるパターンマッチング等の画像処理が行われ、二つの切削ブレード43を切り込ませるべき分割予定ラインLが検出される。
アライメント手段9によって分割予定ラインLが検出されるのに伴って、切削手段40が割り出し送り手段30によってY軸方向に駆動され、切削すべき分割予定ラインLと切削ブレード43とのY軸方向における位置合わせが行われる。分割予定ラインLと切削ブレード43とのY軸方向の位置合わせにおいては、上記のパターンマッチングの結果を基に、割り出し送り手段30のモータ34によってボールネジ33を回転軸330のまわりに回転させることで、これに伴い可動板32がガイドレール31に沿ってY軸方向に移動し、可動板32に接続された支持部材37及び、支持部材37に支持された切削手段40がY軸方向に移動する。
Y軸方向の位置合わせが完了した後、切削手段40のスピンドル42を図示しないモータにより回動させ、スピンドル42に接続された切削ブレード43を回転させる。切削ブレード43が回転している状態で、切込み送り手段35のモータ39によってボールネジ38を駆動させてボールネジ38を回転軸380のまわりに回転させ、切削ブレード43をZ軸方向に降下させる。これにより、切削ブレード43が切削加工を開始するための高さ位置に位置付けられる。
上記のように、切削ブレード43を切り込ませるべき分割予定ラインLの位置に位置付け、さらに、切削加工開始のための高さ位置に位置付けた後、切削加工を開始する。その際は、被加工物Wを保持する保持手段15が所定の切削送り速度でさらに−X方向に送り出されることで、保持手段15と切削ブレード43とが相対的に所定速度で切削送り方向(X軸方向)に移動し、切削ブレード43が高速回転しながら被加工物Wの検出された分割予定ラインLに切り込み、その分割予定ラインLが切削される。
次に、隣り合う分割予定ラインLの間隔だけ切削手段40をY軸方向に割り出し送りし、同様の切削を行うことにより、切削済みの分割予定ラインLの隣の分割予定ラインLを切削する。このようにして、割り出し送りと切削とを繰り返し行うことにより、同方向の分割予定ラインLがすべて切削される。そして、回転手段81により保持手段15を90度回転させてから同様の切削を行い、すべての分割予定ラインLが縦横に切削され、被加工物Wを個々のチップに分割できる。
なお、切削加工は、下記の様な加工条件が用いられる。
切削ブレード:砥粒径 #2000〜#3000
切削ブレード幅(カーフ幅):20〜30μm
被加工物材質:シリコン
切削送り速度:50〜100mm/sec
スピンドル回転数:20000回転/分〜30000回転/分
なお、切削加工は、下記の様な加工条件が用いられる。
切削ブレード:砥粒径 #2000〜#3000
切削ブレード幅(カーフ幅):20〜30μm
被加工物材質:シリコン
切削送り速度:50〜100mm/sec
スピンドル回転数:20000回転/分〜30000回転/分
(チッピング検出)
上記のように切削装置1を作動させて被加工物Wを切削加工する間、切削手段40のブレードマウント51に取り付けられているAEセンサ71によって切削中に発生する複数の周波数成分を含む弾性波を検知し、検知された弾性波を第1のコイル手段73及び第2のコイル手段74に磁気的に伝達して制御手段75に電気信号として送信する。制御手段75では、例えば図4に示す情報を取得する。図4においては、横軸を時間(t)、縦軸を切削加工時にAEセンサ71が検知する弾性波信号の値であるAE値(V)として、弾性波のAE値の時間的変化のデータである時間特性データを表した時間軸波形のグラフが描画されている。
上記のように切削装置1を作動させて被加工物Wを切削加工する間、切削手段40のブレードマウント51に取り付けられているAEセンサ71によって切削中に発生する複数の周波数成分を含む弾性波を検知し、検知された弾性波を第1のコイル手段73及び第2のコイル手段74に磁気的に伝達して制御手段75に電気信号として送信する。制御手段75では、例えば図4に示す情報を取得する。図4においては、横軸を時間(t)、縦軸を切削加工時にAEセンサ71が検知する弾性波信号の値であるAE値(V)として、弾性波のAE値の時間的変化のデータである時間特性データを表した時間軸波形のグラフが描画されている。
この弾性波信号の時間特性データに対して、解析手段76を用いて、サンプリング時間Toを例えば1ミリ秒としてフーリエ変換(例えばFFT)を行う。これにより、周波数毎に分解された弾性波信号のスペクトルである周波数特性データを得る。図5は、横軸を周波数(f)、縦軸を周波数毎に分解された弾性波のスペクトルの大きさ(強さ)として、弾性波信号の周波数特性データをプロットした周波数軸波形のグラフである。
切削加工において切削ブレード43と被加工物Wとの接触によって発生する弾性波の周波数帯域は、200kHzから600kHzという特定の周波数帯域であることが知られている。なお、200kHzよりも小さな周波数の振動は切削水供給手段46から供給される切削水の音や駆動部の音等によるものであり、600kHzよりも大きな周波数の振動はモータドライバ等のノイズによるものである。そこで、解析手段76において、図5に示すように、周波数軸波形へと変換された弾性波信号の200kHzから600kHzの周波数帯域を特定して、200kHzから600kHzの周波数帯域におけるフーリエ変換後のAE値が、予め設定された第一の閾値を超えるかどうかを判断手段77で判断することによってチッピングが発生したかどうかを判断する。
第一の閾値は、例えば過去の加工経験から決定する。第一の閾値の決定方法としては、例えば、第一の閾値が決められていない状態の被加工物Wの全ての分割予定ラインLを切削加工して、切削加工時に発生した弾性波を切削加工中の全ての時間においてAEセンサ71で検知する。AEセンサ71で検知された弾性波信号は、第1のコイル手段73及び第2のコイル手段74を介して制御手段75に伝達される。
一方で、被加工物Wに形成されたカーフの様子を、例えばアライメント手段9のカメラ90によって撮像して、カーフチェックを行う。カーフチェックの結果、被加工物Wの表面Waにチッピングが検出されたときは、撮像された画像を基にチッピングが発生した分割予定ラインLの位置を調べる。このとき、切削装置1においては、カメラ90で撮像された被加工物Wの表面Waの画像と、切削送り速度および、分割予定ラインLの全長等を照らし合わせることで、切削開始から測ってどの時間に分割予定ラインLのどの位置が切削されたかを特定することができる。切削加工時にチッピングが発生した位置及びチッピングが発生した時間を特定して、例えば、そのチッピング発生時間を含んだ1ミリ秒間をサンプリング時間として、弾性波の時間軸波形を解析手段76によって周波数軸波形にフーリエ変換し、取得した周波数軸波形に含まれる周波数帯域200kHzから600kHzにおける弾性波信号のAE値から、チッピング時に切削ブレード43から発生した弾性波信号のフーリエ変換後のAE値(ピーク等)を特定する。そして、そのフーリエ変換後のAE値よりも少し低い値を第一の閾値として設定する。
上記のように設定された第一の閾値を切削加工によって切削ブレード43に発生した弾性波信号が超えたら、切削ブレード43が被加工物Wを切削したカーフにチッピングが発生し切削加工に異常があると判断手段77が判断する。図5においては、切削加工時のある時間における弾性波の周波数軸波形が描画されているが、グラフ内の400kHz付近の位置P1においてフーリエ変換後のAE値が第一の閾値S1を超えており、これをうけて、被加工物Wにはチッピングが発生していて切削加工に異常があると判断手段77が判断する。
判断手段77によって被加工物Wにチッピングが発生したと判断された場合、報知手段78がチッピングの発生をオペレータ等に報知し、メンテナンス作業等が促される。
なお、切削ブレード43から発生する弾性波の周波数帯域である200kHzから600kHz周波数帯域を、200kHzから300kHz、300kHzから400kHz、400kHzから500kHz、500kHzから600kHzの四つに分割して、上記の方法を用いて、それぞれの周波数帯域における第一の閾値を設定し、それぞれの弾性波信号を解析することで、より精度の高いチッピング検出を行うことができる。その際には、区分された四つの周波数帯域毎に第一の閾値を異なる値に設定してもよい。
上記のように、切削装置1に備える解析手段76を用いてフーリエ変換を行うことにより、発生した弾性波信号のうち、切削ブレード43から発生された弾性波の弾性波信号を特定して、その弾性波信号のフーリエ変換後のAE値と設定した第一の閾値とを比較することで、チッピングの発生が発生しているかどうかを、より精度よく判断することができる。
(統計学的な特徴量を用いたチッピング検出)
弾性波信号によるチッピング検出においては、周波数帯域毎にフーリエ変換後のAE値の平均値を求め、所定の時間内における複数の平均値から特徴量を求めて、特徴量を基にチッピングが発生したかどうかを判断する構成が望ましい。
弾性波信号によるチッピング検出においては、周波数帯域毎にフーリエ変換後のAE値の平均値を求め、所定の時間内における複数の平均値から特徴量を求めて、特徴量を基にチッピングが発生したかどうかを判断する構成が望ましい。
上記の特徴量は、例えば次のように定義される。被加工物Wの切削加工時に、切削開始から終了までの全ての弾性波をAEセンサ71によって検知し、弾性波信号として制御手段75に伝達する。この弾性波信号のうち、切削加工において切削ブレード43に切り込まれる最初の1ライン分の分割予定ラインLの時間特性データに対して、サンプリング時間を1ミリ秒として、それぞれの時間区分についてフーリエ変換を行う。図6においては、一例として、切削ブレードから発生する弾性波の周波数帯域のうちの200kHzから300kHzの周波数帯域における周波数軸波形が描画されている。その後、1ミリ秒毎に区画されたそれぞれの時間区分における各周波数帯域(図6の例では200kHzから300kHz)におけるフーリエ変換後のAE値の周波数平均値を1ライン分算出する。このようにして取得した1ライン分の複数のフーリエ変換後のAE値の周波数平均値を、横軸を時間(t)、縦軸をフーリエ変換後のAE値のスペクトルの大きさ(強さ)としたグラフ上にプロットすると、図7のようなフーリエ変換後のAE値の周波数平均値の時間軸波形が描画される。図7のグラフの左右部分の傾斜は、切削ブレード43でテープを切断する際に大きくフーリエ変換後のAE値が変化する様子を表しており、グラフにおいて中央の比較的平坦な部分は、被加工物Wを切削しているときのフーリエ変換後のAE値を表している。図7におけるグラフの中央部分における横軸方向の長さ、すなわち被加工物Wの分割予定ラインLを1ライン切削する時間を所定の時間T1とし、所定の時間T1内におけるフーリエ変換後のAE値の周波数平均値の最大値と中間値との差を特徴量と定める。
上記のように定めた特徴量を、1ライン分の分割予定ラインLが切削加工される毎に、解析手段76において算出し、この操作を全ラインに対して行う。算出された特徴量が第二の閾値を超えたら、切削ブレード43が被加工物Wを切削したカーフにチッピングが発生して切削加工に異常があると判断手段77で判断する。
ただし、第二の閾値は第一の閾値と同様に、カメラ90による分割予定ラインLの画像において発見されたチッピング位置及び、チッピング位置や切削送り速度や分割予定ラインLの全長等から導出されたチッピング時間を基に設定される。例えば、全ての分割予定ラインLに対して切削加工を行いながら、切削加工中に切削ブレード43から発生した弾性波をAEセンサ71で検知し、弾性波信号として制御手段75に伝達する。一方で、第一の閾値設定の際と同様に、アライメント手段9のカメラ90等によって切削後のカーフの様子を調べる。カーフチェックの際にチッピングが発見されたときは、撮像された画像を基に、チッピングを検出した位置及び時間を導出する。そして、そのチッピング位置を含んだ1ライン分の弾性波信号に対してサンプリング時間を1ミリ秒としてフーリエ変換して、200kHzから300kHzの周波数帯域におけるフーリエ変換後のAE値の周波数平均値を算出する。チッピング位置を含んだ分割予定ラインLの弾性波信号の周波数平均値を1ライン分算出した後、所定の時間T1内における周波数平均値の最大値と中間値との差を算出し、第二の閾値とする。
上記のように設定された第二の閾値S2を、切削加工時にAEセンサ71で検知されて制御手段75に伝達された弾性波信号から算出された特徴量が超えたとき、切削ブレード43が被加工物Wを切削したカーフにチッピングが発生し切削加工に異常があると判断手段77が判断する。図8においては、横軸をラインの位置を表すライン番号(n)、縦軸を特徴量として切削加工の際に取得された特徴量がプロットされている。図8のグラフのP2においては、特徴量が第二の閾値S2を超えており、これをうけて判断手段77によってチッピングが発生したと判断される。
特徴量を所定の時間T1内におけるフーリエ変換後のAE値の周波数平均値の最大値と中間値との差によって定める背景には、弾性波信号の周波数平均値の最大値と中間値との差が大きい程、1ライン分の弾性波信号をフーリエ変換した際のサンプリング区分毎の周波数特性データのばらつきが大きく、周波数特性データのばらつきが大きい程、切削ブレード43等が何らかの異常を有し、被加工物Wにチッピングが発生している可能性が大きいということがある。1ライン分の弾性波信号における所定の時間内に含まれるフーリエ変換後のAE値の周波数平均値の最大値と中間値との差が、第二の閾値を超えるような値となるときは、切削ブレード43に1ライン分の切削加工において発生した弾性波の弾性波信号のデータのばらつきが大きく、チッピングが発生していると判断する。
また、特徴量を、図7に示す所定の時間T1内における1ライン分の周波数平均値のデータがN個ある場合に、{3(N+1)/4}番目に大きな値から{(N+1)/4}番目に大きな値を差し引いた値であるいわゆる四分位範囲(Interquartile Range)として定義することもできる。
上記のように特徴量を四分位範囲として定義する場合、第2の閾値も四分位範囲として設定される。特徴量を四分位範囲として定義する場合の第2の閾値の設定の際には、まず、全ての分割予定ラインLを切削した際の弾性波信号の時間特性データを制御手段75に伝達させる。一方で、切削加工時に図1に示したカメラ90によって撮像された被加工物Wの表面Waの画像を基にして、切削加工によって発生したチッピングの位置を特定し、さらにチッピングが発生した時間を導出する。そして、分割予定ラインLのうちチッピングが発生した1ラインの弾性波信号の時間特性データを、サンプリング時間を1ミリ秒として、解析手段76によってフーリエ変換して、弾性波信号の周波数特性データを取得し、各周波数帯域、例えば、200kHzから300kHzの周波数帯域におけるフーリエ変換後のAE値の周波数平均値を1ライン分算出する。その後、チッピングが発生した1ライン分の周波数平均値のデータのうち、所定の時間T1内に含まれるN個のものの中から{3(N+1)/4}番目に大きな値と{(N+1)/4}番目に大きな値とを特定し、それらを差し引いた値(四分位範囲)を第2の閾値とする。設定された第二の閾値を、切削加工時に特徴量が超えたとき、切削ブレード43によって切削された被加工物Wのカーフにチッピングが発生しており、切削加工に異常があると判断手段77により判断される。
特徴量を四分位範囲として定める場合においても、上述したように、特徴量を周波数平均値の最大値と中間値とを差し引いた値として定める場合と同様に、データのばらつきの大小の比較によってチッピングが発生したかどうかを判断している。すなわち、切削加工時に生じた弾性波の弾性波信号から算出された所定の時間内に含まれる周波数平均値の四分位範囲が大きい程、1ライン分の弾性波信号をフーリエ変換した際のサンプリング区分毎の周波数特性データのばらつきが大きいことを示しており、四分位範囲が第二の閾値を超える場合に、被加工物Wにチッピングが発生していると判断される。
また、第三の閾値を設定して、上記の特徴量が第三の閾値を超えた回数が予め設定した回数を超えたら、切削ブレード43が被加工物Wを切削したカーフにチッピングが発生し切削加工に異常があると判断する構成でもよい。ただし、第三の閾値は、第二の閾値と同一の値でも異なる値でもよい。
例えば、上記の設定回数を3回と定めると、特徴量が第三の閾値を3回目に超えたときに、被加工物Wにはチッピングが発生していると判断される。図8のグラフにおいては、P3付近で第三の閾値S3を3回目に超えることとなり、このとき判断手段77によってチッピングが発生したと判断される。判断手段77によってチッピングが発生したと判断されると、報知手段78によってオペレータ等にその旨が報知される。
上記のように定められた特徴量を用いることで、チッピングが発生しているかどうかをより精度よく判断することができる。
1:切削装置 10:ベース 11:カバー 12:蛇腹カバー
13:門型コラム
15:保持手段 150:吸引部 150a:保持面 151:枠体
17:クランプ 18:切削送り手段 180:ボールネジ 181:ガイドレール
182:モータ 183:可動板 184:回転軸
20:カセット収容エリア 21:カセット昇降手段 22:ステージ
24:洗浄手段 25:スピンナーテーブル 26:洗浄水ノズル
30:割り出し送り手段 32:可動板 31:ガイドレール
33:ボールネジ 330:回転軸 34:モータ 35:切削送り手段
36:ガイドレール 38:ボールネジ 380:回転軸 39:モータ
40:切削手段 41:スピンドルハウジング
41a:スピンドルハウジングの先端面 42:スピンドル
43:切削ブレード 44:ネジ穴 45:ブレードカバー 46:切削水供給手段
47:カバー部材 48:ブラケット 49:開口
51:ブレードマウント 52:篏合穴 53:ボス部 54:円形凹部
55:貫通穴 56:フランジ部 57:雄ネジ 58:ワッシャ 59:固定ボルト
61:ハブ基台 62:切り刃 63:挿入穴 65:固定ナット
71:AEセンサ 73:第1のコイル手段 74:第2のコイル手段
75:制御手段 76:解析手段 77:判断手段 78:報知手段
80:吸引手段 81:回転手段 82:回転軸 83:ケーシング
9:アライメント手段 90:カメラ
W:被加工物 Wa:被加工物の表面 Wb:被加工物の裏面 T:貼着テープ
F:フレーム
S1:第一の閾値 S2:第二の閾値 S3:第三の閾値
P1:第一の閾値を超える点 P2:第二の閾値を超える点
P3:第三の閾値を三回目に超える点
To:サンプリング時間 T1:所定の時間
13:門型コラム
15:保持手段 150:吸引部 150a:保持面 151:枠体
17:クランプ 18:切削送り手段 180:ボールネジ 181:ガイドレール
182:モータ 183:可動板 184:回転軸
20:カセット収容エリア 21:カセット昇降手段 22:ステージ
24:洗浄手段 25:スピンナーテーブル 26:洗浄水ノズル
30:割り出し送り手段 32:可動板 31:ガイドレール
33:ボールネジ 330:回転軸 34:モータ 35:切削送り手段
36:ガイドレール 38:ボールネジ 380:回転軸 39:モータ
40:切削手段 41:スピンドルハウジング
41a:スピンドルハウジングの先端面 42:スピンドル
43:切削ブレード 44:ネジ穴 45:ブレードカバー 46:切削水供給手段
47:カバー部材 48:ブラケット 49:開口
51:ブレードマウント 52:篏合穴 53:ボス部 54:円形凹部
55:貫通穴 56:フランジ部 57:雄ネジ 58:ワッシャ 59:固定ボルト
61:ハブ基台 62:切り刃 63:挿入穴 65:固定ナット
71:AEセンサ 73:第1のコイル手段 74:第2のコイル手段
75:制御手段 76:解析手段 77:判断手段 78:報知手段
80:吸引手段 81:回転手段 82:回転軸 83:ケーシング
9:アライメント手段 90:カメラ
W:被加工物 Wa:被加工物の表面 Wb:被加工物の裏面 T:貼着テープ
F:フレーム
S1:第一の閾値 S2:第二の閾値 S3:第三の閾値
P1:第一の閾値を超える点 P2:第二の閾値を超える点
P3:第三の閾値を三回目に超える点
To:サンプリング時間 T1:所定の時間
Claims (3)
- 被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給手段と、該切削ブレードと該保持手段とを相対的に切削送り方向に移動させる切削送り手段と、該切削手段または該保持手段に配設され切削加工により該切削ブレードから発生される弾性波を検知するAEセンサと、制御手段と、を備える切削装置であって、
該制御手段は、
該切削ブレードが被加工物を切削加工する際に発生した複数の周波数成分を含む弾性波を該AEセンサで検知し、該AEセンサが検知した弾性波信号をフーリエ変換して、該切削ブレードから発生されているであろう弾性波信号の周波数帯域を特定し、
該特定の該周波数帯域において、該弾性波信号をフーリエ変換した値が予め設定した第一の閾値を超えたら、該切削ブレードが被加工物を切削したカーフにチッピングが発生し切削加工に異常があると判断する、切削装置。 - 該制御手段は、
該周波数帯域ごとに該弾性波信号をフーリエ変換した値の平均値を求め、所定の時間内の複数の該平均値から、特徴量を求め、
該特徴量が予め設定した第二の閾値を超えたら、該切削ブレードが被加工物を切削したカーフにチッピングが発生し切削加工に異常があると判断する、請求項1記載の切削装置。 - 該制御手段は、
該特徴量が予め設定した第三の閾値を超えた回数が、
予め設定した回数を超えたら、該切削ブレードが被加工物を切削したカーフにチッピングが発生し切削加工に異常があると判断する、請求項2記載の切削装置。
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-
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- 2019-01-11 JP JP2019003409A patent/JP2020113641A/ja active Pending
-
2020
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