JP2020105009A - 巻取りウェブ運搬装置の位置合わせ機構 - Google Patents

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Abstract

【課題】巻取りウェブを水平状態で運搬し、他の装置、等の挿入シャフトに対向させ、巻取りウェブ運搬装置のシャフトと、他の装置、等の挿入シャフトとの間の位置合わせを簡単かつ、正確に行う。【解決手段】巻取りウェブ支持用シャフト11の先端に、軸心方向に伸びるカメラ装置が内蔵されている。巻取りウェブ支持用シャフトの先端面が、挿入シャフトの先端面と正確に対向している状態で前記カメラ装置が取得している基準の画像情報と、巻取りウェブ支持用シャフトと挿入シャフトの先端面とを対向させた状態でカメラ装置が取得した作業時の画像情報とを比較する。作業時の画像情報が、基準の画像情報と一致する状態になるまで、巻取りウェブ支持用シャフトの位置を移動させる巻取りウェブ運搬装置の位置合わせ機構。【選択図】図1

Description

この発明は、合成樹脂フィルム、紙、フィルムラミネート紙などを巻取り軸に巻き取った巻取りウェブの運搬に使用する巻取りウェブの運搬装置に関する。
合成樹脂フィルム、紙、フィルムラミネート紙などを巻取り軸に巻き取った巻取りウェブは重量が嵩むので運搬は容易ではない。本願出願人は巻取りウェブ運搬装置についてこれまで種々の提案を行っている。
特許文献1では、巻き取りウェブを、その巻き取り軸が水平の状態と垂直状態で支持できるようにした巻取りウェブ受が運搬台車に設けられている巻取りウェブの運搬装置を提案している。
特許文献2では、巻取りウェブの巻取りウェブ受けへの受入れ、巻取りウェブのパレット中央部からの持ち上げ、パレット中央部への搭載を簡単に行うことのできる巻き取りウェブの運搬装置を提案した。
特許文献3では、小回り特性に優れた重量物運搬用の駆動式運搬台車と、駆動式運搬台車を利用した小回り特性に優れた巻取りウェブの運搬装置を提案した。
特許文献4では、巻取りウェブを多段に積み重ねたり、多段に積み重ねた巻取りウェブを上段から順次取り出すのに好適な巻取りウェブの運搬装置を提案した。
特開平7−157155号公報 特開平11−292359号公報 特開2000−168566号公報 特開2007−112566号公報
合成樹脂フィルム、紙、フィルムラミネート紙などを巻取り軸に巻き取った巻取りウェブではその中央に孔が形成されている。このような巻取りウェブを運搬する場合、巻取りウェブ運搬装置が備えている巻取りウェブ支持用シャフトを巻取りウェブの中心の孔に挿入して巻取りウェブを水平状態で運搬し、他の装置、等の挿入シャフトに対向させ、巻取りウェブを巻取りウェブ運搬装置の巻取りウェブ支持用シャフトから他の装置、等の挿入シャフトに受け渡す、等の作業を行うことがある。
このような作業の時に、巻取りウェブは重量が嵩んでいるため、水平状態の巻取りウェブ運搬装置のシャフトと、他の装置、等の挿入シャフトとの位置を正確に合わせることは容易でない。正確な位置合わせができていないと思わぬ事故が発生する原因等になる。
そこで、この発明は、巻取りウェブ運搬装置が備えている巻取りウェブ支持用シャフトを巻取りウェブの中心の孔に挿入して巻取りウェブを水平状態で運搬し、他の装置、等の挿入シャフトに対向させ、巻取りウェブを巻取りウェブ支持用シャフトから他の装置、等の挿入シャフトに受け渡す、等の作業の際に、巻取りウェブ運搬装置の巻取りウェブ支持用シャフトと、他の装置、等の挿入シャフトとの間の位置合わせを簡単かつ、正確に行うことのできる位置合わせ機構を提案することを目的にしている。
[1]
巻取りウェブ運搬装置の巻取りウェブ支持用シャフトと、これに対向していて水平方向に伸びている挿入シャフトとの位置合わせ機構であって、
前記巻取りウェブ支持用シャフトの先端に、光軸が前記巻取りウェブ支持用シャフトの軸心方向に伸びるカメラ装置が内蔵されており、
水平方向に伸びている前記巻取りウェブ支持用シャフトの先端面が、水平方向に伸びている前記挿入シャフトの先端面と正確に対向している状態で前記カメラ装置が取得している基準の画像情報と、
前記巻取りウェブ支持用シャフトと前記挿入シャフトとの間でどちらかが水平状態に支持している巻取りウェブを他方へ移動させるべく前記巻取りウェブ支持用シャフトの先端面と前記挿入シャフトの先端面とを対向させた状態で前記カメラ装置が取得した作業時の画像情報とを比較し、
前記作業時の画像情報が、前記基準の画像情報と一致する状態になるまで、前記巻取りウェブ支持用シャフトの位置を移動させる
巻取りウェブ運搬装置の位置合わせ機構。
[2]
巻取りウェブ運搬装置の巻取りウェブ支持用シャフトと、これに対向していて水平方向に伸びている挿入シャフトとの位置合わせ機構であって、
前記巻取りウェブ支持用シャフトは、
水平方向に伸びている状態で、上下方向移動及び、上下方向に直交する左右方向移動が可能になるように前記巻取りウェブ運搬装置に配備されていると共に、
前記巻取りウェブ運搬装置に支持されている前記巻取りウェブ支持用シャフトの基端部を中心とした、前記巻取りウェブ支持用シャフト先端の、前記上下方向での旋回移動及び前記左右方向での旋回移動が可能になるように前記巻取りウェブ運搬装置に配備されおり、
前記巻取りウェブ支持用シャフトの先端に内蔵されていて、光軸が前記巻取りウェブ支持用シャフトの軸心方向に伸びるカメラ装置と、
前記カメラ装置が取得した対向している前記挿入シャフト先端の画像情報に基づいて、前記巻取りウェブ支持用シャフトの前記上下方向移動及び前記左右方向移動と、前記巻取りウェブ支持用シャフト先端の上下方向での前記旋回移動及び左右方向での前記旋回移動を行わせる制御部と
を備えている巻取りウェブ運搬装置の位置合わせ機構。
この発明によれば、巻取りウェブ運搬装置が備えている巻取りウェブ支持用シャフトを巻取りウェブの中心の孔に挿入して巻取りウェブを水平状態で運搬し、他の装置、等の挿入シャフトに対向させ、巻取りウェブを巻取りウェブ支持用シャフトから他の装置、等の挿入シャフトに受け渡す、等の作業の際に、巻取りウェブ運搬装置の巻取りウェブ支持用シャフトと、他の装置、等の挿入シャフトとの間の位置合わせを簡単かつ、正確に行うことのできる位置合わせ機構を提供することができる。
(a)この発明の位置合わせ機構を備えている巻取りウェブ運搬装置の一例を説明する一部を省略した側面図、(b)この発明の位置合わせ機構を備えている巻取りウェブ運搬装置の一例を説明する一部を省略した平面図。 (a)この発明の位置合わせ機構を備えている巻取りウェブ運搬装置の一例を説明する一部を省略した正面図、(b)巻取りウェブ運搬装置が備えている巻取りウェブ支持用シャフトを巻取りウェブの中心の孔に挿入して巻取りウェブを水平状態で運搬し、巻取りウェブ支持用シャフトの先端面を、他の装置、等の挿入シャフトの先端面に対向させ、巻取りウェブを巻取りウェブ支持用シャフトから他の装置、等の挿入シャフトに受け渡す、等の作業を行う状態を説明する一部を省略した平面図。 (a)この発明の位置合わせ機構を備えている巻取りウェブ運搬装置の巻取りウェブ支持用シャフト先端の正面図、(b)この発明の位置合わせ機構を備えている巻取りウェブ運搬装置の巻取りウェブ支持用シャフト先端側の内部構造を説明する一部を省略した側面図。 この発明の位置合わせ機構による位置合わせの状態を説明する一部を省略した図であって、(a)は巻取りウェブ支持用シャフトの上下方向移動を巻取りウェブ支持用シャフトの側面側から見て説明する図、(b)は巻取りウェブ支持用シャフトの上下方向に直交する方向である左右方向移動を巻取りウェブ支持用シャフトの正面側から見て説明する図、(c)は巻取りウェブ支持用シャフト先端が巻取りウェブ運搬装置に支持されている巻取りウェブ支持用シャフトの基端部を中心として上下方向で旋回移動する状態を巻取りウェブ支持用シャフトの側面側から見て説明する図、(d)は巻取りウェブ支持用シャフト先端が巻取りウェブ運搬装置に支持されている巻取りウェブ支持用シャフトの基端部を中心として左右方向で旋回移動する状態を巻取りウェブ支持用シャフトの上側から見て説明する図。
この実施形態の巻取りウェブ運搬装置の位置合わせ機構は次のように構成されている。
巻取りウェブ運搬装置1の巻取りウェブ支持用シャフト11と、これに対向していて水平方向に伸びている挿入シャフト21との位置合わせ機構である。
巻取りウェブ支持用シャフト11の先端に、光軸が巻取りウェブ支持用シャフト11の軸心方向に伸びるカメラ装置12が内蔵されている。
水平方向に伸びている巻取りウェブ支持用シャフト11の先端面11aが、水平方向に伸びている挿入シャフト21の先端面と正確に対向している状態でカメラ装置12は、光軸方向である、巻取りウェブ支持用シャフト11の軸心方向で前方の画像情報を、基準の画像情報として取得する。コンピュータの機能を備えている制御部(不図示)が基準の画像情報を記憶、格納しておく。
巻取りウェブ支持用シャフト11と挿入シャフト21との間でどちらかが水平状態に支持している巻取りウェブ20を他方へ移動させるべく巻取りウェブ支持用シャフト11の先端面11aと挿入シャフト21の先端面とを対向させた状態で、カメラ装置12が、光軸方向である、巻取りウェブ支持用シャフト11の軸心方向で前方の画像情報を、作業時の画像情報として取得する。
コンピュータの機能を備えている制御部(不図示)は、基準の画像情報と作業時の画像情報とを比較し、作業時の画像情報が、基準の画像情報と一致する状態になるまで、巻取りウェブ支持用シャフト11の位置を移動させる制御・指示を出す。
この制御、指示に従って、巻取りウェブ支持用シャフト11の位置を移動させる駆動機構が所定の駆動処理を行って、水平方向に伸びている巻取りウェブ支持用シャフト11の先端面11aが、水平方向に伸びている挿入シャフト21の先端面と正確に対向する状態になるまで、巻取りウェブ支持用シャフト11の位置を移動させる。
これによって、巻取りウェブ運搬装置1が備えている巻取りウェブ支持用シャフト11を巻取りウェブ20の中心の孔20aに挿入して巻取りウェブ20を水平状態で運搬し、他の装置、等の挿入シャフト21に対向させ、巻取りウェブ20を巻取りウェブ支持用シャフト11から他の装置、等の挿入シャフト21に受け渡す、等の作業の際に、巻取りウェブ運搬装置1の巻取りウェブ支持用シャフト11と、他の装置、等の挿入シャフト21との間の位置合わせを簡単かつ、正確に行うことができる。以下、この実施形態の一例を説明する。
この実施例の位置合わせ機構を備えている巻取りウェブ運搬装置1は、従来公知のように、基台2上に、駆動部7が、基台2に対して矢印32、33で示す上下方向移動可能で、矢印38、39で示す、上下方向に直交する方向である左右方向に移動可能に配備されている。
基台2は支持部3及び、支持部3の左右両端側(図1(b)における上下両端側)からそれぞれ前方(図1(b)における右側)に向かって水平方向に伸びる支持部4、5を備えていて、全体としては、図1(b)図示のように平面視で矩形状になっている。
この平面視で矩形状の4個の角部に相当する箇所に車輪6a、6b、6c、6dがそれぞれ配備されている。車輪6a、6b、6c、6dは不図示の駆動機構によって駆動され、これによって、巻取りウェブ運搬装置1は床面50上を矢印30、31で示す前後方向や、これに直交する左右方向、等々、種々の方向に移動する。
駆動部7はその前方側に、前方(図1(a)における右側)に向かって伸びる巻取りウェブ支持用シャフト11を支持している。
巻取りウェブ20の中心の孔20aに巻取りウェブ支持用シャフト11を先端側から挿入して巻取りウェブ20を水平状態で支持し、巻取りウェブ運搬装置1によって運搬する。
巻取りウェブ支持用シャフト11を支持している駆動部7が基台2に対して矢印32、33で示す上下方向移動可能で、矢印38、39で示す、上下方向に直交する方向である左右方向に移動可能であることから、巻取りウェブ支持用シャフト11も、図1(a)図示のように、水平方向に伸びている状態で、上下方向移動及び、上下方向に直交する左右方向移動が可能になるように巻取りウェブ運搬装置1に配備されている。
また、巻取りウェブ運搬装置1に支持されている巻取りウェブ支持用シャフト11の基端部(図1における左端部)を中心とした、巻取りウェブ支持用シャフト先端(図1における右端部)の、矢印40、41(図4(c))で示す上下方向での旋回移動及び、矢印42、43(図4(d))で示す左右方向での旋回移動が可能になるように、巻取りウェブ支持用シャフト11は、巻取りウェブ運搬装置1に配備されている。
巻取りウェブ支持用シャフト1の先端(図1における右端部)にはカメラ装置12が内蔵されている。図3(b)図示のように、光軸が巻取りウェブ支持用シャフト11の軸心方向に伸びるカメラ装置12が巻取りウェブ支持用シャフト1の先端(図1における右端部)に内蔵されている。
ウェブ支持用シャフト1の先端面11aの中央にはカメラ装置12の撮像レンズ13が配備されている(図3(b))。撮像レンズ13が配備されているウェブ支持用シャフト1の先端面11aの中央は、巻取りウェブ支持用シャフト11の軸心が通る位置である。
カメラ装置12は、撮像レンズ13を介して、光軸方向である、巻取りウェブ支持用シャフト11の軸心方向で前方の画像情報を取得する。
巻取りウェブ運搬装置1が備えている巻取りウェブ支持用シャフト11を巻取りウェブ20の中心の孔20aに挿入して巻取りウェブ20を水平状態で運搬し、他の装置、等の挿入シャフト21に対向させ(図2(b))、矢印34で示すように、巻取りウェブ20を巻取りウェブ運搬装置1の巻取りウェブ支持用シャフト11から他の装置、等の挿入シャフト21に受け渡す。あるいは、破線20で示すように、水平状態の挿入シャフト21に支持されている巻取りウェブ20を、挿入シャフト21の先端面に対して先端面11aが対向している状態の巻取りウェブ支持用シャフト11に対して、矢印35で示すように、移動させる。
このように、巻取りウェブ運搬装置1が備えている巻取りウェブ支持用シャフト11を巻取りウェブ20の中心の孔20aに挿入して巻取りウェブ20を水平状態で運搬し、他の装置、等の挿入シャフト21に対向させ、巻取りウェブ20を巻取りウェブ支持用シャフト11から他の装置、等の挿入シャフト21に受け渡す、等の作業の際には、図2(b)図示のように、巻取りウェブ支持用シャフト11の先端面11aと、挿入シャフト21の先端面とが対向する。
この実施形態の位置合わせ機構は、カメラ装置12が取得した画像情報に基づいて、巻取りウェブ支持用シャフト11の位置を移動、制御する制御部(不図示)により、カメラ装置12が取得した対向している挿入シャフト21の先端の画像情報に基づいて、巻取りウェブ支持用シャフト11を矢印32、33で示す上下方に向移させ、あるいは、矢印38、39で示す、上下方向に直交する方向である左右方向に移動させる。また、カメラ装置12が取得した対向している挿入シャフト21の先端の画像情報に基づいて、巻取りウェブ運搬装置1に支持されている巻取りウェブ支持用シャフトの基端部(図1における左端部)を中心として、巻取りウェブ支持用シャフト先端(図1における右端部)を、矢印40、41(図4(c))で示す上下方向での旋回移動あるいは、矢印42、43(図4(d))で示す左右方向での旋回移動を行わせる。
前述した制御部(不図示)は、巻取りウェブ20を水平状態で運搬してきた巻取りウェブ運搬装置1の巻取りウェブ支持用シャフト11が、図2(b)図示のように、先端面11aを挿入シャフト21の先端面に対向させた時点でカメラ装置12が取得している画像情報を、水平方向に伸びている挿入シャフト21の先端面に対して、水平方向に伸びている巻取りウェブ支持用シャフト11の先端面11aが正確に対向している状態でカメラ装置12が取得していた画像情報と比較する。この比較により、必要な、前述した巻取りウェブ支持用シャフト11の移動、巻取りウェブ支持用シャフト11の先端部の移動を行わせることで、簡単かつ、正確に位置合わせを行うことができる。
以上、本発明の実施形態を説明したが本発明は上述した実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲の記載から把握される技術的範囲において種々に変更可能である。
1 巻取りウェブ運搬装置
2 基台
6a、6b、6c、6d 車輪
7 駆動部
11 巻取りウェブ支持用シャフト
11a 巻取りウェブ支持用シャフト1の先端面
12 カメラ装置
13 撮像レンズ
20 巻取りウェブ
20a 巻取りウェブの中心の孔
50 床面

Claims (2)

  1. 巻取りウェブ運搬装置の巻取りウェブ支持用シャフトと、これに対向していて水平方向に伸びている挿入シャフトとの位置合わせ機構であって、
    前記巻取りウェブ支持用シャフトの先端に、光軸が前記巻取りウェブ支持用シャフトの軸心方向に伸びるカメラ装置が内蔵されており、
    水平方向に伸びている前記巻取りウェブ支持用シャフトの先端面が、水平方向に伸びている前記挿入シャフトの先端面と正確に対向している状態で前記カメラ装置が取得している基準の画像情報と、
    前記巻取りウェブ支持用シャフトと前記挿入シャフトとの間でどちらかが水平状態に支持している巻取りウェブを他方へ移動させるべく前記巻取りウェブ支持用シャフトの先端面と前記挿入シャフトの先端面とを対向させた状態で前記カメラ装置が取得した作業時の画像情報とを比較し、
    前記作業時の画像情報が、前記基準の画像情報と一致する状態になるまで、前記巻取りウェブ支持用シャフトの位置を移動させる
    巻取りウェブ運搬装置の位置合わせ機構。
  2. 巻取りウェブ運搬装置の巻取りウェブ支持用シャフトと、これに対向していて水平方向に伸びている挿入シャフトとの位置合わせ機構であって、
    前記巻取りウェブ支持用シャフトは、
    水平方向に伸びている状態で、上下方向移動及び、上下方向に直交する左右方向移動が可能になるように前記巻取りウェブ運搬装置に配備されていると共に、
    前記巻取りウェブ運搬装置に支持されている前記巻取りウェブ支持用シャフトの基端部を中心とした、前記巻取りウェブ支持用シャフト先端の、前記上下方向での旋回移動及び前記左右方向での旋回移動が可能になるように前記巻取りウェブ運搬装置に配備されおり、
    前記巻取りウェブ支持用シャフトの先端に内蔵されていて、光軸が前記巻取りウェブ支持用シャフトの軸心方向に伸びるカメラ装置と、
    前記カメラ装置が取得した対向している前記挿入シャフト先端の画像情報に基づいて、前記巻取りウェブ支持用シャフトの前記上下方向移動及び前記左右方向移動と、前記巻取りウェブ支持用シャフト先端の上下方向での前記旋回移動及び左右方向での前記旋回移動を行わせる制御部と
    を備えている巻取りウェブ運搬装置の位置合わせ機構。
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0569355A (ja) * 1991-02-26 1993-03-23 Teijin Ltd 台車等に対するボビン自動交換機の位置決め方法
JP2010159134A (ja) * 2009-01-08 2010-07-22 Daifuku Co Ltd ロール体用自動搬送車
JP2018043805A (ja) * 2016-09-12 2018-03-22 凸版印刷株式会社 ロール体供給装置とロール体取り付け方法
JP2018095352A (ja) * 2016-12-09 2018-06-21 株式会社ダイフク ロール体用搬送車

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0569355A (ja) * 1991-02-26 1993-03-23 Teijin Ltd 台車等に対するボビン自動交換機の位置決め方法
JP2010159134A (ja) * 2009-01-08 2010-07-22 Daifuku Co Ltd ロール体用自動搬送車
JP2018043805A (ja) * 2016-09-12 2018-03-22 凸版印刷株式会社 ロール体供給装置とロール体取り付け方法
JP2018095352A (ja) * 2016-12-09 2018-06-21 株式会社ダイフク ロール体用搬送車

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