JP2020104385A - 液体吐出ヘッドおよびその製造方法と液体吐出装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、供給路から流路内のエネルギー発生素子に対向する位置に供給される液体の流抵抗が小さく、信頼性の高い液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
液体吐出ヘッドは、インクジェットプリンタ等の記録装置(液体吐出装置)を構成する一部材である。記録装置には、液体吐出ヘッドに加えて、液体吐出ヘッドに供給する液体を収容する液体収容部12や、記録が行われる記録媒体の搬送機構(図示せず)などが設けられている。
図1(a)は本発明の一実施形態の液体吐出装置の液体吐出ヘッドの要部の平面図であり、図1(b)はその液体吐出装置を模式的に示す断面図である。液体吐出ヘッドの、例えばシリコンで形成された基板1の一方の面には、液体を吐出するためのエネルギーを発生させるエネルギー発生素子4と、接続層10を介してエネルギー発生素子4と電気的に接続された配線層2とが設けられている。さらに、電気配線層2と液体とを電気的に絶縁する絶縁層5と、エネルギー発生素子4を液体から保護するための、好ましくは膜厚が0.1μm以上である保護層9が設けられている。さらに、基板1と絶縁層5との積層体を垂直に貫通する供給路3が形成されている。供給路3は、基板1と絶縁層5の積層体の両面に開口しており、一方の面側から他方の面側へ液体を供給する。エネルギー発生素子4の一例としては、例えばTaSiNからなる電熱変換素子が挙げられる。配線層2の一例としては、例えばAl(アルミニウム)層が挙げられる。接続層10の一例としては例えばW(タングステン)層が挙げられる。各層は、例えば前述した各材料のスパッタリングによって成膜できる。尚、ここでは単層構造の配線層2を形成しているが、電気的に接続された複数の層からなる多層構造の配線層2を形成してもよい。また、保護層9や絶縁層5の例としては、例えば窒化ケイ素(SiN)、炭化ケイ素(SiC)、酸化ケイ素(SiO)、SiCN、SiOC、SiONなどのような絶縁材料からなる層が挙げられる。また、保護層9や絶縁層5として、前述した絶縁材料の層が積層された多層構造の層を形成してもよい。これらの絶縁材料は例えばプラズマCVD法を用いて成膜することができる。
まず、図2(a)に示すように、一方の面側に絶縁層5とエネルギー発生素子4と保護層9と配線層2とを有する基板1を用意する。絶縁層5は複数の絶縁層が積層された多層構造であり層間に配線層2が設けられている。次に、図2(b)に示すように、基板1と絶縁層5の積層体の一方の面側にエッチングマスク(不図示)を設けた後、リアクティブイオンエッチングによって絶縁層5を掘り込んで第二の面5bを形成し、エッチングマスクを除去する。エッチングマスクは、例えば感光性樹脂等で形成することが好ましい。絶縁層5の、保護層9およびエネルギー発生素子4が形成される第一の面5aと、第二の面5bとの高低差はできるだけ大きいことが好ましく、少なくとも保護層9の厚さよりも大きいことが好ましい。このようにすることで、流路8を通る液体の流抵抗を小さくし、リフィル性の高い流路8を形成することができる。
前述した実施形態に基づくより具体的な実施例について説明する。まず、図2(a)に示すように、一方の面側に、TaSiNからなるエネルギー発生素子4と、窒化ケイ素からなる保護層9と、酸化ケイ素からなる絶縁層5と、Alからなる配線層2とを有する、シリコンの単結晶基板である基板1を用意した。このエネルギー発生素子4は電熱変換素子である。絶縁層5は多層構造であり、合計の厚さが10μmとなるように形成した。絶縁層5の内部には配線層2が設けられている。配線層2の少なくとも一部が、エネルギー発生素子4の一部と重なり合うように位置しており、配線層2は、タングステンからなる接続層10でエネルギー発生素子4と接続されている。配線層2は複数の層が積層された多層構造であってもよい。
以上のようにして、本発明の液体吐出ヘッドを製造した。実施例1の液体吐出ヘッドは液体の流抵抗が小さく、信頼性が高い液体吐出ヘッドであった。
本発明の実施例2として、図3に示す液体吐出ヘッドを製造した。主に本実施例が実施例1と異なる点について以下に説明する。本実施例では、基板1の一方の面側に、実施例1と同様にエネルギー発生素子4と保護層9と絶縁層5と配線層2と接続層10とを設け、さらに、絶縁層5の厚さ方向においてエネルギー発生素子4と配線層2との間にTiからなる金属層11を設けた。すなわち、絶縁層5の内部に金属層11が位置している。そして、実施例1と同様に絶縁層5をエッチングにより掘り込んで第二の面5bを形成した。絶縁層5のエッチングの際に、金属層11をエッチングストップ層として利用した。それにより、絶縁層5の第一の面5a(保護層9およびエネルギー発生素子4が形成される面)と第二の面5b(金属層11の上面)との高さの差のばらつきを小さくすることができ、より高精度に流路形成を行うことができる。その後、図3(c),3(d)に示すように、実施例1と同様の方法で絶縁層5および基板1をエッチングして供給路3を形成した。そして、流路8を形成する流路形成部材7bと、吐出口6を形成する吐出口形成部材7aとからなる2層構造の部材7を、絶縁層5に貼り付けた。以上のようにして、実施例2の液体吐出ヘッドを製造した。実施例2によると、液体の流抵抗が小さく、より高精度の流路8を有し、信頼性の高い液体吐出ヘッドが製造できた。
本発明の実施例3として、図4,5に示す液体吐出ヘッドを製造した。主に本実施例が実施例1と異なる点について以下に説明する。本実施例では、基板1の一方の面側に、実施例1と同様にエネルギー発生素子4と保護層9と絶縁層5と配線層2と接続層10とを設け、さらに、配線層2と同一の層であるが配線層2から分離して電気的に独立した導電層2aを設けた。そして、実施例1と同様に絶縁層5をエッチングにより掘り込んで第二の面5bを形成した。絶縁層5のエッチングの際に、導電層2aをエッチングストップ層として利用した。それにより、絶縁層5の第一の面5a(保護層9およびエネルギー発生素子4が形成される面)と第二の面5b(導電層2aの上面)との高さの差を大きくし、しかもそのばらつきを小さくすることができ、より高精度に流路形成を行うことができる。このように配線層2と同時に形成した同一の層をエッチングストップ層に用いることで、エッチングストップ層を別途形成する必要がなく、高い生産性で高精度の液体吐出ヘッドを製造できる。また、本実施例では、図4及び図5に示すように、平面的に見て供給路3と配線層2との間の部分のみ、絶縁層5を掘り込んで流路8を大きくして液体の流れる部分の流抵抗を小さくしている。その後、図4(c),4(d)に示すように、実施例1と同様の方法で絶縁層5および基板1をエッチングして供給路3を形成した。そして、流路8を形成する流路形成部材7bと、吐出口6を形成する吐出口形成部材7aとからなる2層構造の部材7を、絶縁層5に貼り付けた。以上のようにして、実施例3の液体吐出ヘッドを製造した。実施例3によると、液体の流抵抗が小さく、より高精度の流路8を有し、生産性および信頼性の高い液体吐出ヘッドが製造できた。前述したように、平面的に見て供給路3と配線層2との間の部分のみ流路8を大きくして流抵抗を小さくしても、リフィル性の高い流路を形成することができた。
2 配線層
2a 導電層(絶縁層に重ねて設けられた層)
4 エネルギー発生素子
5 絶縁層
5a 第一の面
5b 第二の面
8 流路
11 金属層(絶縁層に重ねて設けられた層)
Claims (18)
- 基板に、液体を吐出するためのエネルギーを発生させるエネルギー発生素子と、前記液体を前記エネルギー発生素子と対向する位置に供給する流路と、前記エネルギー発生素子に接続された配線層と、前記配線層と前記流路内の液体とを電気的に絶縁するための絶縁層と、が設けられており、
前記絶縁層は前記エネルギー発生素子が設けられる第一の面を有し、前記絶縁層または該絶縁層に重ねて設けられた層は、前記絶縁層の厚さ方向において前記第一の面と異なる高さに位置する第二の面を有し、前記第一の面と前記第二の面はそれぞれ前記流路の一部を画定しており、前記流路の、一部が前記第二の面によって画定されている部分の前記厚さ方向の寸法は、一部が前記第一の面によって画定されている部分の前記厚さ方向の寸法より大きく、
前記厚さ方向における前記第一の面と前記第二の面の高さの差は、前記厚さ方向における前記エネルギー発生素子と前記配線層との間の間隔以下であることを特徴とする、液体吐出ヘッド。 - 前記流路の、一部が前記第二の面によって画定されている部分の、前記エネルギー発生素子に供給される前記液体の流れ方向に直交する断面の面積は、一部が前記第一の面によって画定されている部分の、前記流れ方向に直交する断面の面積より大きい、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記第二の面は、前記第一の面から前記液体の吐出方向と反対側に引き込まれた位置にある、請求項1または2に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記基板及び前記絶縁層を貫通して前記流路に連通する供給路をさらに有し、前記供給路は前記第二の面において開口しており、前記第二の面は、少なくとも前記供給路の開口部から前記エネルギー発生素子に向かう方向に延びている、請求項1から3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記第二の面の総面積が前記第一の面の総面積よりも大きい、請求項1から4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記絶縁層の内部に金属層が設けられており、前記金属層は、前記厚さ方向において前記エネルギー発生素子と前記配線層との間に位置し、前記金属層の一つの面が前記第二の面の少なくとも一部を構成している、請求項1から5のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記絶縁層の内部に、前記配線層と同一の層であって前記配線層から分離して電気的に独立した導電層が設けられており、前記導電層の一つの面が前記第二の面の少なくとも一部を構成している、請求項1から5のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記第二の面の少なくとも一部が、前記配線層の一部と重なり合うように位置している、請求項1から6のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記配線層の少なくとも一部が、前記エネルギー発生素子の一部と重なり合うように位置している、請求項1から8のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記エネルギー発生素子を覆う保護層をさらに有し、前記保護層の膜厚は0.1μm以上である、請求項1から9のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記絶縁層の前記第一の面の一部及び前記第二の面との間に空間を設けつつ前記第一の面及び前記第二の面を覆う部材をさらに有し、
前記流路は前記第一の面の一部及び前記第二の面と前記部材との間に形成されており、
前記厚さ方向において、前記第二の面から前記部材までの寸法は前記第一の面から前記部材までの寸法より大きく、
前記部材は、前記流路と連通して前記液体を外部に吐出するための吐出口を有する、請求項1から10のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記配線層は複数の層が積層された多層構造である、請求項1から11のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 請求項1から12のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドに供給する前記液体を収容する液体収容部と、を有することを特徴とする液体吐出装置。
- 基板に、液体を吐出するためのエネルギーを発生させるエネルギー発生素子と、前記液体を前記エネルギー発生素子と対向する位置に供給する流路と、前記エネルギー発生素子に接続された配線層と、前記配線層と前記流路内の液体とを電気的に絶縁するための絶縁層と、が設けられている液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記エネルギー発生素子を前記絶縁層の第一の面に設ける工程と、前記第一の面を掘り込んで第二の面を形成する工程とを有し、前記絶縁層の厚さ方向における前記第一の面と前記第二の面の高さの差を、前記厚さ方向における前記エネルギー発生素子と前記配線層との間の間隔以下にすることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記絶縁層の前記第一の面と前記第二の面とにより、前記流路の一部をそれぞれ画定し、
前記流路の、一部が前記第二の面によって画定されている部分の前記厚さ方向の寸法を、一部が前記第一の面によって画定されている部分の前記厚さ方向の寸法よりも大きくし、
前記流路の、一部が前記第二の面によって画定されている部分の、前記エネルギー発生素子に供給される前記液体の流れ方向に直交する断面の面積を、一部が前記第一の面によって画定されている部分の、前記流れ方向に直交する断面の面積よりも大きくする、請求項14に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記絶縁層の前記第一の面の一部及び前記第二の面との間に空間を設けつつ前記第一の面の一部及び前記第二の面を覆う部材を配置して、前記第一の面の一部及び前記第二の面と前記部材との間に前記流路を形成する工程と、
前記部材に、前記流路と連通して前記液体を外部に吐出するための吐出口を形成する工程と、をさらに有し、
前記厚さ方向において、前記第二の面から前記部材までの寸法を前記第一の面から前記部材までの寸法より大きくする、請求項14または15に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記絶縁層は、窒化ケイ素と炭化ケイ素と酸化ケイ素のうちの少なくとも1つを含む材料からなる、請求項14から16のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第二の面の形成はリアクティブイオンエッチングで行う、請求項14から17のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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