JP2020104094A - 液体吐出装置、洗浄装置およびモジュール基板の洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、液体吐出装置10の要部の構成を示した図である。液体吐出装置10は、主に吐出部11、収容容器12、圧力制御部13、収容容器12の内部のインプリント材等の吐出物(以下、液体ともいう)8を循環させる循環部40、制御部60を備える。液体吐出装置10は、収容容器12内の液体8を吐出部11のモジュール基板57に設けられた吐出口から基板4に吐出することができる。吐出口は、モジュール基板57の吐出口面58に設けられている。流体を収容可能な収容容器12の内部には、内部の空間を分離する可撓性部材で形成された分離膜14が設けられる。分離膜14の厚みは10μm以上200μm以下であることが好ましく、液体及び気体の透過性が低い材料で形成することが好ましい。分離膜14は、例えばPFA等のフッ素樹脂材のフィルムやフッ素樹脂材とプラスチック材料を組み合わせた複合多層フィルムで形成することができる。収容容器12の分離膜14で仕切られた第1収容部15には液体8が収容されており、他方の第2収容部16には充填液が収容される。第1収容部15と第2収容部16とは、分離膜14によって分けられる。第2収容部16は、接続配管17によって圧力制御部13と接続されており、第1収容部15は、吐出部11と接続される。
以下、図面を参照して本発明の第2の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は第1の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成についてのみ説明する。
図6は、その他の実施形態を示した図であり、液体吐出装置の吐出部11と保持部材80とを示した断面図である。保持部材80は、エネルギ発生手段85を備えている。洗浄の際には、吐出口面58と保持部材80との間に液柱を形成し、保持部材80が備えたエネルギ発生手段85で、保持部材80が保持した液体84を振動させて、吐出口19内および流路内の異物を、吐出口19を介して液柱内へと移動させる。このように、保持部材80が備えたエネルギ発生手段85によって、液体84を振動させることでも上述した実施形態と同様の効果を得ることができる。エネルギ発生手段85には、例えば、超音波発生手段等が挙げられる。
10 液体吐出装置
11 吐出部
18 エネルギ発生素子
19 吐出口
58 吐出口面
70 回収ユニット
80 保持部材
Claims (18)
- 液体を収容する収容容器と、
前記収容容器に収容されている液体を吐出口面に設けられた吐出口から吐出する吐出手段と、
前記吐出口面との間で液柱をなした液体を保持可能な保持手段と、
前記吐出口面と、前記保持手段との間に液体を供給して液柱を形成する形成手段と、
前記保持手段が保持する液体を回収する回収手段と、
を備えた液体吐出装置であって、
前記保持手段が保持する液体を振動させる加振手段を更に備えていることを特徴とする液体吐出装置。 - 前記加振手段は、前記吐出手段が備えている請求項1に記載の液体吐出装置。
- 前記加振手段は、前記吐出手段が液体を吐出する際に用いる吐出エネルギによって液体を加振する請求項2に記載の液体吐出装置。
- 前記保持手段は、前記回収手段を兼ねており、所定の間隔で配列された複数の櫛歯を有し、前記櫛歯の間から液体を回収する請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の液体吐出装置。
- 前記形成手段は、前記吐出手段から吐出された液体を供給して液柱を形成する請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の液体吐出装置。
- 前記加振手段は、前記保持手段が備えている請求項1に記載の液体吐出装置。
- 前記加振手段は、超音波発生手段が発生する超音波によって前記保持手段に保持された液体を振動させる請求項6に記載の液体吐出装置。
- 前記形成手段は、前記保持手段と接続された供給手段から液体を供給して液柱を形成する請求項6または請求項7に記載の液体吐出装置。
- 前記吐出手段は第1液体を吐出し、前記供給手段は第2液体を供給し、前記第2液体は、前記吐出手段が吐出する前記第1液体の増粘状態を緩和させる請求項8に記載の液体吐出装置。
- 前記吐出手段は第1液体を吐出し、前記供給手段は第2液体を供給し、前記第1液体と前記第2液体とは、同一種の液体である請求項8に記載の液体吐出装置。
- 前記回収手段は、前記保持手段と接続された負圧発生手段が発生する負圧によって液体を回収する請求項1ないし10のいずれか1項に記載の液体吐出装置。
- 前記回収手段は、前記吐出口面と前記保持手段との間に供給された液体を回収する第1回収手段と、前記吐出口面に付着した液体を吸引して回収する第2回収手段と、を有している請求項1ないし11のいずれか1項に記載の液体吐出装置。
- 前記液体はインプリント材である請求項1ないし12のいずれか1項に記載の液体吐出装置。
- 前記吐出口面と、前記保持手段とは、非接触である請求項1ないし13のいずれか1項に記載の液体吐出装置。
- 前記液柱は、前記吐出口面の全面に形成される請求項1ないし14のいずれか1項に記載の液体吐出装置。
- 前記液柱は、前記吐出口面の一部に形成される請求項1ないし14のいずれか1項に記載の液体吐出装置。
- 吐出口から液体を吐出するモジュール基板を洗浄する洗浄装置であって、
前記モジュール基板の前記吐出口が形成された吐出口面との間で、液柱を形成した液体を保持可能な保持手段と、
前記吐出口面と前記保持手段との間に液体を供給する供給手段と、
前記吐出口面と、前記保持手段との間に前記供給手段から供給された液体で液柱を形成する形成手段と、
前記保持手段で保持された液体を振動させる加振手段と、
前記保持手段で保持された液体を回収する回収手段と、
を備えることを特徴とする洗浄装置。 - 吐出口から液体を吐出するモジュール基板の洗浄方法であって、
前記モジュール基板の前記吐出口が形成された吐出口面と、前記吐出口面との間で液体を保持可能な保持部材の保持部と、を所定の距離で対向して配置する配置工程と、
前記吐出口面と前記保持部との間に液体を供給し液柱を形成することで液体を保持する保持工程と、
前記保持工程で保持された液体を振動させる加振工程と、
前記吐出口面と前記保持部との間に供給された液体を回収する回収工程と、
を備えることを特徴とするモジュール基板の洗浄方法。
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JP2015120332A (ja) * | 2013-11-22 | 2015-07-02 | キヤノン株式会社 | 液体吐出装置、液体吐出装置の制御方法、インプリント装置および部品の製造方法 |
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JP2006347000A (ja) * | 2005-06-16 | 2006-12-28 | Seiko Epson Corp | 洗浄機能を備える液滴吐出装置及び液滴吐出装置の洗浄方法 |
JP2015120332A (ja) * | 2013-11-22 | 2015-07-02 | キヤノン株式会社 | 液体吐出装置、液体吐出装置の制御方法、インプリント装置および部品の製造方法 |
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