JP2020102509A - レーザ素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】意図しない位置におけるウェハの割れを抑制することが可能なレーザ素子の製造方法を提供する。【解決手段】複数のレーザ素子が形成され、第1面に第1シートが貼り付けられ、前記第1面とは反対側の面である第2面に複数の溝が入れられかつ第2シートが貼り付けられたウェハを準備する工程と、前記第1面側から前記ウェハの前記溝と重なる位置を分割刃で押圧することで、前記溝に沿って前記ウェハを複数のバーに分割する工程と、を有し、前記バーは前記複数のレーザ素子を含み、前記ウェハの中央側における前記分割刃の押し込み量は、前記ウェハの周辺側における押し込み量よりも大きいレーザ素子の製造方法。【選択図】 図5
Description
本発明はレーザ素子の製造方法に関するものである。
レーザ素子などの半導体チップは、ウェハを劈開することで形成される。例えば、ウェハの一方の面にシートを貼り付け、他方の面に溝を形成し、ウェハに分割刃を押し当てることで溝を起点としてウェハを劈開する技術が知られている(特許文献1参照)。
レーザ素子の製造においては、ウェハを劈開することで、共振器長の幅を有する複数のバーを形成する。したがってウェハに複数の溝を入れ、劈開を複数回にわたって行う。しかし、分割刃をウェハの溝を入れた位置に押し当てた際に、押圧対象の溝とは異なる溝からウェハが割れることがある。そこで、意図しない位置におけるウェハの割れを抑制することが可能なレーザ素子の製造方法を提供することを目的とする。
本発明に係るレーザ素子の製造方法は、複数のレーザ素子が形成され、第1面に第1シートが貼り付けられ、前記第1面とは反対側の面である第2面に複数の溝が入れられかつ第2シートが貼り付けられたウェハを準備する工程と、前記第1面側から前記ウェハの前記溝と重なる位置を分割刃で押圧することで、前記溝に沿って前記ウェハを複数のバーに分割する工程と、を有し、前記バーは前記複数のレーザ素子を含み、前記ウェハの中央側における前記分割刃の押し込み量は、前記ウェハの周辺側における押し込み量よりも大きいものである。
上記発明によれば、意図しない位置におけるウェハの割れを抑制することが可能である。
[本願発明の実施形態の説明]
最初に本願発明の実施形態の内容を列記して説明する。
本願発明の一形態は、(1)複数のレーザ素子が形成され、第1面に第1シートが貼り付けられ、前記第1面とは反対側の面である第2面に複数の溝が入れられかつ第2シートが貼り付けられたウェハを準備する工程と、前記第1面側から前記ウェハの前記溝と重なる位置を分割刃で押圧することで、前記溝に沿って前記ウェハを複数のバーに分割する工程と、を有し、前記バーは前記複数のレーザ素子を含み、前記ウェハの中央側における前記分割刃の押し込み量は、前記ウェハの周辺側における押し込み量よりも大きいレーザ素子の製造方法である。分割刃を押し当てた際にウェハに加わる力が均一になるため、ウェハの割れを抑制することができる。
(2)前記分割する工程において、前記ウェハの周辺側と中央側とにおける隣り合う前記バー間の角度が同じでもよい。これによりウェハの割れをより効果的に抑制することができる。
(3)前記分割刃の押し込まれる方向は、前記分割刃が押し込まれる前の前記ウェハの第1面に対して垂直でもよい。ウェハの溝に対応する位置に垂直に力が加わることで押圧された溝を起点としてウェハが劈開し、それ以外の位置からの劈開が抑制される。
(4)前記複数の溝は互いに平行でもよい。ウェハに加わる力が溝の延伸方向において一定になり、ウェハの割れが抑制される。
最初に本願発明の実施形態の内容を列記して説明する。
本願発明の一形態は、(1)複数のレーザ素子が形成され、第1面に第1シートが貼り付けられ、前記第1面とは反対側の面である第2面に複数の溝が入れられかつ第2シートが貼り付けられたウェハを準備する工程と、前記第1面側から前記ウェハの前記溝と重なる位置を分割刃で押圧することで、前記溝に沿って前記ウェハを複数のバーに分割する工程と、を有し、前記バーは前記複数のレーザ素子を含み、前記ウェハの中央側における前記分割刃の押し込み量は、前記ウェハの周辺側における押し込み量よりも大きいレーザ素子の製造方法である。分割刃を押し当てた際にウェハに加わる力が均一になるため、ウェハの割れを抑制することができる。
(2)前記分割する工程において、前記ウェハの周辺側と中央側とにおける隣り合う前記バー間の角度が同じでもよい。これによりウェハの割れをより効果的に抑制することができる。
(3)前記分割刃の押し込まれる方向は、前記分割刃が押し込まれる前の前記ウェハの第1面に対して垂直でもよい。ウェハの溝に対応する位置に垂直に力が加わることで押圧された溝を起点としてウェハが劈開し、それ以外の位置からの劈開が抑制される。
(4)前記複数の溝は互いに平行でもよい。ウェハに加わる力が溝の延伸方向において一定になり、ウェハの割れが抑制される。
[本願発明の実施形態の詳細]
本発明の実施形態に係るレーザ素子の製造方法の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
本発明の実施形態に係るレーザ素子の製造方法の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
(分割装置)
図1は実施例1に係るレーザ素子の分割装置100を例示する斜視図である。分割装置100は、テーブル10、テーブル12、昇降テーブル14、架台16、支持部材18、ボールねじ20、モータ22、回転テーブル30を備え、後述のようにウェハを分割する装置である。
図1は実施例1に係るレーザ素子の分割装置100を例示する斜視図である。分割装置100は、テーブル10、テーブル12、昇降テーブル14、架台16、支持部材18、ボールねじ20、モータ22、回転テーブル30を備え、後述のようにウェハを分割する装置である。
テーブル12はテーブル10の上に配置され、支柱11で支持されている。テーブル12の上に円形の回転テーブル30が配置され、かつ支柱13で支持された昇降テーブル14が設けられている。昇降テーブル14をかけ渡すように架台16が設けられている。架台16の上に支持部材18が設けられ、支持部材18の上にモータ22が設けられている。ボールねじ20は、支持部材18の内側に設けられ、昇降テーブル14に螺合している。昇降テーブル14の下には分割刃32が取り付けられている。
回転テーブル30は不図示のモータの駆動によりテーブル12上においてY軸方向に移動し、かつ不図示のモータの駆動により回転テーブル30上に配置されるウェハなどを回転させる。モータ22が駆動することでボールねじ20が回転し、昇降テーブル14がZ軸方向に昇降し、分割刃32は昇降テーブル14とともにZ軸方向に移動する。分割装置100は例えばコンピュータなどの制御部を内蔵している。回転テーブル30および昇降テーブル14の移動量などをあらかじめ入力することで、分割装置100はプログラムにしたがって自動運転する。
図2は回転テーブル30を例示する平面図であり、後述の粘着シートおよび保護シートは省略している。図2に示すように、回転テーブル30の上面に冶具34(支持部)およびウェハ40が搭載される。冶具34は例えば矩形で枠状の部材であり、中央には空洞33が形成される。ウェハ40は、空洞33の内側に位置し、冶具34に囲まれる。ウェハ40のY軸方向の長さL1は例えば29mmである。空洞33の平面形状は例えば正方形であり、一辺の長さL2は例えば40mmである。ウェハ40を冶具34へのセットする際の位置の誤差を許容するため、長さL2は例えばL1の1.5倍程度でもよい。
(ウェハ)
図3(a)および図3(b)はウェハ40を例示する平面図である。図3(a)および図3(b)に示すウェハ40は例えばガリウム砒素(GaAs)などの化合物半導体などで形成され、光学利得を有する活性層、および活性層を挟むクラッド層などを含む。ウェハ40には、マトリクス状に整列した複数のレーザ素子42が形成されている。X方向に並ぶ複数のレーザ素子42はバー44を構成し、隣り合うバー44間には溝46が入れられている。ウェハ40には例えば145本のバー44が含まれる。1つのバー44の幅Wは例えば0.2mmであり、レーザ素子42の共振器長に等しい。複数の溝46はX方向に延伸し、互いに平行である。
図3(a)および図3(b)はウェハ40を例示する平面図である。図3(a)および図3(b)に示すウェハ40は例えばガリウム砒素(GaAs)などの化合物半導体などで形成され、光学利得を有する活性層、および活性層を挟むクラッド層などを含む。ウェハ40には、マトリクス状に整列した複数のレーザ素子42が形成されている。X方向に並ぶ複数のレーザ素子42はバー44を構成し、隣り合うバー44間には溝46が入れられている。ウェハ40には例えば145本のバー44が含まれる。1つのバー44の幅Wは例えば0.2mmであり、レーザ素子42の共振器長に等しい。複数の溝46はX方向に延伸し、互いに平行である。
図1に示した分割装置100は、分割刃32でウェハ40を押圧し、溝46に沿ってウェハ40を劈開することで、図3(b)に示すようにバー44を1つずつ切り出す。なお、複数のバー44のうち、最も+Y側のものをバー44aとし、バー44aの隣のものをバー44bとする。複数の溝46のうち、最も+Y側のものを溝46aとし、溝46aの隣のものを溝46bとする。
(製造方法)
図4(a)から図4(d)は実施例1に係るレーザ素子の製造方法を例示する断面図である。図5(a)から図5(c)は分割の工程を例示する断面図であり、図5(d)はウェハ40を拡大した図である。図4(a)の前の段階で、ウェハ40の一方の面41には複数のレーザ素子42が作り込まれている。
図4(a)から図4(d)は実施例1に係るレーザ素子の製造方法を例示する断面図である。図5(a)から図5(c)は分割の工程を例示する断面図であり、図5(d)はウェハ40を拡大した図である。図4(a)の前の段階で、ウェハ40の一方の面41には複数のレーザ素子42が作り込まれている。
図4(a)に示すように、ウェハ40のうち面41とは反対側の面43に、例えばポリ塩化ビニル(PCV)の粘着シート50を貼り付ける。図4(b)に示すように、例えばダイヤモンドカッターなどで、ウェハ40を面41からZ軸方向に切り込むことで複数の溝46を形成する。溝46は面41に対して垂直であり、面43には到達しない。
図4(c)に示すように、ウェハ40の面41に、例えばポリエチレンテレフタラート(PET)の保護シート52を貼り付ける。冶具34を回転テーブル30上に配置し、面41を下に、面43を上にしてウェハ40を冶具34に配置する。冶具34の上に保護シート52および粘着シート50が位置する。ウェハ40は空洞33内に配置され、冶具34に囲まれる。ウェハ40の面43および粘着シート50が+Z側を向き、面41および保護シート52が−Z側を向く。
分割装置100に、バー44の本数、バー44の幅(共振器長)、劈開を開始する位置(X座標、Y座標)、分割刃32の押し込み量などを入力する。なお、上記のようなウェハを準備する工程と、分割装置100の設定とはどちらを先に実施してもよいし、並行して行ってもよい。
図4(d)に示すように、粘着シート50を介して、面43側から、ウェハ40の溝46と重なる位置を分割刃32で押圧する。分割刃32はX軸方向に延伸し、溝46と平行になるように、ウェハ40上に配置される。分割刃32は+Z側から−Z側へと、面43に対して垂直に下降し、所定の押し込み量の分ウェハ40を押し込み、元の位置に上昇する。分割刃32は例えばウェハ40の+Y側端部から−Y側端部へと順に、ウェハ40の溝46に対応する位置を押圧する。これによりウェハ40を劈開し、複数のバー44に分割する。
図5(a)から図5(c)ではウェハ40を+Y側から−Y側にかけて順に劈開する例を示しており、溝46および保護シート52を省略している。図5(a)は+Y側端部付近での劈開を示している。分割刃32は複数の溝46のうち最も+Y側の溝46の上からウェハ40を押圧する。押圧により粘着シート50およびウェハ40は−Z方向に変形し、ウェハ40が劈開しバー44が形成される。
図5(d)は図5(a)におけるウェハ40を拡大している。図5(d)に示すように、ウェハ40は溝46aの上から押圧され、溝46aを起点として押し広げられ、劈開する。このとき、図3(a)に示す溝46aに沿ってウェハ40が+X側から−X側にかけて劈開し、図3(b)に示すようにウェハ40からバー44aが分離する。例えば溝46bなど押し込み位置以外においてウェハ40は劈開せず、バー44bはウェハ40に連結された状態を維持する。
図5(a)の工程において、分割刃32の押し込み量Z1は例えば0.27mmである。押し込み量とは、分割刃32の押し込み前における粘着シート50上面の高さと、分割刃32が最下点まで達したときの押し込み位置における粘着シート50の上面の高さとの差である。分離したバー44の端部とウェハ40の端部との間の角度θ1は例えば183.4°である。
劈開後、分割刃32は上昇し、ウェハ40は水平に戻る。分割刃32はバー44の1本分−Y側に移動し、ウェハ40を順次押圧してバー44を形成する。図5(b)はウェハ40の中央での劈開を示す。このときの分割刃32の押し込み量Z2は例えば0.6mmであり、バー44とウェハ40とのなす角度はθ1である。
図5(c)は−Y側端部付近での劈開を示す。分割刃32の押し込み量Z3は例えば0.27mmであり、図5(a)のZ1に等しい。バー44とウェハ40とのなす角度はθ1である。
図6はウェハ40の劈開位置ごとの押し込み量の例を示す図である。横軸は劈開位置であり、0mmは冶具34の+Y側端部であり、40mmは−Y側端部である。押し込み量は図5(a)から図5(c)と同様に+Z側から−Z側にかけての変位であり、分割刃32の押し込み前が0mmである。図6に示すように、押し込み量は端部側ほど小さく、中央側ほど大きい。
以上のように、分割刃32の押し込み量をウェハ40の位置ごとに調整することで、分割刃32押し込み時の角度はいずれの位置でも同一となる。このため劈開時に粘着シート50および保護シート52からウェハ40に作用する張力は等しくなり、後述の比較例のように張力の増大が抑制される。この結果、図5(d)に示したように分割刃32を押圧させた位置でウェハ40は劈開し、他の位置からの劈開は抑制される。
分割装置100からウェハ40を取り外し、保護シート52を剥がす。粘着シート50を拡張し、バー44同士の隙間を広げ、バー44を粘着シート50から取り出す。バー44を成膜装置にセットし、バー44の端面(劈開面)にコーティングを行う。さらにダイシングなどを行い、バー44からチップ状のレーザ素子42を形成する。
(比較例)
図7(a)から図7(c)は比較例における分割の工程を例示する断面図であり、図7(d)はウェハ40を拡大した図である。
図7(a)から図7(c)は比較例における分割の工程を例示する断面図であり、図7(d)はウェハ40を拡大した図である。
図7(a)から図7(c)に示すように、ウェハ40のいずれの位置においても分割刃32の押し込み量はZ4で一定である。このため、図7(b)のようにウェハ40の中央側における角度θ2に比べて、図7(a)および図7(b)に示すウェハ40の端部側での角度θ3は大きくなる。
図7(d)は図7(a)におけるウェハ40を拡大している。比較例においては実施例1に比べて劈開時の角度が大きいため、粘着シート50から大きな張力が発生する。特にウェハ40の端部側ほど角度が大きいため、ウェハ40に加わる力も大きくなる。この結果、溝46aの隣の溝46bからもウェハ40が劈開してしまう。図8は比較例におけるウェハ40を例示する平面図である。図8に破線で示すように、例えば溝46bのうち+X側の一部からウェハ40が劈開してしまう。
劈開の後、分割刃32を上昇させるとウェハ40が水平となる。このとき図7(d)のバー44bはウェハ40から完全に分離していないため、バー44bがウェハ40に接触し、バー44bおよびウェハ40が破損する恐れがある。また、図8に示すようにバー44bとウェハ40とは一部で分離され、一部では連結されている。このため分割刃32を溝46bに対応する位置に押し当てると、ウェハ40に力が不均衡に加わり、バリが発生することもある。
分割刃32を複数の溝46に対応する位置に順次押し当てると、押圧した溝46の1つ先の溝46からもウェハ40の割れが生じ、複数のバー44に損傷およびバリなどが発生してしまう。
一方、実施例1によれば、図5(a)から図6に示すように、ウェハ40の中央側における分割刃32の押し込み量を、周辺側における押し込み量よりも小さくする。これにより劈開時にバー44とウェハ40とのなす角は一定となり、劈開時に粘着シート50からウェハ40に加わる張力が、各押圧位置で同程度となる。このため意図しない位置におけるウェハ40の割れを抑制することができる。したがって、分割刃32の上昇時のバー44およびウェハ40の接触、バリの発生などを抑制することができる。
分割刃32の押し込み量は、図5(a)および図5(c)に示すウェハ40の周辺側における押し込み時の角度と、図5(b)に示す中央側における押し込み時の角度とが同じになるように定める。これによりウェハ40の割れを効果的に抑制することができる。なお、角度θ1は、押圧された溝46からウェハ40が劈開され、当該溝46以外から劈開しない程度の大きさとする。実施例1において角度θ1は例えば183.4°である。周辺部における押し込み量Z1は例えば0.27mm、中央部における押し込み量Z2は例えば0.6mmとする。
図4(d)に示すように、溝46は面43に対して垂直であり、分割刃32の押し込み前のウェハ40の面43に対して垂直に分割刃32を押し当てる。ウェハ40の溝46に対応する位置に垂直に力が加わることで、ウェハ40が当該溝46を起点として劈開し、それ以外の位置からの劈開が抑制される。
図3(a)および図3(b)に示すように、複数の溝46は互いに平行であり、X軸方向に延伸する。このため分割刃32を1つの溝46に押し当てた際、隣の溝46付近に加わる力は一定である。例えば図3(a)および図3(b)に示すように、溝46aからウェハ40を押圧するとき、溝46b付近に加わる力はX軸方向に沿って一定である。このため溝46bからの劈開が抑制される。
分割装置100に、バー44の本数、バー44の幅(共振器長)、劈開を開始する位置(X座標、Y座標)、分割刃32の押し込み量などを入力することで、自動運転させることができる。ウェハ40のサイズなどに応じて、適切なパラメータを入力すればよい。
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
10、12 テーブル
11、13 支柱
14 昇降テーブル
16 架台
18 支持部材
20 ボールねじ
22 モータ
30 回転テーブル
32 分割刃
33 空洞
34 冶具
40 ウェハ
41、43 面
42 レーザ素子
44、44a、44b バー
46、46a、46b 溝
50 粘着シート
52 保護シート
100 分割装置
11、13 支柱
14 昇降テーブル
16 架台
18 支持部材
20 ボールねじ
22 モータ
30 回転テーブル
32 分割刃
33 空洞
34 冶具
40 ウェハ
41、43 面
42 レーザ素子
44、44a、44b バー
46、46a、46b 溝
50 粘着シート
52 保護シート
100 分割装置
Claims (4)
- 複数のレーザ素子が形成され、第1面に第1シートが貼り付けられ、前記第1面とは反対側の面である第2面に複数の溝が入れられかつ第2シートが貼り付けられたウェハを準備する工程と、
前記第1面側から前記ウェハの前記溝と重なる位置を分割刃で押圧することで、前記溝に沿って前記ウェハを複数のバーに分割する工程と、を有し、
前記バーは前記複数のレーザ素子を含み、
前記ウェハの中央側における前記分割刃の押し込み量は、前記ウェハの周辺側における押し込み量よりも大きいレーザ素子の製造方法。 - 前記分割する工程において、前記ウェハの周辺側と中央側とにおける隣り合う前記バー間の角度が同じである請求項1に記載のレーザ素子の製造方法。
- 前記分割刃の押し込まれる方向は、前記分割刃が押し込まれる前の前記ウェハの第1面に対して垂直である請求項1または2に記載のレーザ素子の製造方法。
- 前記複数の溝は互いに平行である請求項1から3のいずれか一項に記載のレーザ素子の製造方法。
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