JP2020100045A - ホルダユニット - Google Patents

Abstract

【課題】スクライビングホイールをより円滑に回転できるホルダユニットを提供する。【解決手段】ホルダユニット１００は、スクライビングホイール１２０と、スクライビングホイール１２０を支持するとともにスクライビングホイール１２０と一体に回転する支持ピン１３０と、支持ピン１３０を収容するピン収容部を有するホルダ１１０と、走査方向において、支持ピン１３０の一方側と接触可能な第１回転体１４０Ａと、支持ピン１３０の他方側と接触可能な第２回転体１５０Ａと、第１回転体１４０Ａを回転可能に支持する第１ピン１６０と、第２回転体１５０Ａを回転可能に支持する第２ピン１７０と、を備える。【選択図】図６

Description

本開示は、ホルダユニットに関する。

脆性材料基板等の被加工物に対するスクライブラインの形成にスクライブ装置が用いられることが知られている。このスクライブ装置は、被加工物をスクライブするスクライビングホイールと、スクライビングホイールと一体に回転する支持ピンと、支持ピンを保持するホルダとから主に構成されるホルダユニットを備える。スクライブでは、スクライビングホイールが被加工物の表面に押し付けられた状態で被加工物とスクライビングホイールとが相対的に移動し、被加工物にスクライブラインが形成される。なお、従来のスクライブ装置の一例として特許文献１が挙げられる。

特開２００２−２３４７４８号公報

従来のホルダユニットでは、ホルダに形成された貫通孔に支持ピンが挿入され、スクライビングホイールの回転にともない支持ピンが貫通孔を構成する内面を摺動することによってスクライビングホイールの貫通孔に対する変位を制限している。しかし、支持ピンと貫通孔を構成する内面とがすべり摩擦となるため、支持ピンと貫通孔を構成する内面との間の摩擦抵抗が大きくなる。

本開示の目的は、スクライビングホイールをより円滑に回転できるホルダユニットを提供することである。

本開示に関するホルダユニットは、スクライビングホイールと、前記スクライビングホイールを支持するとともに前記スクライビングホイールと一体に回転する支持ピンと、前記支持ピンを収容するピン収容部を有するホルダと、前記スクライビングホイールの走査方向において、前記支持ピンの一方側と接触可能な第１回転体と、前記支持ピンの他方側と接触可能な第２回転体と、前記第１回転体を回転可能に支持し、前記ホルダに取り付けられる第１ピンと、前記第２回転体を回転可能に支持し、前記ホルダに取り付けられる第２ピンと、を備える。
この構成によれば、第１回転体および第２回転体によって、スクライビングホイールの走査方向における支持ピンの移動が制限される。そして、スクライビングホイールの回転とともに支持ピンが回転する場合、支持ピンと接触する第１回転体が第１ピンに対して回転し、支持ピンと接触する第２回転体が第２ピンに対して回転する。このため、支持ピンと第１回転体との間が転がり摩擦抵抗となり、支持ピンと第２回転体との間が転がり摩擦抵抗となる。転がり摩擦抵抗は、すべり摩擦抵抗よりも小さいため、支持ピンがより円滑に回転する。したがって、スクライビングホイールをより円滑に回転できる。

前記ホルダユニットの一例では、前記ホルダユニットの高さ方向において、前記第１回転体および前記第２回転体は同じ位置に配置され、かつ、前記第１回転体の回転中心および前記第２回転体の回転中心はそれぞれ、前記支持ピンよりも前記ホルダの先端部とは反対側に配置され、前記走査方向において、前記第１回転体と前記第２回転体との間の距離は、前記支持ピンの外径よりも小さい。
この構成によれば、第１回転体および第２回転体によって、ホルダユニットの高さ方向において支持ピンの移動が制限される。そしてスクライビングホイールの走査方向における第１回転体と第２回転体との間の距離の最小値が支持ピンの外径よりも小さいため、第１回転体と第２回転体との間の最小値となる部分に支持ピンが入り込むことが防止される。したがって、支持ピンが円滑に回転できる。

前記ホルダユニットの一例では、前記ホルダは、前記スクライビングホイールを収容するホイール収容部を有し、前記第１回転体および前記第２回転体の少なくとも一方は、前記ホイール収容部に収容されている。
この構成によれば、第１回転体および第２回転体がホイール収容部の外部に配置される構成と比較して、ホルダユニットを小型化できる。

前記ホルダユニットの一例では、前記第１回転体および前記第２回転体はそれぞれ、複数個設けられ、前記第１回転体は、前記支持ピンの軸方向において前記スクライビングホイールの両側に配置され、前記第２回転体は、前記支持ピンの軸方向において前記スクライビングホイールの両側に配置されている。
この構成によれば、支持ピンの軸方向において複数個の回転体によって支持ピンが支持されるため、支持ピンをより安定して支持できる。したがって、支持ピンのふらつきが小さくなることによって、スクライビングホイールのふらつきが小さくなるため、スクライブ品質を向上できる。

前記ホルダユニットの一例では、前記ピン収容部は、前記ホルダの先端部が開口するスリットとして形成されている。
この構成によれば、スクライビングホイールと支持ピンとが一体化した状態でスリットを介してホルダから取り外すことができる。このため、例えばスクライビングホイールおよび支持ピンの少なくとも一方を交換する必要が生じた場合、ホルダユニットごと交換するのではなく、スクライビングホイールおよび支持ピンの交換で対応できる。したがって、部品交換の際のコストを低減できる。

前記ホルダユニットの一例では、前記ホルダに取り付けられ、前記支持ピンの軸方向の一方の端部を保持する保持部材と、前記ホルダに取り付けられ、前記支持ピンの軸方向の他方の端部を前記保持部材に向けて押す付勢部材と、をさらに備え、前記保持部材は、前記支持ピンが前記ホルダの先端側に移動することを制限する制限部を有する。
この構成によれば、支持ピンの軸方向において支持ピンの変位を制限できる。加えて、制限部によってホルダユニットの高さ方向において支持ピンがホルダの先端側に移動することが制限されるため、ホルダから支持ピンおよびスクライビングホイールが脱落することを抑制できる。

前記ホルダユニットの一例では、前記第１回転体および前記第２回転体の少なくとも一方は、転がり軸受である。
この構成によれば、第１回転体および第２回転体をすべり軸受とする構成と比較して、第１回転体の回転抵抗および第２回転体の回転抵抗が小さくなる。したがって、支持ピンの回転力が第１回転体および第２回転体に伝達される場合に第１回転体および第２回転体がより円滑に回転できる。

前記ホルダユニットの一例では、前記第１回転体の外径および前記第２回転体の外径はそれぞれ、前記スクライビングホイールの外径よりも大きい。
被加工物の厚みが薄くなるにつれてスクライビングホイールが被加工物に加える荷重を小さくする必要があるため、スクライビングホイールの外径を小さくする必要がある。一方、第１回転体および第２回転体の外径が小さくなるにつれて製造が難しくなるため、製造コストが高くなる。この点に鑑み、本ホルダユニットでは、第１回転体および第２回転体の外径をスクライビングホイールの外径よりも大きくすることによって、スクライビングホイールの外径を小さくしても第１回転体および第２回転体の製造コストの増加を抑制できる。

本ホルダユニットによれば、スクライビングホイールをより円滑に回転できる。

実施形態のホルダユニットを備えるスクライブ装置の斜視図。 （ａ）はホルダユニットの正面図、（ｂ）は（ａ）のスクライビングホイールおよびその周辺の拡大図、（ｃ）は（ａ）の保持部材の制限部およびその周辺の拡大図。 ホルダユニットの側面図。 図３における支持ピンおよびその周辺の拡大図。 図２の５−５線の断面図。 図２の６−６線の断面図。 （ａ）〜（ｃ）は変更例の支持ピンの断面図。 （ａ）および（ｂ）は変更例の支持ピンおよびスクライビングホイールの正面図。 変更例のホルダユニットの正面図。

（実施形態）
スクライブ装置は、スクライビングホイールを被加工物に押し付けた状態でスクライビングホイールと被加工物とを相対的に移動させることにより、被加工物の表面にスクライブラインを形成する。スクライブ装置におけるこの動作はスクライビングホイールの走査と称される。スクライビングホイールの走査方法は、主に３つの方法に分類される。第１走査方法では、スクライブ加工時にスクライビングホイールの位置が保持され、スクライビングホイールに対して被加工物が搬送される。被加工物の搬送によりスクライビングホイールが被加工物の表面上で相対的に所定の走査方向に走査される。第２走査方法では、スクライブ加工時に被加工物の位置が保持され、被加工物に対してスクライビングホイールが所定の走査方向に走査される。第３走査方法では、第１走査方法と第２走査方法とが組み合わせられ、被加工物に対してスクライビングホイールが所定の走査方向に走査される。

被加工物の一例は、脆性材料基板である。脆性材料基板の一例は、ガラス基板およびセラミックス基板である。ガラス基板の一例は、無アルカリガラスの基板である。脆性材料基板から形成された無アルカリガラスの基板は、例えばフラットパネルディスプレイに用いられる。フラットパネルディスプレイの一例は、テレビ受信機のディスプレイおよびスマートフォンのディスプレイである。スマートフォンのディスプレイに用いられる無アルカリガラスの基板は特に薄い。スマートフォンのフラットパネルディスプレイに用いられる１枚のガラス基板の厚さは、例えば０．１５ｍｍ〜０．３０ｍｍの範囲に含まれる。液晶テレビジョンのフラットパネルディスプレイに用いられる１枚のガラス基板の厚さは、例えば０．４ｍｍ〜０．７ｍｍの範囲に含まれる。

スクライブ加工時にスクライビングホイールが被加工物に加える荷重の適正範囲は、被加工物の厚みと相関を有する。荷重の適正範囲は、スクライブ加工された被加工物のクラックの形成状態が好ましい状態となるように決められる。汎用的な脆性材料基板では、厚みが薄くなるほど荷重の適正範囲が狭くなる。これは薄い脆性材料基板ほどスクライビングホイールの荷重の変動にともなう品質の低下が生じやすいことを意味する。液晶テレビジョンのフラットパネルディスプレイの製造では、例えば厚さ０．５ｍｍの脆性材料基板が２枚積層された状態でスクライブ加工が実施される。この場合の荷重の適正範囲は１０Ｎ〜１５Ｎである。スマートフォンのディスプレイの製造では、例えば厚さ０．１５ｍｍの脆性材料基板が２枚積層された状態でスクライブ加工が実施される。この場合の荷重の適正範囲は４Ｎ〜７Ｎである。また、被加工物の厚みは、スクライビングホイールの外径と相関を有する。被加工物の厚みが薄くなるにつれて、外径の小さいスクライビングホイールが用いられることが好ましい。言い換えれば、スクライビングホイールが被加工物に加える荷重が小さくなるにつれて、外径の小さいスクライビングホイールが用いられることが好ましい。

図１では、被加工物Ｗが薄い場合でも適正な品質が得られるように被加工物Ｗをスクライブ加工するスクライブ装置１０の一例を示している。スクライブ装置１０は、スクライビングホイール１２０（図２参照）に対して被加工物Ｗを搬送することにより被加工物Ｗにスクライブラインを形成する。スクライブ装置１０を構成する主な要素は、搬送装置２０および加工装置３０である。搬送装置２０は、レール２１、テーブル２２、直進駆動機構２３、回転駆動機構２４、および、真空吸引装置２５により構成される。以下の説明では、被加工物Ｗが搬送される方向を搬送方向ＤＡと称し、スクライブ装置１０の平面視において搬送方向ＤＡに直交する方向を幅方向ＤＢと称し、搬送方向ＤＡおよび幅方向ＤＢに直交する方向を高さ方向ＤＣと称する。搬送方向ＤＡには、第１搬送方向、および、これとは反対の第２搬送方向が含まれる。幅方向ＤＢには、第１幅方向、および、これとは反対の第２幅方向が含まれる。高さ方向ＤＣには、上方および下方が含まれる。

図示される例では、スクライブ装置１０のベース（図示略）に一対のレール２１が配置されている。レール２１の形状は、搬送方向ＤＡを規定する直線である。一方のレール２１と他方のレール２１とは、幅方向ＤＢに一定の間隔を空けて配置されている。テーブル２２は、スライダ２２Ａ、支柱２２Ｂ、および、天板２２Ｃに区分される。スライダ２２Ａは、レール２１に沿って移動できるように各レール２１に連結されている。支柱２２Ｂは、内部に他の要素を配置できるように構成される中空の部分であり、スライダ２２Ａ上に設けられている。天板２２Ｃは、被加工物Ｗを配置するための部分であり、支柱２２Ｂ上に設けられている。

直進駆動機構２３は、テーブル２２をレール２１に対して移動させる。直進駆動機構２３は、例えばモータ２３Ａおよび送りねじ２３Ｂにより構成される。モータ２３Ａは、スクライブ装置１０のベース（図示略）に配置されている。モータ２３Ａの出力軸は、モータ２３Ａの回転中心軸まわりで送りねじ２３Ｂが回転するように送りねじ２３Ｂに連結されている。送りねじ２３Ｂは、一対のレール２１の間に配置されている。送りねじ２３Ｂの長手方向は、レール２１の長手方向に平行である。スライダ２２Ａは、送りねじ２３Ｂの回転にともない送りねじ２３Ｂの長手方向に移動するように送りねじ２３Ｂに連結されている。モータ２３Ａが回転することにより送りねじ２３Ｂが回転し、送りねじ２３Ｂの回転方向に応じてテーブル２２がレール２１に対して第１搬送方向または第２搬送方向に移動する。

回転駆動機構２４および真空吸引装置２５は、支柱２２Ｂ内に配置されている。回転駆動機構２４は、高さ方向ＤＣに平行な中心軸心まわりで天板２２Ｃを支柱２２Ｂに対して回転させる。真空吸引装置２５は、天板２２Ｃ上に配置された被加工物Ｗを天板２２Ｃに吸着させる。スクライブ加工は、真空吸引装置２５により被加工物Ｗが吸着された状態で実施される。

加工装置３０は、縦フレーム３１、横フレーム３２、スクライブヘッド３３、ホルダジョイント３４、ホルダユニット１００、横駆動機構３５、および、縦駆動機構３６により構成される。縦フレーム３１、横フレーム３２、スクライブヘッド３３、および、ホルダジョイント３４は、例えばそれぞれの機能に適合する金属により構成される。

図示される例では、スクライブ装置１０のベース（図示略）に一対の縦フレーム３１が配置されている。縦フレーム３１の長手方向は高さ方向ＤＣに平行である。一対の縦フレーム３１は、一対のレール２１を挟むように幅方向ＤＢにおける各レール２１の外側に配置されている。横フレーム３２は、一対の縦フレーム３１の間に設けられている。横フレーム３２の長手方向は、幅方向ＤＢに平行である。横フレーム３２は、各縦フレーム３１に固定されている。横フレーム３２には、例えば横フレーム３２の長手方向に平行な溝であるガイド３２Ａが設けられている。

スクライブヘッド３３は、ホルダジョイント３４を支持するベースである。スクライブヘッド３３は、横フレーム３２に沿って幅方向ＤＢに移動できるようにガイド３２Ａに連結されている。ホルダジョイント３４は、スクライブヘッド３３の下部に連結されている。ホルダジョイント３４は、ホルダユニット１００を着脱できるように構成される。

横駆動機構３５は、スクライブヘッド３３を横フレーム３２に対して幅方向ＤＢに移動させる。横駆動機構３５は、例えばモータ３５Ａおよび送りねじ３５Ｂにより構成される。モータ３５Ａは、一方の縦フレーム３１に設けられている。モータ３５Ａの出力軸は、モータ３５Ａの回転中心軸まわりで送りねじ３５Ｂが回転するように送りねじ３５Ｂに連結されている。送りねじ３５Ｂは、横フレーム３２内に配置されている。送りねじ３５Ｂの長手方向は、横フレーム３２の長手方向に平行である。スクライブヘッド３３は、送りねじ３５Ｂの回転にともない送りねじ３５Ｂの長手方向に移動するように送りねじ３５Ｂに連結されている。モータ３５Ａが回転することにより送りねじ３５Ｂが回転し、送りねじ３５Ｂの回転方向に応じてスクライブヘッド３３が横フレーム３２に対して第１幅方向または第２幅方向に移動する。ホルダジョイント３４およびホルダユニット１００は、スクライブヘッド３３と一体的に幅方向ＤＢに移動する。

縦駆動機構３６は、スクライブヘッド３３に設けられている。縦駆動機構３６は、第１駆動機構３６Ａおよび第２駆動機構３６Ｂを有する。第１駆動機構３６Ａは、スクライブヘッド３３を高さ方向ＤＣに移動させる。第２駆動機構３６Ｂは、ホルダジョイント３４をスクライブヘッド３３に対して移動させることにより被加工物Ｗにスクライブ荷重を付与する。第１駆動機構３６Ａは、例えばモータおよび送りねじにより構成される。モータの出力軸は、モータの回転中心軸まわりで送りねじが回転するように送りねじに連結されている。送りねじの長手方向は、高さ方向ＤＣに平行である。スクライブヘッド３３は、送りねじの回転にともない送りねじの長手方向に移動するように送りねじに連結されている。モータが回転することにより送りねじが回転し、送りねじの回転方向に応じてスクライブヘッド３３がガイド３２Ａに対して上方または下方に移動する。ホルダユニット１００は、ホルダジョイント３４と一体的に高さ方向ＤＣに移動する。第２駆動機構３６Ｂは、例えばエアシリンダまたはサーボモータと、直動機構とにより構成される。第２駆動機構３６Ｂは、スクライブヘッド３３内に配置されている。エアシリンダまたはサーボモータは、直動機構を高さ方向ＤＣに移動させる。ホルダジョイント３４は、直動機構に取り付けられている。直動機構およびホルダジョイント３４は、一体的に高さ方向ＤＣに移動する。

図２〜図６を参照して、ホルダユニット１００の詳細な構成について説明する。以下の説明において、高さ方向ＤＣにおいて、ホルダユニット１００から被加工物Ｗに向かう方向を「下方」と称し、被加工物Ｗからホルダユニット１００に向かう方向を「上方」と称する。また、スクライビングホイール１２０の走査方向を「走査方向ＤＳ」と称し、高さ方向ＤＣと走査方向ＤＳと直交する方向を「幅方向ＤＤ」と称する。幅方向ＤＤにおいてホルダユニット１００の中心線Ｃに向かう方向を「内方」と称し、中心線Ｃから離間する方向を「外方」と称する。

図２（ａ）は、走査方向ＤＳから見たホルダユニット１００の正面構造を示す。図２（ａ）および図４に示されるように、ホルダユニット１００は、ホルダ１１０、スクライビングホイール１２０、支持ピン１３０、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂ、第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂ、第１ピン１６０、および、第２ピン１７０を備える。

図２（ａ）および図３に示されるように、ホルダ１１０は、スクライビングホイール１２０を収容するホイール収容部１１１と、支持ピン１３０を収容するピン収容部１１２とを有する。ホイール収容部１１１は、幅方向ＤＤにおいてホルダ１１０の中央に設けられ、下方に向けて開口している。ホルダ１１０は、ホイール収容部１１１を構成する一対の壁部１１３を有する。一対の壁部１１３は、幅方向ＤＤに間隔をあけて配置され、高さ方向ＤＣに沿って延びている。ピン収容部１１２は、ホルダ１１０の先端部が開口するスリットとして形成されている。具体的には、ピン収容部１１２は、一対の壁部１１３の先端部（下端部）において下方が開口するスリットとして形成されている（図４参照）。一対の壁部１１３の先端部は、幅方向ＤＤの内方に向かうにつれて下方に傾斜する傾斜面１１３ａが形成されている。ピン収容部１１２は、一対の壁部１１３の先端部のうちの走査方向ＤＳの中央部に形成されている。

スクライビングホイール１２０を構成する材料の一例は、超硬金属、焼結ダイヤモンド（Poly Crystalline Diamond）、単結晶ダイヤモンド、および、多結晶ダイヤモンドである。図２（ｂ）に示されるように、スクライビングホイール１２０は、円板状の本体部１２１と、断面Ｖ字状の刃先部１２２とから構成される。断面Ｖ字状とは、スクライビングホイール１２０の厚さ方向（幅方向ＤＤ）に沿う平面でスクライビングホイール１２０を切った断面において、スクライビングホイール１２０の外周縁に向けて先細る形状である。

刃先部１２２は、断面Ｖ字状を形成する２つの斜面である第１斜面１２２Ａおよび第２斜面１２２Ｂを有する。第１斜面１２２Ａおよび第２斜面１２２Ｂは、幅方向ＤＤにおけるスクライビングホイール１２０の中心であって、幅方向ＤＤに直交する回転中心面ＲＣに対して対称である。なお、スクライビングホイール１２０は、第１斜面１２２Ａおよび第２斜面１２２Ｂは、回転中心面ＲＣに対して非対称な構成であってもよい。

本体部１２１の中心部には、本体部１２１を幅方向ＤＤに貫通する孔１２３が形成されている。孔１２３には、支持ピン１３０が挿入または圧入されている。本実施形態では、支持ピン１３０は、孔１２３に圧入されている。このため、支持ピン１３０とスクライビングホイール１２０とは一体に回転する。

図２（ａ）に示されるように、支持ピン１３０は、円柱状に形成されている。図４に示されるように、支持ピン１３０は、ピン収容部１１２に下方から挿入される。より詳細には、支持ピン１３０は、ピン収容部１１２と接触していない。すなわち走査方向ＤＳにおいて、ピン収容部１１２と支持ピン１３０との間には隙間が形成され、高さ方向ＤＣにおいてピン収容部１１２の上端部と支持ピン１３０との間には隙間が形成されている。図２（ａ）に示されるように、支持ピン１３０は、幅方向ＤＤにおいて一対の壁部１１３よりも外方に突出している。支持ピン１３０の軸方向の両端部には、球面１３１が形成されている。

図２（ａ）および図４に示されるように、ホイール収容部１１１には、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂ及び第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂがさらに収容されている。第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂは、支持ピン１３０の軸方向において、スクライビングホイール１２０の両側に配置されている。具体的には、幅方向ＤＤにおいて、第１回転体１４０Ａはスクライビングホイール１２０の一方側に配置され、第１回転体１４０Ｂはスクライビングホイール１２０の他方側に配置されている。第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂは、支持ピン１３０の軸方向において、スクライビングホイール１２０の両側に配置されている。具体的には、幅方向ＤＤにおいて、第２回転体１５０Ａはスクライビングホイール１２０の一方側に配置され、第２回転体１５０Ｂはスクライビングホイール１２０の他方側に配置されている。走査方向ＤＳにおいて、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂはスクライビングホイール１２０の一方側に配置され、第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂはスクライビングホイール１２０の他方側に配置されている。本実施形態では、各回転体１４０Ａ，１４０Ｂ，１５０Ａ，１５０Ｂは、転がり軸受が用いられる。

図５に示されるように、第１回転体１４０Ａは、内輪１４１、外輪１４２、一対のカバー１４３、および、転動体を有する。一対のカバー１４３は、第１回転体１４０Ａの回転中心軸に沿う方向において内輪１４１の両端部および外輪１４２の両端部に取り付けられている。転動体は、内輪１４１、外輪１４２、および、一対のカバー１４３によって囲まれた空間に配置されている。転動体の形状は、球状、円柱状、円錐台状等である。なお、本実施形態の第１回転体１４０Ｂは、第１回転体１４０Ａと同一の構成である。

第２回転体１５０Ａは、内輪１５１、外輪１５２、一対のカバー１５３、および、転動体を有する。一対のカバー１５３は、第２回転体１５０Ａの回転中心軸に沿う方向において内輪１５１の両端部および外輪１５２の両端部に取り付けられている。転動体は、内輪１５１、外輪１５２、および、一対のカバー１５３によって囲まれた空間に配置されている。転動体の形状は、球状、円柱状、円錐台状等である。なお、本実施形態の第２回転体１５０Ｂは、第２回転体１５０Ａと同一の構成である。

本実施形態では、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂの外径（外輪１４２の直径）は、第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂの外径（外輪１５２の直径）と等しい。各回転体１４０Ａ，１４０Ｂ，１５０Ａ，１５０Ｂの外径は、支持ピン１３０の外径およびスクライビングホイール１２０の外径よりも大きい。第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂの内径（内輪１４１の内径）は、第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂの内径（内輪１５１の内径）と等しい。ここで、外径が等しい、および、内径が等しいとは、各回転体の製品のばらつき（各回転体の製造上における加工誤差および組み立て誤差）を含む。

図２（ａ）および図５に示されるように、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂは、第１ピン１６０により支持されている。第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂは、第２ピン１７０により支持されている。第１ピン１６０は、支持ピン１３０に対して走査方向ＤＳの一方側かつ支持ピン１３０よりも上方に配置されている。第２ピン１７０は、支持ピン１３０に対して走査方向ＤＳの他方側かつ支持ピン１３０よりも上方に配置されている。第１ピン１６０の高さ方向ＤＣの位置は、第２ピン１７０の高さ方向ＤＣの位置と同じである。このように、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂの回転中心軸となる第１ピン１６０の中心軸Ｃ１は、支持ピン１３０の中心軸ＣＳよりも走査方向ＤＳの一方側かつ上方に位置している。第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂの回転中心軸となる第２ピン１７０の中心軸Ｃ２は、支持ピン１３０の中心軸ＣＳよりも走査方向ＤＳの他方側かつ上方に位置している。

第１ピン１６０および第２ピン１７０はそれぞれ、円柱状に形成されている。第１ピン１６０の外径は、第２ピン１７０の外径と等しい。ここで、外径が等しいとは、各ピンの製品のばらつき（各ピンの加工誤差）を含む。第１ピン１６０は、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂの内輪１４１に挿入または圧入されている。第２ピン１７０は、第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂの内輪１５１に挿入または圧入されている。本実施形態では、第１ピン１６０は第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂの内輪１４１に圧入され、第２ピン１７０は第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂの内輪１５１に圧入されている。

第１ピン１６０および第２ピン１７０は、ホルダ１１０の一対の壁部１１３によって保持されている。より詳細には、図４に示されるように、一対の壁部１１３には、第１ピン１６０が取り付けられる第１孔１１４と、第２ピン１７０が取り付けられる第２孔１１５とが形成されている。第１孔１１４および第２孔１１５は、壁部１１３を幅方向ＤＤに貫通する孔である。第１孔１１４は、ピン収容部１１２よりも走査方向ＤＳの一方側かつピン収容部１１２よりも上方に形成されている。第２孔１１５は、ピン収容部１１２よりも走査方向ＤＳの他方側かつピン収容部１１２よりも上方に形成されている。第１ピン１６０は、第１孔１１４に挿入または圧入されている。第２ピン１７０は、第２孔１１５に挿入または圧入されている。本実施形態では、第１ピン１６０は第１孔１１４に圧入され、第２ピン１７０は第２孔１１５に圧入されている。このため、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂの外輪１４２が第１ピン１６０に対して回転可能であり、第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂの外輪１５２が第２ピン１７０に対して回転可能である。

図６に示されるように、第１回転体１４０Ａは、その外輪１４２が支持ピン１３０における中心軸ＣＳよりも上方かつ走査方向ＤＳの一方側の部分と接触するように配置されている。具体的には、第１ピン１６０の中心軸Ｃ１と支持ピン１３０の中心軸ＣＳとを結ぶ線分Ｌ１上において外輪１４２と支持ピン１３０とが接触する。なお、図示していないが、第１回転体１４０Ｂも第１回転体１４０Ａと同様に、その外輪１４２が支持ピン１３０における中心軸ＣＳよりも上方かつ走査方向ＤＳの一方側の部分と接触するように配置されている。

第２回転体１５０Ａは、その外輪１５２が支持ピン１３０における中心軸ＣＳよりも上方かつ走査方向ＤＳの他方側の部分と接触するように配置されている。具体的には、第２ピン１７０の中心軸Ｃ２と支持ピン１３０の中心軸ＣＳとを結ぶ線分Ｌ２上において外輪１５２と支持ピン１３０とが接触する。なお、図示していないが、第２回転体１５０Ｂも第２回転体１５０Ａと同様に、その外輪１５２が支持ピン１３０における中心軸ＣＳよりも上方かつ走査方向ＤＳの他方側の部分と接触するように配置されている。

このように、支持ピン１３０が各回転体１４０Ａ，１４０Ｂ，１５０Ａ，１５０Ｂと接触することによって、支持ピン１３０の上方への変位、および、走査方向ＤＳへの変位が制限される。

走査方向ＤＳにおいて、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂの外輪１４２と、第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂの外輪１５２との間には、隙間Ｇが形成されている。走査方向ＤＳにおける隙間Ｇの大きさは、支持ピン１３０の外径よりも小さい。走査方向ＤＳにおける隙間Ｇの大きさは、支持ピン１３０の外径の１／２以下である。一例では、支持ピン１３０の外径に対する走査方向ＤＳにおける隙間Ｇの大きさの比は、０．１２５である。ここで、隙間Ｇは、第１ピン１６０の中心軸Ｃ１と第２ピン１７０の中心軸Ｃ２とを結ぶ線分Ｌ３上における第１回転体１４０Ａの外輪１４２と第２回転体１５０Ａの外輪１５２との間の距離により規定される。すなわち隙間Ｇは、走査方向ＤＳにおける第１回転体１４０Ａと第２回転体１５０Ａとの間の距離の最小値となる。

図２（ａ）に示されるように、ホルダユニット１００は、保持部材１８０および付勢部材１９０をさらに備える。保持部材１８０および付勢部材１９０はそれぞれ、ボルトＢによってホルダ１１０に取り付けられている。保持部材１８０および付勢部材１９０はそれぞれ、一対の壁部１１３の外側（幅方向ＤＤにおいて一対の壁部１１３に対してホイール収容部１１１とは反対側）に配置されている。

図３に示されるように、保持部材１８０は、幅方向ＤＤから見て、下方に向けて先細る傾斜部を有する台形状に形成されている。図２（ｃ）に示されるように、保持部材１８０の下方の部分には、支持ピン１３０の下方への変位を制限する制限部１８１が形成されている。制限部１８１は、下方に向かうにつれて幅方向ＤＤの内方に向けて傾斜する傾斜部により構成されている。制限部１８１には、支持ピン１３０の球面１３１が接触している。

付勢部材１９０の一例は、板ばねである。付勢部材１９０は、支持ピン１３０の幅方向ＤＤの一方の球面１３１と接触し、保持部材１８０に向けて幅方向ＤＤに常時付勢するように構成されている。

このように、幅方向ＤＤにおいて、支持ピン１３０は、保持部材１８０および付勢部材１９０によって挟み込まれている。これにより、支持ピン１３０の幅方向ＤＤへの変位が制限される。加えて、保持部材１８０の制限部１８１によって支持ピン１３０の他方の球面１３１が下方への変位が制限される。

本実施形態の作用について説明する。
スクライブ装置１０の縦駆動機構３６によってスクライビングホイール１２０が被加工物Ｗに所定の荷重で押し付けられた場合、被加工物Ｗからスクライビングホイール１２０に加えられる反力は、支持ピン１３０を介して各回転体１４０Ａ，１４０Ｂ，１５０Ａ，１５０Ｂによって受けられる。この状態でスクライビングホイール１２０が被加工物Ｗをスクライブすると、スクライビングホイール１２０と支持ピン１３０とが一体に回転するため、支持ピン１３０は、各回転体１４０Ａ，１４０Ｂ，１５０Ａ，１５０Ｂに接触した状態で回転する。各回転体１４０Ａ，１４０Ｂ，１５０Ａ，１５０Ｂの外輪１４２，１５２は、支持ピン１３０の回転によって回転する。一例では、図６の太線矢印により示されるように、支持ピン１３０が反時計回りに回転すると、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂは時計回りに回転し、第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂは時計回りに回転する。このように、支持ピン１３０と外輪１４２，１５２との間では、転がり摩擦抵抗が主な抵抗となる。

加えて、外輪１４２，１５２の外径は、支持ピン１３０の外径よりも大きいため、支持ピン１３０の回転に対する外輪１４２，１５２の回転の比が１未満となるので、スクライビングホイール１２０によって被加工物Ｗをスクライブするときの外輪１４２，１５２の回転数は、支持ピン１３０の回転数よりも少なくなる。

本実施形態の効果について説明する。
（１）ホルダユニット１００は、走査方向ＤＳにおいて支持ピン１３０の一方側と接触可能な第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂと、支持ピン１３０の他方側と接触可能な第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂと、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂを回転可能に支持する第１ピン１６０と、第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂを回転可能に支持する第２ピン１７０とを備える。この構成によれば、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂおよび第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂによって走査方向ＤＳにおける支持ピン１３０の変位が制限される。そして、スクライビングホイール１２０の回転とともに支持ピン１３０が回転する場合、支持ピン１３０と接触する第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂの外輪１４２が回転し、支持ピン１３０と接触する第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂの外輪１５２が回転する。このため、支持ピン１３０と第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂの外輪１４２との間が転がり摩擦抵抗となり、支持ピン１３０と第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂの外輪１５２との間が転がり摩擦抵抗となる。転がり摩擦抵抗は、すべり摩擦抵抗よりも小さいため、支持ピン１３０がより円滑に回転する。したがって、スクライビングホイール１２０をより円滑に回転できる。

（２）高さ方向ＤＣにおいて、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂおよび第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂは同じ位置に配置され、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂの回転中心および第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂの回転中心はそれぞれ、支持ピン１３０よりも上方に配置されている。この構成によれば、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂは、支持ピン１３０の走査方向ＤＳの一方側かつ上方を支持し、第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂは、支持ピン１３０の走査方向ＤＳの他方側かつ上方を支持する。また、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂおよび第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂによって、高さ方向ＤＣにおける支持ピン１３０の変位が制限される。そして走査方向ＤＳにおいて、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂと第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂとの間の距離（隙間Ｇの走査方向ＤＳにおける大きさ）は、支持ピン１３０の外径よりも小さい。これにより、第１回転体１４０Ａと支持ピン１３０との接触点と第２回転体１５０Ａと支持ピン１３０との接触点との走査方向ＤＳにおける距離は、支持ピン１３０の外径よりも小さくなる。また、第１回転体１４０Ｂと支持ピン１３０との接触点と第２回転体１５０Ｂと支持ピン１３０との接触点との走査方向ＤＳにおける距離は、支持ピン１３０の外径よりも小さくなる。このため、隙間Ｇに支持ピン１３０が入り込むことが防止される。したがって、支持ピン１３０が円滑に回転できる。

（３）第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂおよび第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂはそれぞれ、ホルダ１１０のホイール収容部１１１に収容されている。この構成によれば、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂおよび第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂがホルダ１１０の外部に配置される構成と比較して、ホルダユニット１００を小型化できる。

（４）第１回転体１４０Ａは、幅方向ＤＤにおいてスクライビングホイール１２０に対して一方側に配置され、第１回転体１４０Ｂは、スクライビングホイール１２０に対して他方側に配置されている。第２回転体１５０Ａは、幅方向ＤＤにおいてスクライビングホイール１２０に対して一方側に配置され、第２回転体１５０Ｂは、スクライビングホイール１２０に対して他方側に配置されている。幅方向ＤＤにおいて２個の第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂによって支持ピン１３０の走査方向ＤＳの一方側の部分が支持され、幅方向ＤＤにおいて２個の第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂによって支持ピン１３０の走査方向ＤＳの他方側が支持されるため、支持ピン１３０をより安定して支持できる。したがって、支持ピン１３０のふらつきが小さくなることによって、スクライビングホイール１２０のふらつきが小さくなるため、スクライブ品質を向上できる。

（５）ホルダ１１０のピン収容部１１２は、ホルダ１１０の先端部が開口するスリットとして形成されている。この構成によれば、スクライビングホイール１２０と支持ピン１３０とが一体化した状態でピン収容部１１２を介してホルダ１１０から取り外すことができる。このため、例えばスクライビングホイール１２０および支持ピン１３０の少なくとも一方を交換する必要が生じた場合、ホルダユニット１００ごと交換するのではなく、スクライビングホイール１２０および支持ピン１３０の交換で対応できる。したがって、部品交換の際のコストを低減できる。

（６）ホルダユニット１００は、支持ピン１３０の一方の球面１３１を保持する保持部材１８０と、支持ピン１３０の他方の球面１３１を保持部材１８０に向けて押す付勢部材１９０とを備える。保持部材１８０は、支持ピン１３０が下方に移動することを制限する制限部１８１を有する。この構成によれば、幅方向ＤＤにおいて支持ピン１３０の変位を制限できる。加えて、制限部１８１によって高さ方向ＤＣにおいて支持ピン１３０が下方に移動することが制限されるため、ホルダ１１０から支持ピン１３０およびスクライビングホイール１２０が脱落することを抑制できる。

（７）第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂおよび第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂはそれぞれ、転がり軸受である。この構成によれば、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂおよび第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂをすべり軸受であると仮定した構成と比較して、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂの回転抵抗および第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂの回転抵抗が小さくなる。したがって、支持ピン１３０の回転に対して第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂおよび第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂがより円滑に回転できる。

（８）被加工物の厚みが薄くなるにつれてスクライビングホイール１２０が被加工物に加える荷重を小さくする必要があるため、スクライビングホイール１２０の外径を小さくする必要がある。一方、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂおよび第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂの外径が小さくなるにつれて製造が難しくなるため、製造コストが高くなる。この点に鑑み、本実施形態では、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂの外径および第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂの外径はそれぞれ、スクライビングホイール１２０の外径よりも大きい。このため、スクライビングホイール１２０の外径を小さくしても第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂおよび第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂの製造コストの増加を抑制できる。

（９）第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂおよび第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂの外径は、支持ピン１３０の外径よりも大きい。この構成によれば、スクライビングホイール１２０によって被加工物Ｗをスクライブする場合に支持ピン１３０の回転数に対して第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂおよび第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂの回転数が小さくなるため、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂおよび第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂの寿命が長くなる。

（１０）スクライビングホイール１２０の孔１２３に支持ピン１３０が圧入されている。この構成によれば、支持ピン１３０に対してスクライビングホイール１２０が移動することを抑制できる。したがって、スクライビングホイール１２０のふらつきを低減できるため、スクライブ品質が向上する。

（１１）各回転体１４０Ａ，１４０Ｂ，１５０Ａ，１５０Ｂは、同じ種類及び同じ大きさの転がり軸受が用いられている。この構成によれば、スクライビングホイール１２０が走査方向ＤＳの一方向に走査する場合の支持ピン１３０と各回転体１４０Ａ，１４０Ｂ，１５０Ａ，１５０Ｂとの間の転がり摩擦抵抗が、スクライビングホイール１２０が走査方向ＤＳの他方向に走査する場合の支持ピン１３０と各回転体１４０Ａ，１４０Ｂ，１５０Ａ，１５０Ｂとの間の転がり摩擦抵抗と等しくなる。したがって、スクライビングホイール１２０が被加工物Ｗに対してスクライブする方向によってスクライブ品質が異なってしまうことが抑制される。

（１２）支持ピン１３０の両端部には、球面１３１が形成されている。支持ピン１３０は、一方の球面１３１において保持部材１８０の制限部１８１と摺動可能に接触し、他方の球面１３１において付勢部材１９０と摺動可能に接触している。このため、支持ピン１３０と保持部材１８０とがかじるおそれ、および、支持ピン１３０と付勢部材１９０とがかじるおそれを低減できる。

（変更例）
上記実施形態は本開示に関するホルダユニットが取り得る形態の例示であり、その形態を制限することを意図していない。本開示に関するホルダユニットは上記実施形態に例示された形態とは異なる形態を取り得る。その一例は、上記実施形態の構成の一部を置換、変更、もしくは、省略した形態、又は上記実施形態に新たな構成を付加した形態である。以下の変更例において、上記実施形態の形態と共通する部分については、上記実施形態と同一の符号を付してその説明を省略する。

・上記実施形態において、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂのうちの少なくとも一方は、一対の壁部１１３よりも幅方向ＤＤの外方に配置されてもよい。また第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂのうちの少なくとも一方は、一対の壁部１１３よりも幅方向ＤＤの外方に配置されてもよい。

・上記実施形態において、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂの外径の大きさはそれぞれ任意に変更可能である。一例では、第１回転体１４０Ａの外径は、第１回転体１４０Ｂの外径と異なってもよい。また、第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂの外径の大きさはそれぞれ任意に変更可能である。一例では、第２回転体１５０Ａの外径は、第２回転体１５０Ｂの外径と異なってもよい。また、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂの外径の大きさと、第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂの外径の大きさとが異なってもよい。

・上記実施形態において、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂの少なくとも一方は転がり軸受以外の構成であってもよい。一例では、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂの少なくとも一方は、すべり軸受である。すべり軸受の一例は、第１ピン１６０に挿入される円筒状のローラである。ローラは、第１ピン１６０に回転可能に支持される。ローラの内周面および第１ピン１６０の外周面の少なくとも一方は、高耐摩耗材料により形成されることが好ましい。高耐摩耗材料は、ダイヤモンド、立方晶窒化炭素、ロンズデーライト、超硬度ナノチューブ、および、立方晶窒化ホウ素の少なくとも１つを含む。これにより、ローラと第１ピン１６０との摩擦面における磨耗量が低減するため、スクライビングホイール１２０の回転状態の安定性が高くなる。

・上記実施形態において、第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂの少なくとも一方は転がり軸受以外の構成であってもよい。一例では、第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂの少なくとも一方は、すべり軸受である。すべり軸受の一例は、第２ピン１７０に挿入される円筒状のローラである。ローラは、第２ピン１７０に回転可能に支持される。ローラの内周面および第２ピン１７０の外周面の少なくとも一方は、高耐摩耗材料により形成されることが好ましい。高耐摩耗材料は、ダイヤモンド、立方晶窒化炭素、ロンズデーライト、超硬度ナノチューブ、および、立方晶窒化ホウ素の少なくとも１つを含む。これにより、ローラと第２ピン１７０との摩擦面における磨耗量が低減するため、スクライビングホイール１２０の回転状態の安定性が高くなる。

・上記実施形態において、スクライビングホイール１２０の外径の大きさは、被加工物Ｗの厚みに応じて任意に変更可能である。一例では、スクライビングホイール１２０の外径は、各回転体１４０Ａ，１４０Ｂ，１５０Ａ，１５０Ｂの外輪１４２，１５２の外径以上であってもよい。

・上記実施形態において、スクライビングホイール１２０と支持ピン１３０とは、単一部材から構成されてもよい。
・上記実施形態において、スクライビングホイール１２０と支持ピン１３０とが分離可能に構成される場合、ホルダ１１０のピン収容部１１２は、スリットに代えて、一対の壁部１１３を幅方向ＤＤに貫通する貫通孔であってもよい。

・上記実施形態において、支持ピン１３０における第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂ及び第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂが接触する部分の断面形状は任意に変更可能である。一例では、円柱状の支持ピン１３０の外周部分の一部を支持ピン１３０の軸方向に沿って加工することによって、支持ピン１３０の外周部分には、図７（ａ）に示されるような複数の平坦部１３２、または、図７（ｂ）に示されるような複数の溝部１３３が設けられてもよい。図７（ａ）に示されるように、複数の平坦部１３２は、支持ピン１３０の周方向において所定の間隔をあけて位置している。すなわち、支持ピン１３０の外周部分には、円柱状の支持ピン１３０の外周面１３４と平坦部１３２とが交互に設けられている。図７（ｂ）に示されるように、複数の溝部１３３は、支持ピン１３０の周方向において所定の間隔をあけて位置している。すなわち、支持ピン１３０の外周部分には、円柱状の支持ピン１３０の外周面１３４と溝部１３３とが交互に設けられている。なお、図７（ｃ）に示されるように、支持ピン１３０の外周部分には、支持ピン１３０の周方向において複数の溝部１３３が連続して設けられてもよい。この場合、支持ピン１３０の外周部分には、円柱状の支持ピン１３０の外周面１３４が設けられていない。また支持ピン１３０の外周部分には、支持ピン１３０の周方向において複数の平坦部１３２が連続して設けられる、所謂多角形状であってもよい。

このように、支持ピン１３０の外周部分に複数の平坦部１３２または溝部１３３を設けることによって、支持ピン１３０の中心と、第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂおよび第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂと支持ピン１３０との接触点との間の距離（接触半径Ｒ）が周期的に変化する。このため、スクライビングホイール１２０の回転に伴って支持ピン１３０と第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂおよび第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂとの接触により、支持ピン１３０が上下動することとなり、スクライブ時にスクライビングホイール１２０が被加工物Ｗに対して衝撃を加えることができる。その結果、被加工物Ｗに深い垂直クラックを形成することができる。

・図７に示す変更例において、平坦部１３２の数および溝部１３３の数は任意に変更可能である。平坦部１３２の数および溝部１３３の数が少なくなるほど、平坦部１３２の面および溝部１３３の深さを深くすることができる。これにより、支持ピン１３０と第１回転体１４０Ａ，１４０Ｂおよび第２回転体１５０Ａ，１５０Ｂとの接触半径Ｒの差が大きくなり、スクライブ時にスクライビングホイール１２０が被加工物Ｗに対して加える衝撃がより大きくなる。

一例では、平坦部１３２の数および溝部１３３の数は、支持ピン１３０の外径の大きさに応じて設定される。例えば支持ピン１３０の外径が０．８ｍｍの場合、平坦部１３２の数および溝部１３３の数はそれぞれ、１０〜６０個程度である。なお、図７（ａ）では、支持ピン１３０の外径が０．８ｍｍであって、平坦部１３２の数は１２個であり、図７（ｂ）では、溝部１３３の数は１２個である。

・図７に示す変更例において、支持ピン１３０における第１回転体１４０Ａおよび第２回転体１５０Ａが接触する第１部分と、第１回転体１４０Ｂおよび第２回転体１５０Ｂが接触する第２部分とする場合、支持ピン１３０の周方向において第１部分に設けられる平坦部１３２の位相および第２部分に設けられる平坦部１３２の位相は任意に設定可能である。第１例では、図８（ａ）に示されるように、支持ピン１３０の第１部分１３５に設けられる平坦部１３２の位相と、第２部分１３６に設けられる平坦部１３２の位相とが一致する。この場合、第１回転体１４０Ａおよび第２回転体１５０Ａと第１部分１３５とが接触するタイミングと、第１回転体１４０Ｂおよび第２回転体１５０Ｂと第２部分１３６とが接触するタイミングとが一致する。第２例では、支持ピン１３０の第１部分１３５に設けられる平坦部１３２の位相と、第２部分１３６に設けられる平坦部１３２の位相とが互いに異なる。一例では、図８（ｂ）に示されるように、第１部分１３５に設けられる平坦部１３２の位相と、第２部分１３６に設けられる平坦部１３２の位相とが１／２分異なる。すなわち、支持ピン１３０の周方向において、第１部分１３５の平坦部１３２に対応する第２部分１３６の部分には、支持ピン１３０の外周面１３４が設けられ、第１部分１３５の外周面１３４に対応する第２部分１３６の部分には、平坦部１３２が設けられる。この場合、第１回転体１４０Ａおよび第２回転体１５０Ａと第１部分１３５と、第１回転体１４０Ｂおよび第２回転体１５０Ｂと第２部分１３６とが交互に接触する。このため、支持ピン１３０の第１部分１３５に設けられる平坦部１３２の位相と、第２部分１３６に設けられる平坦部１３２の位相とが同じ場合に比べ、平坦部１３２の数が同じであっても、より細かく衝撃を与えることができる。したがって、被加工物Ｗの分離性を向上させることができる。なお、第１部分１３５および第２部分１３６に溝部１３３が設けられる場合は、第１部分１３５および第２部分１３６に平坦部１３２が設けられる場合と同様に、支持ピン１３０の周方向において第１部分１３５に設けられる溝部１３３の位相および第２部分１３６に設けられる溝部１３３の位相は任意に変更可能である。

・上記実施形態および上記変更例において、保持部材１８０および付勢部材１９０を省略してもよい。この場合、図９に示されるように、支持ピン１３０に代えて、スピンドル装置２００のテーパ状の支持ピン２１０によって、スクライビングホイール１２０が回転可能に支持される。すなわち、支持ピン２１０は、スクライビングホイール１２０の孔１２３（図４参照）に挿入されている。支持ピン２１０は、上記実施形態と同様に、各回転体１４０Ａ，１４０Ｂ，１５０Ａ，１５０Ｂの外輪１４２，１５２と接触している。この構成によっても上記実施形態と同様の効果が得られる。

・図９に示される変更例において、第１回転体１４０Ａおよび第２回転体１５０Ａ、または、第１回転体１４０Ｂおよび第２回転体１５０Ｂを省略してもよい。また図９に示される変更例において、第１回転体１４０Ａおよび第２回転体１５０Ａを省略しない場合、第１回転体１４０Ｂおよび第２回転体１５０Ｂのうちの一方を省略してもよい。また図９に示される変更例において、第１回転体１４０Ｂおよび第２回転体１５０Ｂを省略しない場合、第１回転体１４０Ａおよび第２回転体１５０Ａのうちの一方を省略してもよい。

１００ ： ホルダユニット
１１０ ： ホルダ
１１１ ： ホイール収容部
１１２ ： ピン収容部
１２０ ： スクライビングホイール
１３０ ： 支持ピン
１４０Ａ，１４０Ｂ ： 第１回転体
１５０Ａ，１５０Ｂ ： 第２回転体
１６０ ： 第１ピン
１７０ ： 第２ピン
１８０ ： 保持部材
１８１ ： 制限部
１９０ ： 付勢部材
２１０ ： 支持ピン
ＤＣ ： ホルダユニットの高さ方向
ＤＳ ： 走査方向

Claims (8)

1. スクライビングホイールと、
   前記スクライビングホイールを支持するとともに前記スクライビングホイールと一体に回転する支持ピンと、
   前記支持ピンを収容するピン収容部を有するホルダと、
   前記スクライビングホイールの走査方向において、前記支持ピンの一方側と接触可能な第１回転体と、前記支持ピンの他方側と接触可能な第２回転体と、
   前記第１回転体を回転可能に支持し、前記ホルダに取り付けられる第１ピンと、
   前記第２回転体を回転可能に支持し、前記ホルダに取り付けられる第２ピンと、
   を備える
   ホルダユニット。
2. 前記ホルダユニットの高さ方向において、前記第１回転体および前記第２回転体は同じ位置に配置され、かつ、前記第１回転体の回転中心および前記第２回転体の回転中心はそれぞれ、前記支持ピンよりも前記ホルダの先端部とは反対側に配置され、
   前記走査方向において、前記第１回転体と前記第２回転体との間の距離の最小値は、前記支持ピンの外径よりも小さい
   請求項１に記載のホルダユニット。
3. 前記ホルダは、前記スクライビングホイールを収容するホイール収容部を有し、
   前記第１回転体および前記第２回転体の少なくとも一方は、前記ホイール収容部に収容されている
   請求項１または２に記載のホルダユニット。
4. 前記第１回転体および前記第２回転体はそれぞれ、複数個設けられ、
   前記第１回転体は、前記支持ピンの軸方向において前記スクライビングホイールの両側に配置され、
   前記第２回転体は、前記支持ピンの軸方向において前記スクライビングホイールの両側に配置されている
   請求項１〜３のいずれか一項に記載のホルダユニット。
5. 前記ピン収容部は、前記ホルダの先端部が開口するスリットとして形成されている
   請求項１〜４のいずれか一項に記載のホルダユニット。
6. 前記ホルダに取り付けられ、前記支持ピンの軸方向の一方の端部を保持する保持部材と、
   前記ホルダに取り付けられ、前記支持ピンの軸方向の他方の端部を前記保持部材に向けて押す付勢部材と、をさらに備え、
   前記保持部材は、前記支持ピンが前記ホルダの先端側に移動することを制限する制限部を有する
   請求項５に記載のホルダユニット。
7. 前記第１回転体および前記第２回転体の少なくとも一方は、転がり軸受である
   請求項１〜６のいずれか一項に記載のホルダユニット。
8. 前記第１回転体の外径および前記第２回転体の外径はそれぞれ、前記スクライビングホイールの外径よりも大きい
   請求項１〜７のいずれか一項に記載のホルダユニット。