JP2020088384A - ガス保持を備えたパルセーションダンパー - Google Patents
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Abstract
Description
ナノ製造の改善は、より大きなプロセス制御を提供すること、及び/又は、スループットを改善することを含み、形成される構造の最小フィーチャ寸法の継続的な縮小も可能にする。
実施例1−ダイアフラムが100%のPVDFの単一125μm厚層である、図3乃至図6に示すパルセーションダンパー。第2の区画は、排気され、第2の区画の体積の実質的に100%がXeガスで充填され、残りの体積が大気であるように、Xeガスで充填される。
Claims (20)
- 分配システムのためのパルセーションダンパーであって、
ハウジングと、
少なくとも1つのフルオロポリマー層を備えるダイアフラムであって、前記ハウジングを第1の区画と第2の区画とに分割するダイアフラムと、
それぞれが前記第1の区画に流体連通するインレットポート及びアウトレットポートであって、それによって、液体が前記インレットポートを介して前記第1の区画に入り、前記アウトレットポートを介して前記第1の区画から出るための流路を提供するインレットポート及びアウトレットポートと、
前記第2の区画内に配置された少なくとも1つの気体であって、0.36nm以上の動的直径を有する少なくとも1つの気体と、
を備え、
前記少なくとも1つのフルオロポリマー層のフルオロポリマー、及び、前記少なくとも1つの気体は、前記ダイアフラムを通る前記少なくとも1つの気体の気体透過速度が0mbar*L/秒〜1*10−5mbar*L/秒であるように選択されることを特徴とするパルセーションダンパー。 - 前記フルオロポリマー、及び、前記少なくとも1つの気体は、前記ダイアフラムを通る気体の前記気体透過速度が1.5×10−6mbar*L/秒〜1*10−5mbar*L/秒であるように選択されることを特徴とする請求項1に記載のパルセーションダンパー。
- 前記フルオロポリマーは、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)、ポリフッ化ビニル(PVF)、フッ素化エチレンプロピレン(FEP)、ペルフルオロアルコキシ(PFA)、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ポリクロロトリフルオロエチレン(PCTFE)及びエチレンテトラフルオロエチレン(ETFE)からなるグループから選択されることを特徴とする請求項1に記載のパルセーションダンパー。
- 前記少なくとも1つの気体は、複数の気体を含み、前記複数の気体の各気体は、0.36nm以上の動的直径を有することを特徴とする請求項1に記載のパルセーションダンパー。
- 前記フルオロポリマーは、ポリフッ化ビニリデンであることを特徴とする請求項1に記載のパルセーションダンパー。
- 前記少なくとも1つの気体は、キセノン、六フッ化硫黄、窒素及びそれらの混合物からなるグループから選択されることを特徴とする請求項1に記載のパルセーションダンパー。
- 前記少なくとも1つの気体は、キセノン又は六フッ化硫黄であることを特徴とする請求項1に記載のパルセーションダンパー。
- 前記フルオロポリマーは、ポリフッ化ビニリデンであり、前記少なくとも1つの気体は、キセノン又は六フッ化硫黄であることを特徴とする請求項1に記載のパルセーションダンパー。
- 前記第2の区画は、前記少なくとも1つの気体の少なくとも50体積%を備えることを特徴とする請求項1に記載のパルセーションダンパー。
- 前記少なくとも1つの気体は、
(a)キセノン又は六フッ化硫黄と、
(b)窒素
の混合物を備えることを特徴とする請求項1に記載のパルセーションダンパー。 - 前記ダイアフラムは、本質的に、前記少なくとも1つのフルオロポリマー層からなることを特徴とする請求項1に記載のパルセーションダンパー。
- 前記少なくとも1つの気体は、本質的に、キセノン又は六フッ化硫黄からなることを特徴とする請求項11に記載のパルセーションダンパー。
- 前記第2の区画は、前記キセノン又は前記六フッ化硫黄の少なくとも75体積%を備えることを特徴とする請求項12に記載のパルセーションダンパー。
- 前記フルオロポリマーは、ポリフッ化ビニリデンであることを特徴とする請求項13に記載のパルセーションダンパー。
- 前記ハウジングは、上部ハウジングと、下部ハウジングとを備え、
前記ダイアフラムの一部は、前記上部ハウジングの一部と前記下部ハウジングの一部との間に挟まれていることを特徴とする請求項1に記載のパルセーションダンパー。 - 前記上部ハウジングの一部と前記ダイアフラムの一部との間に配置された第1のガスケットと、
前記ダイアフラムの一部と前記下部ハウジングの一部との間に配置された第2のガスケットと、
を更に備えることを特徴とする請求項15に記載のパルセーションダンパー。 - 前記下部ハウジングの一部又は前記上部ハウジングの一部を取り囲む固定部材を更に備え、前記固定部材は、前記第1及び第2のガスケットを介して、前記下部ハウジングの一部と前記上部ハウジングの一部との間で前記ダイアフラムの一部を封止するように構成されていることを特徴とする請求項16に記載のパルセーションダンパー。
- 前記第2の区画と流体連通する気体インレットポートを更に備えることを特徴とする請求項1に記載のパルセーションダンパー。
- 分配システムであって、
液体を分配するディスペンサと、
前記液体を保管するリザーバと、
前記リザーバと前記ディスペンサとの間で前記液体を循環させる1つ以上のポンプと、
前記液体がパルセーションダンパーを通過する際に前記液体におけるパルセーションを減衰させるパルセーションダンパーと、
を備え、
前記パルセーションダンパーは、
ハウジングと、
少なくとも1つのフルオロポリマー層を備えるダイアフラムであって、前記ハウジングを第1の区画と第2の区画とに分割するダイアフラムと、
それぞれが前記第1の区画に流体連通するインレットポート及びアウトレットポートであって、それによって、前記液体が前記インレットポートを介して前記第1の区画に入り、前記アウトレットポートを介して前記第1の区画から出るための流路を提供するインレットポート及びアウトレットポートと、
前記第2の区画内に配置された少なくとも1つの気体であって、0.36nm以上の動的直径を有する少なくとも1つの気体と、
を備え、
前記少なくとも1つのフルオロポリマー層のフルオロポリマー、及び、前記少なくとも1つの気体は、前記ダイアフラムを通る前記少なくとも1つの気体の気体透過速度が0mbar*L/秒〜1*10−5mbar*L/秒であるように選択されることを特徴とする分配システム。 - 物品を製造する方法であって、
成形可能な液体をディスペンサにポンピングすることと、
パルセーションダンパーを介して、前記成形可能な液体におけるパルセーションを減衰させることと、
を備え、
前記パルセーションダンパーは、
ハウジングと、
少なくとも1つのフルオロポリマー層を備えるダイアフラムであって、前記ハウジングを第1の区画と第2の区画とに分割するダイアフラムと、
それぞれが前記第1の区画に流体連通するインレットポート及びアウトレットポートであって、それによって、前記成形可能な液体が前記インレットポートを介して前記第1の区画に入り、前記アウトレットポートを介して前記第1の区画から出るための流路を提供するインレットポート及びアウトレットポートと、
前記第2の区画内に配置された少なくとも1つの気体であって、0.36nm以上の動的直径を有する少なくとも1つの気体と、
を備え、
前記少なくとも1つのフルオロポリマー層のフルオロポリマー、及び、前記少なくとも1つの気体は、前記ダイアフラムを通る前記少なくとも1つの気体の気体透過速度が0mbar*L/秒〜1*10−5mbar*L/秒であるように選択され、
前記方法は、
前記成形可能な液体の一部を基板上に分配することと、
前記基板上に分配された前記成形可能な液体のパターン又は層を形成することと、
前記物品を製造するために、前記形成されたパターン又は層を処理することと、
を備えることを特徴とする方法。
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