JP2020073867A5 - - Google Patents

Claims (22)

1. 少なくとも１８０°のねじれを有するねじれに成形された高原子量材料で形成された細長いＸ線遮蔽体を備え、前記細長いＸ線遮蔽体は、真空チャンバに結合された真空配管の少なくとも一部内に配置されており、前記真空チャンバからのＸ線の漏れを少なくとも部分的に防止する、装置。
2. 前記細長いＸ線遮蔽体が、２１０°のねじれを有する、請求項１に記載の装置。
3. 前記高原子量材料が、鉛である、請求項１または２に記載の装置。
4. 前記高原子量材料が、焼結タングステン粒子を含む材料から形成されている、請求項１または２に記載の装置。
5. 前記細長いＸ線遮蔽体が、低原子量材料の層でコーティングされている、請求項１～４のいずれかに記載の装置。
6. 前記低原子量材料が、アルミニウムである、請求項５に記載の装置。
7. 前記細長いＸ線遮蔽体が、正または負にバイアスされている、請求項１～６のいずれかに記載の装置。
8. 前記細長いＸ線遮蔽体が、冷却されている、請求項１～７のいずれかに記載の装置。
9. 前記細長いＸ線遮蔽体が、長さおよび幅を有する、請求項１～８のいずれかに記載の装置。
10. 前記幅および長さが、真空配管の内径および長さの一部に基づいており、前記真空配管が、高真空チャンバと真空ポンプとを結合する、請求項９に記載の装置。
11. 前記細長いＸ線遮蔽体に対して垂直に並べられた第２の細長いＸ線遮蔽体をさらに備え、前記第２の細長いＸ線遮蔽体が、ねじれに成形された高原子量材料から形成されている、請求項１～１０のいずれかに記載の装置。
12. 真空チャンバと、
    真空配管によって前記真空チャンバに結合された真空ポンプと、
    前記真空配管の少なくとも一部内に配置された細長いＸ線遮蔽体と、を備え、前記細長いＸ線遮蔽体が、ねじれに成形された高原子量材料から形成されている、システム。
13. 前記細長いＸ線遮蔽体が、１８０°のねじれを有する、請求項１２に記載のシステム。
14. 前記細長いＸ線遮蔽体が、２１０°のねじれを有する、請求項１２に記載のシステム。
15. 前記高原子量材料が、鉛である、請求項１２～１４のいずれかに記載のシステム。
16. 前記高原子量材料が、焼結タングステン粒子を含む材料から形成されている、請求項１２～１４のいずれかに記載のシステム。
17. 前記細長いＸ線遮蔽体が、低原子量材料の層でコーティングされている、請求項１２～１６のいずれかに記載のシステム。
18. 前記低原子量材料が、アルミニウムである、請求項１７に記載のシステム。
19. 前記細長いＸ線遮蔽体が、正または負にバイアスされている、請求項１２～１８のいずれかに記載のシステム。
20. 前記細長いＸ線遮蔽体が、冷却されている、請求項１２～１９のいずれかに記載のシステム。
21. 前記細長いＸ線遮蔽体が、長さおよび幅を有する、請求項１２～２０のいずれかに記載のシステム。
22. 前記真空チャンバが、荷電粒子顕微鏡の一部である、請求項１２～２１のいずれかに記載のシステム。