JP2020072220A - 被加工物の加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図2は、テープを介してウエーハを環状のフレームに装着した構成例を示す斜視図である。ウエーハ2は、図2に示すように、テープ6を介して環状のフレーム7に装着される。テープ6は、伸縮性を有する合成樹脂で構成されたエキスパンドテープであり、ウエーハ2の裏面2B側に貼着される。環状のフレーム7は、ウエーハ2よりも大径の開口を有し、この開口内にウエーハ2が保持される。本実施形態では、ウエーハ2、テープ6および環状のフレーム7を備えてウエーハユニット8を構成し、このウエーハユニット8の状態で加工が行われる。ウエーハ2はテープ6に裏面2B側が貼着されるため、表面2Aが上側となって露出する。
図3は、ウエーハの内部に改質領域を形成する動作を説明する模式図である。図4は、ストリートに形成された改質領域の位置を示すウエーハの部分平面図である。図5は、ストリートに形成された改質領域を示すウエーハの部分断面図である。第1レーザ加工ステップ及び第2レーザ加工ステップは、図3に示すレーザ加工装置20を用いて実行される。レーザ加工装置20は、ウエーハユニット8を保持するチャックテーブル21と、ウエーハユニット8のウエーハ2に向けてレーザビーム22Aを照射する照射ヘッド22と、この照射ヘッド22と加工送り方向に横並びに配置された撮像部23とを備える。
次に、第2レーザ加工ステップを実施する。具体的には、チャックテーブル21を90度回転して、ウエーハ2の第2方向D2に沿った方向と加工送り方向とを平行とする。そして、第1レーザ加工ステップと同様に、ウエーハ2に対して透過性を有する波長のレーザビームの集光点P(図3)をウエーハ2の内部に位置付けた状態で、テープ6を通じてレーザビームを交差部10に照射しつつ、チャックテーブル21を矢印で示す加工送り方向(第2方向に沿った方向)に移動させる。これにより、図4に示すように、交差部10対応するウエーハ2の内部に第2ストリート3Bに沿って伸長する複数の第2改質領域11Bが形成される。そして、第2方向D2に伸長するすべての第2ストリート3Bの交差部10に対応するウエーハ2の内部に第2改質領域11Bを形成すると、第2レーザ加工ステップを終了する。
図6は、ウエーハを割断する状態を示す模式図である。図7は、分割されたチップを模式的に示す斜視図である。割断ステップでは、図6に示すブレーキング装置30を用いて行われる。ブレーキング装置30は、ウエーハ2を支持する支持台(不図示)に対して上下動して該支持台に支持されたウエーハ2に押圧力を付与する押圧バー31を備える。支持台は、水平面と平行に回転可能に構成される。押圧バー31は、ウエーハ2のストリート3に沿って伸長し、最長(ウエーハ2の直径)のストリート3よりも長く形成されている。
2A 表面
2B 裏面
3 ストリート
3A 第1ストリート
3B 第2ストリート
4 光デバイス
10 交差部
11 改質領域
11A、11A1 第1改質領域
11B 第2改質領域
13 亀裂
22 照射ヘッド
22A レーザビーム
23 撮像部
31 押圧バー
40 光デバイスチップ
41 側面(チップ側面)
41A 角部
42 鏡面(発光面)
P 集光点
D1 第1方向
D2 第2方向
Claims (2)
- 交差する複数のストリートを有した被加工物の加工方法であって、
被加工物に対して透過性を有する波長のレーザビームの集光点を被加工物の内部に位置付けた状態で該レーザビームを該ストリートの交差部に照射して改質領域を形成するレーザ加工ステップと、
該レーザ加工ステップを実施した後、該ストリートに沿って伸長する押圧バーで被加工物の該ストリートを押圧し、隣接する該改質領域間を該ストリートに沿って割断する割断ステップと、
を備えた被加工物の加工方法。 - 該ストリートは第1方向に伸長した複数の第1ストリートと、該第1方向に直交する第2方向に伸長した複数の第2ストリートとを含み、
被加工物には該第1ストリートと該第2ストリートとで区画された各領域にそれぞれレーザダイオードデバイスが形成され、該第2ストリートに対応したチップ側面が発光面となり、
被加工物に対して透過性を有する波長のレーザビームの集光点を被加工物の内部に位置付けた状態で該レーザビームを該第1ストリートに沿って照射して第1改質領域を形成する第1レーザ加工ステップを更に備え、
該レーザ加工ステップでは、該第2ストリートに沿って、該第1ストリートと該第2ストリートの交差部に該レーザビームを照射して該改質領域を形成し、
該割断ステップでは、少なくとも該第2ストリートに沿って該押圧バーで被加工物を押圧することで該発光面を割断する、請求項1に記載の被加工物の加工方法。
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