JP2020071106A - 外観検査方法及びプログラム - Google Patents
外観検査方法及びプログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020071106A JP2020071106A JP2018204477A JP2018204477A JP2020071106A JP 2020071106 A JP2020071106 A JP 2020071106A JP 2018204477 A JP2018204477 A JP 2018204477A JP 2018204477 A JP2018204477 A JP 2018204477A JP 2020071106 A JP2020071106 A JP 2020071106A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- defect
- pane
- defects
- displayed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 134
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 53
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 33
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 27
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 15
- 230000008859 change Effects 0.000 description 10
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- 238000003708 edge detection Methods 0.000 description 6
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 4
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 230000004931 aggregating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
Description
はじめに、オペレータによるジョイスティック132の操作またはコンピュータシステム140による制御により、ワークWが撮像視野内に入るようステージ100を移動する。そして、ワークWにピントが合うよう、撮像ユニット120のZ軸方向位置を調節する。ピントをワークWに合せた後、撮像手段124により測定用の画像を撮像する。このとき、撮像した画像とともに、X軸エンコーダ112およびY軸エンコーダ114が出力するステージ100の座標が、コンピュータシステム140に取り込まれ、記憶部41に格納される。具体的には、撮像手段124が1枚の画像の撮像を完了するタイミングでラッチ手段118に対するトリガ信号となるパルスを出力する。ラッチ手段118は、当該パルスの立ち上がり遷移のタイミングで(つまり、画像の撮像完了とほぼ同時に)、各軸の位置座標をラッチし保持する。コンピュータシステム140は、撮像手段124から画像信号を取り込むとともに、ラッチ手段118から画像を撮像したときの位置座標を取りこみ、両者を対応付けて記憶する。
本実施形態の画像測定機1では、コンピュータシステム140のCPU40で実行されるプログラム(測定用アプリケーションソフトウェア)は、上記のような基本的な画像測定に加え、ワークWの微細な欠け、変形、バリ、汚れ等といった欠陥に着目したいわゆる外観検査を行う機能を提供する。
続いて、図7に示すフローチャートを参照して、外観検査の手順を説明する。なお、以下の説明において、処理の主体に特に言及がない場合、コンピュータシステム140のCPU40で実行されるプログラムが主体であるものと理解されたい。
続いて、画像ペインP1に表示されている画像に対して行われる画像処理及び欠陥判定のアルゴリズムの具体例を説明する。
「二値化(Binarization)」は、画像内における所定の領域内に含まれる欠陥を検出するアルゴリズムである。前掲の図6に示すように、「二値化」のアルゴリズムのタブを選択すると、設定パラメータとして、二値化の閾値(Brightness Threshold)、許容される欠陥のサイズ(Allowable defect size;幅、高さ、面積)、許容欠陥数(Allowable defect number)がコントロールペインP4にて設定可能とされる。適宜パラメータを設定し、フィルムストリップペインP2において外観検査の対象とする画像を選択すると、欠陥対象領域として画像中央部の面取り四角形の内部が対象領域として特定される。
「エリア(Area)」は、画像内で抽出されたエッジにて仕切られた領域内に含まれる欠陥を検出するアルゴリズムである。図8に示すように、「エリア」のアルゴリズムのタブを選択すると、設定パラメータとして、二値化の閾値(Brightness Threshold)、輝度値の反転(Defective in the dark)、エッジとみなす変化量の閾値(Amount of change considered as an edge)、許容される欠陥のサイズ(Allowable defect size;幅、高さ、面積)、許容欠陥数(Allowable defect number)がコントロールペインP4にて設定可能とされる。適宜パラメータを設定し、フィルムストリップペインP2において外観検査の対象とする画像を選択すると、画像ペインP1に選択した画像が表示される。
「比較(Comparison)」は、画像内でエッジを抽出し、この抽出したエッジ位置を基準とするマスタ画像におけるエッジ位置と比較して欠陥を検出するアルゴリズムであり、エッジ部に生じる欠陥(欠け、バリ等)の検出に好適に用いられる。図9に示すように、「比較」のアルゴリズムのタブを選択すると、設定パラメータとして、検出されたエッジ全体としてのマスタ画像のエッジからの誤差の閾値(Master Threshold)、エッジとみなす変化量の閾値(Amount of change considered as an edge)、許容される欠陥のサイズ(Allowable defect size;長さ(連続画素数)、深さ(マスタ画像でのエッジからの誤差)、許容欠陥数(Allowable defect number)がコントロールペインP4にて設定可能とされる。適宜パラメータを設定し、フィルムストリップペインP2において外観検査の対象とする画像を選択すると、画像ペインP1に選択した画像が表示される。
「異常値(Outlier)」は、画像内でエッジを抽出し、この抽出したエッジを直線等の理想的なエッジと比較して欠陥を検出するアルゴリズムであり、エッジ部に生じる欠陥(欠け、バリ等)の検出に好適に用いられる。図10に示すように、「異常値」のアルゴリズムのタブを選択すると、設定パラメータとして、基準とする理想的なエッジからの誤差の閾値(Error)、エッジとみなす変化量の閾値(Amount of change considered as an edge)、許容される欠陥のサイズ(Allowable defect size;長さ(連続画素数)、深さ(スムーズなエッジからの誤差))、許容欠陥数(Allowable defect number)がコントロールペインP4にて設定可能とされる。適宜パラメータを設定し、フィルムストリップペインP2において外観検査の対象とする画像を選択すると、画像ペインP1に選択した画像が表示される。
本発明は上記の実施形態の例に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。前述の実施形態またはその具体例に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除、設計変更を行ったものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含有される。
40 CPU 41 記憶部 42 ワークメモリ
43、44 インタフェース 45 表示制御部
100 ステージ
110 位置取得手段
112 X軸エンコーダ 114 Y軸エンコーダ 116 Z軸エンコーダ
118 ラッチ手段
118a カウンタ 118b バッファ
120 撮像ユニット
122 光学系
124 撮像手段
126、126a、126b 光源
130 リモートボックス
132 ジョイスティック 134 ジョグシャトル
140 コンピュータシステム
141 コンピュータ本体 142 キーボード 143 マウス
144 ディスプレイ
P1 画像ペイン
P2 フィルムストリップペイン
P3 測定結果表示ペイン
P4 コントロールペイン
W ワーク
Claims (6)
- 検査対象画像における対象領域を特定する対象領域特定ステップと、
特定した前記対象領域に含まれる欠陥を検出する欠陥検出ステップと、
検出した前記欠陥の数を計数する欠陥計数ステップと、
計数された前記欠陥の数に基づき前記検査対象画像に写る対象物の合否を判定する判定ステップと
を備えることを特徴とする外観検査方法。 - 前記欠陥検出ステップは、
前記対象領域に含まれるエッジを抽出するステップと、
抽出したエッジを基準とするマスタ画像におけるエッジと比較して欠陥を検出するステップと
を有することを特徴とする請求項1に記載の外観検査方法。 - 複数の検査対象画像に対し外観検査方法を適用する場合において、前記マスタ画像は前記複数の検査対象画像のうち最初に外観検査方法が適用された画像であることを特徴とする請求項2に記載の外観検査方法。
- 複数の検査対象画像に対し外観検査方法を適用する場合において、前記マスタ画像は前記複数の検査対象画像のうち直前に外観検査方法が適用された画像であることを特徴とする請求項2に記載の外観検査方法。
- 複数の検査対象画像に対し外観検査方法を適用する場合において、前記マスタ画像は前記複数の検査対象画像のうち、直前に外観検査方法が適用された結果合格と判定された画像であることを特徴とする請求項2に記載の外観検査方法。
- コンピュータに請求項1から5のいずれか1項に記載の外観検査方法を実行させるためのプログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018204477A JP7207948B2 (ja) | 2018-10-30 | 2018-10-30 | 外観検査方法及びプログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018204477A JP7207948B2 (ja) | 2018-10-30 | 2018-10-30 | 外観検査方法及びプログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020071106A true JP2020071106A (ja) | 2020-05-07 |
JP7207948B2 JP7207948B2 (ja) | 2023-01-18 |
Family
ID=70547599
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018204477A Active JP7207948B2 (ja) | 2018-10-30 | 2018-10-30 | 外観検査方法及びプログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7207948B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116500048A (zh) * | 2023-06-28 | 2023-07-28 | 四川联畅信通科技有限公司 | 一种线缆卡具缺陷检测方法、装置、设备及介质 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03291507A (ja) * | 1990-04-09 | 1991-12-20 | Mitsubishi Nuclear Fuel Co Ltd | 円筒体の検査装置 |
JPH04319651A (ja) * | 1991-04-19 | 1992-11-10 | Inax Corp | タイルユニットの検査方法 |
JPH07140091A (ja) * | 1993-11-17 | 1995-06-02 | Nippon Avionics Co Ltd | パタ−ンの検査方法 |
JPH0763925B2 (ja) * | 1989-03-06 | 1995-07-12 | 三菱電機株式会社 | 切削機械の切屑付着監視装置 |
JP2000329706A (ja) * | 1999-05-18 | 2000-11-30 | Dainippon Printing Co Ltd | マスク画像自動生成方法およびカード検査装置 |
JP2002022664A (ja) * | 2000-07-12 | 2002-01-23 | Maki Mfg Co Ltd | 農産物の等級判定方法及び等級判定装置 |
JP2003344304A (ja) * | 2002-05-24 | 2003-12-03 | Sharp Corp | 外観検査装置および外観検査方法 |
JP2006201135A (ja) * | 2005-01-24 | 2006-08-03 | Nikon Corp | 欠陥検査装置、欠陥検査方法及び欠陥検査プログラム |
JP2009294087A (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 樹脂材料検査装置およびプログラム |
US20130229511A1 (en) * | 2012-03-02 | 2013-09-05 | Nathan OOSTENDORP | Machine-vision system and method for remote quality inspection of a product |
JP2017198671A (ja) * | 2016-04-25 | 2017-11-02 | キヤノン株式会社 | 画像処理装置および画像処理方法 |
-
2018
- 2018-10-30 JP JP2018204477A patent/JP7207948B2/ja active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0763925B2 (ja) * | 1989-03-06 | 1995-07-12 | 三菱電機株式会社 | 切削機械の切屑付着監視装置 |
JPH03291507A (ja) * | 1990-04-09 | 1991-12-20 | Mitsubishi Nuclear Fuel Co Ltd | 円筒体の検査装置 |
JPH04319651A (ja) * | 1991-04-19 | 1992-11-10 | Inax Corp | タイルユニットの検査方法 |
JPH07140091A (ja) * | 1993-11-17 | 1995-06-02 | Nippon Avionics Co Ltd | パタ−ンの検査方法 |
JP2000329706A (ja) * | 1999-05-18 | 2000-11-30 | Dainippon Printing Co Ltd | マスク画像自動生成方法およびカード検査装置 |
JP2002022664A (ja) * | 2000-07-12 | 2002-01-23 | Maki Mfg Co Ltd | 農産物の等級判定方法及び等級判定装置 |
JP2003344304A (ja) * | 2002-05-24 | 2003-12-03 | Sharp Corp | 外観検査装置および外観検査方法 |
JP2006201135A (ja) * | 2005-01-24 | 2006-08-03 | Nikon Corp | 欠陥検査装置、欠陥検査方法及び欠陥検査プログラム |
JP2009294087A (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 樹脂材料検査装置およびプログラム |
US20130229511A1 (en) * | 2012-03-02 | 2013-09-05 | Nathan OOSTENDORP | Machine-vision system and method for remote quality inspection of a product |
JP2017198671A (ja) * | 2016-04-25 | 2017-11-02 | キヤノン株式会社 | 画像処理装置および画像処理方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116500048A (zh) * | 2023-06-28 | 2023-07-28 | 四川联畅信通科技有限公司 | 一种线缆卡具缺陷检测方法、装置、设备及介质 |
CN116500048B (zh) * | 2023-06-28 | 2023-09-15 | 四川联畅信通科技有限公司 | 一种线缆卡具缺陷检测方法、装置、设备及介质 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7207948B2 (ja) | 2023-01-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7394926B2 (en) | Magnified machine vision user interface | |
JP5273196B2 (ja) | 画像処理装置 | |
US8503757B2 (en) | Image measurement device, method for image measurement, and computer readable medium storing a program for image measurement | |
JP4595705B2 (ja) | 基板検査装置並びにそのパラメータ設定方法およびパラメータ設定装置 | |
JP4738925B2 (ja) | 画像検査方法および画像検査装置 | |
JP6355411B2 (ja) | エッジ検出方法 | |
JP2008112449A (ja) | 画像検査システム、グラフィックユーザインターフェースおよび円弧ツール | |
JP6243705B2 (ja) | 自動パラメータ設定選択肢を含むエッジ測定ビデオツール及びインタフェース | |
KR102249836B1 (ko) | 투과영상 기반의 비파괴검사 기능을 제공하기 위한 방법 및 컴퓨터 판독 가능한 저장 매체 | |
JP2004294358A (ja) | 欠陥検査方法および装置 | |
JP7214432B2 (ja) | 画像処理方法、画像処理プログラム、記録媒体、画像処理装置、生産システム、物品の製造方法 | |
US20220215521A1 (en) | Transmission image-based non-destructive inspecting method, method of providing non-destructive inspection function, and device therefor | |
US11769248B2 (en) | Image processing device, image processing method, and image processing non-transitory computer readable medium for verifying detectable range of defect image | |
US9972079B2 (en) | Wafer appearance inspection apparatus | |
JP7207948B2 (ja) | 外観検査方法及びプログラム | |
JP2016200444A (ja) | ボイドの計測方法、計測装置、及び計測プログラム | |
JP6049052B2 (ja) | ウエハ外観検査装置及びウエハ外観検査装置における感度しきい値設定方法 | |
JP4415285B1 (ja) | ワイヤ検査装置、ワイヤ検査方法及びワイヤ検査用プログラム | |
WO2021141051A1 (ja) | ワーク画像解析装置、ワーク画像解析方法、及びプログラム | |
JP7380332B2 (ja) | 画像処理装置、画像処理装置の制御方法およびプログラム | |
KR102616867B1 (ko) | 비파괴검사 방법 | |
US11816827B2 (en) | User interface device for autonomous machine vision inspection | |
JP7006111B2 (ja) | 位置を決定する装置、方法、およびプログラム、画像を表示する装置、方法、およびプログラム | |
KR102415928B1 (ko) | 투과영상 기반의 비파괴검사 방법 | |
JP6266244B2 (ja) | 三次元画像処理装置、三次元画像処理方法及び三次元画像処理プログラム並びにコンピュータで読み取り可能な記録媒体及び記録した機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210915 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220622 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220628 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20220823 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221007 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221213 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230105 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7207948 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |