JP2020071072A - 感圧センサーおよびハンド - Google Patents
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- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 90
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 90
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 claims description 18
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 16
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 15
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 13
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 10
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 4
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 2
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920001955 polyphenylene ether Polymers 0.000 description 2
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930182556 Polyacetal Natural products 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 1
- 230000004931 aggregating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 206010025482 malaise Diseases 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/20—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
- G01L1/22—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
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- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
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- B25J13/00—Controls for manipulators
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- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
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- G01L23/00—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid
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Abstract
Description
第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に位置している導電性樹脂と、を有し、
前記導電性樹脂は、
第1領域と、
前記第1領域とは、前記第1電極と前記第2電極とが並ぶ方向の厚さが異なっている第2領域と、を備え、
前記第2領域は、前記第1領域を囲んでいることを特徴とする。
図1は、本発明の第1実施形態に係る感圧センサーを示す断面図である。図2は、図1に示す感圧センサーの平面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図1中の上側を「上」とも言い、下側を「下」とも言う。また、第1電極11と第2電極12とが並ぶ方向を「厚さ方向」とも言い、厚さ方向に沿った各部の長さを「厚さ」とも言う。
図3は、本発明の第2実施形態に係る感圧センサーを示す平面図である。
図4は、本発明の第3実施形態に係る感圧センサーを示す平面図である。
図5は、本発明の第4実施形態に係るハンドを示す平面図である。図6は、図5に示すハンドが有する指部の断面図である。図7は、図6に示す指部に配置された感圧センサーの断面図である。図8および図9は、それぞれ、感圧センサーが荷重を検出する仕組みを説明するための断面図である。
厚さ100μmの導電性樹脂を第1、第2電極で挟み込んで感圧センサーを得た。
厚さ100μmの第2領域と厚さ90μmの第1領域とを有する導電性樹脂を第1、第2電極で挟み込んで感圧センサーを得た。なお、第1領域は円形であり、その直径は7mmであった。また、第1、第2電極は、それぞれ、第1領域と同心的に配置された円形であった。
第1領域の直径が8mmであること以外、前述した実施例1と同様である。
第1領域の直径が9mmであること以外、前述した実施例1と同様である。
厚さ105μmの第2領域と厚さ90μmの第1領域とを有する導電性樹脂を第1、第2電極で挟み込んで感圧センサーを得た。なお、なお、第1領域は円形であり、その直径は7mmであった。また、第1、第2電極は、それぞれ、第1領域と同心的に配置された円形であった。
第1領域の厚さが95μmであること以外、前述した実施例4と同様である。
第1領域の厚さが100μmであること以外、前述した実施例4と同様である。
第1領域の厚さが110μmであること以外、前述した実施例4と同様である。
厚さ100μmの第2領域と厚さ90μmの第1領域とを有する導電性樹脂を第1、第2電極で挟み込んで感圧センサーを得た。なお、なお、第1領域は正四角形(正方形)であり、その一片の長さは6mmであった。また、第1、第2電極は、それぞれ、第1領域と同心的に配置された正四角形であり、その一片の長さは9mmであった。
第1領域の一片の長さが7mmであること以外、前述した実施例8と同様である。
第1領域の一片の長さが8mmであること以外、前述した実施例8と同様である。
Claims (10)
- 第1電極と、
第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に位置している導電性樹脂と、を有し、
前記導電性樹脂は、
第1領域と、
前記第1領域とは、前記第1電極と前記第2電極とが並ぶ方向の厚さが異なっている第2領域と、を備え、
前記第2領域は、前記第1領域を囲んでいることを特徴とする感圧センサー。 - 前記第2領域の前記厚さは、前記第1領域の前記厚さよりも厚い請求項1に記載の感圧センサー。
- 前記第1電極と前記第2電極とが並ぶ方向からの平面視で、
前記第1領域内に前記第1電極の中心が位置している請求項1または2に記載の感圧センサー。 - 前記導電性樹脂は、カーボンナノチューブを含んでいる請求項1ないし3のいずれか1項に記載の感圧センサー。
- 前記第1領域と前記第2領域とは別体で構成されている請求項1ないし4のいずれか1項に記載の感圧センサー。
- 前記第1電極と前記第2電極とが並ぶ方向からの平面視で、
前記第1領域の輪郭は、円形である請求項1ないし5のいずれか1項に記載の感圧センサー。 - 前記第1電極と前記第2電極とが並ぶ方向からの平面視で、
前記第1領域の輪郭は、正多角形である請求項1ないし5のいずれか1項に記載の感圧センサー。 - 前記第2領域は、前記第1領域の周方向に沿って互いに離間して3つ以上配置されている請求項1ないし7のいずれか1項に記載の感圧センサー。
- 前記第1領域の厚さと前記第2領域の厚さの差は、前記第1領域の表面粗さおよび前記第2領域の表面粗さよりも大きい請求項1ないし8のいずれか1項に記載の感圧センサー。
- 第1電極と、
第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に位置している導電性樹脂と、を有し、
前記導電性樹脂は、
第1領域と、
前記第1領域とは、前記第1電極と前記第2電極とが並ぶ方向の厚さが異なっている第2領域と、を備え、
前記第2領域は、前記第1領域を囲んでいることを特徴とするハンド。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018203224A JP7183700B2 (ja) | 2018-10-29 | 2018-10-29 | 感圧センサーおよびハンド |
CN201911025030.7A CN111103074B (zh) | 2018-10-29 | 2019-10-25 | 压敏传感器以及机械手 |
US16/665,300 US11041768B2 (en) | 2018-10-29 | 2019-10-28 | Pressure-sensitive sensor and hand |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018203224A JP7183700B2 (ja) | 2018-10-29 | 2018-10-29 | 感圧センサーおよびハンド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020071072A true JP2020071072A (ja) | 2020-05-07 |
JP7183700B2 JP7183700B2 (ja) | 2022-12-06 |
Family
ID=70328585
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018203224A Active JP7183700B2 (ja) | 2018-10-29 | 2018-10-29 | 感圧センサーおよびハンド |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11041768B2 (ja) |
JP (1) | JP7183700B2 (ja) |
CN (1) | CN111103074B (ja) |
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---|---|
US11041768B2 (en) | 2021-06-22 |
CN111103074A (zh) | 2020-05-05 |
CN111103074B (zh) | 2021-09-28 |
JP7183700B2 (ja) | 2022-12-06 |
US20200132563A1 (en) | 2020-04-30 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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