JP2020068177A - ガス分析装置及びガス分析方法 - Google Patents
ガス分析装置及びガス分析方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020068177A JP2020068177A JP2018201795A JP2018201795A JP2020068177A JP 2020068177 A JP2020068177 A JP 2020068177A JP 2018201795 A JP2018201795 A JP 2018201795A JP 2018201795 A JP2018201795 A JP 2018201795A JP 2020068177 A JP2020068177 A JP 2020068177A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement target
- target substance
- gas
- mixed gas
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/10—Ion sources; Ion guns
- H01J49/14—Ion sources; Ion guns using particle bombardment, e.g. ionisation chambers
- H01J49/147—Ion sources; Ion guns using particle bombardment, e.g. ionisation chambers with electrons, e.g. electron impact ionisation, electron attachment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/04—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components
- H01J49/0468—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components with means for heating or cooling the sample
- H01J49/049—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components with means for heating or cooling the sample with means for applying heat to desorb the sample; Evaporation
Abstract
【解決手段】 非測定対象物質となるキャリアガスを導入しながら試料が入ったるつぼを加熱し、前記試料の少なくとも一部を気化して測定対象物質を含有する試料ガスを生成し、前記キャリアガス及び前記試料ガスからなる混合ガスを導出する加熱炉を備える混合ガス生成機構と、前記混合ガス生成機構によって生成された前記混合ガスが導入される測定空間を有し、当該測定空間内において前記測定対象物質及び前記非測定対象物質にエネルギーを与えて当該測定対象物質を定量分析する四重極質量分析計と、前記測定空間内の圧力を調節する圧力調節機構とを具備し、前記圧力調整機構が、前記測定空間内において前記非測定対象物質に与えられるエネルギーを、当該非測定対象物質の下限値に応じて変化させるように圧力を調節する。
【選択図】図1
Description
10 混合ガス生成機構
11 加熱炉
11a るつぼ
14 酸化部
15 脱CO2部
16 脱水部
20 四重極質量分析計
30 圧力調節機構
L3 導入ライン
31 チャンバ
32 流量調節弁
33 調圧弁
34 排気ポンプ
Claims (12)
- 非測定対象物質となるキャリアガスを導入しながら試料が入ったるつぼを加熱し、前記試料の少なくとも一部を気化して測定対象物質を含有する試料ガスを生成し、前記キャリアガス及び前記試料ガスからなる混合ガスを導出する加熱炉を備える混合ガス生成機構と、
前記混合ガス生成機構によって生成された前記混合ガスが導入される測定空間を有し、当該測定空間内において前記測定対象物質及び前記非測定対象物質にエネルギーを与えて当該測定対象物質を定量分析する四重極質量分析計と、
前記測定空間内の圧力を調節する圧力調節機構とを具備し、
前記圧力調整機構が、前記測定空間内において前記非測定対象物質に与えられるエネルギーを、当該非測定対象物質のイオン化エネルギーの下限値に応じて変化させるように圧力を調節することを特徴とするガス分析装置。 - 前記圧力調節機構が、前記測定空間内において前記非測定対象物質に与えられるエネルギーを、当該非測定対象物質のイオン化エネルギーの下限値以下になるように圧力を調節する請求項1記載のガス分析装置。
- 前記混合ガス生成機構が、前記非測定対象物質を複数含有する混合ガスを生成するものであり、
前記圧力調節機構が、前記測定空間内に導入された前記複数の非測定対象物質のうちで最も低いイオン化エネルギーの下限値を有する非測定対象物質に与えられるエネルギーを、当該非測定対象物質の当該下限値に応じて変化させるように圧力を調節する請求項1又は2のいずれかに記載のガス分析装置。 - 前記圧力調節機構が、前記四重極質量分析計が接続され、当該四重極質量分析計の測定空間と連通する内部空間を有するチャンバと、前記チャンバの内部空間に前記混合ガス生成機構で生成された混合ガスの少なくとも一部を導入する導入ラインと、前記導入ラインに設置され、前記チャンバの内部空間の圧力を調節する調圧弁とを備える請求項1乃至3のいずれかに記載のガス分析装置。
- 前記キャリアガスが、Heガスであり、
前記試料ガスが、前記測定対象物質となるD2を含有するものである請求項1乃至4のいずれかに記載のガス分析装置。 - 前記加熱炉が、インパルス炉であり、
前記るつぼが、黒鉛るつぼである請求項1乃至5のいずれかに記載のガス分析装置。 - 前記試料ガスが、前記測定対象物質となるD2と、共に前記非測定対象物質となるCOを含有するものであり、
前記混合ガス生成機構が、前記加熱炉から導出された混合ガスを酸化させる酸化部と、前記酸化部から導出された当該混合ガスを脱CO2する脱CO2部と、前記脱CO2部から導出された当該混合ガスを脱水する脱水部とをさらに備える請求項6記載のガス分析装置。 - 前記酸化部が、酸化剤としてシュッツェ試薬を使用するものである請求項7記載のガス分析装置。
- 前記脱CO2部が、脱CO2剤としてソーダ石灰、水酸化ナトリウム又は水酸化ナトリウムを含浸させた活性アルミナから選択される少なくとも一つを使用するものである請求項7又は8のいずれかに記載のガス分析装置。
- 前記脱水部が、脱水剤として過塩酸マグネシウム又は五酸化二りんから選択される少なくとも一つを使用するものである請求項7乃至9のいずれかに記載のガス分析装置。
- 非測定対象物質となるキャリアガスを導入しながら試料が入ったるつぼを加熱し、当該試料の少なくとも一部を気化して測定対象物質を含有する試料ガスを生成し、当該キャリアガス及び当該試料ガスからなる混合ガスを導出する加熱炉を備える混合ガス生成機構と、前記混合ガス生成機構によって生成された前記混合ガスが導入される測定空間を有し、当該測定空間内において前記測定対象物質及び前記非測定対象物質にエネルギーを与えて当該測定対象物質を定量分析する四重極質量分析計とを用いたガス分析方法であって、
前記測定空間内の圧力を調節し、前記測定空間内において前記非測定対象物質に与えられるエネルギーを、当該非測定対象物質のイオン化エネルギーの下限値に応じて変化させることを特徴とするガス分析方法。 - 前記混合ガス生成機構によって、前記測定対象物質と、質量数が前記測定対象物質の質量数に対して±4の範囲であり、かつ、イオン化エネルギーの下限値が前記測定対象物質の下限値よりも大きい非測定対象物質と、を含有する混合ガスが生成される請求項11のガス分析方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018201795A JP7039439B2 (ja) | 2018-10-26 | 2018-10-26 | ガス分析装置及びガス分析方法 |
EP19196202.6A EP3644344B1 (en) | 2018-10-26 | 2019-09-09 | Gas analysis device and gas analysis method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018201795A JP7039439B2 (ja) | 2018-10-26 | 2018-10-26 | ガス分析装置及びガス分析方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020068177A true JP2020068177A (ja) | 2020-04-30 |
JP7039439B2 JP7039439B2 (ja) | 2022-03-22 |
Family
ID=67902393
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018201795A Active JP7039439B2 (ja) | 2018-10-26 | 2018-10-26 | ガス分析装置及びガス分析方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP3644344B1 (ja) |
JP (1) | JP7039439B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022190466A1 (ja) * | 2021-03-12 | 2022-09-15 | 株式会社堀場製作所 | 元素分析装置、元素分析装置の操作方法及び元素分析装置の動作プログラム |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6042650A (ja) * | 1983-08-18 | 1985-03-06 | Jeol Ltd | 液体クロマトグラフ質量分析装置 |
JP2002122570A (ja) * | 2000-10-13 | 2002-04-26 | Nippon Sanso Corp | ガス中の微量不純物の分析方法及び装置 |
JP2017181345A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 岩谷産業株式会社 | 燃料水素ガスの分析装置及び分析方法 |
WO2018056419A1 (ja) * | 2016-09-23 | 2018-03-29 | 株式会社堀場製作所 | 元素分析装置及び元素分析方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4108462C2 (de) * | 1991-03-13 | 1994-10-13 | Bruker Franzen Analytik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen von Ionen aus thermisch instabilen, nichtflüchtigen großen Molekülen |
US6919562B1 (en) * | 2002-05-31 | 2005-07-19 | Analytica Of Branford, Inc. | Fragmentation methods for mass spectrometry |
US6949741B2 (en) * | 2003-04-04 | 2005-09-27 | Jeol Usa, Inc. | Atmospheric pressure ion source |
-
2018
- 2018-10-26 JP JP2018201795A patent/JP7039439B2/ja active Active
-
2019
- 2019-09-09 EP EP19196202.6A patent/EP3644344B1/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6042650A (ja) * | 1983-08-18 | 1985-03-06 | Jeol Ltd | 液体クロマトグラフ質量分析装置 |
JP2002122570A (ja) * | 2000-10-13 | 2002-04-26 | Nippon Sanso Corp | ガス中の微量不純物の分析方法及び装置 |
JP2017181345A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 岩谷産業株式会社 | 燃料水素ガスの分析装置及び分析方法 |
WO2018056419A1 (ja) * | 2016-09-23 | 2018-03-29 | 株式会社堀場製作所 | 元素分析装置及び元素分析方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022190466A1 (ja) * | 2021-03-12 | 2022-09-15 | 株式会社堀場製作所 | 元素分析装置、元素分析装置の操作方法及び元素分析装置の動作プログラム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7039439B2 (ja) | 2022-03-22 |
EP3644344B1 (en) | 2024-04-24 |
EP3644344A1 (en) | 2020-04-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102998362B (zh) | 质谱系统的现场调节 | |
JP2011511929A5 (ja) | ||
CN109716481B (zh) | 元素分析装置和元素分析方法 | |
JP5719454B2 (ja) | ガス分析による熱分析装置及び熱分析方法 | |
Burlacov et al. | In-situ monitoring of plasma enhanced nitriding processes using infrared absorption and mass spectroscopy | |
JP2020068177A (ja) | ガス分析装置及びガス分析方法 | |
US20180275018A1 (en) | Analytical instrument with temporal control of ion mobility spectrometer control parameters | |
Dalaine et al. | H 2 S destruction in 50 Hz and 25 kHz gliding arc reactors | |
EP3510630A1 (en) | Apparatus and method for analysing a chemical composition of aerosol particles | |
CN109254108A (zh) | 分析装置和分析方法 | |
WO2019225573A1 (ja) | 元素分析装置及び元素分析方法 | |
JP6467805B2 (ja) | タール利用設備の排ガス処理方法及び排ガス処理装置 | |
Harding et al. | Parameters affecting ion intensities in transmission-mode direct analysis in real-time mass spectrometry | |
JP2010091132A (ja) | 土壌試料の乾燥装置及び乾燥方法 | |
Al Hejami et al. | Infrared heating of commercially available spray chambers to improve the analytical performance of inductively coupled plasma optical emission spectrometry | |
JP2009110853A (ja) | レーザアブレーション誘導結合プラズマ質量分析装置 | |
CN106525673B (zh) | 微粒子组成分析装置 | |
JPS60115833A (ja) | 試料導入装置 | |
JP5369856B2 (ja) | 測定方法 | |
JP7221037B2 (ja) | 質量分析システムにおけるインサイチュ調整 | |
JP2708236B2 (ja) | 金属試料中の微量炭素,硫黄,燐の分析方法 | |
JP2007240156A (ja) | 分析装置用試料気化装置及びicp分析装置 | |
CN107335326B (zh) | 一种脱硫脱硝装置 | |
JP2006092980A (ja) | 質量分析装置 | |
JP2023148343A (ja) | 元素分析方法、元素分析装置、及び、元素分析装置用プログラム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211228 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211228 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220207 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220222 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220309 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7039439 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |