JP2020068049A - 誘導結合型プラズマ処理装置の防着板 - Google Patents
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Abstract
Description
前記誘電体窓と前記加工対象物載置台の間に設けられた板であって、基板と、該基板の前記加工対象物載置台側の表面に設けられたパーティクル捕捉層を有し、前記コイル電極により誘導される誘導電流を阻止するスリットを有する防着板を備えることを特徴とする。
10…加工対象物
20…処理室
23…下部電極
25…窓板
26…コイル電極
27…交換板
50…防着板
501…段部
502…隙間
503…スリット
505…金属層、樹脂層
52…防着板支持具
551…金属膜
552…金属膜
60、70、80、90…防着板
71、81、91…スリット
Claims (9)
- 加工対象物が載置される加工対象物載置台を備えた処理室と、該処理室外に配置された、高周波電磁界を生成するコイル電極と、前記加工対象物載置台と前記コイル電極の間に設けられた誘電体窓と、を備えた誘導結合型プラズマ処理装置において、
前記誘電体窓と前記加工対象物載置台の間に設けられた板であって、基板と、該基板の前記加工対象物載置台側の表面に設けられたパーティクル捕捉層を有し、前記コイル電極により誘導される誘導電流を阻止するスリットを有する防着板を備えることを特徴とする誘導結合型プラズマ処理装置。 - 前記基板が、石英製、セラミック製又は金属製であることを特徴とする請求項1に記載の誘導結合型プラズマ処理装置。
- 前記パーティクル捕捉層が、金属層または樹脂層であることを特徴とする請求項1又は2に記載の誘導結合型プラズマ処理装置。
- 前記防着板が金属製の板であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の誘導結合型プラズマ処理装置。
- 前記金属層が、前記基板の加工対象物載置台側の表面に蒸着、スパッタ又はメッキで設けられていることを特徴とする請求項3に記載の誘導結合型プラズマ処理装置。
- 前記樹脂層が、前記基板の加工対象物載置台側の表面に塗布されていることを特徴とする請求項3に記載の誘導結合型プラズマ処理装置。
- 前記防着板が、前記誘電体窓から微小間隔だけ離して配置されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の誘導結合型プラズマ処理装置。
- 前記防着板が、前記誘電体窓と略同形の板に、前記コイル電極の中心軸から放射状に延在する複数のスリットを形成した構成を有することを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の誘導結合型プラズマ処理装置。
- 前記防着板が、前記誘電体窓と略同形の板に、前記コイル電極の中心軸に関して放射渦巻状に配置された複数本のスリットを有し、いずれのスリットも他のスリットと同一の直線上に位置しないような形態となっていることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の誘導結合型プラズマ処理装置。
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