JP2020060469A5 - - Google Patents

Description

本発明の一側面としての収差推定方法は、被検光学系を介して形成された被写体の光学像の光強度分布を取得する第１取得ステップと、光強度分布に基づいて被検光学系の近似収差を取得する第２取得ステップと、近似収差に基づいて初期値を決定する決定ステップと、初期値を用いて被検光学系の収差を推定する推定ステップとを備えることを特徴とする。

Claims (16)

1. 被検光学系を介して形成された被写体の光学像の光強度分布を取得する第１取得ステップと、
   前記光強度分布に基づいて前記被検光学系の近似収差を取得する第２取得ステップと、
   前記近似収差に基づいて初期値を決定する決定ステップと、
   前記初期値を用いて前記被検光学系の収差を推定する推定ステップとを備えることを特徴とする収差推定方法。
2. 前記決定ステップでは、像ずれ成分およびデフォーカス成分が除去された前記近似収差に基づいて前記初期値を決定することを特徴とする請求項１に記載の収差推定方法。
3. 前記第２取得ステップでは、強度輸送方程式を用いて前記近似収差を取得することを特徴とする請求項１または２に記載の収差推定方法。
4. 前記推定ステップでは、最適化演算を用いて前記被検光学系の収差を推定することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の収差推定方法。
5. 前記第１取得ステップでは、前記被検光学系の複数のデフォーカス位置において複数の前記光強度分布を取得し、
   前記第２取得ステップでは、前記複数のデフォーカス位置の少なくとも二つと該少なくとも二つのデフォーカス位置で取得された少なくとも二つの前記光強度分布とに基づいて前記近似収差を取得し、
   前記推定ステップでは、少なくとも二つの前記光強度分布と前記初期値とを用いて前記被検光学系の収差を推定することを特徴とする請求項１に記載の収差推定方法。
6. 前記複数のデフォーカス位置は二つ以上の正のデフォーカス位置と二つ以上の負のデフォーカス位置とを含み、
   前記第２取得ステップでは、前記二つ以上の正のデフォーカス位置の少なくとも一つと、該少なくとも一つの正のデフォーカス位置で取得された前記光強度分布と、前記二つ以上の負のデフォーカス位置の少なくとも一つと、該少なくとも一つの負のデフォーカス位置で取得された前記光強度分布とに基づいて前記近似収差を取得することを特徴とする請求項５に記載の収差推定方法。
7. 前記推定ステップで用いられる少なくとも二つの前記光強度分布は、前記第２取得ステップで用いられなかった前記光強度分布を含むことを特徴とする請求項５または６に記載の収差推定方法。
8. 前記推定ステップで用いられる少なくとも二つの前記光強度分布は、前記第２取得ステップで用いられなかった二つ以上の前記光強度分布を含むことを特徴とする請求項５または６に記載の収差推定方法。
9. 前記第２取得ステップで用いられなかった二つ以上の前記デフォーカス位置は、正のデフォーカス位置と負のデフォーカス位置とを含むことを特徴とする請求項８に記載の収差推定方法。
10. 前記推定ステップで用いられる少なくとも二つの前記光強度分布は、前記第２取得ステップで用いられなかった前記デフォーカス位置のうち、前記第２取得ステップで用いられた前記デフォーカス位置よりも前記被検光学系の焦点位置に近いデフォーカス位置で取得された光強度分布を含むことを特徴とする請求項５から９のいずれか１項に記載の収差推定方法。
11. 前記光学像は点像であることを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載の収差推定方法。
12. 前記決定ステップでは、前記近似収差の像ずれ成分とフォーカス成分の少なくとも一方を変化させることで前記初期値を取得することを特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記載の収差推定方法。
13. 前記推定ステップでは、繰り返し演算によって前記被検光学系の前記収差を推定することを特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記載の収差推定方法。
14. 請求項１から１３のいずれか一項に記載の収差推定方法をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
15. 請求項１４に記載のプログラムを記憶していることを特徴とするコンピュータが読み取り可能な記憶媒体。
16. 被検光学系を介して形成された被写体の光学像の光強度分布を取得する撮像素子と、
    前記光強度分布に基づいて前記被検光学系の収差を推定する制御部とを有し、
    前記制御部は、前記光強度分布に基づいて前記被検光学系の近似収差を取得するとともに、前記近似収差に基づいて前記被検光学系の収差を推定する際に使用する初期値を決定することを特徴とする収差推定装置。