JP2020057660A - 発光装置及びその製造方法 - Google Patents
発光装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020057660A JP2020057660A JP2018185673A JP2018185673A JP2020057660A JP 2020057660 A JP2020057660 A JP 2020057660A JP 2018185673 A JP2018185673 A JP 2018185673A JP 2018185673 A JP2018185673 A JP 2018185673A JP 2020057660 A JP2020057660 A JP 2020057660A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light emitting
- layer
- resin
- substrate
- adhesive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48135—Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
- H01L2224/48137—Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
Landscapes
- Led Device Packages (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
Description
<発光装置>
はじめに、第1実施形態に係る発光装置について説明する。
図1は第1実施形態に係る発光装置の構成を模式的に示す斜視図である。図2Aは第1実施形態に係る発光装置の構成を模式的に示す断面図であり、図1のII−II線における断面を示す。図2Bは第1実施形態に係る発光装置で用いられる放熱基板の構成を模式的に示す斜視図である。
複数の発光素子50は、具体的にはLEDチップであり、用途に応じて任意の波長のものを選択することができる。例えば青色(波長430nm〜490nmの光)、緑色(波長490nm〜570nmの光)の発光素子50としては、窒化物系半導体(InXAlYGa1−X−YN、0≦X、0≦Y、X+Y<1)を用いることができる。ただし、発光素子50としては、本実施形態の発光装置1に適用できるものであれば、どのようなものであってもよい。
複数の発光素子50は、樹脂基板10に形成された凹部61の底面、具体的には反射板16の上面(実装領域)に、接合部材52により接合されている。
また、発光素子50と同様に、樹脂基板10の配線層13の上面に保護素子54を設けてもよい。保護素子54は、静電気や高電圧サージから発光素子50を保護するための素子で、例えばツェナーダイオードが挙げられる。保護素子54は、配線層13を介してワイヤ53により発光素子50と一般的には電気的に並列に接続されている。配線層13はその表面にめっき層17を備えていてもよい。
樹脂基板10は、複数の発光素子50が上面に載置されるための反射板16と、反射板16に載置される複数の発光素子50の周囲で反射板16の上面に設けられた樹脂層11と、樹脂層11の上面に設けられ発光素子50が電気的に接続する配線層13と、を少なくとも有する。
樹脂基板10は、凹部61が形成されており、凹部61の底面に発光素子50が載置される。凹部61は、反射板16と樹脂層11とにより形成されている。凹部61の底面は反射板16に相当し、凹部61の側面は樹脂基板10に相当する。
樹脂基板10は、複数の発光素子50が上面に載置された反射板16と、反射板16に載置される複数の発光素子50の実装領域を確保するために、凹部61を形成するように複数の発光素子50の周囲で反射板16の上面に設けられた樹脂層11と、樹脂層11の上面に設けられ発光素子50が電気的に接続する配線層13と、を有する。
ここで、樹脂基板10は、反射板16の上面に反射板用接着層15を介して樹脂層11が設けられ、樹脂層11の上面に配線層用接着層12を介して配線層13が設けられている。そして、樹脂基板10は、配線層13の上面に一部を除いて保護層14及びめっき層17をさらに有することが好ましい。
樹脂基板10の平面形状は、特に限定されないが、矩形、角部に丸みを帯びた矩形、円形又は楕円形であることが好ましい。また、樹脂基板10の反射板用接着層15、樹脂層11、配線層用接着層12、配線層13、保護層14及びめっき層17によって形成される凹部61の平面形状は、反射板16に載置される複数の発光素子50の配置形態に応じて決定され、矩形、角部に丸みを帯びた矩形、円形又は楕円形であることが好ましい。
接着層18は、樹脂基板10(反射板16)と放熱基板19とを接合させるための樹脂硬化物(接着材硬化物)からなる接着層である。接着層18としては、エポキシ系、シリコーン系、ポリイミド系、ポリエステル系、アクリル系、ウレタン系、フェノール系、或いはそれらの複合物等、種々の熱硬化性樹脂からなる接着材を用いることができる。接着層18には、熱伝導性を向上させる金属粒子やセラミックスのフィラーを含有させてもよい。接着層18は、熱伝導率が5.0W/mK以上の樹脂硬化物であることが好ましい。
接着層18は、熱伝導性のため、厚みが20μm以下であることが好ましい。接着層18は、厚みが薄いと接合の際の熱収縮によって空気が混入して気泡が発生しやすくなり、気泡によって熱伝導性が低下しやすい。そのため、接着層18の厚みは、10μm以上であることが好ましい。
放熱基板19は、発光素子50から発生する熱を外部に放出させる部材である。放熱基板19としては、アルミニウム板や銅板、タングステン板、カーボングラファイト等の高熱伝導材料を用い、熱伝導率5.0W/mK以上の材料が好ましい。放熱基板19は、熱伝導性のため、1.0〜5.0mmの厚みであることが好ましい。また、放熱板19の表面は放熱板16との熱結合を良くするため、表面は平滑であることが好ましい。
放熱基板19は、その上面に溝部20が形成される。そして、溝部20は、放熱基板19の上面の周縁部、具体的には反射板16に載置された複数の発光素子50を取り囲む位置に枠状に形成されている。好ましくは、樹脂層11と対向して位置するように放熱基板19の上面に溝部20が形成されている。
溝部20は、放熱基板19の上面において、連続して形成された溝であることが好ましいが、連続しないで間欠的に形成された溝であってもよい。また、溝部20の断面形状は、特に限定されず、矩形、三角形、半円形又は半楕円形であることが好ましい。
次に、第1実施形態に係る発光装置の製造方法について、図面を参照しながら説明する。なお、発光装置の各部材の詳細については、前記したとおりであるので、ここでは適宜説明を省略する。
図3は第1実施形態に係る発光装置の製造方法の流れを示すフローチャートである。図4Aは第1実施形態に係る発光装置の製造方法における配線層用接着層形成工程により形成された樹脂層、配線層用接着層及び金属箔を模式的に示す断面図である。図4Bは第1実施形態に係る発光装置の製造方法における配線層形成工程により形成された配線層用接着層及び配線層を模式的に示す断面図である。図4Cは第1実施形態に係る発光装置の製造方法における保護層形成工程、めっき層形成工程及び反射板用接着層形成工程により形成された保護層、めっき層及び反射板用接着層を模式的に示す断面図である。図4Dは第1実施形態に係る発光装置の製造方法における穴部形成工程により形成された穴部を模式的に示す断面図である。図4Eは第1実施形態に係る発光装置の製造方法における反射板接合工程により形成された樹脂基板を模式的に示す断面図である。図4Fは第1実施形態に係る発光装置の製造方法における放熱基板用接着層形成工程及び基板貼合工程により形成された放熱基板と樹脂基板との貼合状態を模式的に示す断面図である。図4Gは第1実施形態に係る発光装置の製造方法における基板接合工程により形成された放熱基板が接合された樹脂基板を模式的に示す断面図である。図4Hは第1実施形態に係る発光装置の製造方法における発光素子載置工程、ワイヤ接続工程及び封止部材充填工程により形成された発光装置を模式的に示す断面図である。
樹脂基板を準備する工程S100は、反射板16と、反射板16の上面に設けられた樹脂層11と、樹脂層11の上面に設けられた配線層13と、を有する樹脂基板10を準備する工程である。
好ましくは、樹脂基板を準備する工程S100は、配線層用接着層形成工程S101と、配線層形成工程S102と、保護層形成工程S103と、めっき層形成工程S104と、反射板用接着層形成工程S105と、穴部形成工程S106と、反射板接合工程S107と、を含み、この順に行う。
金属箔13aの下面への配線層用接着層12の形成は、例えば、接着材を塗布する方法を用いることができる。接着材の塗布方法は、接着材の粘度や塗布厚みに合わせて、ディスペンサ、印刷機、塗工機等を用いた方法を選択すればよい。接着材の塗布後は、加熱や、UV照射等の半硬化プロセスを加えてもよい。その他、接着材を塗布する代わりに、接着シートを用いてもよい。
なお、ここでは金属箔13aに配線層用接着層12を設けることとしたが、樹脂層11の上面に配線層用接着層12を設け、その配線層用接着層12に金属箔13aを接合することとしてもよい。また、ガラスエポキシ材、液晶ポリマー材等のシート材を樹脂層11として用いて金属箔13aと直接接合する方法も可能である。
配線層13の形成方法としては、レーザを用いて金属箔13a及び配線層用接着層12の不要な部分を除去する方法を用いてもよい。また、ここでは金属箔13aを用いているが、金属箔13aの代わりに導電性ペーストの印刷により配線層13を形成する方法、めっき法により配線層13を形成する方法等を用いてもよい。
樹脂層11の下面への反射板用接着層15の形成は、例えば、接着材を塗布する方法を用いることができる。接着材の塗布方法は、接着材の粘度や塗布厚みに合わせて、ディスペンサ、印刷機、塗工機等を用いた方法を選択すればよい。接着材の塗布後は、加熱や、UV照射等の半硬化プロセスを加えてもよい。その他、接着材を塗布する代わりに、接着シートを用いてもよい。
穴部60は、例えば、トムソン刃を用いて、樹脂層11及び反射板用接着層15の中央部を、所定の大きさに切り抜くことで形成することができる。その他、パンチングやレーザにより穴部60を形成してもよい。
反射板接合工程S107では、樹脂層11と反射板16とを反射板用接着層15を介して貼り合せた後に、オートクレーブ等の加圧容器を用いて加圧及び加熱することが好ましい。これにより、樹脂層11と反射板16との間に気泡が発生して接合力が低下するのが抑制される。加圧及び加熱条件は、気泡除去と経済的な観点から、圧力は0.3〜1.5MPa、温度は30〜150℃、保持時間は0.5〜3.0時間が好ましい。
接着材を設ける工程(放熱基板用接着層形成工程S108)は、上面に溝部20が形成された放熱基板19に接着材を塗布して、樹脂基板10(反射板16)と接合する放熱基板19の上面及び溝部20内に接着材(接着層18)を設ける工程である。
放熱基板19への接着材の塗布方法は、接着材の粘度や塗布厚みに合わせて、ディスペンサ、印刷機、塗工機等を用いた方法を選択すればよい。
放熱基板と樹脂基板とを貼り合わせる工程(基板貼合工程S109)は、反射板16の下面に接着層18を介して放熱基板19を貼り合せる工程である。この工程では、予め設けられている位置を示すマーク同士を合わせることで、適正位置に反射板16と放熱基板19とを貼り合わせている。
放熱基板と樹脂基板とを接合する工程(基板接合工程S110)は、放熱基板19が貼り合わさった樹脂基板10(反射板16)を、減圧環境下で加圧及び加熱して、接着材(接着層18)を硬化させ放熱基板19と反射板16とを接合する工程である。
前記したとおり、放熱基板19と反射板16とを接合する際には、放熱基板19と反射板16との間の接着層18に気泡が発生しやすい。この気泡の除去には、真空ラミネータ装置等を使用して、減圧環境下で加圧及び加熱することが有効である。これによって、溝部20内の接着材が基板間に流動し、接着材の硬化収縮による外部からの空気の混入を抑制すると共に、発生した気泡を分散させる。
減圧環境は、100Pa以下であることが好ましい。環境が100Pa以下であることで、気泡が除去され易くなる。気泡の除去をより促進させるため、より好ましくは50Pa以下である。さらに好ましくは、10Pa以下である。
加圧の際の圧力は、0.3MPa以上であることが好ましい。圧力を0.3MPa以上とすることで、気泡が除去され易くなる。気泡の除去をより促進させるため、より好ましくは0.6MPa以上、更に好ましくは0.8MPa以上である。一方、1.5MPa以上としても前記効果が飽和することから、1.5MPa以下とすることが好ましい。
また、加圧の際の温度は、30℃以上であることが好ましい。温度を30℃以上とすることで、気泡が除去され易くなる。気泡の除去をより促進させるため、より好ましくは60℃以上、更に好ましくは90℃以上である。一方、150℃以上としても前記効果が飽和することから、150℃以下とすることが好ましい。
また、保持時間としては、気泡を除去する効果を向上させる観点から、0.5時間以上とすることが好ましく、経済的な観点から、3.0時間以下とすることが好ましい。
発光素子を載置すると共に配線層に接続する工程(発光素子載置工程S111及びワイヤ接続工程S112)は、放熱基板19が接合した樹脂基板10の凹部61の底面に露出した反射板16の上面に、複数の発光素子50を接合部材52で載置すると共に、複数の発光素子50をワイヤ53で配線層13(めっき層17)に電気的に接続する。
また、この工程では、複数の発光素子50が収容された凹部61に透光性の封止部材を充填する封止部材充填工程S113を行ってもよい。さらに、この工程では、保護素子54を、配線層13(めっき層17)の上面に載置すると共にワイヤ53で電気的に接続する工程を行ってもよい。
以上のように各工程を含むように行うことで、熱収縮の影響があっても、基板間に気泡が混入することがなく、放熱特性に優れた発光装置を製造することができる。
次に、第2実施形態に係る発光装置及びその製造方法について説明する。
図5は第2実施形態に係る発光装置の構成を模式的に示す断面図である。
発光装置1Aでは、溝部20が、反射板16の外周端に溝開口を対向させるように形成されること以外は、第1実施形態に係る発光装置1と同様である。
なお、発光装置1Aは、溝部20の溝開口内に反射板16の外周端が対向する位置と溝幅で放熱基板19の上面に枠状に形成されている。そのため、基板間の接合の際、反射板16の外周端の位置で溝部20から接着材が流動して硬化する。したがって、反射板16の外周端の位置で外部からの空気の混入を防止できる。それゆえ、樹脂基板10と放熱基板19との間の接着層18において、発光素子50が載置されるエリアでの気泡の発生がさらに抑制でき、放熱基板19での放熱特性が向上する。
[実施例]
以下の手順により発光装置を作製した。なお、発光装置の各構成については、図4A〜図4Hを参照して説明する。
まず、サーキットフォイルルクセンブルグ社製の電解銅箔(金属箔13a:52μm厚)の下面全面に、エポキシ系接着材(配線層用接着層12)を乾燥後の厚みが10μmになるように、ロールtoロール法で塗布した。次に、宇部興産製のポリイミドフィルム(ユーピレックスS(登録商標)(樹脂層11:25μm厚))をロールtoロール法で、接着材(配線層用接着層12)を介して貼り合わせ、オーブンで硬化させた。
次に、銅箔(配線層13)におけるめっき層17を設ける部位を除く部位に、銅箔(配線層13)の上面を被覆するように太陽インキ製造社製の白色レジスト(保護層14:S−500WF01)を、乾燥後の厚みが20μmとなるように、スクリーン印刷法で印刷し、オーブンで硬化させた。次に、銅箔(配線層13)の上面に、無電解めっき法を用いてNi−Pd−Au層(めっき層17:それぞれ5μm、0.1μm、0.05μm厚)を形成した。
次に、Alanod社製の高反射アルミニウム板(反射板16:Miro−Silver(0.7mm厚))を接着シート(反射板用接着層15)に貼り合わせた。そして、オートクレーブに投入し、90℃、0.8MPaで1時間保持することにより、ポリイミドフィルム(樹脂層11)と高反射アルミニウム板(反射板16)とが接着シート(反射板用接着層15)を介して接合された樹脂基板10を作製した。
次に、1Paの減圧環境下、90℃、0.8MPaで1時間保持することにより、樹脂基板10と放熱用アルミニウム板(放熱基板19)とを高熱伝導性接着層(接着層18)を介して接合した。そして、発光素子50を凹部61の底面の所定位置に載置し、ワイヤ53でめっき層17と接続した。
溝部20が形成されていない放熱用アルミニウム板(放熱基板19)を用いること以外は実施例と同様にして発光装置1を作製した。
実施例と参考例における発光装置1のX線写真を図6A、図6Bに示す。なお、気泡が観察された部位を符号Aで示す。参考例の発光装置1には、樹脂基板10と放熱用アルミニウム板(放熱基板19)との接合部に気泡が確認されたが、実施例の発光装置1には気泡が確認されなかった。放熱用アルミニウム板(放熱基板19)に形成された溝部20による気泡除去が効果的であることが分かった。
10 樹脂基板
11 樹脂層
12 配線層用接着層
13 配線層
14 保護層
15 反射板用接着層
16 反射板
17 めっき層
18 接着層
19 放熱基板
20 溝部
50 発光素子
52 接合部材
53 ワイヤ
54 保護素子
60 穴部
61 凹部
S100 樹脂基板を準備する工程
S101 配線層用接着層形成工程
S102 配線層形成工程
S103 保護層形成工程
S104 めっき層形成工程
S105 反射板用接着層形成工程
S106 穴部形成工程
S107 反射板接合工程
S108 放熱基板用接着層形成工程
S109 基板貼合工程
S110 基板接合工程
S111 発光素子載置工程
S112 ワイヤ接続工程
S113 封止部材充填工程
Claims (8)
- 複数の発光素子と、
前記複数の発光素子が上面に載置された反射板と、前記反射板に載置された前記複数の発光素子の周囲で前記反射板の上面に設けられた樹脂層と、前記樹脂層の上面に設けられ前記発光素子が電気的に接続する配線層と、を有する樹脂基板と、
前記複数の発光素子が載置された前記反射板の上面と反対側の下面に接着層を介して接合された放熱基板と、を備え、
前記放熱基板の上面に溝部が形成され、前記溝部は、前記反射板に載置された前記複数の発光素子を取り囲む位置に形成されている発光装置。 - 前記溝部は、前記樹脂層と対向して位置するように形成されている請求項1に記載の発光装置。
- 前記溝部は、前記反射板の外周端が溝開口内に対向して位置するように形成されている請求項2に記載の発光装置。
- 前記溝部の溝幅は、0.5〜2.0mmである請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の発光装置。
- 前記溝部の溝深さは、200μm以上である請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の発光装置。
- 前記接着層は、熱伝導率が5.0W/mK以上の樹脂硬化物である請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の発光装置。
- 反射板と、前記反射板の上面に設けられた樹脂層と、前記樹脂層の上面に設けられた配線層と、を有する樹脂基板を準備する工程と、
上面に溝部が形成された放熱基板に接着材を塗布して、前記樹脂基板と接着する上面及び溝部内に接着材を設ける工程と、
前記放熱基板の前記接着材を介して前記樹脂基板を貼り合わせる工程と、
前記放熱基板が貼り合わさった前記樹脂基板を、減圧環境下で加圧及び加熱して、前記接着材を硬化させ前記放熱基板と前記樹脂基板とを接合する工程と、
前記放熱基板が接合した前記樹脂基板の前記反射板に、発光素子を載置すると共に、前記配線層に電気的に接続する工程と、を含む発光装置の製造方法。 - 接着剤を硬化させ放熱基板と樹脂基板とを接合する前記工程は、加圧の際の圧力が0.3MPa以上、加熱の際の温度が50℃以上である請求項7に記載の発光装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018185673A JP7260734B2 (ja) | 2018-09-28 | 2018-09-28 | 発光装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018185673A JP7260734B2 (ja) | 2018-09-28 | 2018-09-28 | 発光装置及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020057660A true JP2020057660A (ja) | 2020-04-09 |
JP7260734B2 JP7260734B2 (ja) | 2023-04-19 |
Family
ID=70107667
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018185673A Active JP7260734B2 (ja) | 2018-09-28 | 2018-09-28 | 発光装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7260734B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023042746A1 (ja) * | 2021-09-16 | 2023-03-23 | 旭化成株式会社 | 紫外線照射装置およびその製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007158210A (ja) * | 2005-12-08 | 2007-06-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 発光モジュールとその製造方法 |
JP2008519419A (ja) * | 2004-11-05 | 2008-06-05 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 回路付きストリップを使用した照明組立品 |
JP2016054249A (ja) * | 2014-09-04 | 2016-04-14 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
US20160181480A1 (en) * | 2014-12-22 | 2016-06-23 | Bridgelux, Inc. | Composite Substrate for Light Emitting Diodes |
-
2018
- 2018-09-28 JP JP2018185673A patent/JP7260734B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008519419A (ja) * | 2004-11-05 | 2008-06-05 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 回路付きストリップを使用した照明組立品 |
JP2007158210A (ja) * | 2005-12-08 | 2007-06-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 発光モジュールとその製造方法 |
JP2016054249A (ja) * | 2014-09-04 | 2016-04-14 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
US20160181480A1 (en) * | 2014-12-22 | 2016-06-23 | Bridgelux, Inc. | Composite Substrate for Light Emitting Diodes |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023042746A1 (ja) * | 2021-09-16 | 2023-03-23 | 旭化成株式会社 | 紫外線照射装置およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7260734B2 (ja) | 2023-04-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4255367B2 (ja) | 発光素子搭載用基板及びその製造方法 | |
JP5072405B2 (ja) | 発光素子搭載基板及びその製造方法 | |
CN103227275B (zh) | 布线基板、发光器件以及制造布线基板的方法 | |
TW201212297A (en) | Power surface mount light emitting die package | |
JP4747265B2 (ja) | 発光素子搭載用基板およびその製造方法 | |
JP5063555B2 (ja) | 発光素子搭載用基板 | |
JP5011445B1 (ja) | 実装基板および発光モジュール | |
JP2009188187A (ja) | 電子部品及びその製造方法 | |
JP2004282004A (ja) | 発光素子搭載用基板及びその製造方法 | |
US9728697B2 (en) | Light emitting device including a metal substrate for high heat dissipation and increased light efficiency | |
JP6316731B2 (ja) | 配線基板及びその製造方法、並びに半導体パッケージ | |
JP7260734B2 (ja) | 発光装置及びその製造方法 | |
JP6279921B2 (ja) | 配線基板及び半導体パッケージ | |
JP6121099B2 (ja) | 発光素子搭載用基板およびその製造方法 | |
JP2009117124A (ja) | 光源ユニット | |
JP2011165737A (ja) | 発光素子搭載用基板およびその製造方法 | |
JP2018056397A (ja) | メタルベース基板の製造方法、半導体装置の製造方法、メタルベース基板、及び、半導体装置 | |
JP2005072382A (ja) | 放熱用リードフレーム基板及びその製造方法並びに半導体装置 | |
JP5359662B2 (ja) | 発光装置及びその製造方法 | |
JP2010021420A (ja) | 発光素子搭載用基板、発光素子パネル、発光素子パッケージおよび発光素子搭載用基板の製造方法 | |
JP7011148B2 (ja) | 発光素子載置用基体の製造方法及びそれを用いた発光装置の製造方法並びに発光素子載置用基体及びそれを用いた発光装置 | |
JP5101418B2 (ja) | 発光素子搭載用基板、発光素子パネル、発光素子パッケージおよび発光素子搭載用基板の製造方法 | |
JP6464646B2 (ja) | 発光装置およびその製造方法 | |
JP7174264B2 (ja) | 面発光光源及びその製造方法 | |
JP5807205B2 (ja) | 実装基板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210830 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220622 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220822 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221004 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230307 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230320 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7260734 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |