JP2020052246A - 露光装置 - Google Patents
露光装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020052246A JP2020052246A JP2018181645A JP2018181645A JP2020052246A JP 2020052246 A JP2020052246 A JP 2020052246A JP 2018181645 A JP2018181645 A JP 2018181645A JP 2018181645 A JP2018181645 A JP 2018181645A JP 2020052246 A JP2020052246 A JP 2020052246A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical system
- light modulation
- exposure apparatus
- modulation element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
Description
ShON ≧ (Dp × tan(DaON))
× (tan (Ilin) + tan (ILINA))
・・・・(1)
ただし、Dpは、マイクロミラー22Mの対角の長さ、DaONは、マイクロミラー22MがON状態のときの傾斜角、Ilinは、照明光学系11からDMD22への分割光の入射角、そしてILINAは、照明光学系11の入射NAを表す。
ShOFF ≧ (Dp × tan (DaOFF))
× (tan (Dout) + tan (ILINA))
・・・・・・(2)
ただし、DaOFFは、マイクロミラー22がOFF状態のときの傾斜角、Doutは、DMD22からの反射角を表す。
ShDMD≦ShON+ShOFF
・・・・・・(3)
10 露光ヘッド
11 照明光学系
12 アパーチャアレイ(分割光学系)
22 DMD(光変調素子アレイ)
22M マイクロミラー(光変調素子)
23 投影光学系
Claims (8)
- 光源からの光を、複数の光変調素子を2次元配列させた光変調素子アレイへ導く照明光学系と、
前記光変調素子アレイで反射した光を基板に投影する投影光学系と、
前記光源と前記光変調素子アレイとの間に配置され、前記複数の光変調素子の配列に合わせて、前記光源からの光を複数の光(以下、分割光という)に分割する分割光学系とを備え、
前記分割光学系が、光変調素子サイズよりも投影エリアの小さい光束の分割光を複数成形するとともに、各分割光の投影エリアの中心位置を、対応する光変調素子の中心位置よりも分割光の入射方向に近い方にオフセットさせることを特徴とする露光装置。 - 各光変調素子が、対角線上で軸回転する矩形状素子であり、
前記分割光学系が、各分割光の投影中心位置を、回転軸に沿った対角線と交差する対角線に沿ってオフセットさせることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記分割光学系が、矩形状の分割光を複数成形することを特徴とする請求項1または2に記載の露光装置。
- 前記分割光学系が、光変調素子を縮小したサイズの投影エリアが形成される分割光を、複数成形することを特徴とする請求項3に記載の露光装置。
- 前記分割光学系が、前記複数の光変調素子の配列に応じて複数のアパーチャを形成した遮光部材を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の露光装置。
- 前記遮光部材において、前記複数のアパーチャが、マイクロミラーのサイズに応じて区画される領域の中心に対してオフセットされていることを特徴とする請求項5に記載の露光装置。
- 前記分割光学系が、前記複数の光変調素子の配列に応じて複数のマイクロレンズを形成したマイクロレンズアレイを有することを特徴とする請求項1または2に記載の露光装置。
- 前記分割光学系が、前記複数の光変調素子の配列に応じて複数のマイクロミラーを形成したマイクロミラーアレイを有することを特徴とする請求項1または2に記載の露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018181645A JP7090002B2 (ja) | 2018-09-27 | 2018-09-27 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018181645A JP7090002B2 (ja) | 2018-09-27 | 2018-09-27 | 露光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020052246A true JP2020052246A (ja) | 2020-04-02 |
JP7090002B2 JP7090002B2 (ja) | 2022-06-23 |
Family
ID=69996947
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018181645A Active JP7090002B2 (ja) | 2018-09-27 | 2018-09-27 | 露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7090002B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023114108A1 (en) * | 2021-12-16 | 2023-06-22 | Applied Materials, Inc. | Digital photolithography system, components thereof and related methods |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003202661A (ja) * | 2001-12-18 | 2003-07-18 | Nikon Corp | マスクの検査方法並びに検査システム及び露光装置 |
JP2004266198A (ja) * | 2003-03-04 | 2004-09-24 | Tadahiro Omi | パターン描画装置 |
US20070258312A1 (en) * | 2006-05-05 | 2007-11-08 | Texas Instruments Incorporated | Memory Cell Array with Multiple Drivers |
JP2011528173A (ja) * | 2008-07-16 | 2011-11-10 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系 |
JP2016188923A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | ウシオ電機株式会社 | 露光装置及び露光方法 |
-
2018
- 2018-09-27 JP JP2018181645A patent/JP7090002B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003202661A (ja) * | 2001-12-18 | 2003-07-18 | Nikon Corp | マスクの検査方法並びに検査システム及び露光装置 |
JP2004266198A (ja) * | 2003-03-04 | 2004-09-24 | Tadahiro Omi | パターン描画装置 |
US20070258312A1 (en) * | 2006-05-05 | 2007-11-08 | Texas Instruments Incorporated | Memory Cell Array with Multiple Drivers |
JP2011528173A (ja) * | 2008-07-16 | 2011-11-10 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系 |
JP2016188923A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | ウシオ電機株式会社 | 露光装置及び露光方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023114108A1 (en) * | 2021-12-16 | 2023-06-22 | Applied Materials, Inc. | Digital photolithography system, components thereof and related methods |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7090002B2 (ja) | 2022-06-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH08313842A (ja) | 照明光学系および該光学系を備えた露光装置 | |
JPH04369209A (ja) | 露光用照明装置 | |
JPWO2009125511A1 (ja) | 空間光変調ユニット、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 | |
WO2013147122A1 (ja) | マスクレス露光装置 | |
JP2006065118A (ja) | 照明光学装置 | |
JP4679249B2 (ja) | パターン描画装置 | |
JP5973207B2 (ja) | マスクレス露光装置 | |
JP7090002B2 (ja) | 露光装置 | |
JP4094218B2 (ja) | 集光光学系システムおよび画像表示装置 | |
US7528932B2 (en) | SLM direct writer | |
KR20200105915A (ko) | 투영 리소그래피 시스템을 위한 동공 패싯 미러, 조명 광학 소자 및 광학 시스템 | |
TWI649632B (zh) | Exposure device and exposure method | |
JP5360379B2 (ja) | 投影光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 | |
KR100946247B1 (ko) | 빔 이동에 의해 다중 노광을 수행하는 다중 노광시스템 | |
JP2011114041A (ja) | 光束分割装置、空間光変調ユニット、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 | |
JP7465636B2 (ja) | 描画装置 | |
JP5327715B2 (ja) | 照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 | |
CN110045582B (zh) | 一种基于数字微镜ldi的装置及倾斜扫描方法 | |
JP2004047786A (ja) | 照明光学装置,露光装置および露光方法 | |
JP4652155B2 (ja) | 露光装置及び露光方法 | |
JP2007286243A (ja) | 露光装置 | |
JP2003015077A (ja) | 画像露光装置 | |
JP2006113255A (ja) | プロジェクタ装置の光学系およびプロジェクタ装置 | |
JP2012004558A (ja) | 照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 | |
JP2019015974A (ja) | 露光装置及び露光方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210802 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220524 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220607 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220613 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7090002 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |