JP2020052033A - レーザ式ガス分析計 - Google Patents
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Abstract
Description
[先行技術文献]
[特許文献]
[特許文献1] 特開2012−233900号公報
[特許文献2] 特開2016−70687号公報
受光信号処理部は、決定されたγ(p、T)と、測定によって得られたガス温度Tおよびガス圧力pと、既知の基準温度Tref、既知のγair、γselfとを式(2)に適用して、測定対象ガスの分圧Pselfを演算して、分圧Pselfに対応する測定対象ガスの濃度を算出してよい。
図1は、発明の第1実施形態のレーザ式ガス分析計1の構成の一例を示す。本形態のレーザ式ガス分析計1は、壁50aと壁50bの内部にある測定対象空間中を通流するガスに含まれる測定対象ガスのガス濃度を測定する。また、ガス濃度が0や所定値以下であるならばガスが無いと判別できるため、ガスの有無も検出できる。
次に、第2実施形態のレーザ式ガス分析計1について説明する。第2実施形態のレーザ式ガス分析計1の構造は、図1に示された第1実施形態のレーザ式ガス分析計1の構造と同様である。したがって、詳しい説明を省略する。
次に、第3実施形態のレーザ式ガス分析計1について説明する。第3実施形態のレーザ式ガス分析計1の構造は、図1に示された第1実施形態のレーザ式ガス分析計1の構造と同様である。したがって、詳しい説明を省略する。
Claims (17)
- 波長変調分光法により、測定対象空間に存在する測定対象ガスの濃度を測定するレーザ式ガス分析計であって、
前記測定対象ガスの特定の吸収線スペクトルを含む波長帯域のレーザ光を出射するレーザ素子と、
前記測定対象ガスの特定の吸収線スペクトルを含む波長帯域で波長が繰り返し掃引され、かつ波長が変調されるように駆動電流を前記レーザ素子に供給する変調光生成部と、
を有する発光部と、
測定対象空間を通過した前記レーザ光を検出する受光素子と、
前記受光素子から受信したガス吸収信号に対し、前記レーザ光の波長変調の基本周波数または高調波周波数でロックイン検出して得た測定波形に基づいてガス分析を行う受光信号処理部と、
を有する受光部と、
を備え、
前記受光信号処理部は、
予め設定された比較用波形と前記測定波形との間の誤差が小さくなるように前記比較用波形のフィッティングパラメータを決定し、決定されたフィッティングパラメータに基づいて、前記測定対象ガスの濃度を算出する
レーザ式ガス分析計。 - 前記受光信号処理部は、前記ガス吸収信号に対し、前記レーザ光の波長変調の基本周波数の2倍の周波数でロックイン検出することによって、前記測定波形を得る
請求項1に記載のレーザ式ガス分析計。 - 複数種類のガス成分について、それぞれ基準波形が設定されており、
前記受光信号処理部は、ガス成分毎の基準波形を重み付けして合成した合成波形を前記比較用波形として、前記合成波形と前記測定波形との間の誤差が小さくなるように、重み付け係数を決定し、決定された重み付け係数に基づいて、前記測定対象ガスの濃度を算出する
請求項1または2に記載のレーザ式ガス分析計。 - 各ガス成分の基準波形は、それぞれの標準ガスを用いて測定されることによって得られる
請求項3に記載のレーザ式ガス分析計。 - 前記合成波形は、ノイズ成分を表すノイズ波形についても合成されている
請求項3または4に記載のレーザ式ガス分析計。 - 前記ガス成分毎の基準波形は、複数のガス温度別に設定されており、
前記受光信号処理部は、前記複数のガス温度別に、ガス成分毎の基準波形を重み付けして合成した合成波形を前記比較用波形として、前記合成波形と前記測定波形との間の誤差が小さくなるように、重み付け係数を決定し、
前記受光信号処理部は、複数のガス温度において前記重み付け係数が決定された場合において、前記誤差が最小となるガス温度を算出し、
前記受光信号処理部は、前記誤差が最小となるガス温度において決定された前記重み付け係数に基づいて、前記測定対象ガスの濃度を算出する
請求項3から5のいずれか一項に記載のレーザ式ガス分析計。 - 各ガス成分の基準波形は、前記複数のガス温度別に、それぞれの標準ガスを用いて測定されることによって得られる
請求項6に記載のレーザ式ガス分析計。 - 前記測定対象ガスのガス成分について、測定対象空間に共存する他ガス濃度別に複数の比較用波形が設定されており、
前記受光信号処理部は、前記複数の比較用波形のうちから前記測定波形との間の誤差が小さくなる特定の他ガス濃度に対応する比較用波形を選択するとともに、選択された比較用波形と前記測定波形との間の誤差が小さくなるように、選択された比較用波形のフィッティングパラメータを決定し、
前記受光信号処理部は、決定されたフィッティングパラメータに基づいて、前記測定対象ガスの濃度を算出する
請求項3から5のいずれか一項に記載のレーザ式ガス分析計。 - 前記測定対象ガスのガス成分について、測定対象空間に共存する他ガス濃度別、かつ、複数のガス温度別に複数の比較用波形が設定されており、
前記受光信号処理部は、前記複数の比較用波形のうちから前記測定波形との間の誤差が小さくなる特定の他ガス濃度かつ特定のガス温度に対応する比較用波形を選択するとともに、選択された比較用波形と前記測定波形との間の誤差が小さくなるように、選択された比較用波形のフィッティングパラメータを決定し、
前記受光信号処理部は、決定されたフィッティングパラメータに基づいて、前記測定対象ガスの濃度を算出する
請求項3から5のいずれか一項に記載のレーザ式ガス分析計。 - 前記受光信号処理部は、前記複数の比較用波形のうちから前記誤差が最小となる特定の他ガス濃度かつ特定のガス温度に対応する比較用波形を選択する、
請求項9に記載のレーザ式ガス分析計。 - 前記受光信号処理部は、選択された前記比較用波形に基づいて、前記ガス温度を特定する、
請求項9または10に記載のレーザ式ガス分析計。 - 前記他ガス濃度別かつ前記複数のガス温度別に設定された複数の比較用波形は、前記測定対象ガスのガス成分について、前記他ガス濃度別かつ前記複数のガス温度別に設定された基準波形と、ノイズ成分を表すノイズ波形とが合成された波形である
請求項9から11の何れか一項に記載のレーザ式ガス分析計。 - 前記測定対象ガスのガス成分についての前記基準波形は、複数濃度の前記他ガス濃度別、かつ、前記複数のガス温度別に、標準ガスを用いて測定されることによって得られる
請求項9から12の何れか一項に記載のレーザ式ガス分析計。 - 前記ガス吸収信号を近似するスペクトル形状関数が設定され、
前記スペクトル形状関数を二階微分して得られる波形が前記比較用波形として設定されており、
前記受光信号処理部は、予め設定された比較用波形と前記測定波形との間の誤差が小さくなるように前記比較用波形のフィッティングパラメータを決定し、決定されたフィッティングパラメータに基づいて、二階微分する前の前記スペクトル形状関数の波形情報を決定し、前記スペクトル形状関数の波形情報から、ガス濃度を算出する、
請求項2に記載のレーザ式ガス分析計。 - 前記受光信号処理部は、決定されたフィッティングパラメータに基づいて、二階微分する前の前記スペクトル形状関数の半値幅であるスペクトル線幅を前記波形情報として決定し、前記スペクトル線幅からガス濃度を算出する、
請求項14に記載のレーザ式ガス分析計。 - 前記スペクトル形状関数は、ローレンツ関数であり、
前記受光信号処理部は、決定されたフィッティングパラメータに基づいて、二階微分する前の前記ローレンツ関数のスペクトル線幅を前記波形情報として決定し、決定された前記ローレンツ関数のスペクトル線幅からガス濃度を算出する
請求項15に記載のレーザ式ガス分析計。 - 前記ローレンツ関数は、ガス温度をTとし、ガス圧力をpとし、スペクトル線幅をγと、波数をνとし、吸収性スペクトル中心における波数をν0としたとき、式(1)で与えられており、
前記受光信号処理部は、決定されたγ(p、T)と、測定によって得られたガス温度Tおよびガス圧力pと、既知の基準温度Tref、既知のγair、γselfとを前記式(2)に適用して、前記測定対象ガスの分圧Pselfを演算して、分圧Pselfに対応する前記測定対象ガスの濃度を算出する、
請求項16に記載のレーザ式ガス分析計。
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