JP2020046211A - 診断装置及び診断方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】簡素な構成で対象となる機械装置毎に精度よく異常の予兆の有無を診断する診断装置、及び診断方法を提供する。【解決手段】診断装置は、振動を測定するセンサからの信号を入力する入力部と、前記センサから時系列に得られる振動の波形に対し、所定時間が経過する都度に高速フーリエ変換処理を実行する処理実行部と、該処理実行部による処理後の振動の時間周波数分布から、設定されている周波数範囲及び設定されている期間分の振動を抽出する抽出部と、抽出された振動の情報を記憶する記憶部とを備え、予め前記入力部により前記センサから得られる振動に対して前記処理実行部にて処理を実行して記憶したものから、新たに前記入力部により前記センサから得られる振動に対して前記処理実行部にて処理を実行したものへの変化に基づいて異常の有無を診断する。【選択図】図2

Description

本発明は、機械装置に取り付けて該機械装置の異常の予兆の有無を、振動を基準に診断して予防保全を図る診断装置、及び該装置を用いた診断方法に関する。
機械装置の故障に対する予防保全においては従来、機械装置の部品性能のバラつき、機械装置の稼働環境の相違に関係なく、通常の使用範囲として設定される使用期間及び使用回数の内の最短期間、又は最小使用回数を目途にメンテナンスを実施して重大な故障を防止してきた。したがって、機械装置自体問題なく稼働しているにも拘わらずメンテナンス実施が行なわれたり、個体としては未だ寿命に達しない部品であっても交換したり、資源、又はメンテナンス費用の無駄が生じる。
これに対し、機械装置の劣化箇所を精度よく推定する方法が提案されている。特許文献1には、対象の機械装置から音声又は振動を収集し、収集した音声又は振動に対して周波数分析を行なって音声又は振動の強さの周波数分布から劣化度及び劣化箇所を判定する方法が開示されている。
特許5996153号
従来、機械装置の予防保全の方法として基本的に、機械装置から発せられる振動の振幅が所定の振幅よりも大きい場合には異常であると判断する。又は、特許文献1に開示されているように、学習済みニューラルネットワークに測定された振動の時間周波数分布を入力して劣化度及び劣化箇所を推定するといった複雑な演算を行なって診断する技術も提案されている。
振動の振幅を所定値と比較する単純な判断では、大きな振幅に埋もれた異常の予兆を示す振動を検知できない場合がある。逆に、より複雑な演算を行なう構成では、工場に設置されている多数の機械装置に採用することが困難である。
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、簡素な構成で対象となる機械装置毎に精度よく異常の予兆の有無を診断する診断装置、及び診断方法を提供することを目的とする。
本開示に係る診断装置は、振動を測定するセンサからの信号を入力する入力部と、前記センサから時系列に得られる振動の波形に対し、所定時間が経過する都度に高速フーリエ変換処理を実行する処理実行部と、該処理実行部による処理後の振動の時間周波数分布から、設定されている周波数範囲及び設定されている期間分の振動を抽出する抽出部と、抽出された振動の情報を記憶する記憶部とを備え、予め前記入力部により前記センサから得られる振動に対して前記処理実行部にて処理を実行し、前記抽出部にて抽出された第1の振動の情報を前記記憶部に記憶しておき、新たに前記入力部により前記センサから得られる振動に対して前記処理実行部にて処理を実行し、前記抽出部にて抽出される第2の振動の情報について前記第1の振動の情報からの変化を算出し、算出された変化に基づいて異常の有無を診断する。
本開示に係る診断方法は、振動を測定するセンサからの信号を予め時系列に入力し、入力した振動に対して所定時間が経過する都度に高速フーリエ変換処理を実行し、高速フーリエ変換処理後の振動の時間周波数分布から、設定されている周波数範囲及び設定されている期間分の振動を抽出し、抽出された振動の情報を比較対象の振動の情報として記憶媒体に記憶しておき、振動を測定するセンサから新たに、時系列に振動を入力し、入力した振動に対して所定時間が経過する都度に高速フーリエ変換処理を実行し、高速フーリエ変換処理後の振動の時間周波数分布から、設定されている周波数範囲及び設定されている期間分の振動を抽出し、抽出された振動の情報について前記記憶媒体に記憶した比較対象の振動の情報からの変化を算出し、算出された変化に基づいて異常の有無を診断する。
本開示の一態様では、振動装置を振動する機器に取り付け、正常時の振動を周波数及び時間夫々に分解して三次元化し、設定されてある周波数及び時間の範囲を抽出し、機器の特性を表す振動として記憶しておく。その後振動を測定して正常時との比較により、既知の周波数及び時間における振動について通常と異なる場合にこれを異常又は異常の予兆として検知し、異常の有無を診断することが可能である。
本開示の一態様では、機器の動作を制御する制御装置から機器への制御信号を分岐入力できる。これにより、機器の動作の状況に見合った振動の時間周波数分布に対する解析によって異常の診断が可能になる。
本開示の一態様では、抽出すべき周波数の範囲及び時間を、機器個別に設定することが可能である。これにより、機器個別の特性に見合った異常の診断が可能になる。
本開示の診断装置及び診断方法による場合、簡素な構成で診断対象の機器に取り付け、該機器個別の正常時の振動を測定しておくことで、以後異常の予兆の有無を精度良く診断することが可能になる。
本開示の診断装置の概要を示す図である。 診断装置の構成を示すブロック図である。 端末装置に表示される設定情報の受付画面の一例を示す図である。 診断装置における受付処理手順の一例を示すフローチャートである。 記憶部に記憶された設定情報の内容例を示す図である。 判定条件の時間範囲の説明図である。 パワースペクトルの一例を示す図である。 正常時に振動を学習する処理手順の一例を示すフローチャートである。 正常時の振動の時間周波数分布の一例を示す三次元グラフである。 診断処理の手順の一例を示すフローチャートである。 異常時の振動の時間周波数分布の一例を示す三次元グラフである。
本発明をその実施の形態を示す図面を参照して具体的に説明する。
図1は、本開示の診断装置1の概要を示す図である。診断装置1は、加速度センサ11と、該加速度センサ11からの信号を受け付ける診断ユニット100とを含む。図1に示すように診断装置1は、加速度センサ11を診断対象の機器Rに取り付けると共に、診断ユニット100自身も診断対象の機器Rに取り付けられ、診断対象の機器Rの動作を制御する制御装置2と接続されて使用される。図1に示す例では機器Rは減速機である。診断装置1は、初期設定時のみ、パーソナルコンピュータ(PC:Personal Computer )である端末装置3と接続されて使用される。
図2は、診断装置1の構成を示すブロック図である。診断装置1は、診断ユニット100及び加速度センサ11を含む。加速度センサ11は三軸の加速度センサを用い、三軸夫々の振動に対応する信号を出力する。
診断ユニット100は、制御部10、記憶部12、通信部13、入力部14及び入出力部15を備える。制御部10は、CPU(Central Processing Unit )、内蔵するROM(Read Only Memory)又はRAM(Random Access Memory)のメモリ、クロック等を含み、診断ユニット100の構成部を制御する。制御部10は内蔵するROM又は記憶部12に記憶された制御プログラム10Pに基づき、後述する受付処理、学習処理及び診断処理を実行する。
記憶部12は、フラッシュメモリ等の不揮発性記憶媒体を用い、制御部10から書き込まれる情報、又は制御部10が読み出す情報を書き換え可能に記憶する。記憶部12は、制御部10が参照する設定情報を記憶し、加速度センサ11を用いて測定された振動の情報を記憶する。
通信部13は、端末装置3と通信により接続するための通信モジュールである。通信モジュールは例えばRS232C、又はUSB(Universal Serial Bus)等のシリアル通信であってよい。通信モジュールは他の例では、LANケーブル対応のネットワークカード、又は無線によって通信するためのモジュールであってよい。
入力部14は、加速度センサ11から出力される測定信号を入力する。入力部14は、加速度センサ11から出力される三軸夫々に対応する測定信号を入力し、入力部14はA/D変換機能を有していてもよい。
入出力部15は、制御装置2と接続するためのインタフェースである。制御装置2は例えばPLC(Programmable logic controller)であり、入出力部15は、PLCコネクタである。制御部10は、入出力部15によって制御装置2から機器Rへの運転開始の制御信号を分岐して入力し、診断の結果、異常がある場合に入出力部15によって異常通知の信号を制御装置2へ出力する。
まず、診断装置1の記憶部12に記憶される設定情報について説明する。設定情報は、上述したように初期的に、端末装置3を使用してオペレータ又はユーザによって設定される。図3は、端末装置3に表示される設定情報の受付画面31の一例を示す図である。端末装置3には、診断装置1用の設定プログラムが記憶されており、端末装置3は該設定プログラムを実行することにより、ディスプレイに図3に示す受付画面31を表示する。図3に示すように、受付画面31は、測定条件を受け付ける測定条件受付部301と、判定条件を受け付ける判定条件受付部302とを含む。測定条件受付部301は、加速度センサ11に対する測定レンジの選択を受け付ける測定レンジ受付部303を含む。測定レンジは図3に示すように例えば±2G、±4G、±8G、…の内から選択可能にしてある。測定条件受付部301は、測定時間の設定を受け付ける測定時間受付部304を含む。測定時間は、診断対象の機器Rの運転開始からの測定対象時間である。判定条件受付部302では、複数の判定条件の内容が表示されているともに夫々編集が可能にしてある。ユーザは、対象となる項目を端末装置3のユーザインタフェースを用いて周波数の数値、判定の対象期間の数値、倍率の数値の入力が可能である。
受付画面31は、設定情報又は測定結果の読み書きを受け付ける指示受付部305を含む。指示受付部305は、受け付けた設定情報の診断装置1への書込指示を受け付ける書込ボタン306、接続される診断装置1の記憶部12に記憶してある設定情報の端末装置3への読込指示を受け付ける読込ボタン307を含む。指示受付部305は、後述する測定処理後の診断装置1における測定結果及び判定結果を端末装置3へ読み込む際の読込指示を受け付ける読込ボタン308を含む。
端末装置3は、受付画面31の測定条件受付部301で受け付けた測定レンジ及び測定時間等の測定条件と、判定条件受付部302で受け付けた判定条件とを含む設定情報を一時的に記憶しておく。端末装置3は、診断装置1と通信接続した状態で、指示受付部305における書込ボタン306が選択された場合、一時的に記憶しておいた設定情報を書込指示と共に診断ユニット100へ送信する。端末装置3は、診断装置1と通信接続した状態で、読込ボタン307が選択された場合には、診断装置1へ設定情報の読込指示を送信する。端末装置3は、診断装置1と通信接続した状態で、読込ボタン308が選択された場合には、診断装置1へ記憶部12に記憶してある直近の測定結果の読込指示を送信する。
図4は、診断装置1における受付処理手順の一例を示すフローチャートである。診断装置1の制御部10は、通信部13により端末装置3との通信接続を検知すると、端末装置3を介して以下の処理を開始する。
制御部10は、端末装置3から設定情報書込指示を受信したか否か判断し(ステップS101)、受信したと判断された場合(S101:YES)、設定情報書込指示と共に送信された設定情報に含まれる測定レンジを受信し、記憶部12に記憶する(ステップS102)。制御部10は、設定情報に含まれる測定時間を受信し、記憶部12に記憶する(ステップS103)。
次に制御部10は、判定条件毎に、設定情報に含まれる判定の対象の周波数範囲を受信し、記憶部12に記憶する(ステップS104)。制御部10は設定情報に含まれる判定の対象の期間を受信し、記憶部12に記憶する(ステップS105)。制御部10は、設定情報に含まれる判定に用いる予告及び警報夫々の倍率を受信し、記憶部12に記憶し(ステップS106)、受付処理を終了する。
ステップS101で設定情報書込指示を受信していないと判断した場合(S101:NO)、制御部10は、設定情報の読込指示を受信したか否か判断する(ステップS107)。設定情報の読込指示を受信したと判断された場合(S107:YES)、制御部10は、記憶部12から設定情報を読み出し(ステップS108)、通信部13から端末装置3へ設定情報を送信し(ステップS109)、受付処理を終了する。
ステップS107で設定情報の読込指示を受信していないと判断された場合(S107:NO)、制御部10は、測定結果の読込指示を受信したか否かを判断する(ステップS110)。測定結果の読込指示を受信したと判断された場合(S110:YES)、制御部10は、記憶部12から直近に記憶した測定結果を読み出し(ステップS111)、通信部13から端末装置3へ読み出した測定結果を送信し(ステップS112)、受付処理を終了する。ステップS111及びステップS112で制御部10は、判定結果も共に記憶している場合には送信するとよい。
ステップS110で測定結果の読込指示を受信していないと判断された場合(S110:NO)、制御部10は処理をステップS101へ戻し、待機する。
このように診断装置1は判定条件として、判定の対象とする周波数範囲と診断対象の機器Rの運転開始時点からの時間とに対して判定対象の範囲を設定する。図5は、記憶部12に記憶された設定情報の内容例を示す図である。設定情報には、測定結果に対する複数の判定条件が含まれる。図5の例において3つの判定条件が記憶されている。判定条件は、判定の対象とする周波数範囲、判定の対象とする期間、正常時のパワー値に対する予告を発する場合の倍率、警報を発する場合の倍率の組である。例えば第1の判定条件は、機器Rの運転開始0秒から10秒までの期間に、12.5Hzから250.0Hzまでの範囲の周波数のパワー値について、正常時のパワー値に対し、2倍から4倍の範囲では予告を発し、4倍以上の場合には警報を発するという条件である。同様に第2の判定条件は、機器Rの運転開始0秒から10秒までの期間に、512.0Hzから1024.0Hzまでの範囲の周波数のパワー値について、正常時のパワー値に対し、2倍から4倍までの範囲では予告を発し、4倍以上の場合には警報を発するという条件である。第3の判定条件は、機器Rの運転開始10秒から測定時間20秒までの期間に、第1の判定条件と同様の12.5Hzから250.0Hzまでの範囲の周波数のパワー値について、正常時のパワー値に対し、2倍から4倍までの範囲では予告を発し、4倍以上の場合には警報を発するという条件である。判定条件は3つに限らず、記憶部12の記憶容量に応じて所定の数分だけ、後述するように端末装置3を使用して記憶部12に記憶される。
図6は、判定条件の時間範囲の説明図である。図6は横軸に経過時間を示し、図6Aにて機器Rの運転状況、図6Bにて機器Rに掛かる負荷の時間分布を示し、図6Cにて加速度センサ11で測定できる正常時の振動波形を示し、図6Dにて異常時の振動波形を示して比較する図である。図6Eは、判定の対象の期間の例を示している。図6の例では機器Rは、例えば釦の押下などによって時点t0 に制御装置2から運転開始の指示を受け、モータが正転を開始し加速してその後高速回転する。時点t1 に停止前に減速するべく制御装置2から減速の指示を受け、減速してその後低速回転する。次に時点t2 に制御装置2から停止の指示を受け、モータが停止する。時点t0 から時点t2 の間における図6Cの正常時の振動波形と図6Dの異常時の振動波形とを比較すると、一定の高速度で回転中の期間ta −tb が異常時の変化が明確である。モータの逆転時も同様に、期間tc −td における異常時の変化が明確である。したがって、運転開始から停止までの全期間における振動を判定の対象とするのではなく、適切な期間を設定することで誤った診断を防ぐことが期待できる。
図6Cに示したように正常であっても対象機器の運転時は振動の振幅が大きい。これに対し周波数分布に変換することにより、原因によって正常時と異なる周波数にピークが現れることが分かっている。図7は、パワースペクトルの一例を示す図である。図7Aは正常時の振動のパワースペクトルであり、図7Bは異常時の振動のパワースペクトルである。図7A及び図7Bはいずれも横軸に周波数を示し、縦軸に振動のパワー値を示している。正常時には周波数fa にピークが現れており、図7Bに示すように、正常時と同様の周波数fa のピークとは異なるピークが高周波側及び低周波側に現れている。
したがって本開示の診断装置1では、診断対象の機器Rの運転開始を基準とした期間と振動の周波数との両者に対して判定の対象の範囲を設定情報として記憶しておき、振動を測定して時間周波数分布を求め、この分布における対象の範囲について正常時との比較によって異常又は異常の予兆の有無を判定する。
まず診断装置1では、正常時の振動を学習し、測定結果を記憶部12に記憶する。図8は、正常時に振動を学習する処理手順の一例を示すフローチャートである。診断装置1の制御部10は、正常時の学習開始指示を受け付けると以下の処理を開始する。学習開始指示は、制御装置2から入出力部15によって、又は端末装置3から通信部13によって受け付けられる。
制御部10は、制御装置2からの機器Rの運転開始を示す信号を検知したか否かを判断し(ステップS201)、検知していないと判断した場合(S201:NO)、処理をステップ201へ戻す。
ステップS201で機器Rの運転開始を示す信号を検知したと判断された場合(S201:YES)、制御部10は、計時を開始し(ステップS202)、加速度センサ11から出力される信号の信号値を設定されている測定レンジにてサンプリングする(ステップS203)。制御部10は、サンプリングにより得られた信号値を、時間情報と共に記憶部12に記憶する(ステップS204)。ここでサンプリング周波数は例えば6400Hzとする。
制御部10は、サンプリングされた信号値の数が所定数分に達したか否かを判断する(ステップS205)。所定数はここでは例えば512とする。ステップS205で達したと判断された場合(S205:YES)、所定数分のサンプリングされた信号値について、FFT(Fast Fourier Transform:高速フーリエ変換)解析処理を実行し(ステップS206)、解析結果を時間情報と対応付けて記憶部12に記憶する(ステップS207)。このように、サンプリングされた信号値の数が所定数に達する都度、FFT解析を行なう。ここでサンプリング周波数が6400Hzであり、所定数が512である。したがって制御部10は、80ミリ秒(=512/6.44)毎にFFT解析を行ない、ステップS207にて80ミリ秒単位の時間情報と対応させて解析結果を記憶する。サンプリング周波数及び所定数は適宜、加速度センサ11の性能、記憶部12の容量等を鑑みて適切に設定されるとよい。
ステップS205で達していないと判断された場合(S205:NO)、制御部10は処理をステップS203へ戻す。
制御部10は、運転開始から設定されている測定時間が経過したか否かを判断する(ステップS208)。測定時間が経過していないと判断された場合(S208:NO)、制御部10は処理をステップS203へ戻す。
ステップS208で測定時間が経過したと判断した場合(S208:YES)、計時を終了し(ステップS209)、所定数分ごとにFFT解析によって得られた振動の時間周波数分布を導出する(ステップS210)。ステップS210では具体的には、FFT処理によるサンプリングタイミング毎の振動のパワーの周波数分布(パワースペクトル)を、時間軸上に展開した時間周波数分布(後述の図9,11)が得られる。制御部10は、導出した振動の時間周波数分布から、記憶部12に記憶してある判定条件毎に、判定対象の周波数範囲及び対象の期間分の振動を抽出する(ステップS211)。制御部10は、抽出した振動に対し統計処理を実行し(ステップS212)、統計処理後の数値を正常時の測定結果として記憶部12に記憶し(ステップS213)、処理を終了する。ステップS211では具体的には対象期間の対象周波数における振動のパワー値が抽出される。
ステップS212の統計処理は例えば平均値の算出である。平均値の算出に限らず、中央値、最頻値、外れ値の除外でもよい。うねりの大きな異常振動を捉える場合には、最大値又は分散を算出してもよい。また1つの値を算出するのではなく、抽出したパワー値の特徴量を算出するようにしてもよい。特徴量は例えば中央値又は平均値と分散である。また抽出したパワー値をそのまま、又は規準化してからパワー値群として記憶しておいてもよい。なおFFT処理によって得られるパワー値そのものではなく、規格化されたスペクトル密度等の所定の演算処理後の値が用いられてもよい。
図9は、正常時の振動の時間周波数分布の一例を示す三次元グラフである。図9における破線で示す矩形によって、設定情報に含まれる複数の判定条件夫々の対象範囲を示している。診断装置1の制御部10は、図8のフローチャートのステップS210に示したように、図9中の矩形で示す対象範囲における振動のパワー値に対して統計処理を実行し、得られた処理後の数値を測定結果として記憶する。
なお図8のフローチャートに示した手順は、制御装置2に設定してあるスケジュールに基づき、1日に一度、又は一週間に一度など、定期的に実行するとよい。また機器Rが工場内に設置されている場合、他の機器が運転を停止した工場稼働終了後に、ワークが存在しない状態の学習期間を設けて実行するとよい。
このように正常時の振動を学習して記憶部12に記憶しておいた測定結果を用い、診断装置1は振動に基づく異常又は異常の予兆を診断する。図10は、診断処理の手順の一例を示すフローチャートである。診断装置1の制御部10は、制御装置2にて機器Rが制御されている間は継続して以下の処理を実行し、テストの場合は端末装置3から開始指示を受け付けると以下の処理を開始する。なお、以下に示す処理手順の内、図8のフローチャートに示した処理手順と共通する手順には同一のステップ番号を付して詳細な処理を終了する。
制御部10は、正常時の測定と同様の処理を実行し(S201−S213)、ステップS213で記憶した統計処理後の数値の正常時の測定結果の数値に対する倍率を、判定条件毎に算出する(ステップS214)。これにより制御部10は、診断のために測定した振動について予め正常時に測定した振動に対する変化が算出される。制御部10は、算出された倍率が、記憶部12に記憶してある判定条件毎の倍率以上であるか否かを判断する(ステップS215)。判定条件毎に、設定されている倍率以上であると判断された場合(S215:YES)、予告又は警報を入出力部15から出力し(ステップS216)、処理を終了する。
ステップS216において制御部10は、予告に対応する倍率以上である場合には予告を出力し、警報に対応する倍率以上である場合には警報を、判定条件毎に出力する。複数の判定条件が記憶されている場合、制御部10はいずれかの判定条件について設定されている倍率以上であると判断された場合、1度の予告又は警報を少なくとも1度出力してもよい。なお倍率のみではなく、他の特徴量の変化に基づいて異常又は異常の予兆の有無を判断してもよい。
ステップS215で設定されている倍率未満であると判断された場合(S215:NO)、制御部10はそのまま診断処理を終了する。
図11は、異常時の振動の時間周波数分布の一例を示す三次元グラフである。図11における破線で示す矩形によって、設定情報に含まれる複数の判定条件夫々の対象範囲を示している。診断装置1の制御部10は、図10のフローチャートのステップS212に示したように、図11中の矩形で示す対象範囲における振動の情報(振動のパワー値)に対して統計処理を実行し、得られた処理後の数値を測定結果として記憶する。図9の三次元グラフに示した正常時の測定結果と比較すると、破線で示す矩形における第3の判定条件に対応する部分に、正常時には見られないピークが現れている。ピークは小さくとも、予告する場合の倍率2倍には十分であるから、これによって異常の予兆を検知することが可能になる。
このように、診断対象の機器Rに加速度センサ11を取り付けると共に診断ユニット100を用い、機器R用の測定条件及び判定条件を設定情報として記憶し、該機器Rの正常時に測定を行なっておき、正常時の測定結果と比較する構成によって共通の診断装置1を対象の機器Rの個別の診断装置1として用いることができる。運用する箇所に既に設置された機器Rの正常時の測定結果を比較の対象として用いることで、いつもと少し異なることを異常の予兆、又は異常として検知することが可能である。診断装置1は機器Rの制御装置2との間のインタフェースを持つので、制御装置2にて診断装置1から出力される予告信号又は警報信号に対して設計によって適切に処置することが可能である。サーバ装置と通信接続して異常診断等を行なうことは必要なく、診断装置1、機器R及び機器Rの制御装置2で異常の判断が完結しており、簡素な構成で且つ個別の判断が可能である。
上述の実施の形態では、診断装置1の対象とした機器Rは、減速機とした。しかしながら対象となる機器Rはこれに限られないことは勿論である。振動によって異常の判定が可能なアクチュエータであれば診断装置1を適用できる。機器R毎の異常の判定条件を設定情報として記憶させることで、機器R毎に個別の診断が可能になる。
上述の実施の形態では、端末装置3は設定情報の診断装置1への書き込み、診断装置1からの設定情報の読み込みを行なうために使用された。端末装置3の診断装置1用の設定プログラムには、テストモードの動作を受け付ける操作画面を表示する機能が含まれていてもよい。このテストモードでは制御装置2の代わりに、端末装置3から、学習開始又は診断開始を指示する制御信号を送信する。したがってこの操作画面には、正常時の振動の学習を開始させるための指示を受け付けるボタン、診断を開始させるための指示を受け付けるボタンが含まれてよい。診断装置1は、通信部13からも診断開始の指示を受けて測定を開始し、測定結果を記憶部12に記憶し、診断処理を実行することが可能である。
なお、上述のように開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した意味ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 診断装置
10 制御部
12 記憶部
14 入力部
15 入出力部
2 制御装置

Claims (5)

  1. 振動を測定するセンサからの信号を入力する入力部と、
    前記センサから時系列に得られる振動の波形に対し、所定時間が経過する都度に高速フーリエ変換処理を実行する処理実行部と、
    該処理実行部による処理後の振動の時間周波数分布から、設定されている周波数範囲及び設定されている期間分の振動を抽出する抽出部と、
    抽出された振動の情報を記憶する記憶部と
    を備え、
    予め前記入力部により前記センサから得られる振動に対して前記処理実行部にて処理を実行し、前記抽出部にて抽出された第1の振動の情報を前記記憶部に記憶しておき、
    新たに前記入力部により前記センサから得られる振動に対して前記処理実行部にて処理を実行し、前記抽出部にて抽出される第2の振動の情報について前記第1の振動の情報からの変化を算出し、
    算出された変化に基づいて異常の有無を診断する
    診断装置。
  2. 振動の測定対象である機器の動作を制御する制御装置との間で信号を入出力する入出力部を備え、
    該入出力部における前記機器への制御信号をトリガに、前記センサからの信号に対する前記処理実行部の処理の実行を開始する
    請求項1に記載の診断装置。
  3. 前記抽出部により抽出された振動のパワースペクトルに対して統計的処理を実行し、前記変化を算出する
    請求項1又は2に記載の診断装置。
  4. 前記周波数範囲及び前記期間夫々について設定を受け付ける
    請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の診断装置。
  5. 振動を測定するセンサからの信号を予め時系列に入力し、
    入力した振動に対して所定時間が経過する都度に高速フーリエ変換処理を実行し、
    高速フーリエ変換処理後の振動の時間周波数分布から、設定されている周波数範囲及び設定されている期間分の振動を抽出し、
    抽出された振動の情報を比較対象の振動の情報として記憶媒体に記憶しておき、
    振動を測定するセンサから新たに、時系列に振動を入力し、
    入力した振動に対して所定時間が経過する都度に高速フーリエ変換処理を実行し、
    高速フーリエ変換処理後の振動の時間周波数分布から、設定されている周波数範囲及び設定されている期間分の振動を抽出し、
    抽出された振動の情報について前記記憶媒体に記憶した比較対象の振動の情報からの変化を算出し、
    算出された変化に基づいて異常の有無を診断する
    診断方法。
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