JP2020043173A - 成形装置および物品製造方法 - Google Patents
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- モールドを用いて基板の上の硬化性組成物を成形する成形装置であって、
前記基板を駆動する基板駆動機構と、
前記基板と前記モールドとの間隙を調整する調整機構と、
前記基板の上に気体を供給する気体供給部と、を備え、
前記基板駆動機構は、前記基板の少なくとも一部が前記モールドに対面しない第1位置から前記基板の全域が前記モールドに対面する第2位置に前記基板を移動させる駆動を行い、
前記駆動がなされている期間の少なくとも一部において、前記気体が前記基板の一部を覆うように、前記気体供給部が前記基板の上に前記気体を供給し、
前記調整機構は、前記基板が前記第2位置に移動した後に、前記気体が前記基板の全域を覆うように前記間隙の容積を縮小させる縮小動作を行い、前記気体が前記基板の全域を覆った後に、前記基板と前記モールドとの間隔を狭くすることで、前記基板の上の前記硬化性組成物と前記モールドとを接触させる接触動作を行う、
ことを特徴とする成形装置。 - 前記縮小動作において前記間隙が第1距離から前記第1距離より小さい第2距離に変更され、前記第1距離と前記第2距離との差は、前記接触動作において前記間隙が変更される量より大きい、
ことを特徴とする請求項1に記載の成形装置。 - 前記モールドの上面の側の空間の圧力を制御することによって前記モールドの形状を制御する形状制御部を更に備え、
前記形状制御部は、前記縮小動作において前記圧力を負圧に維持する、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の成形装置。 - 前記形状制御部は、前記縮小動作の後であって前記接触動作の開始前に、前記圧力を負圧から正圧に変更する、
ことを特徴とする請求項3に記載の成形装置。 - 前記圧力が前記正圧に変更されることによって、前記モールドが前記基板に向かって凸形状に変形し、
前記接触動作では、前記モールドの中央部が前記基板の上に前記硬化性組成物に最初に接触する、
ことを特徴とする請求項4に記載の成形装置。 - 前記調整機構は、前記縮小動作において、前記間隙の容積が小さくなるように、前記基板と前記モールドとの相対姿勢を調整する、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の成形装置。 - 前記駆動は、前記基板の一端が前記モールドの一端の下を通過するようになされ、
前記相対姿勢の調整は、前記モールドの前記一端と前記基板とが近づくようになされる、
ことを特徴とする請求項6に記載の成形装置。 - モールドを用いて基板の上の硬化性組成物を成形する成形装置であって、
前記基板を駆動する基板駆動機構と、
前記基板と前記モールドとの間隙を調整する調整機構と、
前記基板の上に気体を供給する気体供給部と、
前記モールドの両側の空間のうち前記基板とは反対側の空間の圧力を制御することによって前記モールドの形状を制御する形状制御部と、を備え、
前記基板駆動機構は、前記基板の少なくとも一部が前記モールドに対面しない第1位置から前記基板の全域が前記モールドに対面する第2位置に前記基板を移動させる駆動を行い、
前記駆動がなされている期間の少なくとも一部において、前記気体供給部が前記基板の上に前記気体を供給し、
前記調整機構は、前記基板が前記第2位置に移動した後に、前記間隙の容積を縮小させる縮小動作を行い、その後、前記基板と前記モールドとの間隔を狭くすることで、前記基板の上の前記硬化性組成物と前記モールドとを接触させる接触動作を行い、
前記形状制御部は、前記縮小動作において前記圧力を負圧に維持し、前記縮小動作の後であって前記接触動作の開始前に、前記圧力を負圧から正圧に変更する、
ことを特徴とする成形装置。 - 前記圧力が前記正圧に変更されることによって、前記モールドが前記基板に向かって凸形状に変形し、
前記接触動作では、前記モールドの中央部が前記基板の上の前記硬化性組成物に最初に接触する、
ことを特徴とする請求項8に記載の成形装置。 - 前記硬化性組成物によって前記基板の上に平坦化膜を形成するように構成されている、
ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の成形装置。 - 請求項1乃至10のいずれか1項に記載の成形装置を使って基板の上の硬化性組成物を成形する工程と、
前記硬化性組成物の成形がなされた前記基板を処理する工程と、
を含み、前記基板から物品を製造することを特徴とする物品製造方法。
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JP2010199496A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 微細構造転写装置及び微細構造転写方法 |
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