JP2020041889A - ワーク検査方法及びワーク検査システム - Google Patents
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Abstract
Description
2 撮像手段
3 透明基板
11 撮像工程
12 ワーク画像抽出工程
13 第一判定工程
14 第二判定工程
15 ワーク画像抽出処理部
16 第一判定処理部
17 第二判定処理部
18 欠陥画像抽出処理部
19 欠陥分類処理部
W ワーク
W1 ワークの表面
W2 ワークの裏面
G3 ワーク画像
G4 欠陥画像
Z10 平面状異物
Z2 バリ
Z3 バリ
Z4 黒点異物
Z5 割れ
Z6 黒色異物
Z7 白色系の立体状異物
Z8 白色系の平面状異物
Z9 黒色系の立体状異物
Z10 黒色系の平面状異物
Claims (17)
- 脆性を有するワークの欠陥の有無を検査して該ワークの良否判定をするワーク検査方法であって、
前記ワークを撮像して、ワーク画像を抽出し、
機械学習により構築された良否判定学習モデルを用いて、前記抽出されたワーク画像について欠陥の有無を検査して前記ワークの良否判定をする第一判定工程と、
機械学習を含まないアルゴリズムプログラムを用いて、前記抽出されたワーク画像について欠陥の有無を検査して前記ワークの良否判定をする第二判定工程とを有することを特徴とするワーク検査方法。 - 前記第一判定工程を前記第二判定工程よりも先に行い、前記第一判定工程で前記ワークが不良と判定された場合に、前記第二判定工程を行わないことを特徴とする請求項1に記載のワーク検査方法。
- 前記第一判定工程では、前記ワークが良である確率を演算すると共に、前記確率と、その確率に対して予め定められた閾値とに基づいて、前記ワークの良否判定の結果を得ることを特徴とする請求項1または2に記載のワーク検査方法。
- 前記ワークの表面及び裏面が欠陥検査の対象面であって、該ワークを透明基板上に載置し、該ワークを表側から撮像することで、一のワーク画像を得ると共に、該ワークを前記透明基板を介して裏側から撮像することで、他のワーク画像を得ることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のワーク検査方法。
- 前記ワークの表面及び裏面が欠陥検査の対象面であって、該ワークを透明基板上に載置し、該ワークを表側から撮像することで、前記良否判定学習モデルを構築するために用いる一の学習用ワーク画像を得ると共に、該ワークを前記透明基板を介して裏側から撮像することで、前記良否判定学習モデルを構築するために用いる他の学習用ワーク画像を得ることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載のワーク検査方法。
- 前記良否判定学習モデルの構築に用いるために得られた前記一の学習用ワーク画像と前記他の学習用ワーク画像との少なくとも一方の学習用ワーク画像を所定角度だけ回転させる一の改変処理と、該一の学習用ワーク画像と該他の学習用ワーク画像との少なくとも一方の学習用ワーク画像をその中央部を通る直線の両側で反転させる他の改変処理とのうち、少なくとも一方の改変処理を行うことで、新たな学習用ワーク画像を作成し、該新たな学習用ワーク画像と改変処理前の学習用ワーク画像とを用いて前記良否判定学習モデルを構築することを特徴とする請求項5に記載のワーク検査方法。
- 前記第一判定工程では、ワークの縁部の欠け、ワークの縁部の厚み方向にはみ出すバリ、ワークに散在して付着した黒点異物の少なくとも一つをワークの前記欠陥と認識することを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載のワーク検査方法。
- 前記ワークに散在して付着した黒点異物については、該黒点異物の大きさ、個数、及び密集状態に応じて前記欠陥であるか否かを認識することを特徴とする請求項7に記載のワーク検査方法。
- 前記第一判定工程と前記第二判定工程とから得られるワークの良否判定の結果が不良である場合に、機械学習により構築された欠陥分類学習モデルを用いて、該不良のワーク画像中の欠陥が、予め複数に区分された欠陥の種類のうちの何れの種類に属するかの分類をする欠陥分類工程を行うことを特徴とする請求項1〜8の何れかに記載のワーク検査方法。
- 前記良否判定学習モデルを構築する際に用いた複数個の学習用ワーク画像の中から、複数個の不良の学習用ワーク画像を選択し、それら不良の学習用ワーク画像から、欠陥とその周辺領域のみとからなる部分画像としての複数個の学習用欠陥画像を抽出し、それら学習用欠陥画像を用いて、前記欠陥分類学習モデルを構築することを特徴とする請求項9に記載のワーク検査方法。
- 前記欠陥分類学習モデルの構築に用いるために得られた前記学習用欠陥画像を所定角度だけ回転させる一の改変処理と、該学習用欠陥画像をその中央部を通る直線の両側で反転させる他の改変処理とのうち、少なくとも一方の改変処理を行うことで、新たな学習用欠陥画像を作成し、該新たな学習用欠陥画像と改変処理前の学習用欠陥画像とを用いて前記欠陥分類学習モデルを構築することを特徴とする請求項10に記載のワーク検査方法。
- 前記欠陥分類工程では、ワークの一部に発生した割れと、ワークの一部に付着した黒色異物とを、異なる種類の欠陥として分類することを特徴とする請求項9〜11の何れかに記載のワーク検査方法。
- 前記欠陥分類工程では、ワークの一部に付着した白色系または黒色系の立体状異物と、前記立体状異物と同色系の平面状異物とを、異なる種類の欠陥として分類することを特徴とする請求項9〜12の何れかに記載のワーク検査方法。
- 前記第一判定工程での良否判定の結果の正解率が低下した場合に、該正解率が低下し始める以前に行われた全ての前記欠陥分類工程において前記複数に区分された欠陥の種類の何れの種類にも属していなかった欠陥を有する不良のワーク画像を、学習用ワーク画像として用いて機械学習することで、前記良否判定学習モデルを更新することを特徴とする請求項9〜13の何れかに記載のワーク検査方法。
- 前記ワークは、タブレット状のセラミック焼結品であって、前記ワーク画像は、前記ワークを厚み方向に視て撮像したものであることを特徴とする請求項1〜14の何れかに記載のワーク検査方法。
- 前記機械学習のアルゴリズムは、ディープラーニングであることを特徴とする請求項1〜15の何れかに記載のワーク検査方法。
- 脆性を有するワークの欠陥の有無を検査して該ワークの良否判定をするワーク検査システムであって、
前記ワークを撮像する撮像手段と、
前記撮像手段によって撮像された画像からワーク画像を抽出するワーク画像抽出処理部と、
機械学習により構築された良否判定学習モデルを用いて、前記抽出されたワーク画像について欠陥の有無を検査して前記ワークの良否判定をする第一判定処理部と、
機械学習を含まないアルゴリズムプログラムを用いて、前記抽出されたワーク画像について欠陥の有無を検査して前記ワークの良否判定をする第二判定処理部とを有することを特徴とするワーク検査システム。
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