JP2020021875A - ウェーハの加工方法 - Google Patents
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- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims abstract description 37
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 36
- 239000007888 film coating Substances 0.000 claims description 12
- 238000009501 film coating Methods 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 7
- 239000003607 modifier Substances 0.000 abstract 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 abstract 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 93
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 27
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 21
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 19
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 12
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 10
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 10
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 9
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 5
- 239000002585 base Substances 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 2
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002679 ablation Methods 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011630 iodine Substances 0.000 description 1
- -1 iodine ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000005355 lead glass Substances 0.000 description 1
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 1
Abstract
Description
11a 表面
11b 裏面
11c 分割予定ライン(ストリート)
11d 改質層
11e クラック
11f チップ
13 偏光膜
13a 外面
13b デブリ
15 積層体
17a フレーム
17b 支持テープ(ダイシングテープ)
19 ウェーハユニット
20 レーザー加工装置
22 レーザー照射ユニット
22a レーザー発振器
24 レーザー加工ヘッド
24a 集光レンズ
24b 波長板
26 撮像ユニット
28 チャックテーブル
28a 保持面
30 分割装置(ブレーキング装置)
32 支持台
34 押圧刃
40 エキスパンド装置
42 ドラム
44 フレーム保持ユニット
46 クランプ
48 フレーム支持台
50 ロッド
52 エアシリンダ
60 保護膜塗布洗浄装置
61 保護膜
62 スピンナテーブル機構
64 洗浄水受け機構
66 クランプ機構
68 スピンナテーブル
68a 保持面
70 モータ
70a 出力軸
72 支持機構
74 支持脚
76 エアシリンダ
78 洗浄水受け容器
78a 外側壁
78b 内側壁
78c 底壁
78d 排水口
80 支持脚
82 カバー部材
84 ドレンホース
86 塗布手段
88 吐出ノズル
90 アーム
92 洗浄水供給手段
94 洗浄水ノズル
96 アーム
98 エア供給手段
100 エアノズル
102 アーム
Claims (3)
- 表面に偏光膜が形成されたウェーハを分割予定ラインに沿って分割するウェーハの加工方法であって、
該表面とは反対側の該ウェーハの裏面側を、環状のフレームに装着された支持テープに貼り付けるフレーム支持ステップと、
該フレーム支持ステップの後に、直線偏光のレーザービームが該偏光膜を透過するように直線偏光の偏光方向を制御して、該ウェーハの内部に集光点を位置付けるように、該偏光膜の該ウェーハとは反対側に位置する外面側から該ウェーハに対して透過性を有する波長の該レーザービームを該分割予定ラインに沿って照射することにより、該ウェーハの内部に改質層を形成する改質層形成ステップと、
該改質層形成ステップの後に、該ウェーハに外力を付与し、該ウェーハを該分割予定ラインに沿って分割する分割ステップと、
を含むことを特徴とするウェーハの加工方法。 - 該改質層形成ステップの前に、該ウェーハの該偏光膜の該外面側に液状の保護材料を塗布して保護膜を形成する保護膜被覆ステップと、
該改質層形成ステップの後に、該保護膜を除去する保護膜除去ステップと、
を更に含むことを特徴とする、請求項1に記載のウェーハの加工方法。 - 該ウェーハはガラスであることを特徴とする、請求項1又は2に記載のウェーハの加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018145943A JP7086474B2 (ja) | 2018-08-02 | 2018-08-02 | ウェーハの加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018145943A JP7086474B2 (ja) | 2018-08-02 | 2018-08-02 | ウェーハの加工方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020021875A true JP2020021875A (ja) | 2020-02-06 |
JP7086474B2 JP7086474B2 (ja) | 2022-06-20 |
Family
ID=69590011
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018145943A Active JP7086474B2 (ja) | 2018-08-02 | 2018-08-02 | ウェーハの加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7086474B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003076120A1 (en) * | 2002-03-12 | 2003-09-18 | Hamamatsu Photonics K.K. | Laser processing method |
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WO2017145610A1 (ja) * | 2016-02-24 | 2017-08-31 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ光照射装置及びレーザ光照射方法 |
-
2018
- 2018-08-02 JP JP2018145943A patent/JP7086474B2/ja active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2017145610A1 (ja) * | 2016-02-24 | 2017-08-31 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ光照射装置及びレーザ光照射方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP7086474B2 (ja) | 2022-06-20 |
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