JP2020021874A - ウェーハの加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
11a 表面
11b 裏面
11c 分割予定ライン(ストリート)
11d 改質層
11e クラック
11f チップ
13 偏光膜
13a 外面
13b レーザー加工溝
15 積層体
17a フレーム
17b 支持テープ(ダイシングテープ)
19 ウェーハユニット
20A、20B レーザー加工装置
22A、22B レーザー照射ユニット
24A、24B レーザー加工ヘッド
24a 集光レンズ
24b 波長板
26A 撮像ユニット
28A、28B チャックテーブル
28Aa、28Ba 保持面
30 分割装置(ブレーキング装置)
32 支持台
34 押圧刃
40 エキスパンド装置
42 ドラム
44 フレーム保持ユニット
46 クランプ
48 フレーム支持台
50 ロッド
52 エアシリンダ
60 保護膜塗布洗浄装置
61 保護膜
62 スピンナテーブル機構
64 洗浄水受け機構
66 クランプ機構
68 スピンナテーブル
68a 保持面
70 モータ
70a 出力軸
72 支持機構
74 支持脚
76 エアシリンダ
78 洗浄水受け容器
78a 外側壁
78b 内側壁
78c 底壁
78d 排水口
80 支持脚
82 カバー部材
84 ドレンホース
86 塗布手段
88 吐出ノズル
90 アーム
92 洗浄水供給手段
94 洗浄水ノズル
96 アーム
98 エア供給手段
100 エアノズル
102 アーム
Claims (4)
- 表面に偏光膜が形成されたウェーハを分割予定ラインに沿って分割するウェーハの加工方法であって、
該表面とは反対側の該ウェーハの裏面側を、環状のフレームに貼り付けられた支持テープに貼り付けるウェーハ支持ステップと、
該ウェーハ支持ステップの後に、該偏光膜の該ウェーハとは反対側に位置する外面側から該偏光膜に対して吸収性を有する波長のレーザービームを該分割予定ラインに沿って照射し、該偏光膜を分断するレーザー加工溝を形成するレーザー加工溝形成ステップと、
該レーザー加工溝形成ステップの後に、該ウェーハの内部に集光点を位置付けるように該偏光膜の該外面側から該ウェーハに対して透過性を有する波長のレーザービームを該レーザー加工溝に沿って該ウェーハに照射することにより、該ウェーハの内部に改質層を形成する改質層形成ステップと、
該改質層形成ステップの後に、該ウェーハに外力を付与し、該ウェーハを該分割予定ラインに沿って分割する分割ステップと、
を含むことを特徴とするウェーハの加工方法。 - 該レーザー加工溝形成ステップの前に、該偏光膜の該外面側に液状の材料を塗布して保護膜を形成する保護膜被覆ステップと、
該レーザー加工溝形成ステップの後に、該保護膜を除去する保護膜除去ステップと、
をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載のウェーハの加工方法。 - 該レーザー加工溝形成ステップで形成される該レーザー加工溝の幅は、該改質層形成ステップで該偏光膜にダメージが入らない範囲で最小に設定されており、
該改質層形成ステップでは、該ウェーハの該偏光膜を透過する方向に偏光方向が制御された該レーザービームを該ウェーハに照射することを特徴とする、請求項1又は2に記載のウェーハの加工方法。 - 該ウェーハはガラスであることを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載のウェーハの加工方法。
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