JP2020013821A - ダイオード構造を有する半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
4:半導体基板
6:カソード領域
8:バッファ領域
10:ドリフト領域
12:バリア領域
14:アノード領域
16:ピラー領域
17:バリアハイト調整領域
18:コンタクト領域
20:カソード電極
22:アノード電極
24:ショットキー界面
Claims (1)
- ダイオード構造を有する半導体装置であって、
半導体基板と、
半導体基板の一方の主面に設けられたカソード電極と、
半導体基板の他方の主面に設けられたアノード電極と、を備え、
前記半導体基板は、
前記カソード電極に接触しているn型のカソード領域と、
前記アノード電極に接触しているp型のアノード領域と、
前記カソード領域と前記アノード領域との間に位置するとともに、前記カソード領域よりも不純物濃度が低いn型のドリフト領域と、
前記ドリフト領域と前記アノード領域との間に位置するとともに、前記ドリフト領域よりも不純物濃度が高いn型のバリア領域と、
前記バリア領域から前記アノード電極に向けて延びているn型のピラー領域と、
前記ピラー領域と前記アノード電極との間に位置するとともに、前記アノード電極にショットキー接触しているp型のバリアハイト調整領域と、を備え、
前記バリアハイト調整領域の不純物濃度は、1×1017〜5×1018/cm3の範囲内であるとともに、前記半導体基板の厚み方向において一定であり、
前記バリアハイト調整領域の前記厚み方向における寸法は、0.01〜0.5μmの範囲内である、半導体装置。
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JP2018133393A JP2020013821A (ja) | 2018-07-13 | 2018-07-13 | ダイオード構造を有する半導体装置 |
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6285469A (ja) * | 1985-07-31 | 1987-04-18 | テキサス インスツルメンツ インコ−ポレイテツド | 障壁の高さを高くする方法とシヨツトキ−障壁 |
JPH03250670A (ja) * | 1990-02-28 | 1991-11-08 | Hitachi Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2014090056A (ja) * | 2012-10-30 | 2014-05-15 | Hitachi Metals Ltd | 窒化物半導体素子およびその製造方法 |
JP2014157930A (ja) * | 2013-02-15 | 2014-08-28 | Toyota Central R&D Labs Inc | ダイオード及びダイオードを内蔵する半導体装置 |
-
2018
- 2018-07-13 JP JP2018133393A patent/JP2020013821A/ja active Pending
Patent Citations (4)
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