JP2020012756A - 検査装置および検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】より高精度に銅回路と樹脂基板との境界を検出できる検査装置または検査方法を提供する。【解決手段】検査装置10Aは、樹脂基板2および樹脂基板2上に形成された銅回路3を有する回路基板1を検査する検査装置であって、回路基板1を撮影するカメラ4と、回路基板1を照らす照明5と、照明5から回路基板1を経由してカメラ4に至るまでの光路上に配置されたフィルター6と、を備える。フィルター6は、銅回路3の反射率R1および樹脂基板2の反射率R2がR1−R2≧20%かつR1≦40%となる波長の光を透過する。【選択図】図1
Description
本発明は、検査装置および検査方法に関する。
従来から、下記特許文献1に示されるような、回路基板の検査装置が知られている。この検査装置は、銅回路と樹脂基板とで光の反射率が異なることを利用し、被検査体(回路基板)に光を照射してその反射光の強弱をカメラで検出することで、銅回路と樹脂基板との境界を検出している。
近年では銅回路の微細化が進んでおり、より高精度に銅回路と樹脂基板との境界を検出することが求められている。
本発明はこのような事情を考慮してなされ、より高精度に銅回路と樹脂基板との境界を検出できる検査装置または検査方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の第1の態様に係る検査装置は、樹脂基板および前記樹脂基板上に形成された銅回路を有する回路基板を検査する検査装置であって、前記回路基板を撮影するカメラと、前記回路基板を照らす照明と、前記照明から前記回路基板を経由して前記カメラに至るまでの光路上に配置されたフィルターと、を備え、前記フィルターは、前記銅回路の反射率R1および前記樹脂基板の反射率R2がR1−R2≧20%かつR1≦40%となる波長の光を透過する。
上記第1の態様によれば、照明が発した光が回路基板で反射することによる反射光がカメラに入射する。ここで、光路上にフィルターが配置されていることで、カメラに入射する反射光は、主としてR1−R2≧20%となる波長を有することになる。このように、銅回路と樹脂基板とで反射率が20%以上異なる波長の反射光で回路基板を撮影することで、銅回路と樹脂基板との境界をより高精度に検出することが可能となる。
さらに、R1≦40%となる波長の反射光がカメラに入射するため、銅回路の反射光に含まれるノイズ成分が小さく抑えられて、ノイズ成分を起因とする銅回路の形状の誤検出を抑制することができる。
さらに、R1≦40%となる波長の反射光がカメラに入射するため、銅回路の反射光に含まれるノイズ成分が小さく抑えられて、ノイズ成分を起因とする銅回路の形状の誤検出を抑制することができる。
また、本発明の第2の態様に係る検査装置は、樹脂基板および前記樹脂基板上に形成された銅回路を有する回路基板を検査する検査装置であって、前記回路基板を撮影するカメラと、前記回路基板を照らす照明と、前記照明から前記回路基板を経由して前記カメラに至るまでの光路上に配置されたフィルターと、を備え、前記フィルターは、前記銅回路の反射率R1および前記樹脂基板の反射率R2がR1−R2≧20%かつR2≦20%となる波長の光を透過する。
上記第2の態様によれば、第1の態様と同様に、銅回路と樹脂基板とで反射率が20%以上異なる波長の反射光で回路基板を撮影することで、銅回路と樹脂基板との境界をより高精度に検出することが可能となる。
さらに、フィルターがR2≦20%となる波長の光を透過させるため、カメラに入射する樹脂基板の反射光の光量が小さくなり、銅回路と樹脂基板との境界がより検出しやすくなる。
さらに、フィルターがR2≦20%となる波長の光を透過させるため、カメラに入射する樹脂基板の反射光の光量が小さくなり、銅回路と樹脂基板との境界がより検出しやすくなる。
ここで、前記光路上に実質的に位置する前記フィルターの数は1つであってもよい。
この場合、光路上に複数のフィルターが配置された場合と比較して、カメラに入射する反射光の光量が過剰に小さくなることを抑制できる。したがって、より確実に銅回路と樹脂基板との境界を検出することができる。また、要求される照明の出力も小さくできるため、コストの増大を抑えることができる。
また、前記フィルターおよび前記照明は孔部を有する環状に形成され、前記カメラの受光部は、前記フィルターの孔部および前記照明の孔部を通じて前記回路基板に対向してもよい。
この場合、回路基板のうち、カメラと対向する被撮影部には、環状の照明によって多数の方向から光が照射される。これにより、被撮影部に影が生じにくくなり、より高精度に銅回路と樹脂基板との境界を検出することができる。
さらに、フィルターの孔部を通じてカメラの受光部が回路基板と対向することで、照明からカメラに至るまでの光路上に、1つのフィルターが複数回位置することが抑えられる。したがって、カメラに入射する反射光の光量が過剰に小さくなることを抑制できる。
さらに、フィルターの孔部を通じてカメラの受光部が回路基板と対向することで、照明からカメラに至るまでの光路上に、1つのフィルターが複数回位置することが抑えられる。したがって、カメラに入射する反射光の光量が過剰に小さくなることを抑制できる。
また、前記第1または第2態様に係る検査装置は、前記光路上に配置された反射板をさらに備え、前記フィルターは、前記照明と前記反射板との間に位置していてもよい。
この場合、反射板を介して照明の光を回路基板に入射させることで、照明の光の進行方向が分散させられて、被撮影部に影が生じにくくなる。また、照明が発した光を、反射板により反射される前にフィルターを通すことで、被対象部に入射する光の波長をより確実に調整することができる。
また、前記照明は、前記回路基板に向けて光を発するように配置され、前記フィルターは、前記照明と前記回路基板との間に位置していてもよい。
この場合、照明からカメラに至るまでの光路が短くなり、カメラに入射する反射光の光量を大きくすることができる。したがって、銅回路と樹脂基板との境界をより検出しやすくなる。また、照明と回路基板との間にフィルターを配置することで、被対象部に入射する光の波長をより確実に調整することができる。
また、前記フィルターは、前記回路基板に対してその上方から接していてもよい。
この場合、フィルターが押さえ部材として機能することで、回路基板の浮き上がりを抑制することができる。
また、前記フィルターは、前記カメラの受光部を覆っていてもよい。
この場合、銅回路および樹脂基板の反射光を、上述のフィルターを通してカメラの受光部に入射させることで、上記第1または第2の態様の検査装置をより簡易な構成で実現することができる。
また、本発明の第3の態様に係る検査方法は、樹脂基板および前記樹脂基板上に形成された銅回路を有する回路基板の検査方法であって、前記銅回路の反射率R1および前記樹脂基板の反射率R2がR1≦40%かつR1−R2≧20%となる波長の光を透過するフィルターを通して、前記回路基板を撮影する。
また、本発明の第4の態様に係る検査方法は、樹脂基板および前記樹脂基板上に形成された銅回路を有する回路基板の検査方法であって、前記銅回路の反射率R1および前記樹脂基板の反射率R2がR2≦20%かつR1−R2≧20%となる波長の光を透過するフィルターを通して、前記回路基板を撮影する。
本発明の上記態様によれば、より高精度に銅回路と樹脂基板との境界を検出できる検査装置または検査方法を提供することができる。
(第1実施形態)
以下、第1実施形態の検査装置および検査方法について図面に基づいて説明する。
図1に示すように、本実施形態の検査装置10Aは、カメラ4と、照明5と、フィルター6と、反射板7と、押さえ部材8と、ステージ9と、を備えている。検査装置10Aは、ステージ9上に載置された回路基板1を検査するための装置である。
以下、第1実施形態の検査装置および検査方法について図面に基づいて説明する。
図1に示すように、本実施形態の検査装置10Aは、カメラ4と、照明5と、フィルター6と、反射板7と、押さえ部材8と、ステージ9と、を備えている。検査装置10Aは、ステージ9上に載置された回路基板1を検査するための装置である。
回路基板1は、ポリイミドなどの樹脂により形成された樹脂基板2と、樹脂基板2上に形成された銅回路3と、を有している。回路基板1は、例えばFPC(Flexible Printed Circuit)などである。
検査装置10Aは、ステージ9上に載置された回路基板1をカメラ4で撮影し、銅回路3と樹脂基板2との境界を検知することで、銅回路3の形状を検査する。
検査装置10Aは、ステージ9上に載置された回路基板1をカメラ4で撮影し、銅回路3と樹脂基板2との境界を検知することで、銅回路3の形状を検査する。
(方向定義)
本実施形態では、カメラ4の光軸Oに沿う方向を上下方向という。上下方向に沿って、カメラ4側を上方といい、回路基板1側を下方という。
本実施形態では、カメラ4の光軸Oに沿う方向を上下方向という。上下方向に沿って、カメラ4側を上方といい、回路基板1側を下方という。
カメラ4は受光部4aを有している。受光部4aは、上下方向でステージ9(回路基板1)と対向するように配置されている。
照明5は、上下方向から見て環状の基部5aと、基部5a上に設けられた複数の発光素子5bと、を有している。本実施形態の照明5は、全体として環状に形成された環状照明であり、中央に孔部5cが形成されている。照明5が環状であることで、回路基板1のうちカメラ4により撮影される部分(被撮影部)に多数の方向から光が入射し、影が生じにくくなる。
発光素子5bは、例えばLEDなどである。照明5は、中央の孔部5cがカメラ4の光軸O上に位置するように配置されている。本実施形態では、発光素子5bは上方に向けて光を発するように配置されている。
照明5は、上下方向から見て環状の基部5aと、基部5a上に設けられた複数の発光素子5bと、を有している。本実施形態の照明5は、全体として環状に形成された環状照明であり、中央に孔部5cが形成されている。照明5が環状であることで、回路基板1のうちカメラ4により撮影される部分(被撮影部)に多数の方向から光が入射し、影が生じにくくなる。
発光素子5bは、例えばLEDなどである。照明5は、中央の孔部5cがカメラ4の光軸O上に位置するように配置されている。本実施形態では、発光素子5bは上方に向けて光を発するように配置されている。
フィルター6は、環状に形成されており、孔部6aを有している。孔部6aは、カメラ4の光軸O上に位置している。フィルター6は、照明5をその上方から覆っている。フィルター6の役割については後述する。
反射板7は、上方に向けて凸のドーム状に形成されている。反射板7の中央部には孔部7aが形成されている。孔部7aは、カメラ4の光軸O上に位置している。
押さえ部材8は、ステージ9上に載置された回路基板1の浮き上がりを抑制するために設けられている。押さえ部材8は、ガラスまたは樹脂などにより、透明な平板状に形成されている。
反射板7は、上方に向けて凸のドーム状に形成されている。反射板7の中央部には孔部7aが形成されている。孔部7aは、カメラ4の光軸O上に位置している。
押さえ部材8は、ステージ9上に載置された回路基板1の浮き上がりを抑制するために設けられている。押さえ部材8は、ガラスまたは樹脂などにより、透明な平板状に形成されている。
図1の2点鎖線で示すように、照明5の発光素子5bが発した光は、フィルター6を通過した後、反射板7の下面で反射し、フィルター6の孔部6aおよび照明5の孔部5cを通り、押さえ部材8を通過して回路基板1に照射される。このように、照明5によって回路基板1が照らされる。カメラ4は、照らされた回路基板1を撮影する。フィルター6は、照明5から回路基板1を経由してカメラ4に至るまでの光路上に配置されている。
カメラ4は、反射板7の孔部7a、フィルター6の孔部6a、照明5の孔部5c、および押さえ部材8を通じて、回路基板1を撮影することができる。撮影した画像には、銅回路3と樹脂基板2との光の反射率の違いにより、銅回路3の形状が示される。
撮影された銅回路3の形状は、目視によって検査してもよい。あるいは、撮影された画像を処理し、明部と暗部とを閾値によって区分することで、銅回路3の形状を2値化したデータを得てもよい。この場合、設計データと2値化したデータとを比較することで、銅回路3の形状の異常などを検出することができる。
撮影された銅回路3の形状は、目視によって検査してもよい。あるいは、撮影された画像を処理し、明部と暗部とを閾値によって区分することで、銅回路3の形状を2値化したデータを得てもよい。この場合、設計データと2値化したデータとを比較することで、銅回路3の形状の異常などを検出することができる。
ところで、近年では銅回路3の微細化が進んでおり、銅回路3と樹脂基板2との境界をより高精度に検出することが求められている。その一方で、検査装置10Aの構成を簡易なものとし、コストアップを抑えることも求められている。
そこで本願の発明者らは、簡易な構成で回路基板1の検出精度を高めるべく、銅回路3および樹脂基板2の波長ごとの反射率の違いに着目して検討を行った。以下、銅回路3に入射した光の反射率をR1と表し、樹脂基板2に入射した光の反射率をR2と表す。また、ある波長におけるR1とR2との差分をΔRと表す。つまり、ΔR=R1−R2である。R1およびR2の値は、光の波長ごとに異なる。
図2の横軸は、銅回路3または樹脂基板2に入射する光の波長を示しており、縦軸は波長ごとの反射率(R1またはR2)を示している。なお、図2に示すデータでは、樹脂基板2の材質としてポリイミドを用いている。図2に示すように、波長400nmでは、銅回路3の反射率R1が30%となっており、樹脂基板2の反射率R2が3%となっている。これにより、波長400nmでは、反射率の差分ΔR=30−3=27%となっている。同様に、波長450nmでは、反射率の差分ΔR=20%となっている。
本願の発明者らが鋭意検討したところ、ΔRの値が20%以上となる波長帯の光で回路基板1を撮影することで、銅回路3と樹脂基板2との境界をより検出しやすくなることがわかった。具体的には、波長400〜450nmにおける光に対しては、ΔR≧20%となっている。このため、回路基板1に対して400〜450nmの光を入射させ、その反射光をカメラ4で撮影した場合には、銅回路3による反射光と樹脂基板2による反射光とで明暗の差が明確になる。したがって、銅回路3と樹脂基板2との境界を検出しやすくなる。
一方で、ΔRの値が20%未満となる波長帯(例えば500nm)の光については、反射光をカメラ4で撮影しても、銅回路3と樹脂基板2とで明暗の差が小さく、銅回路3の形状を高精度に検出することができなかった。
以上のことから、ΔRの値、すなわちR1−R2の値は20%以上であることが好ましい。換言すると、以下の数式(1)を満足することが好ましい。
R1−R2≧20% …(1)
以上のことから、ΔRの値、すなわちR1−R2の値は20%以上であることが好ましい。換言すると、以下の数式(1)を満足することが好ましい。
R1−R2≧20% …(1)
ところで、例えば波長650nmの光に対しては、銅の反射率R1が82%であり、樹脂の反射率R2が60%であり、ΔRの値が20%以上となっている。このため波長650nmの反射光によって回路基板1を検査することも考えられる。しかしながら、波長650nm付近の光については、銅の反射率R1の絶対値が大きすぎるため、カメラ4で回路基板1を撮影したときのノイズ成分が大きくなってしまう。このため、ΔRの値が大きくても、ノイズ成分によって銅回路3と樹脂基板2との境界が検出しにくくなってしまう。このことから、銅の反射率R1の値はある程度小さいことが好ましく、具体的には40%以下であることが好ましい。換言すると、以下の数式(2)を満足することが好ましい。
R1≦40% …(2)
R1≦40% …(2)
また、樹脂基板2の反射率R2が小さいほど、銅回路3により反射された光をより検出しやすくなり、銅回路3と樹脂基板2との境界をより高精度に検出することができる。このため、樹脂基板2の反射率R2は小さいほうが好ましく、具体的には20%以下であることが好ましい。換言すると、以下の数式(3)を満足することが好ましい。
R2≦20% …(3)
R2≦20% …(3)
樹脂基板2がポリイミドである場合には、回路基板1に照射させる光の波長帯としては、波長400〜450nmの範囲が、上記数式(1)〜(3)のいずれの条件も同時に満足するため、好適である。なお、樹脂基板2としてポリイミド以外の樹脂を用いる場合には、当該樹脂の波長ごとの反射率R2を考慮して、フィルター6により透過する波長を適宜選択するとよい。
ところで、照明5の発光素子5bとして、例えば波長400〜450nmの光を発するLED(青色LED)を用いることも考えられる。しかしながら、検査装置10Aを用いて回路基板1を検査する際には、銅回路3と樹脂基板2との境界を検出しつつ、色によって(例えば目視で)回路基板1を観察する場合がある。色によって回路基板1を観察するためには、照明5が波長帯の広い光(白色光)を発することが好ましい。一方、照明5の光の波長そのものを400〜450nmとすると、色によって回路基板1を観察することができず不便である。また、回路基板1の検査項目などに応じて照明5の種類を変更することも考えられるが、その場合には照明5を複数種類用意しておくことによる高コスト化につながったり、照明5を切り替える作業が必要となり検査効率の低下につながったりする。
そこで本実施形態では、照明5が発した光の波長を調整するためのフィルター6を用いている。本実施形態のフィルター6は、青色(波長400〜450nm)の光を積極的に透過する。フィルター6としては、透過率のピークが400〜450nmの間にある青色フィルターを用いることができる。このようなフィルター6を用いることで、照明5として白色照明を用いながら、400〜450nmの波長の反射光をカメラ4で撮影することができる。また、白色光によって回路基板1を観察したい場合には、フィルター6を除去することで足りるため、検査の高コスト化や検査効率の低下を抑えることができる。
以上説明したように、本実施形態の検査装置10Aは、銅回路3と樹脂基板2との境界を検出しやすくするためのフィルター6を備えている。そして、フィルター6は、銅回路3の反射率R1と樹脂基板2の反射率R2とが、R1−R2≧20%を満たす波長の光を透過する。これにより、R1−R2≧20%となる波長の反射光が、カメラ4に入射することになる。このように、銅回路3と樹脂基板2とで反射率が20%以上異なる波長の反射光で回路基板1を撮影することで、銅回路3と樹脂基板2との境界をより高精度に検出することが可能となる。
また、フィルター6によって、R1≦40%となる波長の反射光がカメラ4に入射するため、銅回路3の反射光に含まれるノイズ成分が小さく抑えられて、ノイズ成分を起因とする銅回路の形状の誤検出を抑制することができる。
また、フィルター6によって、R2≦20%となる波長の反射光がカメラ4に入射するため、樹脂基板2の反射光の光量が小さくなり、銅回路3と樹脂基板2との境界がさらに検出しやすくなる。
また、図1に示すように、照明5からカメラ4の受光部4aに至るまでの光路上に実質的に位置するフィルター6の数が1つとなっている。これにより、光路上に複数のフィルター6が配置された場合と比較して、カメラ4に入射する反射光の光量が過剰に小さくなることを抑制できる。したがって、より確実に銅回路3と樹脂基板2との境界を検出することができる。また、要求される照明5の出力も小さくできるため、コストの増大を抑えることができる。なお、「実質的に位置するフィルター6の数が1つ」との記載は、照明5から受光部4aに至るまでの光路が、1つのフィルター6を2回以上通過する場合が除かれることを意味する。
また、照明5およびフィルター6は孔部5c、6aを有する環状に形成され、カメラ4の受光部4aは、これらの孔部5c、6aを通じて回路基板1に対向している。この構成により、回路基板1のうち、カメラ4と対向する被撮影部には、環状の照明5によって多数の方向から光が照射される。これにより、被撮影部に影が生じにくくなり、より高精度に銅回路3と樹脂基板2との境界を検出することができる。
さらに、フィルター6の孔部6aを通じてカメラ4の受光部4aが回路基板1と対向することで、照明5からカメラ4に至るまでの光路上に、1つのフィルター6が複数回位置することが抑えられる。したがって、カメラ4に入射する反射光の光量が過剰に小さくなることを抑制できる。
さらに、フィルター6の孔部6aを通じてカメラ4の受光部4aが回路基板1と対向することで、照明5からカメラ4に至るまでの光路上に、1つのフィルター6が複数回位置することが抑えられる。したがって、カメラ4に入射する反射光の光量が過剰に小さくなることを抑制できる。
また、検査装置10Aは、照明5からカメラ4に至るまでの光路上に配置された反射板7を備えており、フィルター6は照明5と反射板7との間に位置している。このように、反射板7を介して照明5の光を回路基板1に入射させることで、被撮影部に影がより生じにくくなる。また、照明5が発した光を、反射板7により反射される前にフィルター6を通すことで、被対象部に入射する光の波長をより確実に調整することができる。
また、本実施形態の検査方法では、上記フィルター6を通して、回路基板1を撮影する。この検査方法を用いることで、検査のコストの増大や効率の低下を抑えながら、高精度に銅回路3の形状を検出することができる。
(第2実施形態)
次に、本発明に係る第2実施形態について説明するが、第1実施形態と基本的な構成は同様である。このため、同様の構成には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。
次に、本発明に係る第2実施形態について説明するが、第1実施形態と基本的な構成は同様である。このため、同様の構成には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。
図3に示すように、本実施形態の検査装置10Bは、環状の第1の照明5に加えて、カメラ4の光軸Oに沿って光を照射する第2の照明11(同軸照明)を備えている。環状の照明5は、回路基板1に向けて下方に光を発するように配置されている。フィルター6は、照明5の下方であって、照明5と回路基板1との間に位置している。本実施形態では、反射板7は設けられていない。
照明11は、回路基板1に向けて、下方に光を発する。照明11の少なくとも一部は、環状の照明5の孔部5cおよびフィルター6の孔部6aを通して、回路基板1と対向している。環状の照明5により回路基板1に照射される光量は、孔部5cの部分において小さくなるが、照明11によって当該部分に照射される光量を補うことができる。
照明11は、カメラ4による回路基板1の撮影の妨げとならないように配置されている。例えば図3に示すように、照明11は、出射部11aと、ハーフミラー11bとを備えていてもよい。この構成では、出射部11aは、ハーフミラー11bに向けて、横方向(上下方向に直交する方向)に光を出射する。ハーフミラー11bは、出射部11aが出射した光を下方に向けて反射する。ハーフミラー11bは、上下方向に進む光は透過するため、カメラ4はハーフミラー11bを通して回路基板1を撮影することができる。なお、照明11の構成は、上記に限らず適宜変更してもよい。
照明11は、カメラ4による回路基板1の撮影の妨げとならないように配置されている。例えば図3に示すように、照明11は、出射部11aと、ハーフミラー11bとを備えていてもよい。この構成では、出射部11aは、ハーフミラー11bに向けて、横方向(上下方向に直交する方向)に光を出射する。ハーフミラー11bは、出射部11aが出射した光を下方に向けて反射する。ハーフミラー11bは、上下方向に進む光は透過するため、カメラ4はハーフミラー11bを通して回路基板1を撮影することができる。なお、照明11の構成は、上記に限らず適宜変更してもよい。
本実施形態によれば、第1の照明5および第2の照明11によって、回路基板1に照射する光の光量を大きくすることができる。
なお、第2の照明11は、R1−R2≧20%、R1≦40%、またはR2≦20%の条件を満たす波長の光(例えば、青色光(波長400〜450nm))を出射するように構成されていてもよい。あるいは、第2の照明11を、白色の光を出射するように構成し、第2の照明11の下方にフィルター6を配置してもよい。この場合、フィルター6として孔部6aを有さないものを用いることで、第2の照明11と回路基板1との間にフィルター6を配置してもよい。あるいは、環状のフィルター6とは別体のフィルターを、第2の照明11の下方に配置してもよい。
なお、第2の照明11は、R1−R2≧20%、R1≦40%、またはR2≦20%の条件を満たす波長の光(例えば、青色光(波長400〜450nm))を出射するように構成されていてもよい。あるいは、第2の照明11を、白色の光を出射するように構成し、第2の照明11の下方にフィルター6を配置してもよい。この場合、フィルター6として孔部6aを有さないものを用いることで、第2の照明11と回路基板1との間にフィルター6を配置してもよい。あるいは、環状のフィルター6とは別体のフィルターを、第2の照明11の下方に配置してもよい。
(第3実施形態)
次に、本発明に係る第3実施形態について説明するが、第1実施形態と基本的な構成は同様である。このため、同様の構成には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。
次に、本発明に係る第3実施形態について説明するが、第1実施形態と基本的な構成は同様である。このため、同様の構成には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。
図4に示すように、本実施形態の検査装置10Cは、押さえ部材8がフィルター6としての役割を有している。すなわち、フィルター6は、回路基板1に対してその上方から接しており、回路基板1のステージ9に対する浮き上がりを抑制している。このようなフィルター6としては、カラーガラスなどを用いることができる。
本実施形態の構成でも、第1実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
本実施形態の構成でも、第1実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
(第4実施形態)
次に、本発明に係る第4実施形態について説明するが、第1実施形態と基本的な構成は同様である。このため、同様の構成には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。
次に、本発明に係る第4実施形態について説明するが、第1実施形態と基本的な構成は同様である。このため、同様の構成には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。
図5に示すように、本実施形態の検査装置10Dでは、フィルター6がカメラ4の受光部4aの直前に配置されており、受光部4aをその下方から覆っている。本実施形態では、フィルター6は環状ではなく、孔部を有していない。なお、受光部4aとフィルター6との間に隙間が設けられていてもよい。
本実施形態の場合、銅回路3および樹脂基板2の反射光を、フィルター6を通して受光部4aに入射させることで、第1実施形態で説明したものと同様の作用効果を得ることができる。また、フィルター6を設ける範囲を小さくすることができるので、装置をより簡易な構成とすることができる。
なお、本発明の技術的範囲は前記実施の形態に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、図2のデータでは樹脂基板2の材質をポリイミドとしているが、上記第1〜第4実施形態は、樹脂基板2の材質がポリイミド以外の樹脂である場合にも同様に適用することができる。つまり、樹脂基板2の材質に応じて、R1−R2≧20%、R1≦40%、またはR2≦20%となる波長を透過するようにフィルター6の特性を選択すればよい。
また、前記第1〜第4実施形態では、1つの検査装置に1つのフィルター6を配置したが、1つの検査装置に複数のフィルター6を配置してもよい。
また、第1、第2実施形態のフィルター6に、孔部6aが形成されていなくてもよい。
また、第1、第2実施形態のフィルター6に、孔部6aが形成されていなくてもよい。
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上記した実施形態や変形例を適宜組み合わせてもよい。
例えば、第2実施形態の同軸照明11を、第1、第3、第4実施形態の検査装置に用いてもよい。また、第3、第4実施形態の検査装置における環状照明5に代えて、第2実施形態の同軸照明11を配置してもよい。つまり、検査装置に用いられる照明は、環状照明5および同軸照明11の一方であってもよいし、両方であってもよい。
また、第3実施形態のように、押さえ部材としての役割を有するフィルター6を、第1、第2、および第4実施形態に用いてもよい。
その他、第1〜第4実施形態で説明した構成を、その他の実施形態における検査装置に適宜用いてもよい。
その他、第1〜第4実施形態で説明した構成を、その他の実施形態における検査装置に適宜用いてもよい。
1…回路基板 2…樹脂基板 3…銅回路 4…カメラ 5…照明(環状照明) 6…フィルター 7…反射板 8…押さえ部材 11…照明(同軸照明) 10A〜10D…検査装置
Claims (10)
- 樹脂基板および前記樹脂基板上に形成された銅回路を有する回路基板を検査する検査装置であって、
前記回路基板を撮影するカメラと、
前記回路基板を照らす照明と、
前記照明から前記回路基板を経由して前記カメラに至るまでの光路上に配置されたフィルターと、を備え、
前記フィルターは、前記銅回路の反射率R1および前記樹脂基板の反射率R2がR1−R2≧20%かつR1≦40%となる波長の光を透過する、検査装置。 - 樹脂基板および前記樹脂基板上に形成された銅回路を有する回路基板を検査する検査装置であって、
前記回路基板を撮影するカメラと、
前記回路基板を照らす照明と、
前記照明から前記回路基板を経由して前記カメラに至るまでの光路上に配置されたフィルターと、を備え、
前記フィルターは、前記銅回路の反射率R1および前記樹脂基板の反射率R2がR1−R2≧20%かつR2≦20%となる波長の光を透過する、検査装置。 - 前記光路上に実質的に位置する前記フィルターの数は1つである、請求項1または2に記載の検査装置。
- 前記フィルターおよび前記照明は孔部を有する環状に形成され、
前記カメラの受光部は、前記フィルターの孔部および前記照明の孔部を通じて前記回路基板に対向する、請求項1から3のいずれか1項に記載の検査装置。 - 前記光路上に配置された反射板をさらに備え、
前記フィルターは、前記照明と前記反射板との間に位置している、請求項1から4のいずれか1項に記載の検査装置。 - 前記照明は、前記回路基板に向けて光を発するように配置され、
前記フィルターは、前記照明と前記回路基板との間に位置している、請求項1から4のいずれか1項に記載の検査装置。 - 前記フィルターは、前記回路基板に対してその上方から接している、請求項1または2に記載の検査装置。
- 前記フィルターは、前記カメラの受光部を覆っている、請求項1から3のいずれか1項に記載の検査装置。
- 樹脂基板および前記樹脂基板上に形成された銅回路を有する回路基板の検査方法であって、
前記銅回路の反射率R1および前記樹脂基板の反射率R2がR1≦40%かつR1−R2≧20%となる波長の光を透過するフィルターを通して、前記回路基板を撮影する、検査方法。 - 樹脂基板および前記樹脂基板上に形成された銅回路を有する回路基板の検査方法であって、
前記銅回路の反射率R1および前記樹脂基板の反射率R2がR2≦20%かつR1−R2≧20%となる波長の光を透過するフィルターを通して、前記回路基板を撮影する、検査方法。
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JP2018135939A JP2020012756A (ja) | 2018-07-19 | 2018-07-19 | 検査装置および検査方法 |
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