JP2020004770A - 気密パッケージ及び気密パッケージの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
上記構成の気密パッケージは、カバー部材の製造が容易となる。例えば、研磨工程などを経て、透光部の内面及び第1接合部の内面を一度に作り込むことが可能となる。
上記気密パッケージにおいて、前記透光部は、平板状をなすことが好ましい。
上記構成によれば、気密パッケージは、透光部に、入射した光を集光、分散、回折又は屈折させるなどの光学機能を持たせることができる。
上記構成によれば、モールドプレスなどの製造方法により、透光部及び接合部のカバー部材の形状を作り込むことが容易となる。
図1(a),(b)に示すように、電子デバイス10は、光電素子11と、光電素子11を封止する気密パッケージ12と、を備える。気密パッケージ12は、光電素子11を収容するパッケージ基材20と、パッケージ基材20とともに光電素子11を封止するカバー部材30と、パッケージ基材20及びカバー部材30を接合する接合層40と、を備える。本実施形態において、電子デバイス10は、1辺が数mm〜数cm程度の箱状をなす。
接合部32は、第1先端面25に接触する第1接合部33と、第2先端面26に接合層40を介して接合される第2接合部34と、を含む。カバー部材30の内面において、第1接合部33は、第2接合部34よりも突出する。すなわち、第1接合部33及び第2接合部34の間には段差が設けられる。第1接合部33及び第2接合部34の外面及び内面は、平面状をなしている。つまり、接合部32において、第2接合部34は、第1接合部33よりも薄くなっている。
(1)気密パッケージ12において、カバー部材30の第1接合部33は、パッケージ基材20の周壁22の第1先端面25に接触する。このため、カバー部材30及びパッケージ基材20を接合するために、接合層40に圧縮荷重が作用しても、接合層40が凹部24の内部に流れにくい。よって、気密パッケージ12は、パッケージ基材20の凹部24に接合層40がはみ出ることを抑制できる。
・図3(a)に示すように、電子デバイス10(気密パッケージ12)は、第1の変更例に係る電子デバイス10A(気密パッケージ12A)としてもよい。気密パッケージ12Aのカバー部材30Aは、透光部31Aに回折格子又はモスアイ構造などの光学素子35を有する。これによれば、気密パッケージ12は、透光部31Aに、入射した光を分散、屈折又は回折させるなどの光学機能を持たせることができる。
・カバー部材30の形状は適宜に変更してもよい。例えば、透光部31の外面及び接合部32の外面は同一平面上になくてもよいし、透光部31の内面及び第1接合部33の内面は同一平面上になくてもよい。
・加熱工程は、ガラスペースト41の加熱にレーザー光を用いなくてもよい。例えば、加熱工程は、ガラスペースト41の加熱に電熱ヒーター等を用いてもよい。
Claims (7)
- 底壁及び前記底壁から延びる周壁を有し、前記底壁及び前記周壁に囲まれる凹部に光電素子を収容可能なパッケージ基材と、
透光性を有し、前記凹部を塞ぐカバー部材と、
前記パッケージ基材及び前記カバー部材を接合する接合層と、を備え、
前記カバー部材は、前記凹部に面する透光部と、前記周壁の先端面と対向する接合部と、を有し、
前記周壁の前記先端面において、前記凹部に近い内側部分を第1先端面とし、前記凹部から遠い外側部分を第2先端面としたとき、
前記接合部は、前記第1先端面に接触する第1接合部と、前記第2先端面に前記接合層を介して接合される第2接合部と、を含む
気密パッケージ。 - 前記カバー部材において、前記パッケージ基材に対向する面を内面としたとき、
前記透光部の内面及び前記第1接合部の内面は、同一平面上に存在する
請求項1に記載の気密パッケージ。 - 前記カバー部材において、前記パッケージ基材に対向する面を内面とし、前記内面と逆側の面を外面としたとき、
前記透光部の外面及び前記接合部の外面は、同一平面上に存在する
請求項1又は請求項2に記載の気密パッケージ。 - 前記透光部は、平板状をなす
請求項1〜請求項3の何れか一項に記載の気密パッケージ。 - 前記透光部は、光学素子を有する
請求項1〜請求項3の何れか一項に記載の気密パッケージ。 - 前記カバー部材は、ガラスである
請求項1〜請求項5の何れか一項に記載の気密パッケージ。 - 請求項1〜請求項6の何れか一項に記載の気密パッケージの製造方法であって、
前記カバー部材の前記接合部が前記パッケージ基材の前記周壁の先端面に対向するように、前記カバー部材を前記パッケージ基材の前記周壁上に配置する配置工程と、
前記カバー部材の前記第1接合部が前記パッケージ基材の前記周壁の前記第1先端面に接触した状態で、前記カバー部材の前記第2接合部を前記パッケージ基材の前記周壁の前記第2先端面に前記接合層を介して接合する接合工程と、を備える
気密パッケージの製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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