JP2019529895A5 - - Google Patents

Claims (13)

1. 白色光を発する白色光源と、
   ビームスプリッタと屈折レンズとを含む複数のレンズと、
   ピンホールアパーチャと、
   前記ビームスプリッタから前記白色光を受光する検出器と、
   複数個のセンサを有するセンサ体であり、それらセンサが複数本のロー及びカラムをなしてそのセンサ体内に配置されており、それらロー及びカラムのそれぞれがそれらセンサのうち少なくとも２個を有するセンサ体と、
   前記白色光源及び前記検出器を前記複数個のセンサに結合させる複数本の光ファイバと、
   を備え、
   前記白色光源からの白色光を組成する波長それぞれの焦点距離が前記複数のレンズの屈折率により変わり、その白色光を組成する波長それぞれが前記複数のレンズから異なる距離にて集束し、
   前記ビームスプリッタが前記白色光源からの白色光を前記屈折レンズに方向づけるように構成され、
   前記屈折レンズが、前記白色光の光路に沿って、前記ビームスプリッタと前記ピンホールアパーチャとの間に配置され、
   前記複数本の光ファイバが、前記白色光の前記光路に沿って、前記センサと前記ピンホールアパーチャとの間に配置される、
   装置。
2. 請求項１に記載の装置であって、更に、前記検出器と電子通信するコントローラを備え、クロマティック共焦点技術を用いウェハについての高さデータを提供するようそのコントローラが構成されている装置。
3. 請求項１に記載の装置であって、更に、前記センサ体と前記白色光を反射するウェハとを互いに対し走査させるよう構成されたアクチュエータを備える装置。
4. 請求項３に記載の装置であって、ロー及びカラム内の前記センサが線をなし配列されており、前記ウェハに対する前記センサ体の前記走査がそれらの線のうちいずれかに対し非平行な方向に沿っている装置。
5. 請求項４に記載の装置であって、前記ウェハに対する前記センサ体の走査方向が前記線のうち少なくとも１本に対し４５°角をなす装置。
6. 請求項１に記載の装置であって、更に、前記白色光を反射するウェハを保持するよう構成されたチャックを備える装置。
7. 請求項１に記載の装置であって、前記検出器がＣＭＯＳイメージセンサ又はＣＣＤイメージセンサでありスペクトル分散素子を有する装置。
8. 請求項７に記載の装置であって、前記スペクトル分散素子が格子を有する装置。
9. 請求項１に記載の装置であって、前記ピンホールアパーチャが前記光ファイバの一部分である装置。
10. ビームスプリッタと屈折レンズとを含む複数個のレンズを介しウェハに白色光を差し向けるステップと、
    前記ウェハによって反射された白色光のうち一部をセンサ体内の複数個のセンサにて受光するステップと、
    前記複数のセンサにおいて受光した前記白色光の前記一部を複数の光ファイバを介して送るステップと
    前記複数の光ファイバからの前記白色光の前記一部をピンホールアパーチャに投射するステップと、
    前記ピンホールアパーチャからの前記白色光の前記一部を前記屈折レンズに投射するステップと、
    前記屈折レンズからの前記白色光の前記一部を前記ビームスプリッタに投射するステップと、
    前記ビームスプリッタからの前記白色光の前記一部を検出器に投射するステップと、
    前記検出器とコントローラとを用い、クロマティック共焦点技術を用いて、前記ウェハについての高さデータを求めるステップと、
    を有し、
    前記白色光の波長それぞれの焦点距離が前記複数のレンズの屈折率により変わり、前記白色光の波長それぞれが前記複数のレンズから異なる距離にて集束し、
    前記複数のセンサが複数本のロー及びカラムをなして前記センサ体内に配置されており、それらロー及びカラムのそれぞれがそれらセンサのうち少なくとも２個を有する、
    方法。
11. 請求項１０に記載の方法であって、更に、前記ウェハ及び前記センサ体を互いに対し走査させるステップを有する方法。
12. 請求項１１に記載の方法であって、ロー及びカラム内の前記センサが線に沿っており、前記ウェハに対する前記センサ体の前記走査がそれらの線のうちいずれかに対し非平行な方向に沿っている方法。
13. 請求項１２に記載の方法であって、前記ウェハに対する前記センサ体の走査方向が前記線のうち少なくとも１本に対し４５°角をなす方法。