JP2019526785A5

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Info

Publication number: JP2019526785A5
Application number: JP2018566426A
Authority: JP
Filing date: 2017-06-13
Publication date: 2020-07-27
Anticipated expiration: 2037-06-13

Claims

レーザ発光用センサ・デバイスであって、
少なくとも１つのアパーチャから光を放射する少なくとも１つのレーザであって、キャビティおよび少なくとも１つのミラーを含む、レーザと、
検出器と、
前記キャビティに対して固定位置にあるフィルタと、
前記レーザ発光の一部を標的面上にほぼ合焦し、前記標的面から反射された任意の光の一部を戻して前記レーザ・キャビティ内に結合する少なくとも１つの光学レンズと、
を含み、
第１光路が、前記レーザから放射された光の第１部分を、前記レーザと前記標的面との間で搬送し、第２光路が、前記レーザから放射された光の第２部分を、前記レーザと前記検出器との間で搬送し、
前記標的面が前記第１光路内のみに配置され、
前記フィルタが少なくとも前記第２光路内に配置される、センサ・デバイス。
請求項１記載のセンサ・デバイスにおいて、前記フィルタが、前記第１光路および前記第２光路内に配置される、センサ・デバイス。
請求項１記載のセンサ・デバイスにおいて、前記レーザがＶＣＳＥＬである、センサ・デバイス。
請求項３記載のセンサ・デバイスにおいて、前記検出器が、前記レーザと同じ基板上に成長する、センサ・デバイス。
請求項１記載のセンサ・デバイスにおいて、前記フィルタが格子またはエタロンの内１つである、センサ・デバイス。
請求項１記載のセンサ・デバイスにおいて、前記レーザが、光を放射するための複数のアパーチャを有する、センサ・デバイス。
請求項１記載のセンサ・デバイスであって、更に、前記レーザ発光の一部をサンプリングし、それを前記検出器に向ける手段を含む、センサ・デバイス。
請求項７記載のセンサ・デバイスにおいて、前記サンプリング手段がビーム・スプリッタである、センサ・デバイス。
請求項８記載のセンサ・デバイスにおいて、前記ビーム・スプリッタが、前記レーザの光軸に対してある角度に位置付けられる、センサ・デバイス。
パッケージ化センサ・デバイスであって、
筐体と、
アパーチャから光を放射するレーザであって、前記光が波長を有する、レーザと、
前記筐体の第１端において基板に搭載された検出器と、
前記レーザと前記検出器との間に配置されたフィルタと、
前記筐体の第２端にある少なくとも１つの光学レンズと、
を含む、パッケージ化センサ・デバイス。
請求項１０記載のパッケージ化センサ・デバイスにおいて、前記レーザがＶＣＳＥＬである、パッケージ化センサ・デバイス。
請求項１０記載のパッケージ化センサ・デバイスにおいて、前記フィルタがエタロンである、パッケージ化センサ・デバイス。
請求項１０記載のパッケージ化センサ・デバイスにおいて、前記検出器が、光検出器、ＰＩＮフォトダイオード、共振キャビティ光検出器、またはアバランシェ・フォトダイオードから成る一群から選択される、パッケージ化センサ・デバイス。
請求項１０記載のパッケージ化センサ・デバイスにおいて、前記レーザが、少なくとも１つのミラーと基板とを有するＶＣＳＥＬであり、前記フィルタが、前記ＶＣＳＥＬの少なくとも１つのミラーと前記基板とを含むエタロンである、パッケージ化センサ・デバイス。
請求項１０記載のパッケージ化センサ・デバイスにおいて、前記フィルタが平行な２つの面を有し、各面が、前記波長において高反射性であるミラーを有する、パッケージ化センサ・デバイス。
請求項１０記載のパッケージ化センサ・デバイスにおいて、前記筐体が、前記レーザおよび前記フィルタの無調芯実装および組み立てのための少なくとも１つの機構を有する、パッケージ化センサ・デバイス。
請求項１０記載のパッケージ化センサ・デバイスにおいて、前記少なくとも１つの光学レンズが、前記光を平行化するために、前記レーザの底面発光面と前記フィルタとの間に配置される、パッケージ化センサ・デバイス。
請求項１０記載のパッケージ化センサ・デバイスにおいて、前記レーザが、基板を有するＶＣＳＥＬであり、前記基板が、自発発光抑制のために、少なくとも一方側に、アパーチャのパターンを有する、パッケージ化センサ・デバイス。
レーザ発光用センサ・デバイスであって、
少なくとも１つのアパーチャから光を放射する少なくとも１つのレーザであって、キャビティと少なくとも１つのミラーとを含む、レーザと、
検出器と、
前記キャビティに対して固定位置にあるフィルタと、
前記レーザ発光の一部を標的面上にほぼ合焦し、前記標的面から反射した任意の光の一部を戻して前記レーザ・キャビティに結合する少なくとも１つの光学レンズと、
前記光学レンズと前記レーザとの間にあるビーム・スプリッタと、
を含む、センサ・デバイス。
請求項１９記載のセンサ・デバイスにおいて、前記レーザがＶＣＳＥＬである、センサ・デバイス。