JP2019523437A - リソグラフィ装置及びリソグラフィ投影装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[0001] 本出願は、2016年7月22日に出願された欧州特許出願公開第16180675.7号の優先権を主張するものであり、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
リソグラフィ装置を支持表面上に取り付けるように適合されるベースフレームと、
投影システムであって、
力フレームと、
力フレームに対して移動可能である光学要素と、
力フレームとは別体であるセンサフレームと、
光学要素をモニタするように適合される少なくとも1つのセンサであって、センサフレームに取り付けられる少なくとも1つのセンサ要素を備える、センサと、
力フレームをベースフレーム上に支持するように適合される力フレーム支持体と、
力フレームとは別体である中間フレームと、
センサフレームを中間フレームに結合するように適合されるセンサフレーム結合器と、
力フレーム支持体とは別体であるとともに中間フレームをベースフレーム上に支持するように適合される中間フレーム支持体と、
を有する、投影システムと、
を備えるリソグラフィ装置が提供される。
放射ビームを調節するように構成された照明システムと、
パターニングデバイスを支持するように構築された支持体であって、パターニングデバイスが、パターン付与された放射ビームを形成するために放射ビームの断面にパターンを付与することが可能である、支持体と、
リソグラフィ装置を支持表面上に取り付けるように適合されるベースフレームと、
基板を保持するように構築された基板テーブルと、
パターン付与された放射ビームを基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムであって、
力フレームと、
力フレームに対して移動可能である光学要素と、
力フレームとは別体であるセンサフレームと、
光学要素をモニタするように適合される少なくとも1つのセンサであって、センサフレームに取り付けられる、センサと、
力フレームとベースフレームとを互いに接続するように適合される力フレーム支持体と、
力フレームとは別体である中間フレームと、
センサフレームと中間フレームとを互いに接続するように適合されるセンサフレーム結合器と、
力フレーム支持体とは別体であるとともに中間フレームとベースフレームとを互いに接続するように適合される中間フレーム支持体と、
そ有する、投影システムと、
を備えるリソグラフィ装置が提供される。
リソグラフィ装置を支持表面上に取り付けるように適合されるベースフレームと、
投影システムであって、
力フレームと、
力フレームに対して移動可能である光学要素と、
力フレームとは別体であるセンサフレームと、
光学要素をモニタするように適合される少なくとも1つのセンサであって、センサフレームに取り付けられる、センサと、
力フレームとベースフレームとを互いに接続するように適合される力フレーム支持体と、
力フレームとは別体である中間フレームと、
センサフレームと中間フレームとを互いに接続するように適合されるセンサフレーム結合器と、
力フレーム支持体とは別体であるとともに中間フレームとベースフレームとを互いに接続するように適合される中間フレーム支持体と、
を有する、投影システムと、
を備えるリソグラフィ投影装置が提供される。
1.ステップモードでは、マスクテーブルMT又は「マスクサポート」及び基板テーブルWT又は「基板サポート」は基本的に静止状態に維持され、その一方で、放射ビームに付与されたパターン全体が1回でターゲット部分Cに投影される(すなわち、単一静的露光)。次いで、基板テーブルWT又は「基板サポート」は、異なるターゲット部分Cを露光させることができるようにX方向及び/又はY方向にずらされる。ステップモードでは、露光フィールドの最大サイズにより、単一静的露光で結像されるターゲット部分Cのサイズが制限される。
2.スキャンモードでは、マスクテーブルMT又は「マスクサポート」及び基板テーブルWT又は「基板サポート」は同期してスキャンされ、その一方で、放射ビームに付与されたパターンがターゲット部分Cに投影される(すなわち、単一動的露光)。マスクテーブルMT又は「マスクサポート」に対する基板テーブルWT又は「基板サポート」の速度及び方向は、投影システムPSの拡大(縮小)特性及び像反転特性により決定されてもよい。スキャンモードでは、露光フィールドの最大サイズにより単一動的露光でのターゲット部分の(非スキャン方向における)幅が制限され、それに対して、スキャン動作の長さによりターゲット部分の(スキャン方向における)高さが決定される。
3.別のモードでは、マスクテーブルMT又は「マスクサポート」は、プログラマブルパターニングデバイスを保持して基本的に静止状態に維持され、かつ放射ビームに付与されたパターンがターゲット部分Cに投影される間に基板テーブルWT又は「基板サポート」が移動又はスキャンされる。このモードでは、通例はパルス放射源が用いられ、かつプログラマブルパターニングデバイスが基板テーブルWT又は「基板サポート」の毎回の移動後に又はスキャン中の連続する放射パルス間に必要に応じて更新される。この動作モードは、上で言及したタイプのプログラマブルミラーアレイなどの、プログラマブルパターニングデバイスを利用するマスクレスリソグラフィに容易に適用することができる。
Claims (21)
- リソグラフィ装置であって、
前記リソグラフィ装置を支持表面上に取り付けるように適合されるベースフレームと、
投影システムであって、
力フレームと、
前記力フレームに対して移動可能である光学要素と、
前記力フレームとは別体であるセンサフレームと、
前記光学要素をモニタするように適合される少なくとも1つのセンサであって、前記センサフレームに取り付けられる少なくとも1つのセンサ要素を備える、センサと、
前記力フレームを前記ベースフレーム上に支持するように適合される力フレーム支持体と、
前記力フレームとは別体である中間フレームと、
前記センサフレームを前記中間フレームに結合するように適合されるセンサフレーム結合器と、
前記力フレーム支持体とは別体であるとともに前記中間フレームを前記ベースフレーム上に支持するように適合される中間フレーム支持体と、
を有する、投影システムと、
を備える、リソグラフィ装置。 - 前記力フレーム支持体と前記センサフレーム結合器と前記中間フレーム支持体の少なくとも1つが、振動絶縁器を備える、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記リソグラフィ装置が、力フレーム制御システムを更に備え、
前記力フレーム制御システムが、
前記センサフレームに対する前記力フレームの位置に関する測定データを生成するように適合される力フレーム位置センサと、
前記力フレームを前記センサフレームに対して移動させるように適合される力フレームアクチュエータと、
前記力フレーム位置センサから前記測定データを受け取り前記受け取った測定データに基づいて前記力フレームアクチュエータを制御するように適合される力フレームアクチュエータ制御デバイスと、
を有する、請求項1又は2に記載のリソグラフィ装置。 - 前記力フレームアクチュエータが、前記力フレーム支持体の一部を形成する、請求項3に記載のリソグラフィ装置。
- 前記センサフレーム結合器が、受動的なものである、請求項1〜4の何れか一項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記ベースフレームが、第一ベースフレームセクションと第二ベースフレームセクションとを備え、
前記第一ベースフレームセクション及び前記第二ベースフレームセクションが、互いに対して移動可能であり、
前記力フレーム支持体が、前記第一ベースフレームセクションに接続され、かつ、
前記中間フレーム支持体が、前記第二ベースフレームセクションに接続される、請求項1〜5の何れか一項に記載のリソグラフィ装置。 - 前記力フレーム支持体と前記中間フレーム支持体の両方が、絶縁周波数を有する振動絶縁器を備え、
前記力フレーム支持体の前記振動絶縁器の前記絶縁周波数が、前記中間フレーム支持体の前記振動絶縁器の前記絶縁周波数よりも高い、請求項1〜6の何れか一項に記載のリソグラフィ装置。 - 前記センサフレーム結合器と前記中間フレーム支持体の両方が、絶縁周波数を有する振動絶縁器を備え、
前記センサフレーム結合器の前記振動絶縁器の前記絶縁周波数が、前記中間フレーム支持体の前記振動絶縁器の前記絶縁周波数よりも高い、請求項1〜7の何れか一項に記載のリソグラフィ装置。 - 前記リソグラフィ装置が、ウェーハステージ測定フレームと、前記ウェーハステージ測定フレームを前記中間フレームに結合するように適合されるウェーハステージ測定フレーム結合器と、を更に備える、請求項1〜8の何れか一項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記中間フレームが、第一中間フレームセクションと第二中間フレームセクションとを備え、
前記第一中間フレームセクション及び前記第二中間フレームセクションが、互いに対して移動可能であり、
前記センサフレーム結合器が、前記第一中間フレームセクションに接続され、かつ
前記ウェーハステージ測定フレーム結合器が、前記第二中間フレームセクションに接続される、請求項9に記載のリソグラフィ装置。 - 前記中間フレーム支持体が、前記第一中間フレームセクションに接続され、かつ
前記リソグラフィ装置が、前記第二中間フレームセクションを前記ベースフレームに接続するように適合される二次中間フレーム支持体を更に備える、請求項10に記載のリソグラフィ装置。 - 前記リソグラフィ装置が、第二中間フレームセクション制御システムを更に備え、
前記第二中間フレームセクション制御システムが、
前記センサフレームに対する前記第二中間フレームセクションの位置に関する測定データを生成するように適合される第二中間フレームセクション位置センサと、
前記第二中間フレームセクションを前記センサフレームに対して移動させるように適合される第二中間フレームセクションアクチュエータと、
前記第二中間フレームセクション位置センサから前記測定データを受け取り前記受け取った測定データに基づいて前記第二中間フレームセクションアクチュエータを制御するように適合される第二中間フレームセクションアクチュエータ制御デバイスと、
を有する、請求項10又は11に記載のリソグラフィ装置。 - 前記リソグラフィ装置が、ウェーハステージ測定フレーム制御システムを更に備え、
前記ウェーハステージ測定フレーム制御システムが、前記センサフレームに対する前記ウェーハステージ測定フレームの位置に関する測定データを生成するように適合されるウェーハステージ測定フレーム位置センサを有する、請求項9〜12の何れか一項に記載のリソグラフィ装置。 - 前記ウェーハステージ測定フレーム制御システムが、
前記ウェーハステージ測定フレームを前記センサフレームに対して移動させるように適合されるウェーハステージ測定フレームアクチュエータと、
前記ウェーハステージ測定フレーム位置センサから前記測定データを受け取り前記受け取った測定データに基づいて前記ウェーハステージ測定フレームアクチュエータを制御するように適合されるウェーハステージ測定フレームアクチュエータ制御デバイスと、
を更に有する、請求項13に記載のリソグラフィ装置。 - 前記リソグラフィ装置が、放射ビームを調節するように構成された照明システムを更に備え、
前記照明システムが、
前記投影システムの前記センサフレームとは別体であるイルミネータフレームと、
前記イルミネータフレームを前記ベースフレームに接続するように適合されるとともに前記力フレーム支持体及び前記中間フレーム支持体とは別体であるイルミネータフレーム支持体と、
を有する、請求項1〜14の何れか一項に記載のリソグラフィ装置。 - 前記リソグラフィ装置が、イルミネータフレーム制御システムを更に備え、
前記イルミネータフレーム制御システムが、
前記センサフレームに対する前記イルミネータフレームの位置に関する測定データを生成するように適合されるイルミネータフレーム位置センサと、
前記イルミネータフレームを前記センサフレームに対して移動させるように適合されるイルミネータフレームアクチュエータと、
前記イルミネータフレーム位置センサから前記測定データを受け取り前記受け取った測定データに基づいて前記イルミネータフレームアクチュエータを制御するように適合されるイルミネータフレームアクチュエータ制御デバイスと、
を有する、請求項15に記載のリソグラフィ装置。 - 前記リソグラフィ装置が、パターニングデバイスから基板にパターンを転写するように配置される、請求項1〜16の何れか一項に記載のリソグラフィ装置。
- リソグラフィ装置であって、
放射ビームを調節するように構成された照明システムと、
パターニングデバイスを支持するように構築された支持体であって、前記パターニングデバイスが、パターン付与された放射ビームを形成するために前記放射ビームの断面にパターンを付与することが可能である、支持体と、
前記リソグラフィ装置を支持表面上に取り付けるように適合されるベースフレームと、
基板を保持するように構築された基板テーブルと、
前記パターン付与された放射ビームを前記基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムであって、
力フレームと、
前記力フレームに対して移動可能である光学要素と、
前記力フレームとは別体であるセンサフレームと、
前記光学要素をモニタするように適合される少なくとも1つのセンサであって、前記センサフレームに取り付けられる、センサと、
前記力フレームと前記ベースフレームとを互いに接続するように適合される力フレーム支持体と、
前記力フレームとは別体である中間フレームと、
前記センサフレームと前記中間フレームとを互いに接続するように適合されるセンサフレーム結合器と、
前記力フレーム支持体とは別体であるとともに前記中間フレームと前記ベースフレームとを互いに接続するように適合される中間フレーム支持体と、
を有する、投影システムと、
を備える、リソグラフィ装置。 - パターニングデバイスから基板にパターンを投影するように配置されたリソグラフィ投影装置であって、
前記リソグラフィ装置を支持表面上に取り付けるように適合されるベースフレームと、
投影システムであって、
力フレームと、
前記力フレームに対して移動可能である光学要素と、
前記力フレームとは別体であるセンサフレームと、
前記光学要素をモニタするように適合される少なくとも1つのセンサであって、前記センサフレームに取り付けられる、センサと、
前記力フレームと前記ベースフレームとを互いに接続するように適合される力フレーム支持体と、
前記力フレームとは別体である中間フレームと、
前記センサフレームと前記中間フレームとを互いに接続するように適合されるセンサフレーム結合器と、
前記力フレーム支持体とは別体であるとともに前記中間フレームと前記ベースフレームとを互いに接続するように適合される中間フレーム支持体と、
を有する、投影システムと、
を備える、リソグラフィ投影装置。 - パターニングデバイスから基板にパターンを転写することを含み、請求項1に記載のリソグラフィ装置が使用される、デバイス製造方法。
- パターン付与された放射ビームを基板に投影することを含み、請求項1に記載のリソグラフィ装置が使用される、デバイス製造方法。
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