JP2019521863A - 微小機械素子 - Google Patents

Abstract

微小機械素子であって、微小機械素子の主要延在平面に沿って延在する基板を備え、微小機械素子が、微小機械素子の駆動ばねを介して、基板に対して移動可能に基板に懸吊された駆動質量体を含み、微小機械素子が、駆動質量体に対して移動可能に懸吊された試験質量体を含み、駆動ばねが、駆動質量体および／または試験質量体が駆動ばねを主要延在平面に対して実質的に平行に少なくとも部分的に包囲するように配置されている微小機械素子が提案される。

Description

本発明は、請求項１の前提部分に記載の微小機械素子に関する。

駆動ばねを介して、基板に対して移動可能に基板に懸吊された駆動質量体および駆動質量体に対して移動可能に懸吊された試験質量体を備える微小機械素子は一般に既知である。このような構成によって、微小機械素子は、微小機械素子に加えられる回転速度をコリオリの力を利用して検出することができる。この場合、試験質量体は周期的に運動させられ、これにより周期的な運動に対して垂直に微小機械素子に加えられた回転速度が、周期的な運動の運動方向および加えられた回転速度に対して直交方向の力を試験質量体に加え、この力作用は電極容量によって測定可能である。このようにして、加えられた回転速度を推論することができる。

本発明の課題は、従来技術に対して機械的に堅牢であり、簡単で安価な微小機械素子を提供することである。

この課題は、駆動ばねが、駆動質量体および／または試験質量体が駆動ばねを主要延在平面に対して実質的に平行に少なくとも部分的に包囲するように配置されていることによって解決される。

これにより、従来技術に比べて微小機械素子の質量中心点の近くで、もしくは微小機械素子の質量中心点を通って駆動方向に延在する基板の対称軸線の近くで駆動ばねを基板に固定することができる。駆動ばねが基板に固定して配置されていることにより、微小機械素子の応力感度が低減される。例えば熱的および機械的な負荷に基づいた延伸によって基板が変形しても、駆動ばねの固定部や駆動ばね自体の変形もしくは理想位置からの変位は従来技術に比べて少ない。これにより、従来技術に比べて駆動ばねの特に正確な機能が提供される。

したがって、本発明により、熱的および機械的な負荷に基づいた延伸により生じる基板の変形が危険性をもたらすことが少ない微小機械素子が提供される。駆動ばねが中央に懸吊されていることにより、従来技術に比べて回転速度センサの応力感度が低減される。

これにより、従来技術に比べて機械的に堅牢であり、簡単で安価な微小機械素子が提供される。

好ましくは、微小機械素子は回転速度センサを含む。これにより、従来技術に比べてずれおよび直角位相について回転速度センサの応力感度を低減することが可能である。

本発明の好ましい構成および実施形態が従属請求項および図面を参照した説明に記載されている。

好ましい実施形態によれば、駆動ばねは固定部を介して基板に固定されており、微小機械素子の質量中心点を通って駆動方向に延在する対称軸線に対して実質的に垂直で、主要延在平面に対して実質的に平行な駆動質量体の長さの１２分の３よりも少しだけ、好ましくは１２分の２よりも少しだけ、特に好ましくは１２分の１よりも少しだけ、対称軸線に対して実質的に垂直に、主要延在平面に対して実質的に平行に、対称軸線から離間して配置されている。これにより、駆動ばねの特に小型で簡単な懸吊部が得られ、ひいては特に応力の影響を受けにくい微小機械素子が得られる。

好ましい実施形態によれば、駆動ばねは別の固定部を介して基板に配置されており、別の固定部は、対称軸線に対して実質的に垂直で、主要延在平面に対して実質的に平行な駆動質量体の長さの１２分の３よりも少しだけ、好ましくは１２分の２よりも少しだけ、特に好ましくは１２分の１よりも少しだけ、対称軸線に対して実質的に垂直に、主要延在平面に対して実質的に平行に、対称軸線から離間して配置されている。これにより、２つの固定部における特に小型で簡単な駆動ばねの懸吊部が得られ、駆動ばねのばね構造が微小機械素子の作動に的確に合わせられており、同時に特に応力の影響を受けにくい微小機械素子が得られる。

好ましい一次実施形態によれば、微小機械素子は別の駆動ばねを含み、駆動質量体が別の駆動ばねを介して基板に対して移動可能に懸吊されており、別の駆動ばねが、駆動質量体および／または試験質量体が別の駆動ばねを主要延在平面に対して実質的に平行に少なくとも部分的に包囲するように配置されている。これにより、好ましくは、従来技術に比べて微小機械素子の質量中心点の近くで、もしくは基板の対称軸線の近くで別の駆動ばねを基板に固定することができる。別の駆動ばねが基板にこのように固定して配置されていることにより、微小機械素子の応力感度がさらに低減され、同時に、２つの駆動ばねを備える微小機械素子を対称軸線に対して対称的に構成することが可能である。

好ましい一次実施形態によれば、別の駆動ばねが第３固定部を介して基板に固定されており、第３固定部は、対称軸線に対して実質的に垂直で、主要延在平面に対して実質的に平行な駆動質量体の長さの１２分の３よりも少しだけ、好ましくは１２分の２よりも少しだけ、特に好ましくは１２分の１よりも少しだけ、対称軸線に対して実質的に垂直に、主要延在平面に対して実質的に平行に、対称軸線から離間して配置されている。これにより、別の駆動ばねの特に小型で簡単な懸吊部が得られ、ひいては特に応力の影響を受けにくい、２つの駆動ばねを備える微小機械素子が得られる。

好ましい一実施形態によれば、別の駆動ばねは第４固定部を介して基板に固定されており、第４固定部は、対称軸線に対して実質的に垂直で、主要延在平面に対して実質的に平行な駆動質量体の長さの１２分の３よりも少しだけ、好ましくは１２分の２よりも少しだけ、特に好ましくは１２分の１よりも少しだけ、対称軸線に対して実質的に垂直に、主要延在平面に対して実質的に平行に、対称軸線から離間して配置されている。これにより、２つの固定部における別の駆動ばねの特に小型で簡単な懸吊部が得られ、駆動ばねのばね構造が微小機械素子の作動に的確に合わせられており、同時に特に応力の影響を受けにくい微小機械素子が得られる。

好ましい一実施形態によれば、微小機械素子は駆動質量体を駆動するための電気的に活性の駆動部を含み、この駆動部は駆動ばねおよび／または別の駆動ばねよりも微小機械素子の質量中心点の近くに配置されている。これにより、特に小型で、同時に応力の影響を受けにくい微小機械素子が得られる。

好ましい一実施形態によれば、微小構成素子は駆動質量体を駆動するための電気的に活性の駆動部を含み、駆動部は、駆動ばねおよび／または別の駆動ばねよりも微小機械素子の質量中心点から遠くに配置されている。これにより、小型で、同時に特に応力の影響を受けにくい微小機械素子が得られる。

好ましい一実施形態によれば、駆動質量体はロッカー構造を含む。これにより、好ましくは駆動質量体の第１部分と駆動質量体の第２部分とを機械的に同期することが可能である。これにより、特に駆動質量体の第１部分と駆動質量体の第２部分とを反対の位相で振動させ、同時に電流を低減することが可能である。

好ましい一実施形態によれば、ロッカー構造は、微小機械素子のロッカーばねを介して、基板に対して移動可能に基板に懸吊されている。好ましくは、ロッカーばねは、駆動質量体および／または試験質量体がロッカーばねを主要延在平面に対して実質的に平行に少なくとも部分的に包囲するように配置されている。これにより、特に小型で、応力の影響を受けにくい微小機械素子が得られる。

本発明の実施形態を例示する概略図である。 本発明の実施形態を例示する概略図である。 本発明の実施形態を例示する概略図である。

異なる図面において同じ部分には常に同じ符号を付し、原則的にそれぞれ１度しか言及しない。

図１、図２、および図３には本発明の実施形態が例として概略図に示されている。

図１、図２、および図３はそれぞれ微小機械素子１を示す。微小機械素子１は、微小機械素子１の主要延在平面１００に沿って延在する基板３を備える。さらに図１、図２、および図３は、それぞれの微小機械素子１が、微小機械素子１の駆動ばね５によって基板３に対して移動可能に基板３に懸吊された駆動質量体７を含むことを示す。さらに微小機械素子１は、駆動質量体７に対して移動可能に懸吊された試験質量体（図１、図２、および図３には示さない）を含む。この場合、試験質量体は、好ましくは駆動方向１０１に向かい合った駆動質量体７の側に配置されており、駆動質量体７にばねによって結合されている。本発明によれば、図１、図２、および図３に示した駆動ばね５は、駆動質量体７および／または試験質量体が、駆動ばね５を実質的に主要延在平面１００に対して平行に少なくとも部分的に包囲するように配置されている。好ましくは、駆動質量体７および／または試験質量体は、主要延在平面１００に対して平行に延在する駆動ばね５の平面において、駆動ばね５が駆動質量体７もしくは試験質量体によって、または駆動質量体７および試験質量体によって完全に包囲されているように、駆動ばね５を包囲している。

さらに図１、図２、および図３には、駆動ばね５が固定部９を介して基板３に固定されていることが示されている。この場合、固定部９は、微小機械素子１の質量中心点３０１を通って駆動方向１０１に延在する対称軸線２０１に対して実質的に垂直方向で、主要延在平面１００に対して実質的に平行な駆動質量体７の長さの１２分の１よりも少しだけ、対称軸線２０１に対して実質的に垂直に、主要延在平面１００に対して実質的に平行に、対称軸線２０１から離間して配置されていることが例示されている。代替的には、例えば固定部９は、対称軸線２０１に対して実質的に垂直で、主要延在平面１００に対して実質的に平行な駆動質量体７の長さの１２分の３よりも少しだけ、好ましくは１２分の２よりも少しだけ、対称軸線２０１に対して実質的に垂直に、主要延在平面１００に対して実質的に平行に、対称軸線２０１から離間して配置されている。

さらに図１には、駆動ばね５が別の固定部１１を介して基板に固定されており、別の固定部１１が、対称軸線２０１に対して実質的に垂直方向で、主要延在平面１００に対して実質的に平行な駆動質量体７の長さの１２分の１よりも少しだけ、対称軸線２０１に対して実質的に垂直に、主要延在平面１００に対して実質的に平行に、対称軸線２０１から離間して配置されていることが例示されている。代替的には、例えば、別の固定部１１は、対称軸線２０１に対して実質的に垂直で主要延在平面１００に対して実質的に平行な駆動質量体７の長さの１２分の３よりも少しだけ、好ましくは１２分の２よりも少しだけ、対称軸線２０１に対して実質的に垂直に、主要延在平面１００に対して実質的に平行に、対称軸線２０１から離間して配置されていることが例示されている。

図１、図２、および図３は、それぞれの微小機械素子１が別の駆動ばね１３を含み、駆動質量体７が別の駆動ばね１３によって基板３に対して移動可能に懸吊されていることを例示している。例えば、別の駆動ばね１３は、駆動質量体７および／または試験質量体が主要延在平面１０に対して実質的に平行に駆動ばね１３を少なくとも部分的に包囲するように配置されている。この場合、別の駆動ばね１３は第３固定部１５を介して基板３に固定されており、第３固定部１５は、対称軸線２０１に対して実質的に垂直で、主要延在平面１００に対して実質的に平行な駆動質量体７の長さの１２分の１よりも少しだけ、対称軸線２０１に対して実質的に垂直に、主要延在平面１００に対して実質的に平行に、対称軸線２０１から離間して配置されている。代替的には、第３固定部１５は、対称軸線２０１に対して実質的に垂直で、主要延在平面１００に対して実質的に平行な駆動質量体７の長さの１２分の３よりも少しだけ、好ましくは１２分の２よりも少しだけ、対称軸線２０１に対して実質的に垂直に、主要延在平面１００に対して実質的に平行に対称軸線２０１から離間して配置されている。

図１に例示した微小機械素子１の場合には、別の駆動ばね１３は第４固定部１７を介して基板３に固定されている。この場合、第４固定部１７は、対称軸線２０１に対して実質的に垂直で、主要延在平面１００に対して実質的に平行な駆動質量体７の長さの１２分の１よりも少しだけ、対称軸線２０１に対して実質的に垂直に、主要延在平面１００に対して実質的に平行に、対称軸線２０１から離間して配置されている。代替的には、第４固定部１７は、対称軸線２０１に対して実質的に垂直で、主要延在平面１００に対して実質的に平行な駆動質量体７の長さの１２分の３よりも少しだけ、好ましくは１２分の２よりも少しだけ、対称軸線２０１に対して実質的に垂直に、主要延在平面１００に対して実質的に平行に、対称軸線２０１から離間して配置されている。

図１、図２、および図３に例示した微小機械素子１はそれぞれ駆動質量体７を駆動するための電気的に活性の駆動部１９を含む。図１および図２には、駆動部１９が駆動ばね５および別の駆動ばね１３よりも微小機械素子の質量中心点３０１の近くに配置されていることが例示されている。さらに図３には、駆動部１９が駆動ばね５および別の駆動ばね１３よりも微小機械素子１の質量中心点３０１から遠くに配置されていることが例示されている。換言すれば、本発明により、駆動ばねがセンサの中心に、もしくは微小機械素子１の質量中心点３０１のできるだけ近くに懸吊されることが例示されている。図１、図２、および図３の図平面では、微小構成素子１は、電気的に活性の駆動部１９の上方または下方に構成されている。

駆動部１９は、例えば基板３に固定された２つの櫛状構造を含み、固定された櫛状構造は基板３に対して不動に構成されている。駆動部１９の櫛状構造は駆動質量体７の２つの櫛状構造、すなわち駆動質量体７の第１部分の第１櫛状構造および駆動質量体７の第２部分の第２櫛状構造に係合し、的確な制御により、駆動質量体７の第１部分および駆動質量体７の第２部分の逆平行の変位をもたらす。

図１、図２、および図３には、さらにそれぞれの微小機械素子１が、基板３に堅固に固定された２つの駆動検出用櫛状構造を備える駆動検出ユニットを含むことが示されている。この場合、駆動検出用櫛状構造は駆動質量体７の別の２つの櫛状構造に係合する。これにより、駆動質量体７の変位が検出可能であり、閉ループ制御回路によって、駆動質量体７の駆動部１９を的確に制御することが可能である。

さらに図１、図２、および図３に例示された微小機械素子１の場合には、駆動質量体７はロッカー構造２１を含み、ロッカー構造２１は、微小機械素子１のロッカーばね２３を介して基板３に対して移動可能に基板３に懸吊されている。

図１、図２、および図３には、駆動ばね５および別の駆動ばね１３がそれぞれ４つのばね脚部を含むことが例示されている。好ましくは４つのそれぞれのばね脚部はそれぞれ弾性ばねである。この場合、駆動ばね５および別の駆動ばね１３のそれぞれ２つのばね脚部は、駆動ばね５および別の駆動ばね１３の曲げ剛性を備えるビームと駆動質量体７とにそれぞれ結合されている。さらに駆動ばね５および別の駆動ばね１３のそれぞれ２つの別のばね脚部は、駆動ばね５および別の駆動ばね１３の曲げ剛性を備えるビームと基板３とにそれぞれ結合されている。

図１には、駆動ばね５の別の２つのばね脚部の第１ばね脚部が固定部９を介して基板３に固定されており、駆動ばね５の別の２つの脚部の第２ばね脚部が別の固定部１１を介して基板３に固定されていることが例示されている。さらに図１は、別の駆動ばね１３の別の２つのばね脚部の第３ばね脚部が第３固定部１５を介して基板３に固定されおり、別の駆動ばね１３の別の２つのばね脚部の第４のばね脚部が第４固定部１７を介して基板３に固定されていることを例示している。

図２および図３には、駆動ばね５の別の２つのばね脚部の第１ばね脚部が固定部９を介して基板３に固定されており、駆動ばね５の別の２つのばね脚部の第２ばね脚部が固定部９を介して基板３に固定されていることが例示されている。図２および図３は、別の駆動ばね１３の別の２つのばね脚部の第３ばね脚部が第３固定部１５を介して基板３に固定されており、別の駆動ばね１３の別の２つのばね脚部の第４ばね脚部が同様に第３固定部１５を介して基板３に固定されていることも示している。換言すれば、ばね脚部は同じ基板点に固定されている。これにより、駆動ばねの懸吊点はセンサの幾何学的な中心に近づき、これにより基板の歪みによる影響が低減される。

図１、図２、および図３に例示したロッカーばね２３は３つのばね脚部を含み、３つのばね脚部はそれぞれ１つの弾性ばねを含む。この場合、ロッカーばね２３のばね脚部は、駆動質量体７と、ロッカーばね２３の曲げ剛性を備えるビームとに結合されている。さらにロッカーばね２３の別のばね脚部および第３ばね脚部は、ロッカーばね２３の曲げ剛性を備えるビームと、基板３とにそれぞれ結合されている。この場合、ロッカーばね２３の別のばね脚部は第５固定部２５を介して基板３に固定されており、ロッカーばね２３の第３ばね脚部は第６固定部２７を介して基板３に固定されている。

図１、図２、および図３には、ロッカーばね２３のばね脚部、別のばね脚部、および第３ばね脚部が対称軸線２０１に対して実質的に平行に配置されており、駆動ばね５および別の駆動ばね１３のばねビームが対称軸線２０１に対して実質的に垂直に配置されていることが例示されている。これにより、好ましくは駆動質量体７の第１部分および駆動質量体７の第２部分の逆平行の変位およびロッカー構造２１の揺動が可能となる。

さらに図１、図２、および図３には、ロッカーばね２３の別のばね脚部および第３ばね脚部が、対称軸線２０１に対して実質的に垂直で、主要延在平面１００に対して実質的に平行な駆動質量体７の長さの６０分の１よりも少しだけ、好ましくは６５分の１よりも少しだけ、特に好ましくは８０分の１よりも少しだけ、対称軸線２０１に対して実質的に垂直に、主要延在平面１００に対して実質的に平行に、対称軸線２０１から離間して配置されていることが例示されている。これにより、特に応力の影響を受けにくい小型の微小機械素子１が得られる。

さらに図１、図２、および図３には、第５固定部２５および第６固定部２７が、対称軸線２０１に対して実質的に垂直で、主要延在平面１００に対して実質的に平行な駆動質量体７の長さの６０分の１よりも少しだけ、好ましくは６５分の１よりも少しだけ、特に好ましくは８０分の１よりも少しだけ、対称軸線２０１に対して実質的に垂直に、主要延在平面１００に対して実質的に平行に、対称軸線２０１から離間して配置されていることが例示されている。これにより、特に応力の影響を受けにくい小型の微小機械素子１が得られる。

好ましくは、微小機械素子１は試験質量体の他に別の試験質量体を含む。特に好ましくは、試験質量体は１つ以上のばねによって駆動質量体７の第１部分に結合されており、別の試験質量体は１つ以上のばねによって駆動質量体７の第２部分に結合されており、微小機械素子１に加えられた回転速度に基づいて、試験質量体および別の試験質量体に、駆動方向１０１に対して実質的に垂直方向に加えられた力作用が検出可能である。これにより、好ましくは本発明による微小機械素子１によって回転速度を微分式に検出することが可能である。

好ましくは、図１、図２、および図３に示した本発明による微小機械素子１は、それぞれさらに別の構造を含み、それぞれの別の構造は、図１、図２、および図３にそれぞれ説明した構造に実質的に対応している。この場合、好ましくは別の構造は、主要延在平面に対して垂直に、対称軸線２０１に対して垂直に延在する、図１、図２、および図３にそれぞれ示した構造の鏡面によって生成される鏡像に相当するように構成され、配置されている。

好ましくは、微小機械素子１は駆動ばね５および別の駆動ばね１３の他に第３駆動ばねおよび第４駆動ばねを含む。換言すれば、微小機械素子１はそれぞれ２つの固定部を備える４つの主要ばねを含み、固定部は、実質的に上記のように配置され、構成されている。本発明によれば、好ましくは、固定部は、対称軸線２０１に対して実質的に垂直で、主要延在平面１００に対して実質的に平行な駆動質量体７の長さの１２分の３よりも少しだけ、好ましくは１２分の２よりも少しだけ、特に好ましくは１２分の１よりも少しだけ、対称軸線２０１に対して実質的に垂直に、主要延在平面１００に対して実質的に平行に、対称軸線２０１から離間して配置されている。したがって、好ましくは、基板３に加えられる機械的または熱的な負荷が変化したことによるこれらの固定部のずれが低減され、これにより、基板３に加えられる機械的または熱的な負荷が、例えば微小機械素子１を較正するための補正パラメータに与える影響も減じられる。特に好ましくは、このずれは、固定部、特に固定部９、別の固定部１１、第３固定部１５、第４固定部１７、第５固定部２５、および第６固定部２７、ならびに他の構造のそれぞれの固定部が、従来技術に比べて近くにまとめられていること、またはセンサの幾何学的な中心もしくは微小機械素子１の質量中心点３０１の近くに配置されていることにより減じられる。このように、駆動ばねの懸吊部が中央部の上方または下方に配置されており、結合構造によって、または駆動質量体７もしくは２つの駆動質量体およびばねによって、駆動質量体７もしくは２つの駆動質量体と１つもしくは複数の試験質量体との間で駆動部１９の運動を試験質量体へ伝達する駆動概念を備える微小機械素子１が提供される。

Claims (10)

1. 微小機械素子（１）であって、微小機械素子（１）の主要延在平面（１００）に沿って延在する基板（３）を備え、微小機械素子（１）が、微小機械素子（１）の駆動ばね（５）を介して、基板（３）に対して移動可能に基板（３）に懸吊された駆動質量体（７）を含み、微小機械素子（１）が、駆動質量体（７）に対して移動可能に懸吊された試験質量体を含む微小機械素子（１）において、
   駆動ばね（５）が、駆動質量体（７）および／または試験質量体が駆動ばね（５）を主要延在平面（１００）に対して実質的に平行に少なくとも部分的に包囲するように配置されていることを特徴とする微小機械素子（１）。
2. 請求項１に記載の微小機械素子（１）において、
   前記駆動ばね（５）が固定部（９）を介して前記基板（３）に固定されており、前記微小機械素子（１）の質量中心点（３０１）を通って駆動方向（１０１）に延在する対称軸線（２０１）に対して実質的に垂直で、前記主要延在平面（１００）に対して実質的に平行な前記駆動質量体（７）の長さの１２分の３よりも少しだけ、好ましくは１２分の２よりも少しだけ、特に好ましくは１２分の１よりも少しだけ、対称軸線（２０１）に対して実質的に垂直に、前記主要延在平面（１００）に対して実質的に平行に、対称軸線（２０１）から離間して配置されている微小機械素子（１）。
3. 請求項１または２に記載の微小機械素子（１）において、
   前記駆動ばね（５）が別の固定部（１１）を介して前記基板（３）に配置されており、別の固定部（１１）が、対称軸線（２０１）に対して実質的に垂直で、前記主要延在平面（１００）に対して実質的に平行な前記駆動質量体（７）の長さの１２分の３よりも少しだけ、好ましくは１２分の２よりも少しだけ、特に好ましくは１２分の１よりも少しだけ、対称軸線（２０１）に対して実質的に垂直に、前記主要延在平面（１００）に対して実質的に平行に、対称軸線（２０１）から離間して配置されている微小機械素子（１）。
4. 請求項１〜３のいずれか一項に記載の微小機械素子（１）において、
   前記微小機械素子（１）が別の駆動ばね（１３）を含み、前記駆動質量体（７）が別の駆動ばね（１３）を介して基板（３）に対して移動可能に懸吊されており、
   別の駆動ばね（１３）が、前記駆動質量体（７）および／または試験質量体が別の駆動ばね（１３）を前記主要延在平面（１００）に対して実質的に平行に少なくとも部分的に包囲するように配置されている微小機械素子（１）。
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載の微小機械素子（１）において、
   別の駆動ばね（１３）が第３固定部（１５）を介して前記基板（３）に固定されており、第３固定部（１５）が、対称軸線（２０１）に対して実質的に垂直で、主要延在平面（１００）に対して実質的に平行な前記駆動質量体（７）の長さの１２分の３よりも少しだけ、好ましくは１２分の２よりも少しだけ、特に好ましくは１２分の１よりも少しだけ、対称軸線（２０１）に対して実質的に垂直に、前記主要延在平面（１００）に対して実質的に平行に、対称軸線（２０１）から離間して配置されている微小機械素子（１）。
6. 請求項１〜５のいずれか一項に記載の微小機械素子（１）において、
   別の駆動ばね（１３）が第４固定部（１７）を介して前記基板（３）に固定されており、第４固定部（１７）が、対称軸線（２０１）に対して実質的に垂直で、前記主要延在平面（１００）に対して実質的に平行な駆動質量体（７）の長さの１２分の３よりも少しだけ、好ましくは１２分の２よりも少しだけ、特に好ましくは１２分の１よりも少しだけ、対称軸線（２０１）に対して実質的に垂直に、前記主要延在平面（１００）に対して実質的に平行に、対称軸線（２０１）から離間して配置されている微小機械素子（１）。
7. 請求項１〜６のいずれか一項に記載の微小機械素子（１）において、
   前記微小機械素子（１）が、前記駆動質量体（７）を駆動するための電気的に活性の駆動部（１９）を含み、該駆動部（１９）が、前記駆動ばね（５）および／または別の駆動ばね（１３）よりも前記微小機械素子（１）の質量中心点（３０１）の近くに配置されている微小機械素子（１）。
8. 請求項１〜７のいずれか一項に記載の微小機械素子（１）において、
   前記微小構成素子（１）が、前記駆動質量体（７）を駆動するための電気的に活性の駆動部（１９）を含み、該駆動部（１９）が、前記駆動ばね（５）および／または別の駆動ばね（１３）よりも前記微小機械素子（１）の質量中心点（１３）から遠くに配置されている微小機械素子（１）。
9. 請求項１〜８のいずれか一項に記載の微小機械素子（１）において、
   前記駆動質量体（７）がロッカー構造（２１）を含む微小機械素子（１）。
10. 請求項１〜９のいずれか一項に記載の微小機械素子（１）において、
    ロッカー構造（２１）が、前記微小機械素子（１）のロッカーばね（２３）を介して、前記基板（３）に対して移動可能に基板に（３）懸吊されている微小機械素子（１）。

Images