JP2019517094A5 - - Google Patents
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Claims (5)
- ８０から１６０ａｍｕの範囲に含まれる平均原子質量Ｗを有する非多孔質カソード（２２，２２’）であって、前記カソードはスパッタイオンポンプ（３）における電極として使用するのに適しており、その化学組成中に少なくとも２つの異なる金属元素Ｍ１およびＭ２であって、
ｉ）前記カソードの総原子数Ｑの原子百分率で表される量ｑ１で原子質量Ｗ１を有するＭ１、および
ｉｉ）前記カソードの総原子数Ｑの原子百分率で表される量ｑ２で原子質量Ｗ２を有するＭ２の焼結バルク混合物を含み、
Ｍ１およびＭ２はいずれも、チタン、タンタル、ジルコニウム、ニオブ、ハフニウム、希土類元素、ニッケルまたはモリブデンの中から選択され、前記カソードの原子質量は、Ｗ＝Ｗ１×ｑ１＋Ｗ２×ｑ２で定義され、前記焼結バルク混合物はＭ１およびＭ２とは異なる１つ以上の追加の金属元素を、総原子数Ｑに対して３原子％未満の累積量で含み得る、カソード（２２，２２’）。 - その平均原子質量Ｗは、１００から１６０ａｍｕの範囲に含まれる、請求項１に記載のカソード（２２，２２’）。
- Ｍ１およびＭ２とは異なる前記金属元素は、アルミニウム、銅、チタン、タンタル、ジルコニウム、ニオブ、モリブデン、ニッケル、希土類元素、ハフニウム、鉄、コバルト、バナジウムの中から選択される、請求項１に記載のカソード（２２，２２’）。
- 前記２つの金属元素Ｍ１およびＭ２はいずれも、チタン、タンタルおよびジルコニウムの中から選択される、請求項１に記載のカソード（２２，２２’）。
- 請求項１から４のいずれか一項に記載のカソード（２２，２２’）の少なくとも一対を能動的ポンピング要素として含むスパッタイオンポンプシステム（３）。
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