JP2019517003A - 表面検査システム及び表面検査方法 - Google Patents

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Abstract

本発明は、検査領域(20)内に存在するシート要素(4)の表面を検査する表面検査システム(10)に関し、表面検査システム10)は、画像評価ユニット(18)と、カメラ(12)と、暗視野照明(14)と、明視野照明(16)とを備え、画像評価ユニット(18)は、視野照明条件の下で取り込まれた線画像を暗視野照明条件の下で取り込まれた線画像から差し引くように構成される。さらに、本発明は、シート要素加工機を通過するシート要素(4)上の高反射表面の領域を識別する方法に関し、第1の視域(20)内のシート要素(4)の表面の線画像(I16)を、明視野照明条件の下で取り込み、視域(20)内のシート要素(4)の同じ表面の線画像(I14)を、暗視野照明条件の下で取り込み、次に、2つの線画像(I14、I16)を、比較し、詳細には互いから差し引き、表面は、2つの線画像(I14、I16)間の差(Sn)が予め定義された閾値を上回る場合には反射性と識別される。【選択図】図3

Description

本発明は、検査領域内に存在するシート要素の表面を検査する表面検査システムに関する。本発明は、シート要素加工機を通過するシート要素上の高反射表面の領域を識別する方法にさらに関する。本発明は、シート要素加工機における特に品質管理ステーションで実行することができる。
本明細書において「シート要素加工機」という用語は、紙、段ボール、又は類似の材料などのシート要素を加工するために使用される何らかの機械、特に、印刷機、コーティング機、ラミネート機、及び、加工機(例えば、裁断機、スタンピング機、折り畳み機、及び/又は糊付け機)を含むことが意図されている。
シート要素上では、高反射(光沢)表面は、存在する箔、ホログラム、ニス、又は同様の構造からの結果として存在することができる。多くの品質検査は、1つの要素の別の要素に対する位置の検査に基づくので、シート要素上の光沢面の位置を決定できることがいろいろな理由から望ましい。しかしながら、シート要素加工機を最大15m/sまでの速度で通過しているシート要素上の光沢面の位置を検出することは容易ではない。
従って、本出願の目的は、シート要素加工機を通過するシート要素上の光沢面の位置を確実に検出することを可能にするシステム及び方法を提供することである。
この目的を達成するために、本発明は、検査領域内に存在するシート要素の表面を検査する表面検査システムを提供し、表面検査システムは、画像評価ユニットと、カメラと、暗視野照明と、明視野照明とを備え、画像評価ユニットは、明視野照明条件の下で取り込まれた線画像を暗視野照明条件の下で取り込まれた線画像と比較するように構成される。この目的は、詳細には前記のシステムを使用してシート要素加工機を通過するシート要素上の高反射表面の領域を識別する方法でも達成され、第1の視域内のシート要素の表面の線画像を、明視野照明条件の下で取り込み、視域内のシート要素の同じ表面の線画像を、暗視野照明条件の下で取り込み、次に、2つの線画像を比較し、例えば互いから差し引き、表面は、2つの線画像の間の差が予め定義された閾値を上回る場合には反射性と識別される。
本発明は、一方でランバート拡散体(例えば、白紙)のような拡散反射面、他方で光沢面(例えば、箔、ホログラム又はニス)を照明したときに観察することができる反射の差を利用するという一般概念に基づく。照明が拡散反射面を照明した場合、カメラによって取り込まれる線画像の強度は、(ほとんど)同じである。照明が高反射表面を照明した場合、カメラによって見られる明視野照明から生じる光の強度は、暗視野照明から生じる光の強度よりもはるかに高い。この差は、高速で移動しているシート要素にてさえ比較的簡単に検出することができる。
カメラは、2Dカメラ(領域カメラ)とすることができる。しかしながら、処理されるデータ量に鑑みて、ラインカメラを使用することが好ましい。
カメラは好ましくはラインカメラであることに鑑みて、用語「線画像」は、以下では、カメラによって取り込まれた画像を参照するときに使用される。しかしながら、カメラがエリアカメラである場合、カメラによって取り込まれた線画像は、単一ラインのみではなく複数ラインから構成される。
好ましい実施形態によれば、暗視野照明は、対向して配置された2つの反射体を有する単一のLED列を含む。従って、暗視野照明は、暗視野照明によって照明される場合に何らか急な反射領域が明るく見えることを防止するために鏡面反射性でない光を提供する。
明視野照明は、平行に配置される複数のLED列を備える。様々なLED列が異なる光軸面に配置されるので、たとえ視域内のシート要素の表面が完全に平面でないとしても、鏡面に近い反射状態下で、カメラに向かって直接反射する光が常にある程度存在することになる。従って、明視野状態は、シート要素上の急勾配の領域に関しても維持される。
明視野照明の下で取り込まれた線画像は、カメラにおいて、暗視野照明から生じる光の強度が、拡散反射面を有するシート要素が検査される際に明視野照明から生じる光の強度と同じである場合、暗視野照明の下で取り込まれた線画像と簡単に比較することができる。線画像を互いから差し引くことで比較を行う場合、結果は、反射性ではない表面の部分ではゼロである。
好ましい実施形態において、暗視野照明の光軸面は、視域の配向に垂直である正中面に対してほぼ45°の角度で配置され、暗視野照明の光軸面は、視域の配向に垂直である正中面に対してほぼ30°の角度で配置され、カメラの観察面は、視域の配向に垂直である正中面に対してほぼ20°の角度で配置される。この構成は有効な結果をもたらすことが分かっている。
所望の精度を達成する目的で、シート要素上の光沢面の位置を決定する場合、カメラは、検査されるシート要素の表面で、0.05〜0.6mm、好ましくは0.3mm程度の範囲の解像度を有する。より高い解像度は一般的に可能であるが、解像度が高くなるほど結果的に分析すべきデータが増える。
シート要素上の光沢面の位置を決定するには、強度に関して2つの線画像を比較すれば十分である。
画像は、光沢面の位置上の正確な情報をx方向及びy方向の両方で取得するように線単位及び画素単位で比較することができる。
代替案として、再構成画像は、暗視野照明の下で取り込まれた線画像に基づいて作成され、再構成画像は、明視野照明条件の下で取り込まれた線画像に基づいて作成され、反射面は、これらの再構成画像を比較することによって識別される。この比較は、再構成画像全体に関して又は選択した部分だけに関して行うことができる。
シート要素は、15m/s程度の速度で表面検査システムに対して移動する。所望の精度でx方向の位置の決定を可能にするために、カメラは、毎秒10,000を超える線画像、好ましくは毎秒40,000を超える線画像を取り込むように構成されることが好ましい。
本発明は、添付図面に示されている好ましい実施形態を参照して以下に説明される。
シート要素加工機の品質管理ステーションに用いられる本発明による表面検査システムの概略的な側面図である。 図1の表面検査システムの概略的な上面図である。 図1の表面検査システムをより詳細に概略的に示す。 表面検査システムのカメラによって取り込まれた異なる線画像、及び線画像の比較結果を概略的に示す。 カメラによって取り込まれた異なる線画像を概略的に示す。 異なる照明条件下で取り込みされた線画像に基づいて再構築画像がどのように生成されるかを概略的に示す。
図1では、コンベヤテーブル3が示されているシート要素加工機に用いられる品質管理ステーション2が概略的に示されている。シート要素加工機は、矢印Aの方向に移送されているシート要素4を加工することができる。シート要素4は、紙、段ボール、プラスチック箔、又は類似の材料のシートとすること、又は長いウェブとすることができる。シート要素加工機は、印刷機、押印機、スタンピング、ラミネート機、折り畳機、糊付け機などを含むことができる。
品質管理ステーション2は、シート要素4の品質を管理するために使用される。特に、品質管理ステーション2は、シート要素4の表面上の「光沢部分」の位置を決定するために使用される。「光沢部分」は、高反射表面を有する部分である。このような光沢部分の例は、シート要素4上に存在するホログラム、箔、及び/又はニスである。
品質管理ステーションは、表面検査システム10を備える。表面検査システム10は、カメラ12、暗視野照明14、明視野照明16、及び画像評価ユニット18を備える。
カメラ12は、視域(対象ライン)20の線画像を取り込むようになっており、これは、シート要素加工機の幅全体にわたって方向Aに対して垂直に延びる。カメラは、視域内でシート要素4の表面に対して垂直な正中面Mに対して、約20°の角度で配置されている。
暗視野照明14は、視域20を照明するように構成される。暗視野照明14の光軸面は、正中面に対して約45°の角度で配置されている。
暗視野照明14は、一般に任意のタイプとすることができる。特定の実施形態では、暗視野照明14は、互いに隣接して配置されたLED列、及びLED列に沿って向かい合って配置された2つの反射体を備える。このタイプの照明は、高さ変動にもかかわらず一定の強度で視域20内のシート要素4の表面を照明するために使用することができる。
また、明視野照明16は、視域20を照明するように構成される。明視野照明16の光軸面は、正中面に対してほぼ30°の角度で配置されている。
明視野照明16は、一般に任意のタイプとすることができる。特定の実施形態では、明視野照明16は、互いに隣接して配置された複数の平行なLED列を備え、各LED列は、視域20を照明するように構成される。このタイプの照明は、視域20に対して光を異なる方向に向かわせる様々な用途で使用することができる。
さらに、拡散器は、均一な明視野照明にするために、視域20から見た場合に均一な放射輝度を保証するよう使用することができる。
照明14が暗視野照明として使用される点に鑑みて、照明14は、正中面Mのカメラ12と同じ側に配置されている。しかしながら、照明16は、明視野照明として使用されているので正中面Mの反対側に配置されている。特定の状況によっては、様々なLED列のうちの1つだけを、すなわち正中面Mに対してほぼ20°の角度で傾斜した光軸面を有する照明を使用することができ、換言すると、カメラ12がシート要素4の表面上の鏡面反射状態の下で見ることができるのはLED列である。代替案として、明視野照明16の複数のLED列が使用され、LED列の一部の光軸面は、カメラ12が正中面Mに対して配置される角度とは異なる角度で傾斜する。
重要な点は、本明細書では、暗視野照明14及び明視野照明16の出力は、シート要素4の拡散反射面からカメラ12に反射される光の強度が両方の照明に関して同じであるように設定又は制御される点である。換言すると、明視野照明16から生じて、視域20内のシート要素4の拡散反射面上で反射し、その後、カメラ12によって受光される光の強度は、暗視野照明14から生じて、視域20内でシート要素4の拡散反射面上で反射し、その後、カメラ12によって受光される光の強度と同じである。
拡散反射面は、紙又は段ボールとすることができる。
品質検査ステーション2を通過したシート要素の表面を検査するために、照明14、16は、交互に作動され、カメラ12は、各照射状況に関する線画像を取り込む。これらの線画像は、画像評価ユニット18によって評価される。詳細には、線画像は、互いから差し引くことができる。
図4を参照してシート要素4上の光沢面部の位置を決定する方法を説明するが、これは本発明の画像評価の根本的な基本原理を理解するのを助ける。
図4の上半分には、カメラ12によって取り込まれる線画像が概略的に示されている。この例において、各線画像は、12ピクセルの幅で示されている。実際には、視域20の幅全体をカバーする線画像は、通常、カメラ12がシート要素の表面の高さの視域において0.05mm〜0.3mm、好ましくは0.1mm程度の解像度を有するので、数千〜数万画素から構成されることになる。
本明細書において、線画像はペアで取り込まれ、第1の線画像I14は、暗視野照明14によって暗視野照明の下で取り込まれ、線画像I16は、明視野照明16によって明視野照明の下で取り込まれる。明らかに逆も可能である。
線画像が取り込まれる最大速度は、照明14、16をオンオフすることができる速度に左右される。最大80kHzの速度が可能である。従って、カメラ12は、毎秒80,000の線画像を取り込む。
線画像I14、I16の第1のペアは、拡散反射の視域20内の表面から取り込まれる。両方の照明の出力は、結果的にカメラ12において同じ強度となるように調節したので、両方の線画像は同じである。本明細書では、このことは、取り込まれた光の低輝度を意味する、線画像の「空」の画素によって示される。
図4の下半分には、画像評価ユニット18によって実行される画像評価の結果が示されている。本明細書では、線画像は、互いから差し引かれる。線画像が全く同じので、差し引きした結果は、各画素に関してゼロである。本明細書では、このことは差し引かれた画像S1内の「空」の画素によって示される。
線画像I14、I16の第2のペアは、視域20内の表面から取り込まれ、視域20内の表面は、幅の大部分では拡散反射するが、本明細書では高反射部分、例えば4ピクセル幅の型打ちされた金属箔を有する。その結果、カメラ12は、暗視野照明14で照明される場合、光がカメラから遠くに反射されるので、以前よりもさらに低い強度を取り込む。従って、線画像I14の画素は「空」である。しかしながら、カメラ12は、明視野照明16で照明される場合、光の少なくとも一部が直接カメラに向かって反射するので、高い強度を取り込む。従って、型打ちされた金属箔が光を反射する4つの画素は、高い強度を表すために「黒」で示されている。
2つの線画像を互いから差し引いた場合、拡散反射の下で照明された画素は同様にゼロである。しかしながら、ホログラム領域内の画素については、差し引くと、高い値となる(2つの線画像が互いから差し引かれる順番よってプラス又はマイナス)。この高い値は、差し引かれた画像S2では「黒」画素によって示されている。
線画像I14、I16の第3のペアに関して、状況は、以前と同じであり、本明細書では型打ちされた金属箔が視域を完全に通過していないと想定される。
線画像I14、I16の第4のペアは、ホログラムが完全に視域20を通過した状況に対応し、シート要素4は、視域20内で拡散反射面を有する。従って、両方の取り込まれた線画像の強度は全く同じであり、差し引いた結果は、全ての画素についてゼロである。
従って、視域20を通過するシート要素上のどこに光沢面部が存在するかを決定することが可能である(x方向及びy方向の両方で)。
用語「拡散反射の下で同じ強度」は、数学的な意味で理解ができないことを理解することができる。許容差に起因して強度は変動することになり、また、強度は、照明される特定の拡散反射面に伴って変化することになる。従って、「同じ強度」は、照明14、16から生じて拡散反射面上で反射した光の強度が特定の閾値を下回ることを意味し、この特定の閾値は、明視野照明16から生じて光沢面から反射した光の強度がこの閾値を上回るように選択される。閾値は、検査表面に応じて選択することができる。一例として、<1%の強度差は、ニス+箔に関して選択することができるが、<10%の強度差は、箔のみに関して選択することができる。
異なる閾値は、LEDの出力を調整することによって又は取り込んだ線画像に適用される係数を調整することによって実装することができる。
取り込んだ線画像をグレイスケール強度に関して分析すること、及び画像評価ユニットを用いて差し引かれた画像で構成された画像をグレイスケール強度の急変に関して分析することも可能である。
図4に基づいて、明視野照明の下で取得した線画像及び暗視野照明の下で取得した線画像を線単位で比較することを説明した。実際には、異なる照射条件の下で取り込んだインターレース線画像から、再構成されたBFI画像(明視野照明の下で取り込まれた線画像で構成される再構成画像)、及び再構成されたDFI画像(暗視野照明の下で取り込まれた線画像で構成される再構成画像)を生成することができ、これらの画像は、画像評価ユニットによって分析されることになる。
図5は、カメラによって取り込まれたインターレース線画像I14(実線で示す)及びI16(点線で示す)を概略的に示す。本明細書では、各照射条件の線画像の10個のみが示されている。実際には、各シート要素4に関して数千個の線画像I14、I16が取り込まれる。1つのシート要素4に関して、4,000の線画像I14及び4,000の線画像I16が取り込まれ、カメラ12は、毎秒80,000の線画像を取り込むことができると想定すると、毎秒10枚のシート要素4を処理することができる。
図6は、再構成DFI画像40がどのように線画像I14から再構成されるか、及び再構成BFI画像50がどのように線画像I16から再構成されるかを概略的に示す。
本明細書で説明されかつ図5に示す3以上の照明条件下(BFI及びDFI)でカメラ12が線画像を取り込む場合、カメラ12によって取り込まれたデータは、3又は4以上のタイプのインターレース線画像で構成されることになり、3又は4以上の再構成画像(各照明条件について1つ)が再構成されることになる。
画像評価ユニット18は、対象要素を検出するために再構成画像40、50を(完全に、又は対象の部分において)処理する。本明細書では、再構成画像40、50は、反射面部分を識別するために比較される。
正中面Mに垂直ではないシート要素4の表面の部分は、閾値を超えるような強度でカメラに向かって反射される光をもたらす。これによって、x方向の寸法に起因して画像評価ユニット18によって識別することができる、正しくない読取り値(アーチファクト)がもたらされ、アーチファクトは、高反射表面を有する表面の部分の通常の長さを下回る長さである。
表面検査システム10は較正することができる。これは、幅広標的を視域20内に配置するか、又はより小さい標的を視域20の幅全体に沿って移動させることで行うことができる。
加えて、視域20の幅に沿って標的上に同じ信号を提供するために、各照明に沿って調整されたレベルで各LED又は各LEDグループを作動させる。
較正は、LEDの動作出力を調整するために、又は取り込まれた線画像に適用される係数を適切に設定するために使用される。

Claims (16)

  1. 検査領域内に存在するシート要素の表面を検査する表面検査システム(10)であって、
    画像評価ユニット(18)と、
    カメラ(12)と、
    暗視野照明(14)と、
    明視野照明(16)と、を備え、
    前記画像評価ユニット(18)は、明視野照明条件の下で取り込まれた線画像を暗視野照明条件の下で取り込まれた線画像から差し引くように構成される、
    ことを特徴とする表面検査システム。
  2. 前記カメラ(12)は、ラインカメラである、
    請求項1に記載の表面検査システム。
  3. 前記暗視野照明(14)は、対向して配置された2つの反射体を有する単一のLED列を備える、
    請求項1又は2に記載の表面検査システム。
  4. 前記明視野照明(16)は、平行に配置される複数のLED列を備える、
    請求項1ないし3のいずれか1項に記載の表面検査システム。
  5. 前記カメラ(12)において、前記暗視野照明(14)から生じる前記光の強度は、拡散反射面を有するシート要素(4)が検査される場合、前記明視野照明(16)から生じる前記光の強度と同じである、
    請求項1ないし4のいずれか1項に記載の表面検査システム。
  6. 前記暗視野照明(14)の光軸面は、前記視域(20)の配向に垂直である正中面に対してほぼ45°の角度で配置される、
    請求項1ないし5のいずれか1項に記載の表面検査システム。
  7. 前記暗視野照明(16)の光軸面は、前記視域(20)の配向に垂直な正中面(M)に対してほぼ30°の角度で配置される、
    請求項1ないし6のいずれか1項に記載の表面検査システム。
  8. 前記カメラ(12)の観察面は、前記視域(20)の配向に垂直な正中面(M)に対してほぼ20°の角度で配置される、
    請求項1ないし7のいずれか1項に記載の表面検査システム。
  9. 前記カメラ(12)は、検査される前記シート要素(4)の前記表面で、0.1〜0.6mm、好ましくは0.3mm程度の範囲の解像度を有する、
    請求項1ないし8のいずれか1項に記載の表面検査システム。
  10. 詳細には請求項1ないし9のいずれか1項に記載のシステムを使用してシート要素加工機を通過するシート要素上の高反射表面の領域を識別する方法であって、最初に、前記視域(20)内の前記シート要素(4)の前記表面の線画像(I16)を、明視野照明条件の下で取り込み、前記視域(20)内の前記シート要素(4)の同じ表面の線画像(I14)を、暗視野照明条件の下で取り込み、次に、前記2つの線画像(I14、I16)を比較し、例えば、互いから差し引くことを含み、
    前記表面は、前記2つの線画像(I14、I16)間の差(Sn)が予め定義された閾値を上回る場合に反射性と識別される、
    ことを特徴とする方法。
  11. 前記2つの線画像(I14、I16)を強度に関して比較する、
    請求項10に記載の方法。
  12. 前記線画像(I14、I16)を画素単位で比較する、
    請求項10又は11に記載の方法。
  13. 再構成画像を、暗視野照明の下で取り込まれた前記線画像に基づいて生成し、再構成画像を、明視野照明条件の下で取り込まれた前記線画像に基づいて生成し、反射面を、前記再構成画像を比較することによって識別する、
    請求項10ないし12のいずれか1項に記載の方法。
  14. 前記カメラ(12)は、毎秒10,000を超える線画像、好ましくは毎秒20,000を超える線画像を取り込むようになっている、
    請求項10ないし13のいずれか1項に記載の方法。
  15. 前記シート要素(4)は、5〜15m/s程度の速度で前記表面検査システム(10)に対して移動される、
    請求項10ないし14のいずれか1項に記載の方法。
  16. 前記検査されたシート要素(4)は、反射面を少なくとも部分的に有する、
    請求項10ないし15のいずれか1項に記載の方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021179366A (ja) * 2020-05-14 2021-11-18 コニカミノルタ株式会社 画像検査装置、画像形成システム、画像検査方法、および画像検査プログラム

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108445008A (zh) * 2018-02-27 2018-08-24 首钢京唐钢铁联合有限责任公司 一种带钢表面缺陷的检测方法
JP2020094879A (ja) * 2018-12-11 2020-06-18 コニカミノルタ株式会社 加飾印刷検査装置、加飾印刷検査システム、加飾印刷検査方法、及び、プログラム
CN113507847B (zh) 2019-03-05 2023-01-20 菲利普莫里斯生产公司 检查台和用于检查片材材料的方法
DE102019107174B4 (de) * 2019-03-20 2020-12-24 Thyssenkrupp Rasselstein Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion der Oberfläche eines sich bewegenden Bands
DE102022208364A1 (de) * 2022-08-11 2024-02-22 Bhs Corrugated Maschinen- Und Anlagenbau Gmbh Wellpappenanlage sowie Verfahren zur Überwachung einer Wellpappenanlage
DE102022125409A1 (de) * 2022-09-30 2024-04-04 Cruse Technologies Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Aufnahme mehrerer Abbildungen eines Objekts mit unterschiedlichen Beleuchtungskonfigurationen

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5087822A (en) * 1990-06-22 1992-02-11 Alcan International Limited Illumination system with incident beams from near and far dark field for high speed surface inspection of rolled aluminum sheet
EP0898163A1 (en) * 1997-08-22 1999-02-24 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung Der Angewandten Forschung E.V. Method and apparatus for automatic inspection of moving surfaces
JP2000241362A (ja) * 1999-02-18 2000-09-08 Spectra Physics Visiontech Oy 表面品質検査装置及びその方法
US20080245979A1 (en) * 2007-04-06 2008-10-09 Xerox Corporation Gloss and differential gloss measuring system
JP2012002601A (ja) * 2010-06-15 2012-01-05 Ricoh Co Ltd 画像検査装置、画像検査方法、及び画像形成装置
JP2012042297A (ja) * 2010-08-18 2012-03-01 Kurabo Ind Ltd 撮像光学検査装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020054291A1 (en) * 1997-06-27 2002-05-09 Tsai Bin-Ming Benjamin Inspection system simultaneously utilizing monochromatic darkfield and broadband brightfield illumination sources
JP2000249660A (ja) 1999-02-26 2000-09-14 Idemitsu Petrochem Co Ltd 表面検査装置および表面検査方法
CA2365879C (en) * 1999-03-18 2009-11-24 Nkk Corporation Method for marking defect and device therefor
JP3810599B2 (ja) 1999-11-11 2006-08-16 株式会社リコー 欠陥検出装置
GB0606217D0 (en) * 2006-03-29 2006-05-10 Pilkington Plc Glazing inspection
CN103486539B (zh) * 2013-09-06 2016-09-14 广州市胜亚灯具制造有限公司 一种反光器
CN104897693A (zh) 2015-06-12 2015-09-09 武汉中导光电设备有限公司 一种玻璃表面缺陷增强装置及其检测方法

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5087822A (en) * 1990-06-22 1992-02-11 Alcan International Limited Illumination system with incident beams from near and far dark field for high speed surface inspection of rolled aluminum sheet
EP0898163A1 (en) * 1997-08-22 1999-02-24 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung Der Angewandten Forschung E.V. Method and apparatus for automatic inspection of moving surfaces
WO1999010730A1 (en) * 1997-08-22 1999-03-04 Spectra-Physics Visiontech Oy Method and apparatus for automatic inspection of moving surfaces
US6166393A (en) * 1997-08-22 2000-12-26 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Method and apparatus for automatic inspection of moving surfaces
JP2001514386A (ja) * 1997-08-22 2001-09-11 スペクトラ−フィジックス・ビジョンテック・オイ 移動表面の自動的な検査のための方法及び装置
JP2000241362A (ja) * 1999-02-18 2000-09-08 Spectra Physics Visiontech Oy 表面品質検査装置及びその方法
US20080245979A1 (en) * 2007-04-06 2008-10-09 Xerox Corporation Gloss and differential gloss measuring system
JP2008256691A (ja) * 2007-04-06 2008-10-23 Xerox Corp 光沢又は光沢差等の表面特性の測定システム
JP2012002601A (ja) * 2010-06-15 2012-01-05 Ricoh Co Ltd 画像検査装置、画像検査方法、及び画像形成装置
JP2012042297A (ja) * 2010-08-18 2012-03-01 Kurabo Ind Ltd 撮像光学検査装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021179366A (ja) * 2020-05-14 2021-11-18 コニカミノルタ株式会社 画像検査装置、画像形成システム、画像検査方法、および画像検査プログラム
JP7476658B2 (ja) 2020-05-14 2024-05-01 コニカミノルタ株式会社 画像検査装置、画像形成システム、画像検査方法、および画像検査プログラム

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