JP2019209262A - クリーニング装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 多様な部品のクリーニングに使用可能でかつ安定した精度でのクリーニングが可能なクリーニング装置を提供する。【解決手段】 一実施形態によるクリーニング装置は、第１軸および第２軸に沿って移動できるステージと、アームとを備える。アームは、気体を噴射する噴射ノズルと気体を吸引する吸引ノズルとを有し、噴射ノズルの位置および向きの少なくとも一方を変えられるとともに変えられた状態で維持でき、吸引ノズルの位置および向きの少なくとも一方を変えられるとともに変えられた状態で維持できる。アームは、噴射ノズルと吸引ノズルとの相対的な位置、噴射ノズルの向き、および吸引ノズルの向きの少なくとも１つを維持したままで噴射ノズルおよび吸引ノズルをステージの上方で移動できる。【選択図】 図３

Description

実施形態は、概してクリーニング装置に関し、より詳細には、多様な半導体製品や部品の、安定した精度で実施可能なクリーニングに関する。

ある種の装置は、極めて高度に清浄な状態であることが必要な場合がある。そのような装置は、半導体メモリやＩＣ（integrated circuit）チップ等の半導体製品の製造に用いられる装置を含む。半導体製品の作成にはｎｍオーダーの精度が要求され、日常では問題にならなかったり、人間の目には見えなかったりするようなパーティクル（微粒子）ですら半導体製品に付着するだけで、歩留りを大きく低下させる要因となる。微細な寸法の要素の形成が、パーティクルによって妨げられ得るからである。

このように高い清浄度を要求する半導体製品の製造に使用される道具および（または）部品もまた、高度に清浄な状態、すなわち可能な限り付着しているパーティクルが少ない必要がある。そのような道具および部品はマスクを含む。マスクは、半導体製品へと加工されている最中である処理基板をエッチングするために使用される。処理基板の導電体または絶縁体をエッチングするために、処理基板上にマスクが置かれる。このため、マスクも高度に清浄である必要がある。

さらに、マスクを製造する装置もまた、同じ理由で高い清浄度を有している必要がある。道具や部品に付着していたパーティクルが、マスクの製造中にマスクに付着し得るからである。マスクの製造装置もまた高い清浄度を有する必要がある。そのためには、マスク製造装置の部品が高度に清浄である必要がある。部品は、クリーニングされた後に装置に搭載される。

特許第３９２０２１６号公報 特許第５４２９８６６号公報 特許第４１９１４３９号公報 特許第３９７０７４９号公報

従来、マスク製造装置の部品のクリーニングは人手で行われてきた。しかしながら、パーティクルは、部品の製造の際に不可避的に発生し、部品に付着しやすく、部品のクリーニングにかかる時間が近時、増加している。特に、半導体製品の微細化が進むにつれ、許容されないパーティクルのサイズも小さくなっており、部品のクリーニングに要する時間が増加している。さらに、人手によるクリーニングでは、作業者に依存してクリーニングの仕上がりがばらつき得、その結果、クリーニングの精度がばらつき得る。例えば、ある人は汚れがちな個所を念入りにクリーニングし、別の人はそのようなクリーニングを行わないかもしれない。

パーティクルの除去は、液体による超音波洗浄および（または）高圧気体を部品に吹き付けることによるクリーニングなどにより行われるのが一般的である。超音波洗浄は、クリーニング液が部品上で意図せずに残存し、残存したクリーニング液から生じるガスに対する懸念を残す。このため、特にマスク製造装置の中で真空状態の形成に関する部分の部品を超音波でクリーニングすることは最低限に限られる。

このため、高圧気体の噴射が多く使用される。噴射によるクリーニングを自動で行う装置が知られている。例えば、気体の噴射口と吸引口を一体化したパーツを含む装置や、独立した噴射口および吸引口を含んだシステムなどが知られている。しかしながら、いずれもの装置およびシステムでも、噴射口と吸引口の位置の設定および調整が十分にできず、クリーニングすることが可能な部品に制限が課されたり、調整が煩雑であったりする。

そこで、多様な部品のクリーニングに使用可能でかつ安定した精度でのクリーニングが可能なクリーニング装置が望まれる。

一実施形態によるクリーニング装置は、第１軸および第２軸に沿って移動できるステージと、アームとを備える。アームは、気体を噴射する噴射ノズルと気体を吸引する吸引ノズルとを有し、上記噴射ノズルの位置および向きの少なくとも一方を変えられるとともに変えられた状態で維持でき、上記吸引ノズルの位置および向きの少なくとも一方を変えられるとともに変えられた状態で維持できる。アームは、上記噴射ノズルと上記吸引ノズルとの相対的な位置、上記噴射ノズルの向き、および上記吸引ノズルの向きの少なくとも１つを維持したままで上記噴射ノズルおよび上記吸引ノズルを上記ステージの上方で移動できる。

多様な部品のクリーニングに使用可能でかつ安定した精度でのクリーニングが可能なクリーニング装置を提供できる。

第１実施形態のクリーニング装置の構造を模式的に透過的に示す。 第１実施形態のクリーニング装置の一部の構造を模式的に示す。 第１実施形態の多軸ロボットの一状態を模式的に示す。 第１実施形態の多軸ロボットの一状態を模式的に示す。 第１実施形態の多軸ロボットの一状態を模式的に示す。 第１実施形態の多軸ロボットの一状態を模式的に示す。 第１実施形態の多軸ロボットの一状態を模式的に示す。 第１実施形態の一クリーニング条件を示す。 第１実施形態のクリーニング装置の一部のクリーニング中の一状態を示す。 第１実施形態のクリーニング装置の動作のフローを示す。 第１実施形態のいくつかのクリーニング対象物のために選択されたクリーニング条件および判断条件の組を示す。 第１実施形態でのいくつかのデータの例を示す。 第２実施形態のクリーニング装置の構造の一部を模式的に示す。 第２実施形態のクリーニング装置の一部のクリーニング中の状態を示す。 第３実施形態のクリーニング装置の構造の一部を模式的に示す。 第３実施形態の吸引ノズルの一部および噴射ノズルの構造を模式的に示す。 第４実施形態のクリーニング装置の構造の一部を模式的に示す。 第４実施形態のクリーニング装置の構造の一部を模式的に示す。

以下に実施形態が図面を参照して記述される。以下の記述において、略同一の機能および構成を有する構成要素は同一符号を付され、繰り返しの説明は省略される場合がある。また、ある実施形態についての記述は全て、明示的にまたは自明的に排除されない限り、別の実施形態の記述としても当てはまる。

（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係るクリーニング装置の構造を模式的に透過的に示す。図１に示されるように、クリーニング装置１は、複数のフレーム１１を有する。フレーム１１は、クリーニング装置１の筐体の枠組みを構成する。いくつかの組のフレームの間には、フレームとのフレームの間を埋めるプレートが設けられているが、図１ではプレートは省略されている。

いくつかのフレーム１１（およびそれらフレームの間の図示せぬプレート）は、クリーニング室１２の空間を形成する。すなわち、クリーニング装置１は、クリーニング室１２を有する。クリーニング室１２は、閉じた空間として形成されており、クリーニング室１２には扉１３が取り付けられている。クリーニング室１２は、扉１３を介してアクセスされることができ、
クリーニング装置１は、パーティクルカウンタ１５を有する。パーティクルカウンタ１５は、いくつかのフレーム１１に囲まれた空間の内部に位置し、例えば、フレーム１１に接続された棚板（図示せず）の上に設置される。パーティクルカウンタ１５は、クリーニングによって、クリーニング対象の物体（クリーニング対象物）から離脱したパーティクルをカウントする。パーティクルカウンタ１５は、種々の相違する大きさごとに、受け取られたパーティクルを逐次カウントする。

クリーニング装置１は、クリーニング室１２中において、多軸ロボット１６および多軸ステージ１７を有する。多軸ステージ１７は、クリーニング対象物を把持し、クリーニング対象物を複数の軸のそれぞれに沿って移動させることができる。多軸ロボット１６は、複数の軸に沿って移動でき、複数の軸を基準として動くことができ、噴射された気体を使用してクリーニング対象物をクリーニングする。

クリーニング装置１は、制御装置１９を有する。制御装置１９は、例えば、いくつかのフレーム１１に取り付けられており、クリーニング装置１の外側において、フレームに取り付けられている。制御装置１９は、多軸ロボット１６よび多軸ステージ１７の動作を制御し、クリーニング装置１の全体の動作を制御する。制御装置１９は、パーティクルカウンタ１５から、パーティクルカウンタ１５によるカウントの結果を示す信号を受け取る。

図２は、第１実施形態のクリーニング装置１の一部の構造を模式的に示す。特に、図２は、クリーニング室１２中の構造を示し、かつ、クリーニング室１２の外側のいくつかの要素を機能ブロックにより示す。

図２に示されるように、制御装置１９は、例えば、ＣＰＵ（central processor）１９１、ＲＯＭ（read only memory）１９２、ＲＡＭ（random access memory）１９３、入力装置１９４、および出力装置１９５を含む。ＲＯＭ１９２は、ファームウェア（プログラム）を含む種々のデータを格納している。ＲＡＭ１９３は、種々のデータを一時的に保持し、データを不揮発に保持することもできる。クリーニング装置１が電源オンしている間、ＲＯＭ１９２に格納されているファームウェアがＲＡＭ１９３上にロードされ、ファームウェアがＣＰＵ１９１によって実行されることによって、制御装置１９は種々の動作を実行する。入力装置１９４は、例えば、タッチパネルおよび（または）文字および数値を入力できるキーボードである。出力装置１９５はディスプレイである。タッチパネルとディスプレイが一体化されていてもよい。

多軸ロボット１６は、台座２１、支柱２２、梁２３、第１可動部２４、およびロボットアーム２５を含む。図２は、多軸ロボット１６の初期状態を示す。

台座２１は、クリーニング室１２中のｘｙ面に沿う床上に位置し、ｘｙ面に沿う上面２７を有する。支柱２２は、台座２１の上面２７の一端の近傍において、台座２１の上面２７に接続されているか、台座２１の上面２７と一体に形成されている。支柱２２は、ｚ軸に沿って延びる。支柱２２はまた、梁２３の一端と接続されているか、梁２３の一端と一体に形成されている。

台座２１の上面２７上に、多軸ステージ１７が位置している。多軸ステージ１７は、台座３１、およびステージ３２を含む。ステージ３２は、ｘｙ面に沿った上面を含み、ステージ３２の上面上にクリーニング対象物３４が載置される。多軸ステージ１７は、ステージ３２のｘ軸上での位置およびｙ軸上での位置を任意に変化させることができる。よって、多軸ステージ１７は、ステージ３２のｘ軸上およびｙ軸上での位置を変化させることによりステージ３２をｘｙ面内の任意の位置へと移動させることができ、またステージ３２を移動させた位置に維持することができる。多軸ステージ１７は、制御装置１９の制御に従って、ステージ３２を移動させる。

梁２３は、ｘｙ面に沿って広がり、梁２３の他端は、台座２１の上面２７の上方において広がっている。よって、台座２１の上面２７と梁２３との間に、ｘ軸、ｙ軸、ｚ軸に沿って広がる空間２８が形成されている。この空間２８中に、ロボットアーム２５、多軸ステージ１７が位置する。

第１可動部２４は、ｚ軸に沿って延び、ロボットアーム２５を把持する。第１可動部２４は、種々の形での移動が可能であり、自身の移動に伴ってロボットアーム２５を種々の形で移動させることができる。以下に、ロボットアーム２５の移動の方法の一例が記述されるが、第１可動部２４の移動の方法は、以下の例に限られない。

第１可動部２４は、制御装置１９の制御に従ってｘｙ面内で移動し、移動した位置で静止することができる。第１可動部２４はさらに、制御装置１９の制御に従って、ｚ軸に沿って移動することができ、移動した位置で静止することができる。したがって、第１可動部２４のｘ軸、および（または）ｙ軸、および（または）ｚ軸に沿う移動に伴い、ロボットアーム２５は、空間２８内をｘ軸、および（または）ｙ軸、および（または）ｚ軸に沿って移動し、移動した位置で静止することができる。

第１可動部２４は、第１ロッド３５を有する。第１ロッド３５は、直線の形状を有し、ある軸（Ａ軸と称される）に沿って延び、第１端において第１可動部２４の中で移動可能に位置し、第２端において第１可動部２４の外側に位置する。Ａ軸は例えばｚ軸に沿う。第１ロッド３５は、第２端において、ロボットアーム２５を、ロボットアーム２５の状態を維持したまま、空間２８中において把持する。第１ロッド３５は、制御装置１９の制御に従って、Ａ軸を中心に回転することができる。第１ロッド３５は、例えば、Ａ軸を中心に０〜３６０°の範囲で回転することができ、回転した位置で静止することができる。よって、ロボットアーム２５は、空間２８内を、Ａ軸を中心に回転することができる。第１可動部２４の移動および第１ロッド３５の回転の例は、後に図を参照して、より具体的に記述される。

ロボットアーム２５は、保持部４１、第２可動部４２、第３可動部４３、第２ロッド４４、第３ロッド４５、噴射ノズル４７、および吸引ノズル４８を含む。

保持部４１は、上端において第１ロッド３５の第２端と固定された状態で接続されている。保持部４１は、ステージ３２と面する下面５１を有する。下面５１は、ｘｙ面に沿って広がる。保持部４１は、下面５１において、第２可動部４２と面する。第２可動部４２は、保持部４１の下面５１に沿って、ｘｙ面に沿って移動することができる。保持部４１はまた、第３可動部４３と面する。第３可動部４３は、保持部４１の下面５１に沿って、ｘｙ面に沿って移動することができる。第２可動部４２および第３可動部４３は、制御装置１９の制御に従って移動し、互いに独立して移動でき、移動が終了したときの位置で静止することができる。第２可動部４２および第３可動部４３は、初期位置において、下面５１の中心を通る線に沿って隣接している。第２可動部４２および第３可動部４３の移動の例は、後に図を参照して、より具体的に記述される。

第２ロッド４４は、直線の形状を有し、第１端において第２可動部４２の中に位置し、第２可動部４２から離れる方向に沿って延び、第２端において第２可動部４２の外側に位置する。第２可動部４２は、第２ロッド４４が延びる方向に沿う軸（Ｂ軸と称される）を中心に回転することができ、回転が終了したときの状態で静止することができる。第２ロッド４４はまた、第１端を中心として、所定の角度に亘って回ることができ、回りが終了したときの状態で静止することができる。第２可動部４２は、制御装置１９の制御に従って回転するとともに回り、例えば第２可動部４２中の機構により駆動される。第２ロッド４４の回転および回りの例は、後に図を参照して、より具体的に記述される。

第３ロッド４５は、直線の形状を有し、第１端において第３可動部４３の中に位置し、第３可動部４３から離れる方向に沿って延び、第２端において第３可動部４３の外側に位置する。第３可動部４３は、第３ロッド４５が伸びる方向に沿う軸（Ｃ軸と称される）を中心に回転することができ、回転が終了したときの状態で静止することができる。第３ロッド４５はまた、第１端を中心として、所定の角度に亘って回ることができ、回りが終了したときの状態で静止することができる。第３可動部４３は、制御装置１９の制御に従って回転するとともに回り、例えば第３可動部４３中の機構により駆動される。第３ロッド４５の回転および回りの例は、後に図を参照して、より具体的に記述される。

噴射ノズル４７は、第２ロッド４４により把持され、内部空間を有し、第２ロッド４４と反対側の先端において開口５３を有する。開口５３は、噴射ノズル４７が伸びる方向と交わる面、例えば噴射ノズル４７が伸びる方向に垂直な面に広がる。噴射ノズル４７の内部空間は、開口５３を介して噴射ノズル４７の外部の空間に接続されており、チューブ５４の第１端と接続されている。チューブ５４は、第２端より例えば制御装置１９から高圧で気体を供給され、噴射ノズル４７は、供給された高圧気体を開口５３から噴射ノズル４７の外側へと噴射する。噴射された高圧気体により、開口５３の前面に、開口５３から離れる方向に向かう気流が形成される。高圧気体は、クリーニング対象物３４に噴射されることを意図されている。制御装置１９は、予め定められたまたは設定された期間に亘って、予め定められたまたは設定されたタイミングで、予め定められたまたは設定された強度で高圧気体を噴射ノズル４７に供給する。こうして、制御装置１９の制御に従った強度、タイミング、期間で、噴射ノズル４７の開口５３から高圧気体が噴射される。噴射ノズル４７は、第２ロッド４４が初期状態にあるときに、例えばｚ軸が伸びる方向から２２５°の方向に延びる。

上記のように、噴射ノズル４７は、第２ロッド４４により把持されているとともにクリーニング対象物３４に高圧気体を噴射することを意図されている。よって、噴射ノズル４７が想定される種々の形状のクリーニング対象物３４に意図されるような形態で高圧気体を噴射できるように、第２ロッド４４の回転できる範囲、回れる範囲、ならびに噴射ノズル４７（特に開口５３）の向きが決定される。したがって、第２ロッド４４の形状および回転できる範囲ならびに回れる範囲は、噴射ノズル４７が想定される種々の形状のクリーニング対象物３４に意図されるような形態で高圧気体を噴射できる限り、図２および上記されたものに限られない。図２および上記された特徴は、例示に過ぎない。

吸引ノズル４８は、第３ロッド４５によって把持され、内部空間を有し、パイプ４８１、および開口５６を有する。吸引ノズル４８は、開口５６の前方の領域、特に開口５６の正面の領域の気体および物体（パーティクル）を開口５６から吸引することができる。吸引により、開口５６の前面に、吸引ノズル４８の内部空間に向かう気流が形成される。吸引ノズル４８は、開口５６の前面の気体を吸い込むことにより、噴射ノズル４７からの噴射によってクリーニング対象物３４から離脱して、気流に乗ったパーティクルを吸い込むことを意図されている。吸引ノズル４８は、制御装置１９の制御に従って、予め定められたまたは設定された期間に亘って、予め定められたまたは設定されたタイミングで、予め定められたまたは設定された強度で気体を吸引することができる。開口５６は、吸引ノズル４８からの高圧気体による噴射によって移動した気体およびパーティクルを開口５６内で受け取れるような形状を有している。そのために、例えば、開口５６は、噴射ノズル４７の開口５３より大きい面積を有し、開口５３の直径より大きい直径を有し、開口５３の高さよりも高い高さを有する。

吸引ノズル４８の内部空間は、パイプ４８１の内部と接続されている。パイプ４８１の内部は、チューブ５７を介してパーティクルカウンタ１５に接続されている。吸引ノズル４８によって吸い込まれた気体およびパーティクルは、チューブ５７内を通ってパーティクルカウンタ１５に到達する。

上記のように、吸引ノズル４８は、第３ロッド４５により把持されているとともに噴射ノズル４７による気体の噴射によってクリーニング対象物３４から離脱して気流に乗ったーティクルを吸い込むことを意図されている。よって、吸引ノズル４８の（特に開口５６）の形状および向きは、吸引ノズル４８が噴射ノズル４７の（特に開口５３）の形状および噴射の強度に基づいて種々の形でクリーニング対象物３４から離脱するパーティクルを、できるだけ多く、望ましくは全て吸い込むことができるように、決定される。したがって、吸引ノズル４８の形状（特に開口５３の面積）、および第３ロッド４５の回転できる範囲ならびに回れる範囲は、吸引ノズル４８が種々の形でクリーニング対象物３４から離脱したパーティクルを、できるだけ多く、望ましくは全て吸い込むことができる限り、図２および上記されたものに限られない。図２および上記された特徴は、例示に過ぎない。

クリーニング装置１の動作開始のときの多軸ロボット１６の初期状態において、第１可動部２４、第１ロッド３５、第２可動部４２、第３可動部４３、第２ロッド４４、および第３ロッド４５の状態、すなわち初期状態は、以下のようになっている（図２を参照）。ロボットアーム２５は、ステージ３２の中心の真上に位置し、噴射ノズル４７および吸引ノズル４８はｘ軸に沿って並んでいるとともに、ステージ３２上のクリーニング対象物３４から離れている。また、第２可動部４２および第３可動部４３は保持部４１の下面５１の中心において密接して向き合っている。さらに、第２ロッド４４は、ｚ軸の延びる方向から約１３５°の方向を向いており、噴射ノズル４７の開口５３は、ステージ３２の上面の方を向いている。第３ロッド４５は、ｚ軸の延びる方向から約２２５°の方向を向いており、吸引ノズル４８の開口５６は、ステージ３２の上面と約９０°の角度をなすとともに噴射ノズル４７の方を向いている。

次に、図３〜図７を参照して、第１可動部２４、第１ロッド３５、第２可動部４２、第３可動部４３、第２ロッド４４、および第３ロッド４５の移動、回転、回りの例が記述される。図３〜図７は、多軸ロボット１６を図２と同じ方向から観察した状態を模式的に示しており、図２の多軸ロボット１６およびクリーニング対象物３４のみを示している。

図３は、第１可動部２４が初期位置から移動した後に静止している状態を示す。図３に示されるように、第１可動部２４は、ｘ軸上で初期状態よりも負の側の座標の位置にある。また、第１可動部２４は、ｚ軸上で初期状態よりも負の側の座標の位置にある。この結果、噴射ノズル４７および吸引ノズル４８は、初期状態よりもクリーニング対象物３４に近くに位置し、噴射ノズル４７および吸引ノズル４８の間の空間はクリーニング対象物３４の中心よりもｘ軸上でより負の側の座標の位置の上方に位置する。

図４は、第１ロッド３５が初期状態から回転した後に静止している状態を示す。図４に示されるように、第１ロッド３５は、初期状態から、ｘｙ面に沿って上（ｚ軸のより正の側）から観察された場合の時計回りに９０°回転した状態で静止している。この結果、噴射ノズル４７および吸引ノズル４８は、ｙ軸に沿って並び、吸引ノズル４８は、噴射ノズル４７よりもｙ軸上で正の側の座標に位置する。

図５は、第２可動部４２および第３可動部４３が初期状態から移動した後に静止している状態を示す。図５に示されるように、第２可動部４２はｘ軸上で初期状態より正の側の座標の位置にある。また、第３可動部４３はｘ軸上で初期状態より負の側の座標の位置にある。この結果、噴射ノズル４７と吸引ノズル４８との距離は、初期状態での距離よりも遠く、噴射ノズル４７と吸引ノズル４８との間の空間は、初期状態での空間よりも広い。

図６は、第２ロッド４４および第３ロッド４５が初期状態から回った後に静止している状態を示す。図６に示されるように、第２ロッド４４は第１端（第２可動部４２中の端）を中心に、ｘｚ面に沿ってｙ軸上でより正の側から観察された場合の反時計回りに１０°回った状態にある。この結果、噴射ノズル４７の開口５３は、ステージ３２の上面に対して初期状態よりも平行に近い。また、第３ロッド４５は第１端（第３可動部４３中の端）を中心に、ｘｚ面に沿ってｙ軸上でより正の側から観察された場合の時計回りに１０°回った状態にある。この結果、吸引ノズル４８の開口５６は、ステージ３２の上面に対して初期状態よりも平行に近い。

図７は、第２ロッド４４および第３ロッド４５が初期状態から回転した後に静止している状態を示す。図７に示されるように、第２ロッド４４は、Ｂ軸を中心に、第１端の側から観察された場合の反時計回りに数度回転した状態にある。第２ロッド４４の周りに伴い、噴射ノズル４７も、Ｂ軸に沿って第２ロッド４４の回りと同じ角度回転した状態にある。

第３ロッド４５は、Ｃ軸を中心に、第１端の側から観察された場合の時計回りに数度回転した状態にある。第３ロッド４５の周りに伴い、吸引ノズル４８も、Ｃ軸に沿って第３ロッド４５の回りと同じ角度回転した状態にある。

図２〜図７を参照して記述されたような、第１可動部２４、第１ロッド３５、第２可動部４２、第３可動部４３、第２ロッド４４、および第３ロッド４５の移動、または（および）回転、または（および）回りは、互いに独立して行われることができる。そして、第１可動部２４、第１ロッド３５、第２可動部４２、第３可動部４３、第２ロッド４４、および第３ロッド４５は、各々が、移動、または（および）回転、または（および）回りが終了した状態で静止し続けることができる。このため、制御装置１９は、第１可動部２４、第１ロッド３５、第２可動部４２、第３可動部４３、第２ロッド４４、および第３ロッド４５のうちの少なくとも１つの状態を固定したまま、第１可動部２４、第１ロッド３５、第２可動部４２、第３可動部４３、第２ロッド４４、および第３ロッド４５の別の少なくとも１つを移動または（および）回転させ、かつ（あるいは）回すことができる。例えば、制御装置１９は、第１ロッド３５、第２可動部４２、第３可動部４３、第２ロッド４４、および第３ロッド４５を任意の状態（位置または（および）角度）に保ったまま、第１可動部２４の移動を通じて、ロボットアーム２５をｘ軸およびｙ軸およびｚ軸に沿って移動させることができる。

次に、図８〜図１１を参照して、第１実施形態のクリーニング装置１の動作が記述される。クリーニング装置１は、ある１つのクリーニング対象物３４のクリーニングの間、１つ以上のクリーニング動作を行う。以下、クリーニング動作について記述される。

各クリーニング動作は、クリーニング対象物３４の種類および形状、ならびにクリーニング対象物３４のうちのクリーニング対象の場所の少なくとも１つに基づいて定められた種々の条件で行われる。各クリーニング動作は、複数のパラメータのそれぞれの値の組によって定まる条件（クリーニング条件）で行われる。クリーニング条件は、クリーニングの開始に先立って用意され、制御装置１９において予め設定されていてもよいし、クリーニング装置１の使用者によって設定されてもよい。

図８は、第１実施形態のある１つのクリーニング条件の例を示す。図８に示されるように、第１クリーニング条件で行われるクリーニング動作の間、多軸ロボット１６は種々の姿勢（第１ロボット姿勢、第２ロボット姿勢、第３ロボット姿勢、…）を取る。第１クリーニング条件で行われるクリーニング動作の間、ロボットの姿勢は変遷し、例えば、図８のより上の行からより下の行に向かって、第１ロボット姿勢、第２ロボット姿勢、第３ロボット姿勢、…の順に変遷する。各ロボット姿勢は、ステージ３２の座標、第１可動部２４の座標（または初期状態からの変位）、第１ロッド３５の回転角度、第２可動部４２の初期状態からの変位、第３可動部４３の初期状態からの変位、第２ロッド４４の回転角度および回り角度、ならびに第３ロッド４５の回転角度および回り角度などを含む種々のパラメータの各々についての値により定義される。さらなるパラメータ、例えば、高圧気体の噴射の強度などが使用されてもよい。

各行は、対応するロボット姿勢の間の種々のパラメータのそれぞれについての維持されるべき値を示す。第α（αは自然数）ロボット姿勢の第２列および第３列は、ステージ３２のｘ軸上の座標（ｘ軸座標）Ａαおよびｙ軸上の座標（ｙ軸座標）Ｂαを示す。座標ＡαおよびＢαは、ステージ３２の初期状態からの変位の大きさを示してもよい。

第αロボット姿勢の第４列、第５列、および第６列は、第１可動部２４のｘ軸座標Ｃα、ｙ軸座標Ｄα、およびｚ軸上の座標（ｚ軸座標）Ｅαを示す。値Ｃα、Ｄα、およびＥαは、第１可動部２４の初期状態からの変位の大きさを示してもよい。第７列は、第１ロッド３５の初期状態から回転した角度の大きさ（回転角度）Ｆαを示す。

第αロボット姿勢の第８列および第９列は、第２可動部４２のｘ軸上での初期状態からの変位（ｘ軸変位）Ｇαおよびｙ軸上での初期状態からの変位（ｙ軸変位）Ｈαを示す。第αロボット姿勢の第１０列および第１１列は、第３可動部４３のｘ軸変位Ｉαおよびｙ軸変位Ｊαを示す。

第αロボット姿勢の第１２列は、第２ロッド４４の初期状態からの回転角度Ｋαを示す。第１３列は、第２ロッド４４の初期状態から回った角度の大きさ（回り角度）Ｌαを示す。

第αロボット姿勢の第１３列は、第３ロッド４５の初期状態からの回転角度Ｍαを示す。第１４列は、第３ロッド４５の初期状態からの回り角度Ｎαを示す。

あるパラメータについての相違するロボット姿勢でのそれぞれのパラメータの値（例えば、値Ａ１、Ａ２、Ａ３、）は、互いに同じ場合もあるし、異なる場合もある。

同様に、第１クリーニング条件以外のクリーニング条件（第２クリーニング条件、第３クリーニング条件、…）についての１または複数のロボット姿勢を定義するためのパラメータの値が定められている。

図９は、第１実施形態のクリーニング装置１の一部のクリーニング中の一状態（１つのロボット姿勢）の例を示し、図３〜図７と同様に多軸ロボット１６を図２と同じ方向から観察した状態を模式的に示している。図９に示されるように、噴射ノズル４７の開口５３から気流６１がクリーニング対象物３４に向かって噴射される。クリーニング対象物３４に到達した気流６１は、クリーニング対象物３４のうちの気流６１が当たった箇所およびその周囲の部分からパーティクルを離脱させる。

一方、吸引ノズル４８は、開口５６の前方の領域において、開口５６から吸引ノズル４８の内部へと向かう気流６２を発生させる。クリーニング対象物３４から離脱したパーティクルは、気流６２に乗って吸引ノズル４８の中へと吸引される。こうして、クリーニング対象物３４に付着しているパーティクルが、クリーニング対象物３４から除去されるとともに回収される。クリーニング動作の間、回収されたパーティクルの数は図５に示されるパーティクルカウンタ１５によりカウントされ、カウントの結果を示す信号が、パーティクルカウンタ１５から制御装置１９に送信される。制御装置１９は、クリーニング動作の間、カウント結果に基づいて、後述のようにクリーニング装置１の使用者によって設定された、クリーニング完了の判断のための条件が充足されているかを判断する。

図１０は、第１実施形態のクリーニング装置１の動作のフローの例を示し、或る種類の１つのクリーニング対象物３４をクリーニングするためのフローを示す。フローの開始の時点で、クリーニング対象物３４はすでにステージ３２上に載置されている。

ステップＳ１において、クリーニング装置１の使用者は、１つ以上のクリーニング条件およびクリーニング条件と同数の判断方法を設定する。クリーニング対象物３４の特徴に基づいて、クリーニング動作の詳細は様々なものであり得る。例えば、平坦な板状の物体がクリーニングされる場合、段差を有する物体がクリーニングされる場合、ねじなどの複雑な形状を有する物体がクリーニングされる場合で、クリーニングされる場所、時間、クリーニング完了の判断条件などは相違し得る。このことに基づいて、クリーニング装置１の使用者は、ステップＳ１において、これからクリーニングを行おうとするクリーニング対象物３４の特徴に基づいて、後述のステップＳ３以降でのクリーニング動作での条件、および当該クリーニング動作の完了を判断するための判断条件の１つまたは複数の組、およびクリーニング動作（ならびに対応する判断）の順序を設定する。設定は、予め制御装置１９のＲＡＭ１６ｃに記憶されているクリーニング条件および判断条件から選択により行われてもよいし、使用者が入力することにより行われてもよい。

図１１は、第１実施形態のいくつかのクリーニング対象物３４、当該クリーニング対象物３４のために選択されたクリーニング条件および判断条件の組の例を示す。図１１に示されるように、クリーニング対象物３４Ａについては、クリーニング条件ＣＣ１と第１判断条件ＤＣ１が使用されるように設定されている。クリーニング対象物３４Ｂについては、クリーニング条件ＣＣ２および判断条件ＤＣ２の組と、クリーニング条件ＣＣ３および第３判断条件ＤＣ３の組と、がこの順で使用されるように設定されている。上記のように、各クリーニング条件でのクリーニング動作の間、パーティクルが計数され得る。別のクリーニング対象物については、クリーニング条件および対応する判断条件の３つ以上の組が設定されてもよい。判断条件の詳細については、後述される。

制御装置１９には、クリーニング対象物３４の種類（特徴）ごとにクリーニング条件および判断の複数の組（クリーニングメニュー）が実行される順番とともに事前に入力されていて、クリーニング装置１の使用者は、クリーニング対象物３４の特徴に基づいて、１つのクリーニングメニューを選択できる。または、使用者は、クリーニングの度に１つ以上のクリーニング条件を図８のように予め用意された複数のクリーニング条件から選択するとともに対応する判断条件を入力または選択することができる。さらに、使用者は、クリーニングの度にクリーニング条件および判断条件ならびにクリーニング条件および判断条件の組の順序を入力することができる。さらに、使用者は、設定されてあるクリーニング条件中の値を変更することができる。

図１０に戻る。ステップＳ２において、例えば制御装置１９にクリーニングの開始を指示することにより、クリーニング動作を開始する。開始に伴い、パラメータＮが１に設定される。Ｎは、実行中のクリーニング動作および対応する判断の識別子である。

ステップＳ３以降において、クリーニング装置１は、ステップＳ１で設定されたクリーニング条件および判断条件充足の判断の組を、設定された順序で行う。クリーニング条件および判断の２つの組が行われる例について記述される。

ステップＳ３において、制御装置１９は、クリーニング装置１の各部を制御して、第Ｎクリーニング動作を行う。現在パラメータＮ＝１のため、制御装置１９は、第１クリーニング動作を行う。第１クリーニング動作は、ステップＳ１において、１番目に行われるものとして設定されたクリーニング条件（例えば、クリーニング条件ＣＣ２）で行われるクリーニング動作である。クリーニング動作の間、パーティクルカウンタ１５は、受け取ったパーティクルの数をカウントし、カウント結果を示す信号を制御装置１９に送信することができる。

ステップＳ４において、制御装置１９は、カウント結果を示す信号を受け取り、カウント結果に基づいて、第１クリーニング動作に対応する第１判断条件が満たされているかを判断する。第１判断条件は、第１クリーニング動作に対応する判断条件（例えば、判断条件ＤＣ２）により記述される。第１判断条件が満たされている場合（Ｙｅｓ分岐）、処理は終了する。一方、第１判断条件が満たされていない場合（Ｎｏ分岐）、処理はステップＳ５に移行する。

ステップＳ４は、ステップＳ３が行われている最中に行われることもできる。すなわち、第１クリーニング動作が行われている間に、第１クリーニング動作が停止することなく、第１判断条件の充足が設定された時間の経過ごとに判断される。そして、第１判断条件が満たされると、ステップＳ４は終了する。

ステップＳ５において、制御装置１９は、Ｎを１増分し、次いでＮがＮｍａｘに等しいかを判断する。Ｎｍａｘは、現在実行されているクリーニング（すなわち、現在実行されているクリーニングメニュー）において実行される予定のクリーニング動作の最大数である。ＮがＮｍａｘである場合、これは、全てのクリーニング動作が完了したことを示し、よって、処理は終了する。一方、ＮがＮｍａｘ未満である場合、処理は、ステップＳ３に戻る。

制御装置１９は、Ｎ＝２でのステップＳ３において第２クリーニング動作を行い、ステップＳ４において、第２クリーニング動作に対応する第２判断条件の充足を判断する。第２クリーニング動作は、ステップＳ１において、２番目に行われるものとして設定されたクリーニング条件（例えば、クリーニング条件ＣＣ３）で行われるクリーニング動作である。

ステップＳ４において第２判断条件（例えば、判断条件ＤＣ３）が満たされていない場合、処理は、ステップＳ３に戻る。第２判断条件が満たされている場合、処理は、ステップＳ５に移行する。

次に、判断条件について、図１２を参照して記述される。上記のように、パーティクルカウンタ１５は、種々の相違する大きさごとにチューブ５７を介して受け取られたパーティクルを逐次カウントし、カウントの結果を制御装置１９に送信する。制御装置１９は、１つのパーティクルサイズ、１つのパーティクル数、および１つの閾値を図１２に示される表のように互いに関連付けて認識する。パーティクルサイズＰＳβ（βは自然数）は、パーティクルサイズＰＳ（β−１）より大きい。

判断条件は、例えば、或る大きさのパーティクルの数が対応する閾値を下回ることである。すなわち、制御装置１９は、ステップＳ４の判断条件充足判断において、或るパーティクルサイズについてのパーティクル数が、関連付けられた閾値を下回ると、判断条件が充足されたと判断する。

図１２に示される表が、クリーニング動作の間、逐次、パーティクル数ＰＣ１、ＰＣ２、ＰＣ３、…が更新されながら、出力装置１９５において表示されることができる。

第１実施形態のクリーニング装置１によれば、噴射ノズル４７および吸引ノズル４８のクリーニング対象物３４からの相対的な位置およびクリーニング対象物３４に対する向きが独立して制御および維持されることができる。このため、クリーニング対象物３４への気体噴射および吸引ノズル４８の位置および向きが最適な状態に向けて調整されることができ、しかも調整された状態が維持されることができる。よって、噴射ノズル４７および吸引ノズル４８の位置および向きの調整を通じて、クリーニング対象物３４の種類に応じて適切なクリーニングが可能である。装置によるクリーニング対象物３４の種類に応じた適切なクリーニングが可能であることは、人手では制限されるようなクリーニング対象物３４のクリーニングも可能にし、人手によるクリーニングの場合よりも多様なクリーニング対象物３４がクリーニングを可能にする。

また、適切な気体噴射や、吸引ノズル４８の位置および向きの調整によって、クリーニング対象物３４から離脱したパーティクルがクリーニング対象物３４に再付着することが抑制されることができる。よって、人手によるクリーニングや、クリーニングの調整の自由度が低い装置を使用したクリーニングよりも高い完成度でのクリーニングが可能である。

また、クリーニング対象物３４の種類に応じた適切なクリーニングにより、人手によるクリーニングの場合よりもムラの少ない高い清浄度でのクリーニングが可能である。さらに、再付着の抑制を通じて、人手によるクリーニングや、クリーニングの調整の自由度が低い装置を使用したクリーニングよりも短い時間でクリーニングが完了することができる。

また、噴射ノズル４７および吸引ノズル４８が任意の状態で静止することができるので、人が持ち運び可能なクリーニング装置の位置および向きを長時間に亘って維持する必要もなく、人手によるクリーニングよりも容易なクリーニングが可能である。

また、吸引ノズル４８はパーティクルカウンタ１５と接続されており、パーティクルのカウントの結果に基づいて、制御装置１９はクリーニングを自動で制御する。よって、クリーニング対象物３４のクリーニングの進行が自動で客観的に評価されることができ、クリーニングの仕上がりのばらつきが抑制される。特に、クリーニングごとに噴射ノズル４７および吸引ノズル４８の位置および向きのばらつきが抑制されることも相まって、クリーニングごとのクリーニングの進行の評価は安定する。よって、安定した精度でのクリーニングが可能である。

（第２実施形態）
図１３は、第２実施形態に係るクリーニング装置１の構造の一部を模式的に示す。図１３は、図２と同様に、クリーニング室１２（図示せず）中の構造を示し、かつ、クリーニング室１２の外側の要素を機能ブロックにより示す。

図１３に示されるように、多軸ステージ１７は、第１実施形態（図２）でのステージ３２に代えて、ステージ３２ａを含む。ステージ３２ａは、孔３２１を有する。孔３２１は、ステージ３２ａの上面と下面に亘る。ステージ３２ａ上には、クリーニング対象物３４ａが載置される。クリーニング対象物３４ａは、第２実施形態で使用されると、第１実施形態でのものより多くの利点をもたらし、そのようなクリーニング対象物３４ａは、孔３４１を有する。例えば、孔３４１は、クリーニング対象物３４ａの上面と下面に亘る。

クリーニング装置１は、吸引ノズル６５をさらに含む。吸引ノズル６５は、多軸ステージ１７の台座３１中に位置する。吸引ノズル６５は、吸引ノズル４８と同様に、内部空間および開口６６を有する。開口６６は、台座３１の外側に位置し、クリーニング対象物３４ａの下面の方を向いており、ステージ３２ａの孔３２１の下方に位置する。吸引ノズル６５の内部空間は、吸引ノズル４８と同様に、チューブ６７を介してパーティクルカウンタ１５に接続されている。

図１４は、第２実施形態のクリーニング装置１の一部のクリーニング中の状態の例を示し、図１３と同様に多軸ロボット１６を図１３と同じ方向から観察した状態を模式的に示している。図１３に示されるように、吸引ノズル６５は、開口６６の前方の領域、特に開口６６の正面の領域の気体および物体を開口６６から吸引することができる。噴射ノズル４７からの噴射により、開口５６の前面に、吸引ノズル４８の内部空間に向かう気流６９が形成される。気流６９は、孔３４１および孔３２１を貫く。クリーニング対象物３４ａの上面から離脱したパーティクルは、気流６９に乗って、孔３４１および孔３２１を介して吸引ノズル６５の中へと吸引される。こうして、パーティクルは、気流６２を介して吸引ノズル４８によって、また、気流６９を介して吸引ノズル６５によって、吸引される。

第２実施形態によれば、第１実施形態と同じく、噴射ノズル４７および吸引ノズル４８のクリーニング対象物３４からの相対的な位置およびクリーニング対象物３４に対する向きが独立して制御および維持されることができ、また、吸引ノズル４８はパーティクルカウンタ１５と接続されている。このため、第１実施形態と同じ利点を得られる。

さらに、第２実施形態によれば、ステージ３２ａは孔３２１を有し、また、孔３２１の下方で孔３２１の方を向く開口６６を有する吸引ノズル６５をさらに有する。このため、パーティクルが回収される経路が多く、よって、より高い確度でパーティクルが吸引されることができる。特に、孔３４１のような上面と下面に亘る孔を有するクリーニング対象物３４ａがクリーニングされる場合、クリーニング対象物３４ａ、特にクリーニング対象物３４ａの孔３４１の周囲で離脱したパーティクルが、高い確度で、少なくとも吸引ノズル４８だけの場合よりもより高い確度で吸引されることができる。よって、パーティクルの吸引漏れによるパーティクルのクリーニング対象物３４ａへの再付着が抑制され、また、パーティクルの高確度での回収およびカウントを通じてクリーニングの進捗がより正確に評価されることができる。

（第３実施形態）
図１５は、第３実施形態に係るクリーニング装置１の構造の一部を模式的に示す。図１５は、図２と同様に、クリーニング室１２（図示せず）中の構造を示し、かつ、クリーニング室１２の外側の要素を機能ブロックにより示す。

図１５に示されるように、多軸ロボット１６は、第１実施形態（図２）での吸引ノズル４８に代えて、吸引ノズル４８ｂを含む。吸引ノズル４８ｂは、例えば、第３ロッド４５に接続されている。吸引ノズル４８ｂの開口５６は、例えば、ステージ３２の上面に近い面積を有し、ステージ３２の上面と正対させられたときに、ステージ３２の上面の大半を覆うことができる。

噴射ノズル４７は、吸引ノズル４８ｂと接続されている。噴射ノズル４７の一部および開口５３は、吸引ノズル４８ｂの内部空間内に位置している。

噴射ノズル４７および吸引ノズル４８ｂの位置は、第１可動部２４、第１ロッド３５、第２可動部４２、および第３ロッド４５によって変えられ、変えられた状態で維持されることができる。

図１６は、第３実施形態の吸引ノズル４８ｂの一部および噴射ノズル４７の一部の構造を模式的に示す。図１６に示されるように、吸引ノズル４８ｂは、例えばドーム状の形状を有し、例えば円状の開口５６を有する。噴射ノズル４７の開口５３および吸引ノズル４８ｂの開口５６は、例えば、同様の方向を向き、例えば同じ向きを向く。噴射ノズル４７の開口５３は、吸引ノズル４８ｂの内部空間４８２中に位置する。吸引ノズル４８ｂの開口５６は、少なくともクリーニングの間、ｘｙ面に沿う向きに向けられ、クリーニング対象物３４の上方に位置され、クリーニング対象物３４の上面の少なくとも一部またはほぼ全体を覆う。このような吸引ノズル４８ｂの向きおよび位置により、噴射ノズル４７の開口５３も、少なくともクリーニングの間、クリーニング対象物３４の上方においてクリーニング対象物３４と向き合う。このような噴射ノズル４７の向きにより、クリーニングの間、気流６１は、クリーニング対象物３４に向かう。一方、気流６２は、吸引ノズル４８ｂの内部空間４８２において、吸引ノズル４８ｂの内部空間４８２とパイプ４８１との接続位置に向かう。

第３実施形態によれば、第１実施形態と同じく、噴射ノズル４７および吸引ノズル４８ｂのクリーニング対象物３４からの相対的な位置およびクリーニング対象物３４に対する向きが制御および維持されることができ、また、吸引ノズル４８ｂはパーティクルカウンタ１５と接続されている。このため、第１実施形態による利点のうち、パーティクルのクリーニング対象物３４の再付着の抑制、ムラの少ない高い清浄でのクリーニング、短時間でのクリーニングの完了、人手よりも容易なクリーニング、安定した精度でのクリーニングが可能である。

さらに、第３実施形態によれば、吸引ノズル４８ｂはステージ３２の上面と正対させられたときにステージ３２の上面の大半を覆うことができ、噴射ノズル４７の開口５３は、吸引ノズル４８ｂの内部空間４８２中に位置する。このため、気流６１によってクリーニング対象物３４から離脱したパーティクルの多くが高確度で吸引されることができる。よって、パーティクルの吸引漏れによるパーティクルのクリーニング対象物３４への再付着が抑制され、また、パーティクルの高確度での回収およびカウントを通じてクリーニングの進捗がより正確に評価されることができる。

（第４実施形態）
図１７は、第４実施形態に係るクリーニング装置１の構造の一部を模式的に示す。図１７は、図２と同様に、クリーニング室１２（図示せず）中の構造を示し、かつ、クリーニング室１２の外側の要素を機能ブロックにより示す。

図１７に示されるように、多軸ロボット１６は、第１実施形態での吸引ノズル４８に代えて、円筒７１および吸引ノズル４８ｃを含む。円筒７１は、環状の内面７１１を有し、多軸ステージ１７を円筒７１の内部の空間、すなわち、内面７１１により囲まれた空間内において擁する。円筒７１の高さは、ステージ３２の位置より高く、よって、円筒７１は、内部においてステージ３２およびステージ３２の上方の空間を含む。このように、円筒７１の内部は、大きな空間が存在し、少なくとも噴射ノズル４７が位置できる容積を有する。

吸引ノズル４８ｃは、円筒７１の内面７１１の一部に一致する開口５６ａを有する。開口５６ａは、ｚ軸に沿って高さを有し、かつｘｙ面に沿って多軸ステージ１７を取り囲む。吸引ノズル４８ｃの内部空間は、チューブ５７を介してパーティクルカウンタ１５に接続されている。

図１８は、第４実施形態の円筒７１、吸引ノズル４８ｃ、ステージ３２、およびクリーニング対象物３４の、ｘｙ面に沿ってｚ軸の正の側から観察されたときの構造を模式的に示す。図１８に示されるように、円筒７１の内部に、ステージ３２が位置し、開口５６ａは、ステージ３２を取り囲む面状の形状を有する。

円筒７１および吸引ノズル４８ｃの開口５６ａは、ステージ３２を全方向から取り囲んでいることは必須ではない。すなわち、円筒７１および吸引ノズル４８ｃの開口５６ａは、環の一部、すなわち、円弧状であってもよい。

第４実施形態によれば、第１実施形態と同じく、噴射ノズル４７のクリーニング対象物３４からの相対的な位置およびクリーニング対象物３４に対する向きが制御および維持されることができ、また、吸引ノズル４８ｃはパーティクルカウンタ１５と接続されている。このため、第１実施形態と同じ利点を得られる。

さらに、第４実施形態によれば、吸引ノズル４８ｃの開口５６ａは多軸ステージ１７を取り囲む。このため、気流６１によってクリーニング対象物３４から離脱したパーティクルの多くが高確度で吸引されることができる。よって、パーティクルの吸引漏れによるパーティクルのクリーニング対象物３４への再付着が抑制され、また、パーティクルの高確度での回収およびカウントを通じてクリーニングの進捗がより正確に評価されることができる。

上記実施形態の少なくとも一部は、以下の付記のように記述され得る。

［付記１］
第１軸および第２軸に沿って移動できるステージと、
気体を噴射する噴射ノズルと気体を吸引する吸引ノズルとを有し、前記吸引ノズルは内部空間を有し、前記吸引ノズルは前記内部空間と接続されるとともに前記吸引された気体が流入するパイプを有し、前記噴射ノズルの開口は前記吸引ノズルの前記内部空間の中に位置し、前記吸引ノズルの向きを変えられるとともに変えられた状態で維持でき、前記吸引ノズルの向きを維持したままで前記吸引ノズルを前記ステージの上方で移動できるアームと、
を備えるクリーニング装置。

［付記２］
第１軸および第２軸に沿って移動できるステージと、
気体を噴射する噴射ノズルを有し、前記噴射ノズルの向きを変えられるとともに変えられた状態で維持でき、前記噴射ノズルの向きを維持したままで前記噴射ノズルを前記ステージの上方で移動できるアームと、
前記ステージを前記第１軸および前記第２軸を含んだ面において少なくとも部分的に取り囲む開口を有する吸引ノズルと、
を備えるクリーニング装置。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。また、各実施形態は適宜組み合わせて実施してもよく、その場合組み合わせた効果が得られる。さらに、上記実施形態には種々の発明が含まれており、開示される複数の構成要件から選択された組み合わせにより種々の発明が抽出され得る。例えば、実施形態に示される全構成要件からいくつかの構成要件が削除されても、課題が解決でき、効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。

１…クリーニング装置、１１…フレーム、１２…クリーニング室、１３…扉、１５…パーティクルカウンタ、１６…多軸ロボット、１７…多軸ステージ、１９…制御装置、２１…台座、２２…支柱、２３…梁、２４…第１可動部、２５…ロボットアーム、２７…上面、２８…空間、３１…台座、３２…ステージ、３４…クリーニング対象物、３５…第１ロッド、４１…保持部、４２…第２可動部、４３…第３可動部、４４…第２ロッド、４５…第３ロッド、４７…噴射ノズル、４８…吸引ノズル、４８１…パイプ、５１…下面、５３…開口、５４…チューブ、５６…開口、５７…チューブ、６１…気流、６２…気流、６５…吸引ノズル、６６…開口、６７…チューブ、６９…気流。

Claims (7)

1. 第１軸および第２軸に沿って移動できるステージと、
   気体を噴射する噴射ノズルと気体を吸引する吸引ノズルとを有し、前記噴射ノズルの位置および向きの少なくとも一方を変えられるとともに変えられた状態で維持でき、前記吸引ノズルの位置および向きの少なくとも一方を変えられるとともに変えられた状態で維持でき、前記噴射ノズルと前記吸引ノズルとの相対的な位置、前記噴射ノズルの向き、および前記吸引ノズルの向きの少なくとも１つを維持したままで前記噴射ノズルおよび前記吸引ノズルを前記ステージの上方で移動できるアームと、
   を備えるクリーニング装置。
2. 前記噴射ノズルは第１開口を有し、前記噴射ノズルの向きは、前記第１開口の向きである、
   請求項１のクリーニング装置。
3. 前記吸引ノズルは第２開口を有し、前記吸引ノズルの向きは、前記第２開口の向きである、
   請求項１または請求項２のクリーニング装置。
4. 前記ステージは、孔を有し、
   前記クリーニング装置は、前記孔と向き合うとともに気体を吸い込む第２吸引ノズルをさらに備える、
   請求項１乃至３のいずれかのクリーニング装置。
5. 前記吸引ノズルと接続され、パーティクルを受け取り、前記受け取られたパーティクルを計数するカウンタをさらに備える、
   請求項１乃至請求項４のいずれかのクリーニング装置。
6. 前記カウンタは、前記吸引ノズルによって吸引された気体を受け取り、前記パーティクルは前記吸引された気体に含まれる、
   請求項５のクリーニング装置。
7. 前記パーティクルの数に基づいて前記噴射ノズルおよび前記吸引ノズルの少なくとも一方を動作または停止させる制御装置をさらに備える、
   請求項５または請求項６のクリーニング装置。